JP2016069636A - 導電性高分子組成物、被覆品、パターン形成方法、及び基板。 - Google Patents
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Abstract
Description
下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有するポリアニリン系導電性高分子(A)とポリアニオン(B)と、アミノ酸(C)とを含有する導電性高分子組成物を提供する。
また本発明は、被加工体上に前記導電性高分子組成物を用いて形成される帯電防止膜が設けられた被覆品を提供する。
また、本発明の導電性高分子組成物を、フォトレジストを用いたリソグラフィー法に適用した場合でも、レジストの不溶化や感度変動等の悪影響を与えず、塗布性に優れているため、特に電子線等を用いたリソグラフィーに好適に用いることができ、高感度、高解像性を有し、パターン形状も良好なレジストパターンを得ることができる。
上述のように、近年半導体素子の製造プロセスにおいても帯電防止膜を適用することが検討されているが、従来の導電性組成物等は組成物中に含まれる酸がレジストに悪影響を与える等の問題があった。
[(A)ポリアニリン系導電性高分子]
本発明の導電性高分子組成物は、(A)成分として下記一般式(1)で表されるポリアニリン系導電性高分子を含む。
しかし、H2Oへの高い分散性、分散液の濾過性、成膜後のH2Oまたはアルカリ現像液に対する剥離性、リソグラフィーにおける低欠陥性、重合の容易さ、保存時の低再凝集性、空気中での安定性の点から、(A)成分としては、ポリアニリン系導電性高分子が選ばれる。
本発明の導電性高分子組成物は、(B)成分としてポリアニオンを含む。本発明の導電性高分子組成物に用いるポリアニオンは、一分子中に複数のアニオン基を有する高分子であり、アニオン基を有する単量体を重合、又はアニオン基を有する単量体とアニオン基を有さない単量体を共重合する方法により得ることができる。これらの単量体は単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。また、アニオン基を有さない高分子を得た後、硫酸、発煙硫酸、スルファミン酸等のスルホン化剤によりスルホン化することにより得ることもできる。さらに、アニオン基を有する高分子をいったん得た後に、さらにスルホン化することにより、アニオン基含量のより多いポリアニオンを得ることもできる。
中でもポリスチレンスルホン酸、ポリ1,1,3,3,3−ペンタフルオロ−2−メタクリロイルオキシプロパン−1−スルホン酸、ポリ1,1−ジフルオロ−2−メタクリロイルオキシエタンスルホン酸を含む共重合体、ポリ1,1,3,3,3−ペンタフルオロ−2−(4−ビニル−ベンゾイルオキシ)−プロパン−1−スルホン酸を含む共重合体、ポリ1,1−ジフルオロ−2−(4−ビニル−ベンゾイルオキシ)−エタンスルホン酸を含む共重合体、ポリジフルオロスルホ酢酸2−メタクリロイルオキシエチルエステル、ポリスルホエチルメタクリレート、ポリ(4−スルホブチルメタクリレート)がより好ましい。
ポリアニリン系導電性高分子とポリアニオンとの複合体は、例えば、ポリアニオンの水溶液又はポリアニオンの水・有機溶媒混合溶液中に、ポリアニリン系導電性高分子の原料となるモノマーを加え、酸化剤を添加し、酸化重合を行うことで得ることができる。ポリアニオンがアルカリ金属塩、アンモニウム塩又はアミン塩等の形態の場合には、あらかじめ硫酸、塩酸、硝酸、リン酸、過塩素酸等の無機酸や有機酸を加えるか陽イオン交換樹脂を用いて溶液を酸形態にすることが好ましい。
細粒化には、高い剪断力を付与できる混合分散機を用いることが好ましい。混合分散機としては、例えば、ホモジナイザ、高圧ホモジナイザ、ビーズミル等が挙げられ、中でも高圧ホモジナイザが好ましい。
高圧ホモジナイザを用いた分散処理としては、例えば、分散処理を施す前の複合体溶液を高圧で対向衝突させる処理、オリフィスやスリットに高圧で通す処理等が挙げられる。
本発明の導電性高分子組成物は、(C)成分としてアミノ酸を含む。
本発明においては、公知のアミノ酸のいずれも用いることができる。
また、アミノ酸は、1種類のみを用いても良いし、2種類以上を混合して用いても良い。
本発明では、基材等の被加工体への濡れ性を上げるため、界面活性剤を添加してもよい。好ましい界面活性剤としては、ノニオン系界面活性剤が挙げられる。具体的には例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンカルボン酸エステル、ソルビタンエステル、ポリオキシエチレンソルビタンエステル、アセチレングリコール等を挙げることができる。
