JP2016070721A - クライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置及びそのアウトガス評価方法 - Google Patents
クライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置及びそのアウトガス評価方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016070721A JP2016070721A JP2014197974A JP2014197974A JP2016070721A JP 2016070721 A JP2016070721 A JP 2016070721A JP 2014197974 A JP2014197974 A JP 2014197974A JP 2014197974 A JP2014197974 A JP 2014197974A JP 2016070721 A JP2016070721 A JP 2016070721A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outgas
- superconducting magnet
- cryostat
- sample
- constituent material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 61
- 239000000470 constituent Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 66
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims description 32
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 10
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 abstract description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 abstract description 4
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 abstract 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 abstract 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 29
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 5
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 5
- 238000011158 quantitative evaluation Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011152 fibreglass Substances 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】 クライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置において、オリフィス9Aを取り付けた容器9を備え、試料チャンバー1に極低温冷凍機冷却部3を備え、オリフィス9A上流には四重極型質量分析計Qを配置し、前記オリフィス9Aの上流側と下流側にそれぞれ配置した真空計Pと、極低温冷凍機冷却部4を有する試料チャンバー2と、を備え、極低温状況下での試料からのアウトガスの測定を可能にした。
【選択図】 図1
Description
〔1〕クライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置において、オリフィスを取り付けた容器と、前記オリフィスの上流側に配置した四重極型質量分析計と、前記オリフィスの上流側と下流側にそれぞれ配置した真空計と、極低温冷凍機冷却部を有する試料チャンバーと、を備え、極低温状況下での試料からのアウトガスの測定を可能にしたことを特徴とする。
C:コンダクタンス
P1 :排気装置側(下流側)圧力
P2 :チャンバ側(上流側)圧力
本発明に係るクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置による測定手順を以下に示す。
1.まず、試料1を試料チャンバー2内の極低温冷凍機冷却部4上に固定する。
2.全てのゲートバルブ5、6、7を開けて、真空排気装置10により装置内の排気を行う。
3.次に、極低温冷凍機3を起動し、試料1を評価温度まで冷却する。
4.次に、第1のゲートバルブ5を閉じて、オリフィス9Aを介して真空排気を継続する。
5.オリフィス9Aの上流側圧力P2 と下流側圧力P1 との圧力差、およびオリフィス9Aのコンダクタンスからガス放出速度を測定する。
1.まず、吸着材12を試料チャンバー2内の極低温冷凍機冷却部4上に固定する。
2.全てのゲートバルブ5、6、7を開けて、例えば、ターボ分子ポンプである真空排気装置10により装置内の排気を行う。
3.次に、極低温冷凍機3を起動し、吸着材12を評価温度まで冷却する。
4.次に、第1のゲートバルブ5および第2のゲートバルブ6を閉じて、真空排気を停止する。
5.吸着材12の冷却は継続しながら、ガス導入配管8よりガスを外部から導入する。
6.試料チャンバー2内の圧力変化を測定することで、吸着材12へのガス吸着量を求める。
1.まず、試料21を試料チャンバー2内の表面に固定し、吸着材22を極低温冷凍機冷却部4上に固定する。
2.全てのゲートバルブ5、6、7を開けて、真空排気装置10により装置内の排気を行う。
3.次に、極低温冷凍機3を起動し、吸着材22を冷却する。
4.次に、第1のゲートバルブ5を閉じて、オリフィス9Aを介して真空排気を継続する。
5.オリフィス9Aの上流側圧力P2 と下流側圧力P1 との圧力差、およびオリフィス9Aのコンダクタンスからガス放出速度を測定する。
2 試料チャンバー(真空容器)
3 極低温冷凍機
4 極低温冷凍機冷却部
5 第1のゲートバルブ
6 第2のゲートバルブ
7 第3のゲートバルブ
8 ガス導入配管
9 オリフィスを取り付けた容器
9A オリフィス
10 真空排気装置
12,22 吸着材
P 真空計
Q 四重極型質量分析計
Claims (14)
- オリフィスを取り付けた容器と、
前記オリフィスの上流側に配置した四重極型質量分析計と、
前記オリフィスの上流側と下流側にそれぞれ配置した真空計と、
極低温冷凍機冷却部を有する試料チャンバーと、を備え、
極低温状況下での試料からのアウトガスの測定を可能にしたことを特徴とするクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置。 - 請求項1記載のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置において、前記アウトガスの測定が、前記試料からのアウトガスの分子量の同定と、前記アウトガスの放出量の測定であることを特徴とするクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置。
- 請求項1記載のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置において、前記試料を前記極低温冷凍機冷却部に固定したことを特徴とするクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置。