尚、各物性の測定方法及び評価方法は以下の通りである。
下記の実施例および比較例の導電性高分子組成物の調製後、孔径0.5から0.05μmのUPEフィルター(Entegris社製)を用いて濾過を行い、フィルターが目詰まりを起さず濾過できるフィルターの孔径を調べた。下記実施例1〜10及び比較例1〜6において、導電性高分子組成物の濾過を行ったUPEフィルターの通液限界を表1に示す。
実施例1〜10及び比較例1〜6の導電性高分子組成物のpHは、pHメーターD−52(堀場製作所製)を用いて測定した。その結果を表1に示す。
均一膜を形成できたものを○、屈折率の測定はできたが膜にパーティクル由来の欠陥や部分的にストリエーションが発生したものを×として表1に示す。
前記成膜法により得られたレジスト(a)、あるいはレジスト(b)の膜上に、導電性高分子組成物10μLを滴下し、精密恒温器にて90℃、90秒間加熱後、空気中常温下で2分放置した。形成された帯電防止膜を洗浄ビンに入ったイオン交換水で洗い流した。10秒以内に帯電防止膜が剥がれたものを○、10秒超20秒以内に剥がれたものを△、その他評価不能のものについてはその事由を記した。その結果を表1に示す。
水洗剥離性評価後の基板において、帯電防止膜が剥がれた下地のレジスト部分に色の変化が見られないものを○、一部に色の変化が見られるものを△、全体的に色の変化が見られるものを×として表1に示す。
帯電防止膜の表面抵抗率(Ω/□)は、Hiresta−UP MCP−HT450および純正JボックスUタイププローブ MCP−JB03(三菱化学社製)を用いて測定した。その結果を表1に示す。
照射前のレジスト膜の導電性高分子膜からの影響による経時変化を測定した。以下記載の方法で塗設されたレジスト膜および導電性高分子膜の二層膜を電子線描画装置内で成膜直後から7日間、14日間、30日間放置した後、下記のような導電性高分子膜のPEB前剥離プロセスまたはPEB後剥離プロセスによりレジストパターンを得た。レジストおよび導電性高分子膜を成膜後直ちに描画した際の感度に対し、同感度におけるパターン線幅の変動を求めた。
ポジ型化学増幅系レジストである(a)をMARK VIII(東京エレクトロン(株)製、コーターデベロッパークリーントラック)を用いて6インチシリコンウエハー上へスピンコーティングし、ホットプレート上で、110℃で240秒間プリベークして150nmのレジスト膜を調製した。得られたレジスト付きウエハー上に導電性高分子組成物を上記同様、MARK VIIIを用いてスピンコーティングし、ホットプレート上で、90℃で90秒間ベークして導電性高分子膜を調製した。レジスト膜および導電性高分子膜の二層膜が塗設されたウエハーを、塗設直後、7日後、14日後、30日後にそれぞれ以下方法にてレジストパターンを得た。まず、塗設直後のウエハーについて電子線露光装置((株)日立ハイテクノロジーズ製、HL−800D 加速電圧50keV)を用いて露光し、その後、15秒間純水をかけ流して導電性高分子膜を剥離して、110℃で240秒間ベーク(PEB:post exposure bake)を施し、2.38質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシドの水溶液で現像を行った。作製したパターン付きウエハーを上空SEM(走査型電子顕微鏡)で観察し、400nmのラインアンドスペースを1:1で解像する露光量を最適露光量(感度)(μC/cm2)とした。該最適露光量における、最小寸法を解像度とした。また、塗設後に7日、14日、30日経過したウエハーについても同様にレジストパターンを得て、塗設直後のウエハーにおいて400nmのラインアンドスペースを1:1で解像する露光量を最適露光量(感度)(μC/cm2)におけるパターン線幅の変動を測定した。結果を表2に示す。
前記PEB前剥離プロセスと同様にレジスト膜および導電性高分子膜の二層膜が塗設されたウエハーを作製し、塗設後に7日、14日、30日経過したウエハーそれぞれについて、電子線露光後に15秒間純水をかけ流して導電性高分子膜を剥離する工程を経ずに、110℃で240秒間ベーク(PEB:post exposure bake)を施し、2.38質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシドの水溶液で現像を行うことでレジストパターンを得た。塗設直後のウエハーにおいて400nmのラインアンドスペースを1:1で解像する露光量を最適露光量(感度)(μC/cm2)におけるパターン線幅の変動を測定した。結果を表3に示す。
1,000mlのイオン交換水に206gのスチレンスルホン酸ナトリウムを溶解し、80℃で攪拌しながら、予め10mlの水に溶解した1.14gの過硫酸アンモニウム酸化剤溶液を20分間滴下し、この溶液を2時間攪拌した。
これにより得られたスチレンスルホン酸ナトリウム含有溶液に、10質量%に希釈した硫酸を1,000mlと10,000mlのイオン交換水とを添加し、限外ろ過法を用いてポリスチレンスルホン酸含有溶液の約10,000ml溶液を除去し、残液に10,000mlのイオン交換水を加え、限外ろ過法を用いて約10,000ml溶液を除去した。上記の限外ろ過操作を3回繰り返した。
さらに、得られたろ液に約10,000mlのイオン交換水を添加し、限外ろ過法を用いて約10,000ml溶液を除去した。この限外ろ過操作を3回繰り返した。
得られた溶液中の水を減圧除去して、無色の固形状のポリスチレンスルホン酸を得た。
・限外ろ過膜の分画分子量:30K
・クロスフロー式
・供給液流量:3,000ml/分
・膜分圧:0.12Pa
27.3gの2−メトキシアニリンと、53.4gの製造例1で得たポリスチレンスルホン酸を1,000mLの超純水に溶かした溶液とを25℃で混合した。
これにより得られた混合溶液を0℃に保ち、撹拌しながら、200mLの超純水に溶かした45.8gの過硫酸アンモニウムをゆっくり添加し、撹拌して反応させた。
得られた反応液を濃縮後にアセトン4,000mLに滴下し、緑色粉末を得た。この緑色粉末を再度1,000mLの超純水に分散させ、アセトン4,000mLに滴下することで緑色粉末を精製、再晶出させた。この操作を3回繰り返し、得られた緑色粉末を2,000mLの超純水に再分散させ、限外濾過法を用いて約1,000mLの水を除去した。この操作を10回繰り返し、ポリスチレンスルホン酸ドープポリ(2−メトキシアニリン)を得た。
製造例2で得たポリスチレンスルホン酸ドープポリ(2−メトキシアニリン)の粉末11.5g、イオン交換水354g、0.28質量%のL−(+)−Lysine(東京化成工業製)、及び0.05質量%のSURFINOL465(日信化学工業製)を混合し、その後、親水処理をしたUPEフィルターを用いてろ過し、導電性高分子組成物を調製した。
L−(+)−Lysineを0.14質量%に変更した他は、実施例1と同様に導電性高分子組成物を調製した。
L−(+)−Lysineを0.07質量%に変更した他は、実施例1と同様に導電性高分子組成物を調製した。
実施例1〜3で用いたL−(+)−LysineをL−Histidine(東京化成工業製)に変更し、導電性高分子組成物のpHと表面抵抗率の変動を指標として導電性高分子組成物を調製した。L−Histidineの添加量を0.14質量%とした。
実施例1〜3で用いたL−(+)−LysineをL−Histidine(東京化成工業製)に変更し、導電性高分子組成物のpHと表面抵抗率の変動を指標として導電性高分子組成物を調製した。L−Histidineの添加量を0.07質量%とした。
実施例1〜3で用いたL−(+)−LysineをL−Tryptophane(東京化成工業製)に変更し、導電性高分子組成物のpHと表面抵抗率の変動を指標として導電性高分子組成物を調製した。L−Tryptophaneの添加量を0.38質量%とした。
実施例1〜3で用いたL−(+)−LysineをL−Tryptophane(東京化成工業製)に変更し、導電性高分子組成物のpHと表面抵抗率の変動を指標として導電性高分子組成物を調製した。L−Tryptophaneの添加量を0.19質量%とした。
実施例1〜3で用いたL−(+)−LysineをGlycine(東京化成工業製)に変更し、導電性高分子組成物のpHと表面抵抗率の変動を指標として導電性高分子組成物を調製した。Glycineの添加量を0.28質量%とした。
実施例1〜3で用いたL−(+)−LysineをGlycine(東京化成工業製)に変更し、導電性高分子組成物のpHと表面抵抗率の変動を指標として導電性高分子組成物を調製した。Glycineの添加量を0.14質量%とした。
実施例1〜3で用いたL−(+)−LysineをL−Glutamine(東京化成工業製)に変更し、導電性高分子組成物のpHと表面抵抗率の変動を指標として導電性高分子組成物を調製した。L−Glutamineの添加量を0.27質量%とした。
アミノ酸を使用しない他は、実施例1と同様に導電性高分子組成物を調製した。
実施例1〜3で用いたL−(+)−Lysineをアンモニア水(関東化学製28%)に変更し、導電性高分子組成物のpHと表面抵抗率の変動を指標として導電性高分子組成物を調製した。アンモニア水の添加量を0.11質量%とした。
実施例1〜3で用いたL−(+)−LysineをTriisopropanolamine(東京化成工業製)に変更し、導電性高分子組成物のpHと表面抵抗率の変動を指標として導電性高分子組成物を調製した。Triisopropanolamineの添加量を0.35質量%とした。
実施例1〜3で用いたL−(+)−LysineをTriisopropanolamine(東京化成工業製)に変更し、導電性高分子組成物のpHと表面抵抗率の変動を指標として導電性高分子組成物を調製した。Triisopropanolamineの添加量を0.18質量%とした。
実施例1〜3で用いたL−(+)−LysineをPoly(ethyleneimine)水溶液(Aldrich社製水溶液50%)に変更し、導電性高分子組成物のpHと表面抵抗率の変動を指標として導電性高分子組成物を調製した。Poly(ethyleneimine)水溶液の添加量を0.48質量%とした。
実施例1〜3で用いたL−(+)−LysineをPoly(ethyleneimine)水溶液(Aldrich社製水溶液50%)に変更し、導電性高分子組成物のpHと表面抵抗率の変動を指標として導電性高分子組成物を調製した。Poly(ethyleneimine)水溶液の添加量を0.24質量%とした。
一方、アミノ酸未添加の組成物である比較例1は帯電防止効果は優れているものの、pHが低く、組成物中の酸がレジストへ容易に拡散してレジストパターンに悪影響を及ぼした。また、比較例2〜6は本来pH改善に関しては予想がされてはいたものの、導電性高分子組成物を変質させてしまう現象が確認され、変色または沈殿が発生し、また表面抵抗率も上昇したため、電子線レジストの帯電防止膜としてレジスト上に塗布する組成物として機能しなかった。
Claims (13)
- 前記(C)成分が、下記一般式(2)で表されるものであることを特徴とする請求項1に記載の導電性高分子組成物。
- 前記(C)成分として、前記一般式(2)中のLが、ヘテロ原子を有してもよい炭素数2〜10の直鎖状、分岐状又は環状の4価の有機基である化合物を含有するものであることを特徴とする請求項2に記載の導電性高分子組成物。
- 前記(C)成分の含有量が、前記(A)成分と前記(B)成分との複合体100質量部に対して1質量部から50質量部であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の導電性高分子組成物。
- 前記(C)成分の含有量が、前記(A)成分と前記(B)成分との複合体100質量部に対して3質量部から10質量部であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の導電性高分子組成物。
- 前記導電性高分子組成物が、さらにノニオン系界面活性剤を含有するものであることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の導電性高分子組成物。
- 前記ノニオン系界面活性剤の含有量が、前記(A)成分と前記(B)成分との複合体100質量部に対して、1質量部から50質量部であることを特徴とする請求項6に記載の導電性高分子組成物。
- 前記導電性高分子組成物が、帯電防止膜の形成に用いられるものであることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の導電性高分子組成物。
- 被加工体上に請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の導電性高分子組成物を用いて形成される帯電防止膜が設けられたものであることを特徴とする被覆品。
- 前記被加工体は、化学増幅型レジスト膜を備える基板であることを特徴とする請求項9に記載の被覆品。
- 前記被加工体は、電子線をパターン照射してレジストパターンを得るための基板であることを特徴とする請求項10に記載の被覆品。
- 化学増幅型レジスト膜を備える基板の該レジスト膜上に、請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の導電性高分子組成物を用いて帯電防止膜を形成する工程、電子線をパターン照射する工程、及びアルカリ性現像液を用いて現像してレジストパターンを得る工程を含むことを特徴とするパターン形成方法。
- 請求項12に記載のパターン形成方法により得られたレジストパターンを有するものであることを特徴とする基板。
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