- 請求項3記載のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置において、前記極低温冷凍機によって、試料温度を300K〜20Kの範囲で制御可能にしたことを特徴とするクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置。
- 請求項1記載のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置において、前記試料を前記極低温冷凍機冷却部と接触させず、前記試料チャンバー内のチャンバー表面へ固定することを特徴とするクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置。
- 請求項5記載のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置において、前記極低温冷凍機によってクライオポンプ効果が存在する環境での、前記試料の室温状態におけるアウトガスの測定ができることを特徴とするクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置。
- 請求項1記載のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置において、前記試料チャンバーは外部からガスを導入するための配管を備えており、前記試料に替えてアウトガスの吸着材を前記極低温冷凍機冷却部に固定し、該吸着材を冷却した状態で、前記ガスを前記試料チャンバーに導入することにより前記吸着材のガス吸着能力を測定することを可能にしたことを特徴とするクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置。
- オリフィスを取り付けた容器と、前記オリフィスの上流側に配置した四重極型質量分析計と、前記オリフィスの上流側と下流側にそれぞれ配置した真空計と、極低温冷凍機冷却部を有する試料チャンバーと、を備え、極低温状況下での試料からのアウトガスの測定を可能にしたことを特徴とするクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法。
- 請求項8記載のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法において、前記アウトガスの測定が、前記試料からのアウトガスの分子量の同定と、前記アウトガスの放出量の測定であることを特徴とするクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法。
- 請求項8記載のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法において、前記試料を前記極低温冷凍機冷却部に固定したことを特徴とするクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法。
- 請求項10記載のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法において、前記極低温冷凍機によって、試料温度を300K〜20Kの範囲で制御可能であることを特徴とするクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法。
- 請求項8記載のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法において、前記試料を前記極低温冷凍機冷却部と接触させず、前記試料チャンバー内のチャンバー表面へ固定することを特徴とするクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法。
- 請求項12記載のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法において、前記極低温冷凍機によってクライオポンプ効果が存在する環境での、前記試料の室温状態におけるアウトガスの測定を行うことを特徴とするクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法。
- 請求項8記載のクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法において、前記試料チャンバーは外部からガスを導入するための配管を備えており、前記試料に替えてアウトガスの吸着材を前記極低温冷凍機冷却部に固定し、該吸着材を冷却した状態で、前記ガスを前記試料チャンバーに導入することにより前記吸着材のガス吸着能力を測定することを可能にしたことを特徴とするクライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014197974A JP6324861B2 (ja) | 2014-09-29 | 2014-09-29 | クライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置及びそのアウトガス評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014197974A JP6324861B2 (ja) | 2014-09-29 | 2014-09-29 | クライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置及びそのアウトガス評価方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016070721A true JP2016070721A (ja) | 2016-05-09 |
JP6324861B2 JP6324861B2 (ja) | 2018-05-16 |
Family
ID=55864485
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014197974A Active JP6324861B2 (ja) | 2014-09-29 | 2014-09-29 | クライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置及びそのアウトガス評価方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6324861B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112825278A (zh) * | 2019-11-20 | 2021-05-21 | 西门子(深圳)磁共振有限公司 | 一种用于磁共振成像设备的低温恒温器构造及磁共振成像设备 |
CN115308291A (zh) * | 2022-08-09 | 2022-11-08 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种低温泵用低温板性能测试装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10664181B2 (en) | 2017-11-14 | 2020-05-26 | International Business Machines Corporation | Protecting in-memory configuration state registers |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0278281A (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-19 | Hitachi Ltd | 吸着器付クライオスタツト |
JP2000111185A (ja) * | 1998-09-30 | 2000-04-18 | Aisin Seiki Co Ltd | 極低温装置 |
JP2000274356A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-10-03 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプの再生装置および再生方法 |
JP2005043237A (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-17 | Nok Corp | アウトガス評価装置 |
-
2014
- 2014-09-29 JP JP2014197974A patent/JP6324861B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0278281A (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-19 | Hitachi Ltd | 吸着器付クライオスタツト |
JP2000111185A (ja) * | 1998-09-30 | 2000-04-18 | Aisin Seiki Co Ltd | 極低温装置 |
JP2000274356A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-10-03 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプの再生装置および再生方法 |
JP2005043237A (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-17 | Nok Corp | アウトガス評価装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112825278A (zh) * | 2019-11-20 | 2021-05-21 | 西门子(深圳)磁共振有限公司 | 一种用于磁共振成像设备的低温恒温器构造及磁共振成像设备 |
CN112825278B (zh) * | 2019-11-20 | 2022-12-27 | 西门子(深圳)磁共振有限公司 | 一种用于磁共振成像设备的低温恒温器构造及磁共振成像设备 |
CN115308291A (zh) * | 2022-08-09 | 2022-11-08 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种低温泵用低温板性能测试装置 |
CN115308291B (zh) * | 2022-08-09 | 2023-06-13 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种低温泵用低温板性能测试装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6324861B2 (ja) | 2018-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Ventura et al. | The art of cryogenics: low-temperature experimental techniques | |
US4593530A (en) | Method and apparatus for improving the sensitivity of a leak detector utilizing a cryopump | |
JP4759096B2 (ja) | 透過性評価装置および評価方法 | |
Kwon et al. | Outgassing characteristics of a polycarbonate core material for vacuum insulation panels | |
CN106501125B (zh) | 气体吸附脱附测试装置及测试方法 | |
JP6324861B2 (ja) | クライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置及びそのアウトガス評価方法 | |
JP2016153617A (ja) | クライオポンプシステム、クライオポンプ制御装置、及びクライオポンプ再生方法 | |
Li et al. | Vacuum reliability analysis of parabolic trough receiver | |
JP6351525B2 (ja) | クライオポンプシステム、クライオポンプ制御装置、及びクライオポンプ再生方法 | |
US20220106949A1 (en) | Cryopump and regeneration method of cryopump | |
JP2009002878A (ja) | ガス吸着材料評価装置及びガス吸着材料評価方法 | |
CN114797367A (zh) | 一种吸附剂低温吸附性能测试评估装置及方法 | |
US5343740A (en) | High sensitivity leak detection method and apparatus | |
Feng et al. | Hydrogen adsorption characteristics of Zr57V36Fe7 non-evaporable getters at low operating temperatures | |
KR20170110014A (ko) | 크라이오펌프, 크라이오펌프 흡장가스량 추측장치 및 크라이오펌프 흡장가스량 추측방법 | |
CN105649952A (zh) | 一种真空管道抽空装置及其抽空方法 | |
JP7470624B2 (ja) | 気体捕集装置および気体捕集方法 | |
Zapfe | Leak detection | |
Mishra et al. | Adsorption characteristic study of activated carbons down to 4.5 k | |
Feng et al. | Study on vacuum materials outgassing rate using the method of switching between two pumping paths | |
US5477692A (en) | Metal sponge for cryosorption pumping applications | |
US20190077657A1 (en) | Gas-Loading and Packaging Method and Apparatus | |
KR100778383B1 (ko) | 크라이오 펌프 흡착재의 가스 흡착 특성 측정 장치 및 방법 | |
Cao et al. | Long-life micro vacuum chamber for a micromachined cryogenic cooler | |
Gangradey et al. | Effect of Sorbent Selection and Geometrical Arrangement of Cryopanels on Pumping Speed of Cryopump |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170915 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171003 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171030 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180410 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180411 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6324861 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |