JP2016056341A - 硬化性組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、タッチパネル及び表示装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、有機EL表示装置の光取り出し効率の更なる向上やタッチパネルのタッチ検出電極の骨見え防止などを目的として、透明な硬化性組成物の屈折率を調整することが知られている。
屈折率を調整した透明な硬化性組成物としては、酸化金属や、金属アルコキシドを用いた組成物が知られている(例えば、特許文献1参照)。
また、パターニング性能のある屈折率を調整した透明な硬化性組成物としては、特許文献2に記載された組成物が知られている。
本発明が解決しようとする課題は、透明性が高く、面内均一性の高い硬化膜が得られ、印刷適性に優れた硬化性組成物、上記硬化性組成物を硬化させた硬化膜及びその製造方法、並びに、上記硬化膜を有する有機EL表示装置、液晶表示装置、タッチパネル及びタッチパネル表示装置を提供することである。
<1> 成分Aとして、下記a1〜a3よりなる群から選ばれた少なくとも1種と、成分Bとして、硬化性化合物と、成分Cとして、溶剤とを含有し、上記成分Cが、成分C−1として、20℃における粘度が50mPa・s以上200mPa・s以下であり、かつ、表面張力が30mN/m以上41mN/m以下である少なくとも1種の有機溶剤と、成分C−2として、20℃における粘度が50mPa・s未満である少なくとも1種の有機溶剤と、を含有し、上記成分C−1の含有量が、成分Cの総質量に対して20〜95質量%であり、硬化性組成物の20℃における粘度が1mPa・s以上30mPa・s以下であることを特徴とする硬化性組成物、
a1:アルコキシ基を有する、チタン化合物及び/又はジルコニウム化合物、
a2:チタン原子若しくはジルコニウム原子に直結するアルコキシ基を少なくとも1つ有する、チタノキサン、ジルコノキサン及び/又はチタノキサン−ジルコノキサン縮合物、
a3:チタン原子及び/又はジルコニウム原子を含有する金属酸化物。
<3> 成分C−1がターピネオール、ジヒドロターピネオール、4−(アセチルオキシ)−α,α,4−トリメチルシクロヘキサンメタノールアセタート、及び、2−[1−メチル−1−(4−メチル−3−シクロヘキセン−1−イル)エトキシ]エタノールよりなる群から選択される少なくとも1つを含有する、<1>又は<2>に記載の硬化性組成物、
<4> 上記硬化性組成物中の固形分の総量が、硬化性組成物の全質量に対して、2〜15質量%である、<1>〜<3>のいずれか1つに記載の硬化性組成物、
<5> 成分Bが6官能以上の重合性化合物を含有する、<1>〜<4>のいずれか1つに記載の硬化性組成物、
<6> 上記a2が、アルコキシ基を有するチタン化合物、アルコキシ基を有するジルコニウム化合物及びハロゲノ基を有するチタン化合物及びハロゲノ基を有するジルコニウム化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種を、チタン原子及びジルコニウム原子の総モル量1.0モルに対して、0.5〜1.9倍モル当量の水により加水分解縮合させて得られるチタノキサン、ジルコノキサン及び/又はチタノキサン−ジルコノキサン縮合物である、<1>〜<5>のいずれか1つに記載の硬化性組成物、
<7> 成分Aが、上記a2を含む、<1>〜<6>のいずれか1つに記載の硬化性組成物、
<8> 成分Dとして、光重合開始剤を含有する、<1>〜<7>のいずれか1つに記載の硬化性組成物、
工程a:<1>〜<8>のいずれか1項に記載の硬化性組成物を基板上に塗布する塗布工程
工程b:塗布された硬化性組成物から溶剤を除去する溶剤除去工程
工程c:溶剤が除去された硬化性組成物の少なくとも一部を活性光線により露光する露光工程
工程d:硬化性組成物を熱処理する熱処理工程
工程1:<1>〜<8>のいずれか1つに記載の硬化性組成物を基板上に塗布する塗布工程
工程2:塗布された硬化性組成物から溶剤を除去する溶剤除去工程
工程3:溶剤が除去された硬化性組成物の少なくとも一部を活性光線により露光する露光工程
工程4:露光された硬化性組成物を水性現像液により現像する現像工程
工程5:現像された硬化性組成物を熱処理する熱処理工程
<11> <1>〜<8>のいずれか1つに記載の硬化性組成物を硬化してなる硬化膜、
<12> 層間絶縁膜又はオーバーコート膜である、<11>に記載の硬化膜、
<13> 波長550nmにおける屈折率が1.6〜1.9である、<11>又は<12>に記載の硬化膜、
<14> <11>〜<13>のいずれか1つに記載の硬化膜を有する液晶表示装置、
<15> <11>〜<13>のいずれか1つに記載の硬化膜を有する有機EL表示装置、
<16> <11>〜<13>のいずれか1つに記載の硬化膜を有するタッチパネル、
<17> <11>〜<13>のいずれか1つに記載の硬化膜を有するタッチパネル表示装置。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
また、本明細書における化学構造式は、水素原子を省略した簡略構造式で記載する場合もある。
なお、本明細書中において、“(メタ)アクリレート”はアクリレート及びメタクリレートを表し、“(メタ)アクリル”はアクリル及びメタクリルを表し、“(メタ)アクリロイル”はアクリロイル及びメタクリロイルを表す。
本発明において、「a1〜a3よりなる群から選ばれた少なくとも1種」等を、単に「成分A」等ともいう。
また、本発明において、「質量%」と「重量%」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
また、本発明において、好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。
本発明の硬化性組成物(以下、単に「組成物」ともいう。)は、成分Aとして、下記a1〜a3よりなる群から選ばれた少なくとも1種と、成分Bとして、硬化性化合物と、成分Cとして、溶剤とを含有し、上記成分Cが、成分C−1として、20℃における粘度が50mPa・s以上200mPa・s以下であり、かつ、表面張力が30mN/m以上41mN/m以下である少なくとも1種の有機溶剤と、成分C−2として、20℃における粘度が50mPa・s未満である少なくとも1種の有機溶剤と、を含有し、上記成分C−1の含有量が、成分Cの総質量に対して20〜95質量%であり、硬化性組成物の20℃における粘度が1mPa・s以上30mPa・s以下であることを特徴とする。
a1:アルコキシ基を有する、チタン化合物及び/又はジルコニウム化合物、
a2:チタン原子若しくはジルコニウム原子に直結するアルコキシ基を少なくとも1つ有する、チタノキサン、ジルコノキサン及び/又はチタノキサン−ジルコノキサン縮合物、
a3:チタン原子及び/又はジルコニウム原子を含有する金属酸化物。
本発明の硬化性組成物は、視認性改良のための屈折率調整層(インデックスマッチング)や、骨見え防止のための屈折率調整絶縁膜やオーバーコート層等の用途に好適である。
従来は、インデックスマッチング層として、スパッタ系のインデックスマッチング層、例えば、酸化ニオブのスパッタ蒸着層などが用いられてきたが、材料や作製に費用が掛かることから、高屈折率の酸化チタンや酸化ジルコニウムなどの金属酸化物や、チタンアルコキシドやジルコニアアルコキシドなどの金属アルコキシドや、これらの縮合物であるチタノキサンやジルコノキサン等を塗布液として付与して、層を形成する塗布型の検討がされている。
発明者らは鋭意検討した結果、通常の溶剤を用いた塗布液では、乾燥時に白濁面状となり、透明性が悪化したり、ハジキ故障が生じたり、フレキソ印刷やインクジェット印刷で付与した場合に面内分布が生じる等の問題が生じていることが分かった。
本発明者らは、特定の溶剤を組み合わせて使用することにより、透明性が高く、面内均一性の高い硬化膜が得られ、印刷適性に優れた硬化性組成物が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
なお、詳細な効果の発現機構は不明であるが、フレキソ印刷やインクジェット印刷に適した粘度を得るために、アルコール系の高粘度溶剤を使用すると、一般に高粘度溶剤は表面張力が高く、ハジキを生じるという問題があった。また、表面張力が高い溶剤を用いると、乾燥時や乾燥後に基板との相性によってはピンホールが生じるという問題もあった。更に、成分A及び成分Bとの相溶性が低く、乾燥時に相分離を生じて白濁し、透明性が悪化するという問題もあった。本発明では、溶剤として特定の溶剤を組み合わせて使用することで、組成物としての粘度が高く、また、表面張力が低く、更に、乾燥時における相分離及びそれにも伴う白濁の発生が抑制されたものと推定されるが、詳細な効果の発現機構については不明である。
本発明の硬化性組成物がネガ型感光性組成物である場合、成分Bが重合性化合物であることが好ましい。
本発明の硬化性組成物がポジ型感光性組成物である場合、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体及び光酸発生剤を含有することが好ましい。また、本発明の硬化性組成物がポジ型感光性組成物である場合、化学増幅型のポジ型感光性組成物(化学増幅ポジ型感光性組成物)であることが好ましく、また、活性光線に感応する光酸発生剤として1,2−キノンジアジド化合物を使用する、非化学増幅型のポジ型感光性組成物であってもよい。高感度で透明性に優れる点で、化学増幅ポジ型感光性組成物であることが好ましい。
更に、本発明の硬化性組成物がポジ型感光性組成物である場合、露光部を除去後、未露光部を加熱することによって、架橋反応が生じ、硬化することが好ましい。
更に、本発明の硬化性組成物は、得られる硬化物の波長550nmにおける屈折率が1.60以上である硬化性組成物であることが好ましく、得られる硬化物の波長550nmにおける屈折率が1.62以上である硬化性組成物であることがより好ましい。また、得られる硬化物の波長550nmにおける屈折率は、1.90以下であることが好ましく、1.85以下であることがより好ましい。
また、本発明の硬化性組成物は、層間絶縁膜用又はオーバーコート膜用硬化性組成物として好適に用いることができる。
更に、本発明の硬化性組成物は、屈折率調整層用硬化性組成物として好適に用いることができる。
本発明の硬化性組成物は、成分Aとして、下記a1〜a3よりなる群から選ばれた少なくとも1種を含有し、成分Aの含有量が、硬化性組成物の全固形分に対し、40〜80質量%である。
a1:アルコキシ基を有する、チタン化合物及び/又はジルコニウム化合物、
a2:チタン原子若しくはジルコニウム原子に直結するアルコキシ基を少なくとも1つ有する、チタノキサン、ジルコノキサン及び/又はチタノキサン−ジルコノキサン縮合物、
a3:チタン原子及び/又はジルコニウム原子を含有する金属酸化物。
また、当業者であればいうまでもないが、上記a1は、「アルコキシ基を有するチタン化合物及び/又はアルコキシ基を有するジルコニウム化合物」と同義であり、上記a2は、「ハロゲノ基を有するチタン化合物及び/又はハロゲノ基を有するジルコニウム化合物」と同義であり、上記a2は、「チタン原子に直結するアルコキシ基を少なくとも1つ有する、チタノキサン、ジルコニウム原子に直結するアルコキシ基を少なくとも1つ有するジルコノキサン、又は、チタン原子若しくはジルコニウム原子に直結するアルコキシ基を少なくとも1つ有するチタノキサン−ジルコノキサン縮合物」と同義であり、上記a3は、「チタン原子を含有する金属酸化物及び/又はジルコニウム原子を含有する金属酸化物」と同義である。
また、a1として、チタン化合物とジルコニウム化合物とを併用してもよい。
また、成分Aとしては、屈折率及び保存安定性の観点から、a2を少なくとも含むことが好ましい。
成分Aとしては、屈折率及び現像性の観点からは、チタン化合物、チタノキサン、及び、酸化チタンよりなる群から選択されることが好ましく、また、低温硬化性、硬化速度及び安定性の観点からは、ジルコニウム化合物、ジルコノキサン、及び、酸化ジルコニウムよりなる群から選択されることが好ましい。
a1:アルコキシ基を有するチタン化合物及びアルコキシ基を有するジルコニウム化合物としては、チタンモノアルコキシド、チタンジアルコキシド、チタントリアルコキシド、チタンテトラアルコキシド、ジルコニウムモノアルコキシド、ジルコニウムジアルコキシド、ジルコニウムトリアルコキシド、及び、ジルコニウムテトラアルコキシドが挙げられるが、膜物性の観点から、チタンテトラアルコキシド、及び、ジルコニウムテトラアルコキシドが好ましく、チタンテトラアルコキシドがより好ましい。
なお、a1は、アルコキシ基を少なくとも1つ有していればよく、ハロゲノ基やアルキル基等の他の基を有していてもよい。
チタンテトラアルコキシドとしては、下記式a1−1で表されるチタンテトラアルコキシドであることが、膜物性の観点から好ましい。
また、ジルコニウムテトラアルコキシドとしては、下記式a1−2で表されるジルコニウムテトラアルコキシドであることが、膜物性の観点から好ましい。
式a1−2で表されるジルコニウムテトラアルコキシドとしては、以下の具体例に限定はされないが、例えば、ジルコニウムテトラメトキシド、ジルコニウムテトラエトキシド、ジルコニウムテトラn−プロポキシド、ジルコニウムテトライソプロポキシド、ジルコニウムテトラn−ブトキシド、ジルコニウムテトライソブトキシド、ジルコニウムジイソプロポキシジn−ブトキシド、ジルコニウムジt−ブトキシジイソプロポキシド、ジルコニウムテトラt−ブトキシド、ジルコニウムテトライソオクチロキシド、ジルコニウムテトラステアリルアルコキシド等が挙げられる。
これらは、1種単独又は2種類以上混合して用いることができる。
ジルコノキサンは、ポリジルコノキサンとも称され、Zr−O−Zr結合を2以上有する化合物である。また、その製造方法としては、原料をジルコニウムアルコキシドやハロゲン化ジルコニウム等のジルコニウム化合物に変更する以外は、上記チタノキサンの製造方法と同様な方法が挙げられる。
チタノキサン−ジルコノキサン縮合物は、上記チタン化合物及び上記ジルコニウム化合物の両方を使用し、加水分解縮合した縮合物である。また、その製造方法としては、原料としてチタン化合物とジルコニウム化合物とを併用する以外は、上記製造方法と同様な方法が挙げられる。
上記a2は、アルコキシ基を有するチタン化合物、アルコキシ基を有するジルコニウム化合物、ハロゲノ基を有するチタン化合物及びハロゲノ基を有するジルコニウム化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種を、チタン原子及びジルコニウム原子の総モル量1.0モルに対して、0.5〜1.9倍モル当量の水により加水分解縮合させて得られるチタノキサン、ジルコノキサン及び/又はチタノキサン−ジルコノキサン縮合物であることが好ましく、アルコキシ基を有するチタン化合物及びアルコキシ基を有するジルコニウム化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種をチタン原子及びジルコニウム原子の総モル量1.0モルに対して、0.5〜1.9倍モル当量の水により加水分解縮合させて得られるチタノキサン、ジルコノキサン及び/又はチタノキサン−ジルコノキサン縮合物であることがより好ましい。
ハロゲノ基を有するチタン化合物及び/又はハロゲノ基を有するジルコニウム化合物を用いる場合、アルコキシ基を有するチタン化合物及び/又はアルコキシ基を有するジルコニウム化合物と併用するか、ハロゲノ基を有するチタン化合物及びハロゲノ基を有するジルコニウム化合物であり、かつ少なくともアルコキシ基を1つ以上有する化合物を用いるか、又は、水に加えアルコール化合物を添加して加水分解縮合することが好ましい。
ハロゲノ基を有するチタン化合物及びハロゲノ基を有するジルコニウム化合物としては、チタンモノハライド、チタンジハライド、チタントリハライド、チタンテトラハライド、ジルコニウムモノハライド、ジルコニウムジハライド、ジルコニウムトリハライド、及び、ジルコニウムテトラハライドが挙げられるが、膜物性の観点から、チタンテトラハライド、及び、ジルコニウムテトラハライドが好ましく挙げられ、チタンテトラハライドがより好ましい。これらは、1種単独又は2種類以上混合して用いることができる。
得られる膜の機械強度の観点から、上記加水分解縮合に用いられる水の量は、原料におけるチタン原子及びジルコニウム原子の総モル量1.0モルに対して、0.5〜1.9モル当量であることが好ましく、下限としては、膜強度の観点から、0.9モル当量以上が好ましく、1.2モル当量以上がより好ましく、また、上限としては、膜柔軟性の観点から、1.8モル当量以下が好ましく、1.7モル当量以下がより好ましい。
成分Aは、組成物の保存安定性及び膜物性の観点から、チタン原子に直結するアルコキシ基を少なくとも1つ有するチタノキサン(以下、単に「チタノキサン」ともいう。)、ジルコニウム原子に直結するアルコキシ基を少なくとも1つ有するジルコノキサン(以下、単に「ジルコノキサン」ともいう。)、又は、チタン原子若しくはジルコニウム原子に直結するアルコキシ基を少なくとも1つ有するチタノキサン−ジルコノキサン縮合物(以下、単に「チタノキサン−ジルコノキサン縮合物」ともいう。)を含むことが好ましく、チタノキサン又はジルコノキサンを含むことがより好ましく、チタノキサンを含むことが更に好ましい。
また、上記ジルコノキサンは、下記式a2−2で表されるジルコノキサンであることが膜物性の観点から好ましい。
TiαOβ(OR)γ (a2−1)
ZrαOβ(OR)γ (a2−2)
式a2−1及び式a2−2中、Rはそれぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜18のアルキル基、炭素数6〜18のアリール基、又は、炭素数7〜18のアラルキル基を表し、α、β及びγは、下記の条件a’〜c’を満たし、αは正の整数を表し、β及びγは正の数を表す。
a’:200≧α≧2、
b’:1.9α≧β≧1.0α、
c’:γ=4α−2β
a3としては、酸化チタン、酸化ジルコニウム、及び、チタン原子及び/又はジルコニウム原子を含む複合酸化物が例示される。
チタン原子及び/又はジルコニウム原子を含む複合酸化物としては、酸化チタン、チタン複合酸化物、酸化ジルコニウム、ジルコニウム複合酸化物が好ましく、酸化チタン、チタン複合酸化物、又は酸化ジルコニウムがより好ましく、酸化チタン、酸化ジルコニウムが更に好ましく、酸化チタンが特に好ましい。酸化チタンとしては、特に屈折率の高いルチル型が好ましい。これら金属酸化物粒子は、分散安定性付与のために表面を有機材料で処理することもできる。
複合酸化物としては、酸化スズ−酸化チタン複合粒子、酸化ケイ素−酸化チタン複合粒子、酸化スズ−酸化ジルコニウム複合粒子等が例示される。
酸化チタンとしては、特に屈折率の高いルチル型が好ましい。これら金属酸化物粒子は、分散安定性付与のために表面を有機材料で処理することもできる。
また、a3は、適当な分散剤及び溶剤中でボールミル、ロッドミル等の混合装置を用いて混合・分散することにより調製された分散液として使用に供することもできる
本発明の硬化性組成物は成分Bとして硬化性化合物を含有する。
硬化性化合物は、加熱、ラジカル活性種、カチオン活性種、アニオン活性種の少なくともいずれかにより硬化する化合物である。
中でも、エポキシ基を有する化合物、オキセタニル基を有する化合物、下記に説明する重合性化合物、であることが好ましい。
本発明の硬化性組成物がポジ型感光性組成物である場合、硬化性化合物として、エポキシ基を有する化合物、及び/又は、オキセタニル基を有する化合物を含有することが好ましく、分子内に2つ以上のエポキシ基を有する化合物及び/又は分子内に2つ以上のオキセタニル基を有する化合物を含有することがより好ましい。
また、本発明の硬化性組成物がネガ型感光性組成物であり、カチオン活性種により硬化する場合には、重合性化合物としてエポキシ基を有する化合物、及び/又は、オキセタニル基を有する化合物を含有することが好ましく、分子内に2つ以上のエポキシ基を有する化合物及び/又は分子内に2つ以上のオキセタニル基を有する化合物を含有することがより好ましい。
分子内にエポキシ基又はオキセタニル基を有する化合物は加熱により、エポキシ基又はオキセタニル基同士で反応したり、組成物中の酸(カルボン酸など)と反応する。また、カチオン活性種と共存させることで、カチオン重合を起こす。
分子内にエポキシ基を有する化合物の具体例としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、側鎖にエポキシ基を有するアクリル系樹脂等を挙げることができる。
アクリル系樹脂とは、構成単位の70モル%以上が下記構成単位からなるポリマーである。アクリル系樹脂の重量平均分子量は3,000〜300,000であることが好ましく、7,000〜50,000であることがより好ましい。
上記有機基の炭素数は1〜25であることが好ましく、1〜15であることがより好ましい。
これらの中でも、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、側鎖にエポキシ基を有するアクリル系樹脂及び脂肪族エポキシ樹脂がより好ましく挙げられ、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂及び側鎖にエポキシ基を有するアクリル系樹脂が特に好ましく挙げられる。
また、オキセタニル基を含む化合物は、単独で又はエポキシ基を含む化合物と混合して使用することが好ましい。
本発明の硬化性組成物は、成分Bとして下記の重合性化合物を含有することが好ましい。
重合性化合物として特に限定されず、ラジカル重合性化合物、カチオン重合性化合物のいずれを使用してもよいが、硬化性の観点からラジカル重合性化合物であることが好ましい。透明性の観点からカチオン重合性化合物であることが好ましい。
ラジカル重合性化合物としては、エチレン性不飽和基、好ましくは末端エチレン性不飽和基を少なくも1つ有する化合物であれば特に限定されず、公知のエチレン性不飽和化合物から適宜選択して使用される。
これらの中でも、成分Bは、6官能以上の重合性化合物を含むことが好ましく、成分B−1:6官能以上のエチレン性不飽和化合物を含むことがより好ましく、6官能以上のウレタン(メタ)アクリレートを含むことが更に好ましい。
本発明の硬化性組成物は、成分Bとして、成分B−1:6官能以上のエチレン性不飽和化合物を含有することが好ましい。6官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、成分B−1−1:6官能以上のウレタン(メタ)アクリレート、成分B−1−2:その他の6官能以上のエチレン性不飽和化合物が例示される。これらの中でも、成分Bとして、成分B−1−1を含有することが好ましい。
以下、成分B−1−1及び成分B−1−2について説明する。
本発明の硬化性組成物は、成分Bとして、成分B−1−1:6官能以上のウレタン(メタ)アクリレートを含有することが好ましい。
6官能以上のウレタン(メタ)アクリレートにおける(メタ)アクリロキシ基の数は、8以上が好ましく、10以上がより好ましく、12以上が最も好ましい。このような構成とすることにより、本発明の効果がより効果的に発揮される。
また、上記(メタ)アクリロキシ基の数の上限は特に制限はないが、高分子構造でない場合には、50以下であることが好ましく、30以下であることがより好ましく、20以下であることが更に好ましい。
本発明の硬化性組成物は、6官能以上のウレタン(メタ)アクリレートを1種類のみ含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
このような構成とすることにより、本発明の効果がより効果的に発揮される。
6官能以上のウレタン(メタ)アクリレートにおけるウレタン結合の数は、特に制限はないが、1〜30であることが好ましく、1〜20であることがより好ましく、2〜10であることが更に好ましく、2〜5であることが特に好ましく、2又は3であることが最も好ましい。
6官能以上のウレタン(メタ)アクリレートは、6官能以上の脂肪族ウレタン(メタ)アクリレートであることが好ましい。
また、6官能以上のウレタン(メタ)アクリレートは、イソシアヌル環構造を有することが好ましい。
また、6官能以上のウレタン(メタ)アクリレートは、1以上のウレタン結合を有するコア部分と、コア部分に結合し、かつ1以上の(メタ)アクリロキシ基を有する末端部分からなる化合物であることが好ましく、上記コア部分に、2個以上の上記末端部分が結合した化合物であることがより好ましく、上記コア部分に、2〜5個の上記末端部分が結合した化合物であることが更に好ましく、上記コア部分に、2又は3個の上記末端部分が結合した化合物であることが特に好ましい。
また、6官能以上のウレタン(メタ)アクリレートにおける上記末端部分は、下記式Be−1又は式Be−2で表される基であることが好ましい。
また、6官能以上のウレタン(メタ)アクリレートにおける上記コア部分は、下記式Bc−1又は式Bc−2で表される基であることが好ましい。
L1〜L4はそれぞれ独立に、炭素数2〜20のアルキレン基であることが好ましく、炭素数2〜10のアルキレン基であることがより好ましく、炭素数4〜8のアルキレン基であることが更に好ましい。また、上記アルキレン基は、分岐や環構造を有していてもよいが、直鎖アルキレン基であることが好ましい。
また、6官能以上のウレタン(メタ)アクリレートは、式Bc−1又は式Bc−2で表される基と、式Be−1及び式Be−2で表される基より成る群から選ばれた2又は3個の基とが結合した化合物であることが特に好ましい。
本発明において、成分Bとして、成分B−1−2:その他の6官能以上のエチレン性不飽和化合物を含有してもよい。成分B−1−2は、高分子(例えば、分子量2,000以上)であっても、単量体(例えば、分子量2,000未満、好ましくは、分子量100以上2,000未満)であってもよく、単量体が好ましい。
成分B−1−2は(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、例えば、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートが例示される。
本発明の硬化性組成物は、上述の6官能以上のエチレン性不飽和化合物のみならず、6官能未満のエチレン性不飽和化合物を含んでいてもよい。
上記B−2としては、エチレン性不飽和基を6つ未満有する化合物であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、エステル化合物、アミド化合物、ウレタン化合物及びその他の化合物が挙げられる。
エチレン性不飽和基を有する化合物としては、単官能エチレン性不飽和化合物、2〜5官能の多官能エチレン性不飽和化合物のいずれであってもよいが、2〜5官能の多官能エチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、2〜5官能の多官能エチレン性不飽和化合物であることがより好ましい。
また、上記のウレタン化合物としては、イソシアネートと水酸基との付加反応を用いて製造されるウレタン連鎖重合性化合物が例示され、例えば、ペンタエリスリトールトリアクリレートとヘキサメチレンジイソシアネートとのウレタン化物、ペンタエリスリトールトリアクリレートとトルエンジイソシアネートとのウレタン化物、ペンタエリスリトールトリアクリレートとイソホロンジイソシアネートとのウレタン化物、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとヘキサメチレンジイソシアネートとのウレタン化物、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとトルエンジイソシアネートとのウレタン化物、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとイソホロンジイソシアネートとのウレタン化物等が挙げられる。
具体的には、特開2011−126921号公報、特開昭51−37193号公報、特公平2−32293号公報、特公平2−16765号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類が例示され、これらの記載は本願明細書に組み込まれる。
具体的には、1,2−ジビニルベンゼン、1,4−ジビニルベンゼン、1,2−ジアリルベンゼン、1,3−ジアリルベンゼン、1,4−ジアリルベンゼン、1,3,5−トリビニルベンゼン、1,3,5−トリアリルベンゼン、1,2,4,5−テトラアリルベンゼン、へキサアリルベンゼン、ジビニルトルエン、ビスフェノールAジアリルエーテル、1,2−ジアリルオキシベンゼン、1,4−ジアリルオキシベンゼン、テレフタル酸ジアリル、イソフタル酸ジアリル、1,4−ビス(ジメチルビニルシリル)ベンゼン、ジビニルメチルフェニルシラン、ジビニルジフェニルシラン、ジアリルジフェニルシランなどを挙げることができる。
また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル又はアミド類とイソシアネート類又はエポキシ類との付加反応物、及び、単官能又は多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。
また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
単官能エチレン性不飽和化合物としては、特に制限はなく、上記例示した化合物の他、公知の種々の化合物を用いることができ、例えば、特開2009−204962号公報に記載の化合物などを使用してもよい。
本発明の硬化性組成物において、成分Bの含有量は、硬化膜の屈折率と現像性との両立の観点から、硬化性組成物の全固形分に対し、5〜85質量%であることが好ましく、10〜82.5質量%であることがより好ましく、15〜80質量%であることが更に好ましい。
本発明の硬化性組成物は、成分Cとして溶剤を含有し、成分Cが、成分C−1として、20℃における粘度が50mPa・s以上200mPa・s以下であり、かつ、表面張力が30mN/m以上41mN/m以下である少なくとも1種の有機溶剤と、成分C−2として、20℃における粘度が50mPa・s未満である少なくとも1種の有機溶剤と、を含有し、上記成分C−1の含有量が、成分Cの総質量に対して20〜95質量%である。
本発明の硬化性組成物は、必須成分と、後述の任意成分とを、溶剤に溶解又は分散した溶液又は分散液として調製されることが好ましい。
以下、成分C−1及び成分C−2について説明する。
本発明の硬化性組成物は、成分C−1を含有する。成分C−1は、比較的に粘度が高く、また、表面張力が低い有機溶剤である。成分C−1を含有することにより、組成物全体としての粘度を上げながら、低表面張力の組成物が得られる。
成分C−1の20℃における粘度は、80〜200mPa・sであることが好ましい。
成分C−1の粘度は、20℃においてJIS K 2241に従って、デュヌイ表面張力計によって、液面と白金環の張力を鋼線の張りを指度として、測定される。
成分Cの表面張力は、30〜41mN/mであることが好ましく、32〜36mN/mであることがより好ましい。
成分Cの表面張力は、20℃において測定した値であり、具体的には、東機産業(株)製のRE85L型粘度計で、コーン:1°34’×R24を使用し、液温20℃で測定した。
成分C−1の沸点は、塗布性の観点から、100℃〜300℃が好ましく、120℃〜250℃がより好ましく、200℃〜250℃が更に好ましい。
成分C−1の含有量は、成分Cの総質量に対して、20〜95質量%であることが好ましく、50〜95質量%であることがより好ましい。
なお、成分C−1は1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。成分C−1として2種以上を併用する場合には、合計して上記の含有量となればよい。
ターピネオールは、以下のα−、β−、γ−の異性体が存在し、日本香料薬品(株)や、日本テルペン化学(株)から上市されている(粘度54mPa・s、表面張力38mN/m)。
本発明において、成分C−2として、20℃における粘度が50mPa・s未満である有機溶剤を含有する。成分C−2の粘度が50mPa・sを超えると、組成物全体としての粘度が高くなりすぎるため、印刷適性に劣る。
成分C−2の20℃における粘度は、10mPa・s以下であることが好ましく、5mPa・s以下であることがより好ましく、3mPa・s以下であることが更に好ましい。また、その下限は特に限定されないが、0.5mPa・s以上であることが好ましい。
これらの溶剤の中でも、好ましい具体例としては、ブタノール、テトラヒドロフルフリルアルコール、フェノキシエタノール、1,3−ブチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、アセチルアセトン、乳酸エチルを挙げることができ、ブタノール、1,3−ブチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、アセチルアセトン、乳酸エチルが特に好ましく例示される。
成分C−2は、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明の硬化性組成物の20℃における粘度は、5〜30mPa・sであることが好ましく、10〜25mPa・sであることがより好ましく、10〜20mPa・sであることが更に好ましい。
粘度は、例えば、東機産業(株)製のRE−80L型回転粘度計を用いて、20±0.2℃で測定することが好ましい。測定時の回転速度は、5mPa・s未満は1,000〜100rpm、5mPa・s以上10mPa・s未満は50rpm、10mPa・s以上30mPa・s未満は20rpm、30mPa・s以上は10rpmで、それぞれ行うことが好ましい。
本発明において、成分Aとして、a1及び/又はa2を使用する場合には、チタン及び/又はジルコニウム配位性基を有する化合物を含有することが好ましい。
本発明における「チタン及び/又はジルコニウム配位性基」とは、チタン原子及び/又はジルコニウム原子と配位結合を形成可能な基であり、チタン原子又はジルコニウム原子のいずれか1方のみと配位結合を形成可能であってもよいし、チタン原子及びジルコニウム原子の両方と配位結合を形成可能であってもよい。
また、チタン及び/又はジルコニウム配位性基により形成される配位は、単座配位(一座配位)、二座配位、三座配位、及び、四座以上の配位のいずれであってもよいが、上記配位性基は、単座配位又は二座配位の配位性基であることが好ましく、二座配位の配位性基であることがより好ましい。
更に、チタン及び/又はジルコニウム配位性基は、チタン原子及び/又はジルコニウム原子に配位して、チタン原子及び/又はジルコニウム原子上の中性配位子となる基であることが好ましい。
チタン及び/又はジルコニウム配位性基を少なくとも有する化合物が、a1及び/又はa2に配位した場合、配位されたチタン原子又はジルコニウム原子のd軌道のエネルギー準位が***する。よって、エネルギー準位の***を観測することで配位の有無が分かる。
チタン及び/又はジルコニウム配位性基であるか否かを確認する方法としては、配位の有無を観測する方法が挙げられる。具体的な配位の有無の観測方法としては、公知の観測方法を使用でき、例えば、分光学的手法や電子スピン共鳴法(ESR)などが挙げられる。
また、本発明におけるチタン及び/又はジルコニウム配位性基は、組成物の安定性や膜物性の観点から、チタン原子及び/又はジルコニウム原子に酸素原子によって配位可能な基であることが好ましい。
R’の炭素数は、0〜20であることが好ましい。また、R’はそれぞれ独立に、アルキル基、アルコキシ基又はハロゲン原子であることが好ましい。
nbは0又は1であることが好ましく、0であることがより好ましい。
成分Bとして添加する場合、エチレン性不飽和基としては、特に制限はないが、(メタ)アクリロキシ基、(メタ)アクリルアミド基、アリル基、スチリル基、及び、ビニルオキシ基が好ましく挙げられ、(メタ)アクリロキシ基、及び、アリル基がより好ましく挙げられ、(メタ)アクリロキシ基が特に好ましく挙げられる。
チタン及び/又はジルコニウム配位性基並びにエチレン性不飽和基を有する化合物としては、現像性の観点から、1,3−ジケトン構造又はβ−ケトエステル構造を有する(メタ)アクリレート化合物、又は、フタル酸ジエステル構造を有するエチレン性不飽和化合物であることが好ましく、1,3−ジケトン構造又はβ−ケトエステル構造を有する(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。
また、チタン及び/又はジルコニウム配位性基並びにエチレン性不飽和基を有する化合物は、1種単独で使用しても、2種以上を併用してもよい。
上記チタン及び/又はジルコニウム配位性基並びにエチレン性不飽和基を有する化合物としては、硬化膜の耐薬品性の観点から、チタン及び/又はジルコニウム配位性基を有する(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、チタン及び/又はジルコニウム配位性基を有する単官能(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましく、下記に示す化合物であることが更に好ましい。
また、上記フタル酸ジエステル構造を有するエチレン性不飽和化合物としては、フタル酸ジアリルを好ましく例示できる。
上記エチレン性不飽和基を有しないチタン及び/又はジルコニウム配位性基を有する化合物の具体例としては、下記に示す化合物が挙げられる。
本発明の硬化性組成物は、成分Dとして、光重合開始剤を含有することが好ましい。本発明の硬化性組成物が、ネガ型感光性組成物である場合に、光重合開始剤を含有することが特に好ましい。
光重合開始剤としては、光ラジカル重合開始剤を含むことが好ましい。
本発明に用いることができる光重合開始剤は、活性光線により、エチレン性不飽和基を有する化合物等の重合性化合物の重合を開始、促進可能な化合物である。
「活性光線」とは、その照射により成分Dより開始種を発生させることができるエネルギーを付与することができる活性エネルギー線であれば、特に制限はなく、広くα線、γ線、X線、紫外線(UV)、可視光線、電子線などを包含するものである。これらの中でも、紫外線を少なくとも含む光が好ましい。
オキシムエステル化合物は、下記式D−1又は式D−2で表される化合物であることが好ましい。
RD1は、アルキル基、芳香族基又はアルコキシ基を表し、メチル基、エチル基、ベンジル基、フェニル基、ナフチル基、メトキシ基又はエトキシ基が好ましく、メチル基、エチル基、フェニル基又はメトキシ基がより好ましい。
RD2は、水素原子又はアルキル基を表し、水素原子又は置換アルキル基が好ましく、水素原子、Arと共に環を形成する置換アルキル基又はトルエンチオアルキル基がより好ましい。
また、Arは、炭素数4〜20の基であることが好ましく、RD1は、炭素数1〜30の基であることが好ましく、また、RD2は、炭素数1〜50の基であることが好ましい。
を表し、RD4はそれぞれ独立に、アルキル基、フェニル基、アルキル置換アミノ基、アリールチオ基、アルキルチオ基、アルコキシ基、アリールオキシ基又はハロゲン原子を表し、RD5は水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、RD6はアルキル基を表し、n1及びn2はそれぞれ独立に、0〜6の整数を表し、n3は0〜5の整数を表す。
Xは硫黄原子が好ましい。
RD3及びRD4は、芳香環上の任意の位置で結合することができる。
RD4はアルキル基、フェニル基、アルキル置換アミノ基、アリールチオ基、アルキルチオ基、アルコキシ基、アリールオキシ基又はハロゲン原子を表し、アルキル基、フェニル基、アリールチオ基又はハロゲン原子が好ましく、アルキル基、アリールチオ基又はハロゲン原子がより好ましく、アルキル基又はハロゲン原子が更に好ましい。アルキル基としては、炭素数1〜5のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましい。ハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子又はフッ素原子が好ましい。
また、RD4の炭素数は、0〜50であることが好ましく、0〜20であることがより好ましい。
RD5は水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、アルキル基が好ましい。アルキル基としては、炭素数1〜5のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましい。アリール基としては、炭素数6〜10のアリール基が好ましい。
RD6はアルキル基を表し、炭素数1〜5のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましい。
n1及びn2はそれぞれ、式D−3又は式D−4における芳香環上のRD3の置換数を表し、n3は式D−5における芳香環上のRD4の置換数を表す。
n1〜n3はそれぞれ独立に、0〜2の整数であることが好ましく、0又は1であることがより好ましい。
アセトフェノン化合物としては、BASF社製のIRGACURE 127が例示できる。
本発明の硬化性組成物における光重合開始剤の総量は、組成物中の全固形分100質量部に対して、0.5〜30質量部であることが好ましく、1〜20質量部であることがより好ましく、1〜10質量部であることが更に好ましく、2〜5質量部であることが特に好ましい。
本発明の硬化性組成物には、光重合開始剤や後述の光酸発生剤の他に、増感剤を加えることもできる。
増感剤は、活性光線又は放射線を吸収して励起状態となる。励起状態となった増感剤は、成分Dとの相互作用により、電子移動、エネルギー移動、発熱などの作用が生じ、重合を開始・促進できる。
好ましい増感剤の例としては、以下の化合物類に属しており、かつ350nmから450nm域に吸収波長を有する化合物を挙げることができる。多核芳香族類(例えば、ピレン、ペリレン、トリフェニレン、アントラセン、フェナントレン)、キサンテン類(例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンB、ローズベンガル)、キサントン類(例えば、キサントン、チオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン)、シアニン類(例えば、チアカルボシアニン、オキサカルボシアニン)、メロシアニン類(例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン)、ローダシアニン類、オキソノール類、チアジン類(例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー)、アクリジン類(例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン、ベンゾフラビン)、アクリドン類(例えば、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン)、アントラキノン類(例えば、アントラキノン、9,10−ジブトキシアントラセン)、スクアリウム類(例えば、スクアリウム)、スチリル類、ベーススチリル類、クマリン類(例えば、7−ジエチルアミノ−4−メチルクマリン、ケトクマリン)、カルバゾール類(例えば、N−ビニルカルバゾール)、カンファーキノン類、フェノチアジン類。
この他、本発明において用いることができる典型的な増感剤としては、クリベロ〔J. V. Crivello, Adv. in Polymer Sci., 62, 1 (1984)〕に開示されているものが挙げられる。
増感剤の好ましい具体例としては、ピレン、ペリレン、アクリジンオレンジ、チオキサントン、2−クロロチオキサントン、ベンゾフラビン、N−ビニルカルバゾール、9,10−ジブトキシアントラセン、アントラキノン、クマリン、ケトクマリン、フェナントレン、カンファーキノン、フェノチアジン類などを挙げることができる。増感剤は、重合開始剤100質量部に対し、30〜200質量部の割合で添加することが好ましい。
本発明の硬化性組成物は、界面活性剤を含有してもよい。
界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、ノニオン系、又は、両性のいずれでも使用することができるが、好ましい界面活性剤はノニオン系界面活性剤である。また、界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤が好ましく、フッ素系ノニオン界面活性剤がより好ましい。
本発明に用いることができる界面活性剤としては、例えば、市販品である、メガファックF142D、同F172、同F173、同F176、同F177、同F183、同F479、同F482、同F554、同F780、同F781、同F781−F、同R30、同R08、同F−472SF、同BL20、同R−61、同R−90(DIC(株)製)、フロラードFC−135、同FC−170C、同FC−430、同FC−431、Novec FC−4430(住友スリーエム(株)製)、アサヒガードAG7105、70
00、950、7600、サーフロンS−112、同S−113、同S−131、同S−141、同S−145、同S−382、同SC−101、同SC−102、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−106(旭硝子(株)製)、エフトップEF351、同352、同801、同802(三菱マテリアル電子化成(株)製)、フタージェント250(ネオス(株)製)が挙げられる。また、上記以外にも、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄社化学(株)製)、エフトップ(三菱マテリアル電子化成(株)製)、メガファック(DIC(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(旭硝子(株)製)、PolyFox(OMNOVA社製)等の各シリーズを挙げることができる。
式F−1におけるpとqとの和(p+q)は、p+q=100、すなわち、100質量%であることが好ましい。
これら界面活性剤は、1種単独又は2種以上を混合して使用することができる。
本発明の硬化性組成物における界面活性剤の含有量は、配合する場合、硬化性組成物の全固形分中100質量部に対して、0.001〜5.0質量部が好ましく、0.01〜2.0質量部がより好ましい。
本発明の硬化性組成物は、成分Eとして、メルカプト化合物を更に含有することが好ましい。メルカプト化合物を含有することにより、保存安定性により優れ、より高い屈折率の硬化物が得られ、また、硬化物の耐薬品性に優れる。
メルカプト化合物は、分子中に少なくとも1つのメルカプト基(−SH)を有する化合物である。
メルカプト化合物としては、単官能メルカプト化合物及び多官能メルカプト化合物が挙げられ、中でも、感度、保存安定性及び膜物性の観点から、多官能メルカプト化合物が好ましい。
メルカプト化合物におけるメルカプト基は、第一級メルカプト基であっても、第二級メルカプト基であっても、第三級メルカプト基であってもよいが、感度及び耐薬品性の観点から、第一級又は第二級メルカプト基であることが好ましく、第二級メルカプト基であることがより好ましい。また、保存安定性の観点からは、第二級又は第三級メルカプト基であることが好ましく、第二級メルカプト基であることがより好ましい。
本発明に用いることができるメルカプト化合物の分子量は、100〜2,000が好ましく、200〜1,000がより好ましい。
本発明に用いることができるメルカプト化合物におけるメルカプト基の数は、特に制限はないが、1〜20であることが好ましく、2〜10であることがより好ましく、2〜6であることが更に好ましい。
メルカプト化合物としては、経時安定性、溶剤への溶解性の観点からは、単官能メルカプト化合物であることが好ましい。単官能メルカプト化合物としては、分子量100以上の低分子化合物が好ましく、具体的には、分子量80〜1,000であることが好ましく、100〜800が更に好ましい。
また、単官能メルカプト化合物は、感度の観点から、ヘテロ環を有することが好ましく、チアゾール構造を有することがより好ましい。
その他、特開2011−65087号公報の段落0097〜0098に記載の化合物、特開2008−299211号公報の段落0086〜0088に記載の化合物を挙げることができる。
また、メルカプト化合物としては、感度、保存安定性及び膜物性の観点からは、多官能メルカプト化合物であることが好ましい。多官能メルカプト化合物としては、多官能脂肪族メルカプト化合物、多官能芳香族メルカプト化合物等を挙げることができる。
本発明において「多官能メルカプト化合物」とは、メルカプト基を分子内に2個以上有する化合物を意味する。多官能チオール化合物としては、分子量100以上の低分子化合物が好ましく、具体的には、分子量100〜1,500であることが好ましく、150〜1,000がより好ましい。
多官能メルカプト化合物は、メルカプト基を分子内に2〜10個有することが好ましく、2〜6個有することがより好ましい。
脂肪族多官能チオール化合物としては、下記式e−1で表される基を2個以上有する化合物が好ましい。
多官能メルカプト化合物としては、式e−1で表される基を2以上6以下有する化合物が好ましく、2以上4以下有する化合物が更に好ましい。
式e−1中のRにおけるアルキル基としては、直鎖、分岐又は環状のアルキル基であり、炭素数の範囲としては、1〜16が好ましく、1〜10であることがより好ましい。アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、i−プロピル基、ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、へキシル基、2−エチルへキシル基等であり、メチル基、エチル基、プロピル基又はi−プロピル基が好ましい。
Rとしては、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、又は、i−プロピル基が好ましく、メチル基、又は、エチル基がより好ましい。
式e−2中のn価の連結基であるLとしては、例えば−(CH2)m−(mは2〜6の整数を表す。)などの2価の連結基、トリメチロールプロパン残基、−(CH2)p−(pは2〜6の整数を表す。)を3個有するイソシアヌール環などの3価の連結基、ペンタエリスリトール残基などの4価の連結基又は5価の連結基、及び、ジペンタエリスリトール残基などの6価の連結基が挙げられる。
多官能メルカプト化合物の市販品としては、カレンズMT(登録商標)BD1、NR1又はPE1(昭和電工(株)製)、TEMPIC(SC有機化学(株)製)等が挙げられる。
芳香族メルカプト化合物としては、国際公開第2010/050580号の段落0021〜0022に記載の化合物を挙げることができる。このうち、4,4’−チオビスベンゼンチオールが好ましい。
また、メルカプト化合物は、屈折率の観点から、芳香環を有するメルカプト化合物であることが好ましい。
更に、メルカプト化合物は、現像性の観点から、分子内にエステル基、チオエステル基、水酸基、アミド基、エーテル基、チオエーテル基等の極性官能基を有することが好ましい。
メルカプト化合物の含有量は、膜物性の観点から、硬化性組成物の全固形分に対し、0.1〜20質量部が好ましく、0.5〜15質量部がより好ましく、1〜10質量部が更に好ましい。
本発明の組成物は、密着改良剤としてアルコキシシラン化合物を含有してもよい。アルコキシシラン化合物を用いると、本発明の硬化性組成物により形成された膜と基板との密着性を向上させたり、本発明の硬化性組成物により形成された膜と基板とのテーパー角を調整することができる。
本発明の組成物に用いることができるアルコキシシラン化合物は、基材となる無機物、例えば、シリコン、酸化シリコン、窒化シリコン等のシリコン化合物、金、銅、モリブデン、チタン、アルミニウム等の金属と絶縁膜との密着性を向上させる化合物であることが好ましい。具体的には、公知のシランカップリング剤等も有効である。
シランカップリング剤としては、エポキシ基又は(メタ)アクリロキシ基を有するアルコキシシラン化合物が好ましく挙げられる。
シランカップリング剤としては、例えば、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリアルコキシシラン、γ−グリシドキシプロピルジアルコキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリアルコキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルジアルコキシシラン、γ−クロロプロピルトリアルコキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリアルコキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリアルコキシシラン、ビニルトリアルコキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシランが挙げられる。これらのうち、γ−グリシドキシプロピルトリアルコキシシランやγ−メタクリロキシプロピルトリアルコキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシランがより好ましい。
本発明の硬化性組成物に用いることができるアルコキシシラン化合物は、特にこれらに限定することなく、公知のものを使用することができる。
本発明の硬化性組成物がアルコキシシラン化合物を含有する場合、アルコキシシラン化合物の含有量は、硬化性組成物中の全固形分100質量部に対して、0.1〜30質量部が好ましく、0.5〜20質量部がより好ましい。また、成分B100質量部に対して、0.1〜20質量部が好ましく、0.5〜10質量部がより好ましい。
本発明の硬化性組成物は、必要に応じ、架橋剤を含有してもよい。架橋剤を添加することにより、本発明の硬化性組成物により得られる硬化膜をより強固な膜とすることができる。
架橋剤としては、熱によって架橋反応が起こるものであれば制限はなく(ただし、上述した各成分は除く。)、公知の架橋剤を用いることができる。
本発明の硬化性組成物が架橋剤を有する場合、架橋剤の含有量は、硬化性組成物中の全固形分100質量部に対して、0.1〜50質量部であることが好ましく、0.1〜30質量部であることがより好ましく、0.5〜20質量部であることが更に好ましい。この範囲で添加することにより、機械的強度及び耐溶剤性に優れた硬化膜が得られる。異種の架橋剤を複数併用することもでき、その場合は架橋剤を全て合算して含有量を計算する。
本発明の硬化性組成物は、酸化防止剤を含有してもよい。酸化防止剤としては、公知の酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤を添加することにより、硬化膜の着色を防止できる、又は、分解による膜厚減少を低減でき、また、耐熱透明性に優れるという利点がある。
このような酸化防止剤としては、例えば、リン系酸化防止剤、アミド類、ヒドラジド類、ヒンダードアミン系酸化防止剤、イオウ系酸化防止剤、フェノール系酸化防止剤、アスコルビン酸類、硫酸亜鉛、糖類、亜硝酸塩、亜硫酸塩、チオ硫酸塩、ヒドロキシルアミン誘導体などを挙げることができる。これらの中では、硬化膜の着色、膜厚減少の観点から特にフェノール系酸化防止剤(ヒンダードフェノール類)、ヒンダードアミン系酸化防止剤、リン系酸化防止剤(アルキルホスファイト類)、イオウ系酸化防止剤(チオエーテル類)が好ましく、フェノール系酸化防止剤が最も好ましい。これらは1種単独で用いてもよいし、2種以上を混合してもよい。
具体例としては、特開2005−29515号公報の段落0026〜0031に記載の化合物、特開2011−227106号公報の段落0106〜0116に記載の化合物を挙げることができ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
好ましい市販品として、アデカスタブAO−60、アデカスタブAO−80(以上、(株)ADEKA製)、イルガノックス1035、イルガノックス1098、イルガノックス1726、IRGAFOS168(以上、BASF社製)を挙げることができる。
本発明の硬化性組成物は、屈折率や光透過性を調節することを目的として、チタン原子及びジルコニウム原子を含有しない、その他の金属酸化物粒子を含有することができる。金属酸化物粒子の金属には、B、Si、Ge、As、Sb、Te等の半金属も含まれるものとする。
好ましい金属酸化物粒子としては、Be、Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、La、Ce、Gd、Tb、Dy、Yb、Lu、Hf、Nb、Mo、W、Zn、B、Al、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、Bi、Te等の原子を含む酸化物粒子が好ましく、酸化亜鉛、インジウム/スズ酸化物、アンチモン/スズ酸化物がより好ましい。
本発明の硬化性組成物におけるその他の金属酸化物粒子の含有量は、硬化性組成物により得られる光学部材に要求される屈折率や、光透過性等を考慮して、適宜決定すればよいが、本発明の硬化性組成物の全固形分に対して、0〜50質量%とすることが好ましく、1〜40質量%とすることがより好ましく、2〜30質量%とすることが更に好ましい。
本発明の硬化性組成物には、必要に応じて、可塑剤、重合禁止剤、熱酸発生剤、酸増殖剤、バインダーポリマー、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体、光酸発生剤、フルオレン化合物、分散剤、2つ以上の窒素原子を有する複素環化合物等のその他の成分を添加することができる。これらの成分については、例えば、特開2009−98616号公報、特開2009−244801号公報に記載のもの、特開2014−132292号公報段落0203〜0298に記載のもの、国開公開第2014/199967号公報段落0025〜0050に記載のもの、その他公知のものを用いることができる。また、“高分子添加剤の新展開((株)日刊工業新聞社)”に記載の各種紫外線吸収剤や、金属不活性化剤等を本発明の硬化性組成物に添加してもよい。
本発明の硬化性組成物は、重合禁止剤を含有してもよい。
重合禁止剤とは、重合開始剤から発生した重合開始ラジカル成分に対して水素供与(又は、水素授与)、エネルギー供与(又は、エネルギー授与)、電子供与(又は、電子授与)などを実施し、重合開始ラジカルを失活させ、重合開始を禁止する役割をはたす物質である。例えば、特開2007−334322号公報の段落0154〜0173に記載の化合物などを用いることができる。
好ましい化合物として、フェノチアジン、フェノキサジン、ヒドロキノン、3,5−ジブチル−4−ヒドロキシトルエンを挙げることができる。
重合禁止剤の含有量は、特に制限はないが、硬化性組成物の全固形分に対して、0.0001〜5質量%であることが好ましい。
本発明の硬化性組成物は、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体を含有してもよい。
なお、本発明において、「酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位」を「(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位」ともいう。
本発明の硬化性組成物は、下記(1)及び(2)の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分を含有することが好ましい。
(1)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位及び(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体
(2)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体、及び、(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体
本発明の硬化性組成物は、更に、これら以外の重合体を含んでいてもよい。
本発明の硬化性組成物は、硬化後における透明性(ヘイズ)及び未露光部の残膜率の観点からは、上記(1)を満たす成分を含むことが好ましい。なお、本発明においては上記(1)を満たす成分又は上記(2)における(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体は上述の成分Bとして扱うものとする。
上記直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基としては、炭素数1〜12であることが好ましく、炭素数1〜6であることがより好ましく、炭素数1〜4であることが更に好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、ネオペンチル基、n−ヘキシル基、テキシル基(2,3−ジメチル−2−ブチル基)、n−ヘプチル基、n−オクチル基、2−エチルヘキシル基、n−ノニル基、n−デシル基等を挙げることができる。
上記直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基としては、炭素数1〜12であることが好ましく、炭素数1〜6であることがより好ましく、炭素数1〜4であることが更に好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、ネオペンチル基、n−ヘキシル基、テキシル基(2,3−ジメチル−2−ブチル基)、n−ヘプチル基、n−オクチル基、2−エチルヘキシル基、n−ノニル基、n−デシル基等を挙げることができる。
上記環状アルキル基としては、炭素数3〜12であることが好ましく、炭素数4〜8であることがより好ましく、炭素数4〜6であることが更に好ましい。上記環状アルキル基としては、例えばシクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基等を挙げることができる。
上記ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が例示され、これらの中でもフッ素原子又は塩素原子が好ましい。
また、上記アリール基としては、炭素数6〜20のアリール基が好ましく、より好ましくは炭素数6〜12であり、具体的には、フェニル基、α−メチルフェニル基、ナフチル基等が例示でき、アリール基で置換されたアルキル基全体、すなわち、アラルキル基としては、ベンジル基、α−メチルベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基等が例示できる。
上記アルコキシ基としては、炭素数1〜6のアルコキシ基が好ましく、より好ましくは炭素数1〜4であり、メトキシ基又はエトキシ基が更に好ましい。
また、上記アルキル基がシクロアルキル基である場合、上記シクロアルキル基は、置換基として炭素数1〜10の直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基を有していてもよく、アルキル基が直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基である場合には、置換基として炭素数3〜12のシクロアルキル基を有していてもよい。
これらの置換基は、上記置換基で更に置換されていてもよい。
また、R101、R102及びR103は、互いに結合して、それらが結合している炭素原子と一緒になって環を形成することができる。R101とR102、R101とR103、又は、R102とR103が結合した場合の環構造としては、例えばシクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、テトラヒドロフラニル基、アダマンチル基及びテトラヒドロピラニル基等を挙げることができる。
本発明の硬化性組成物は、光酸発生剤を含有してもよい。本発明の硬化性組成物が、ポジ型感光性組成物である場合、光酸発生剤を含有することが好ましい。
本発明で使用される光酸発生剤としては、波長300nm以上、好ましくは波長300〜450nmの活性光線に感応し、酸を発生する化合物が好ましいが、その化学構造に制限されるものではない。また、波長300nm以上の活性光線に直接感応しない光酸発生剤についても、増感剤と併用することによって波長300nm以上の活性光線に感応し、酸を発生する化合物であれば、増感剤と組み合わせて好ましく用いることができる。本発明で使用される光酸発生剤としては、pKaが4以下の酸を発生する光酸発生剤が好ましく、pKaが3以下の酸を発生する光酸発生剤がより好ましく、2以下の酸を発生する光酸発生剤が最も好ましい。
オキシムスルホネート化合物の具体例としては特開2014-122972号公報の段落番号0074〜0102、特開2014−238438号公報の段落番号0103〜0133に記載の化合物に記載の化合物が例示でき、その内容は本明細書に取り込まれる。
本発明の硬化性組成物の調製方法としては、特に制限はなく、公知の方法により調製することができ、例えば、各成分を所定の割合でかつ任意の方法で混合し、撹拌溶解及び/又は分散して硬化性組成物を調製することができる。また、例えば、各成分を、それぞれ予め溶剤に溶解させた溶液とした後、これらを所定の割合で混合して硬化性組成物を調製することもできる。以上のように調製した硬化性組成物は、例えば、孔径0.2μmのフィルター等を用いて濾過した後に、使用することもできる。
本発明の硬化物は、本発明の硬化性組成物を硬化させた硬化物である。また、本発明の硬化物は、硬化膜であることが好ましい。本発明の硬化膜は、本発明の硬化膜の製造方法により得られた硬化膜であることが好ましい。
本発明の硬化膜の製造方法は、本発明の硬化性組成物を硬化させ硬化膜を製造する方法であれば、特に制限はないが、以下の工程a〜工程dをこの順で含むことが好ましい。
工程a:本発明の硬化性組成物を基板上に塗布する塗布工程
工程b:塗布された硬化性組成物から溶剤を除去する溶剤除去工程
工程c:溶剤が除去された硬化性組成物の少なくとも一部を活性光線により露光する露光工程
工程d:硬化性組成物を熱処理する熱処理工程
また、本発明の硬化膜の製造方法は、以下の工程1〜工程5をこの順で含むことが好ましい。
工程1:本発明の硬化性組成物を基板上に塗布する塗布工程
工程2:塗布された硬化性組成物から溶剤を除去する溶剤除去工程
工程3:溶剤が除去された硬化性組成物の少なくとも一部を活性光線により露光する露光工程
工程4:露光された硬化性組成物を水性現像液により現像する現像工程
工程5:現像された硬化性組成物を熱処理する熱処理工程
上記の基板としては、無機基板、樹脂、樹脂複合材料などが挙げられる。
無機基板としては、例えば、ガラス、石英、シリコン、シリコンナイトライド、及び、それらのような基板上にモリブデン、チタン、アルミ、銅などを蒸着した複合基板が挙げられる。
樹脂としては、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアリレート、アリルジグリコールカーボネート樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリベンズアゾール、ポリフェニレンサルファイド、ポリシクロオレフィン、ノルボルネン樹脂、ポリクロロトリフルオロエチレン等のフッ素樹脂、液晶ポリマー、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、アイオノマー樹脂、シアネート樹脂、架橋フマル酸ジエステル、環状ポリオレフィン、芳香族エーテル樹脂、マレイミド−オレフィン共重合体、セルロース、エピスルフィド樹脂等の合成樹脂からなる基板が挙げられる。これらの基板は、上記の形態のまま用いられる場合は少なく、通常、最終製品の形態によって、例えば、TFT素子のような多層積層構造が形成されている。
これらの中でも、本発明の硬化性組成物は、印刷法及びインクジェット法に好適に使用され、特に、スクリーン印刷法及びインクジェット法に好適である。
塗布したときの湿潤膜厚は特に限定されるものではなく、用途に応じた膜厚で塗布することができるが、0.05〜10μmの範囲であることが好ましい。
更に、基板に本発明の硬化性組成物を塗布する前に、特開2009−145395号公報に記載されているような、いわゆる、プリウェット法を適用することも可能である。
なお、上記塗布工程と上記溶剤除去工程とは、この順に行っても、同時に行っても、交互に繰り返してもよい。例えば、上記塗布工程におけるインクジェット塗布が全て終了した後、上記溶剤除去工程を行ってもよいし、基板を加熱しておき、上記塗布工程におけるインクジェット塗布方式による硬化性組成物の吐出を行いながら溶剤除去を行ってもよい。
また、硬化性組成物がポジ型感光性組成物である場合には、活性光線により光酸発生剤から酸を発生させ、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体の保護基を分解して、酸基を有する構成単位を有する重合体とすることで、水性現像液への溶解性を向上させる。
上記露光工程に用いることができる露光光源としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ケミカルランプ、LED光源、エキシマレーザー発生装置などを用いることができ、i線(365nm)、h線(405nm)、g線(436nm)などの波長300nm以上450nm以下の波長を有する活性光線が好ましく使用できる。また、必要に応じて長波長カットフィルター、短波長カットフィルター、バンドパスフィルターのような分光フィルターを通して照射光を調整することもできる。
露光装置としては、ミラープロジェクションアライナー、ステッパー、スキャナー、プロキシミティ、コンタクト、マイクロレンズアレイ、レンズスキャナ、レーザー露光など各種方式の露光装置を用いることができる。
また、上記露光工程における露光量としても、特に制限はないが、1〜3,000mJ/cm2であることが好ましく、1〜500mJ/cm2であることがより好ましい。
上記露光工程における露光は、酸素遮断された状態で行うことが、硬化促進の観点から好ましい。酸素を遮断する手段としては、窒素雰囲気下で露光したり、酸素遮断膜を設けることが例示される。
また、上記露光工程における露光は、溶剤が除去された硬化性組成物の少なくとも一部に行われればよく、例えば、全面露光であっても、パターン露光であってもよい。
また、上記露光工程後に、露光後加熱処理:Post Exposure Bake(以下、「PEB」ともいう。)を行うことができる。PEBを行う場合の温度は、30℃以上130℃以下であることが好ましく、40℃以上120℃以下がより好ましく、50℃以上110℃以下が特に好ましい。
加熱の方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、ホットプレート、オーブン、赤外線ヒーターなどが挙げられる。
また、加熱時間としては、ホットプレートの場合は1分〜30分程度が好ましく、それ以外の場合は20分〜120分程度が好ましい。この範囲で基板、装置へのダメージなく加熱することができる。
現像工程では、パターン状に露光された硬化性組成物を、溶剤やアルカリ性現像液で現像し、パターンを形成する。現像工程で使用する現像液には、塩基性化合物が含まれることが好ましい。塩基性化合物としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属水酸化物類;炭酸ナトリウム、炭酸カリウムなどのアルカリ金属炭酸塩類;重炭酸ナトリウム、重炭酸カリウムなどのアルカリ金属重炭酸塩類;テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、コリンヒドロキシド等のアンモニウムヒドロキシド類等のアンモニウムヒドロキシド類;ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの水溶液を使用することができる。また、上記アルカリ類の水溶液にメタノールやエタノールなどの水溶性有機溶剤や界面活性剤を適当量添加した水溶液を現像液として使用することもできる。
好ましい現像液として、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドの0.4〜2.5質量%水溶液を挙げることができる。
現像液のpHは、好ましくは10.0〜14.0である。現像時間は、好ましくは30〜500秒間であり、また、現像の手法は液盛り法(パドル法)、シャワー法、ディップ法等のいずれでもよい。
現像の後に、リンス工程を行うこともできる。リンス工程では、現像後の基板を純水などで洗うことで、付着している現像液除去、現像残渣除去を行う。リンス方法は公知の方法を用いることができる。例えばシャワーリンスやディップリンスなどを挙げることができる。
パターン露光及び現像については、公知の方法や公知の現像液を用いることができる。例えば、特開2011−186398号公報、特開2013−83937号公報に記載のパターン露光方法及び現像方法を好適に用いることができる。
上記熱処理の温度としては、80℃〜300℃であることが好ましく、100℃〜280℃であることがより好ましく、120℃〜250℃であることが特に好ましい。上記態様であると、成分Aとしてa1及び/又はa2を用いた場合には、成分Aの縮合が適度に生じると推定され、硬化膜の物性により優れる。
また、上記熱処理の時間としては、特に制限はないが、1分〜360分が好ましく、5分〜240分がより好ましく、10分〜120分が更に好ましい。
また、上記本発明の硬化膜の製造方法における光及び/又は熱による硬化は、連続して行ってもよいし、逐次行ってもよい。
また、熱処理を行う際は窒素雰囲気下で行うことにより、透明性をより向上させることもできる。
熱処理工程(ポストベーク)の前に、比較的低温でベークを行った後に熱処理工程を行うこともできる(ミドルベーク工程の追加)。ミドルベークを行う場合は、90〜150℃で1〜60分加熱した後に、200℃以上の高温でポストベークすることが好ましい。また、ミドルベーク、ポストベークを3段階以上の多段階に分けて加熱することもできる。このようなミドルベーク、ポストベークの工夫により、パターンのテーパー角を調整することができる。これらの加熱は、ホットプレート、オーブン、赤外線ヒーターなど、公知の加熱方法を使用することができる。
なお、ポストベークに先立ち、パターンを形成した基板に活性光線により全面再露光(ポスト露光)した後、ポストベークすることにより、成分A同士の縮合反応、及び/又は、露光部分に残存する光重合開始剤から熱分解により開始種を発生させ、架橋工程を促進する触媒として機能すると推定され、膜硬化を促進することができる。ポスト露光工程を含む場合の好ましい露光量としては、100〜3,000mJ/cm2が好ましく、100〜500mJ/cm2が特に好ましい。
本発明の硬化膜や硬化物(以下、硬化膜等ということがある。)は、本発明の硬化性組成物を硬化して得られたものである。
本発明の硬化膜等は、上述したように現像した硬化膜等であっても、現像していない硬化膜等であってもよいが、本発明の効果をより発揮できる現像した硬化膜等であることが好ましい。
本発明の硬化膜等は、屈折率が高く、高い透明性を有するため、マイクロレンズ、光導波路、反射防止膜、太陽電池や有機EL発光素子の光取り込み/取り出し効率改善層、LED用封止材及びLED用チップコート材等の光学部材、有機EL表示装置や液晶表示装置などの表示装置に使用される保護膜や絶縁膜、タッチパネルに使用される配線電極の保護膜として好適に用いることができる。
また、本発明の硬化膜は、液晶表示装置又は有機EL表示装置等におけるカラーフィルターの保護膜、液晶表示装置における液晶層の厚みを一定に保持するためのスペーサー、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)用デバイスの構造部材等にも好適に用いることができる。
中でも、本発明の硬化膜は、表示装置等における層間絶縁膜又はオーバーコート膜として好適である。
タッチ検出電極間の層間絶縁膜や保護膜に使用される場合は、視認性改良の観点から硬化膜の屈折率は電極の屈折率に近いことが好ましく、具体的には波長550nmにおける屈折率が1.60〜1.90であることが好ましく、1.62〜1.85であることがより好ましい。
本発明の液晶表示装置は、本発明の硬化膜を有することを特徴とする。
本発明の液晶表示装置としては、本発明の硬化性組成物を用いて形成される平坦化膜や層間絶縁膜を有すること以外は特に制限されず、様々な構造をとる公知の液晶表示装置を挙げることができる。
例えば、本発明の液晶表示装置が具備するTFT(Thin-Film Transistor)の具体例としては、アモルファスシリコン−TFT、低温ポリシリコン−TFT、酸化物半導体TFT(例えば、インジウムガリウム亜鉛酸化物、いわゆる、IGZO)等が挙げられる。本発明の硬化膜は電気特性に優れるため、これらのTFTに組み合わせて好ましく用いることができる。
また、本発明の液晶表示装置が取りうる液晶駆動方式としてはTN(Twisted Nematic)方式、VA(Vertical Alignment)方式、IPS(In-Plane-Switching)方式、FFS(Fringe Field Switching)方式、OCB(Optically Compensated Bend)方式などが挙げられる。
パネル構成においては、COA(Color Filter on Array)方式の液晶表示装置でも本発明の硬化膜を用いることができ、例えば、特開2005−284291号公報の有機絶縁膜(115)や、特開2005−346054号公報の有機絶縁膜(212)として用いることができる。また、本発明の液晶表示装置が取りうる液晶配向膜の具体的な配向方式としてはラビング配向法、光配向法などが挙げられる。また、特開2003−149647号公報や特開2011−257734号公報に記載のPSA(Polymer Sustained Alignment)技術によってポリマー配向支持されていてもよい。
また、本発明の硬化性組成物及び本発明の硬化膜は、上記用途に限定されず種々の用途に使用することができる。例えば、平坦化膜や層間絶縁膜以外にも、カラーフィルターの保護膜や、液晶表示装置における液晶層の厚みを一定に保持するためのスペーサーや固体撮像素子においてカラーフィルター上に設けられるマイクロレンズ等に好適に用いることができる。
バックライトの光源としては、特に限定されず公知の光源を用いることができる。例えば白色LED、青色・赤色・緑色などの多色LED、蛍光灯(冷陰極管)、有機ELなどを挙げることができる。
また、液晶表示装置は、3D(立体視)型のものとしたり、タッチパネル型のものとしたりすることも可能である。更にフレキシブル型にすることも可能であり、特開2011−145686号公報に記載の第2層間絶縁膜(48)や、特開2009−258758号公報に記載の層間絶縁膜(520)として用いることができる。
本発明の有機EL表示装置は、本発明の硬化膜を有することを特徴とする。
本発明の有機EL表示装置としては、本発明の硬化性組成物を用いて形成される平坦化膜や層間絶縁膜を有すること以外は特に制限されず、様々な構造をとる公知の各種有機EL表示装置や液晶表示装置を挙げることができる。
例えば、本発明の有機EL表示装置が具備するTFT(Thin-Film Transistor)の具体例としては、アモルファスシリコン−TFT、低温ポリシリコン−TFT、酸化物半導体TFT等が挙げられる。本発明の硬化膜は電気特性に優れるため、これらのTFTに組み合わせて好ましく用いることができる。
ガラス基板6上にボトムゲート型のTFT1を形成し、このTFT1を覆う状態でSi3N4からなる絶縁膜3が形成されている。絶縁膜3に、ここでは図示を省略したコンタクトホールを形成した後、このコンタクトホールを介してTFT1に接続される配線2(高さ1.0μm)が絶縁膜3上に形成されている。配線2は、TFT1間、又は、後の工程で形成される有機EL素子とTFT1とを接続するためのものである。
更に、配線2の形成による凹凸を平坦化するために、配線2による凹凸を埋め込む状態で絶縁膜3上に平坦化膜4が形成されている。
平坦化膜4上には、ボトムエミッション型の有機EL素子が形成されている。すなわち、平坦化膜4上に、ITOからなる第一電極5が、コンタクトホール7を介して配線2に接続させて形成されている。また、第一電極5は、有機EL素子の陽極に相当する。
第一電極5の周縁を覆う形状の絶縁膜8が形成されており、この絶縁膜8を設けることによって、第一電極5とこの後の工程で形成する第二電極との間のショートを防止することができる。
更に、図2には図示していないが、所望のパターンマスクを介して、正孔輸送層、有機発光層、電子輸送層を順次蒸着して設け、次いで、基板上方の全面にAlから成る第二電極を形成し、封止用ガラス板と紫外線硬化型エポキシ樹脂を用いて貼り合わせることで封止し、各有機EL素子にこれを駆動するためのTFT1が接続されてなるアクティブマトリックス型の有機EL表示装置が得られる。
本発明のタッチパネルは、絶縁層及び/又は保護層の、全部又は一部が本発明の硬化性組成物の硬化物からなるタッチパネルである。また、本発明のタッチパネルは、透明基板、電極及び絶縁層及び/又は保護層を少なくとも有することが好ましい。
本発明のタッチパネル表示装置は、本発明のタッチパネルを有するタッチパネル表示装置であることが好ましい。本発明のタッチパネルとしては、抵抗膜方式、静電容量方式、超音波方式、電磁誘導方式など公知の方式いずれでもよい。中でも、静電容量方式が好ましい。
静電容量方式のタッチパネルとしては、特開2010−28115号公報に開示されるものや、国際公開第2012/057165号に開示されるものが挙げられる。この他のタッチパネルとしては、いわゆる、インセル型(例えば、特表2012−517051号公報の図5、図6、図7、図8)、いわゆる、オンセル型(例えば、特開2012−43394号公報の図14、国際公開第2012/141148号の図2(b))、OGS型、TOL型、その他の構成(例えば、特開2013−164871号公報の図6)を挙げることができる。
表面張力は、JIS K2241に従い、デュヌイ表面張力計にて20℃で測定した。
東機産業(株)製、RE85L形粘度計(ローター名称;コーン1°、34’×R24)にて測定した。液温は、20℃とした。
(成分A)
・A−1:チタノキサン、B−4、日本曹達(株)製、固形分98質量%
・A−2:チタンテトラn−ブトキシド、和光純薬工業(株)製
・A−3:ジルコノキサン、ZA−65、マツモトファインケミカル(株)製、固形分87%(ブタノール13質量%)
(成分B)
・B−1:ウレタンアクリレート、15官能、U−15HA、新中村化学工業(株)製
・B−2:ウレタンアクリレート、15官能、UA−32P、Kowa(株)製
・B−3:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、DPHA、日本化薬(株)製
・B−4:ペンタエリスリトールテトラアクリレート、A−TMMT、新中村化学工業(株)製
・C−1−1:ターピネオールC(日本テルペン化学(株)製)
・C−1−2:ジヒドロターピネオール(日本テルペン化学(株)製)
・C−1−3:テルソブルブDTO−210(日本テルペン化学(株)製)
・C−1−4:テルソルブTHA−90(日本テルペン化学(株)製)
・C−1−5:テルソルブTHA−70(日本テルペン化学(株)製)
・C−1−6:テルソルブTOE−100(日本テルペン化学(株)製)
・C’−1−1:PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)((株)ダイセル製)
・C’−1−2:ハイソルブEDE(ジエチレングリコールジエチルエーテル)(東邦化学工業(株)製)
・C’−1−3:MEDG(ジエチレングリコールエチルメチルエーテル)(東邦化学工業(株)製)
・C’−1−4:ハイソルブEPH(エチレングリコールモノフェニルエーテル)(東邦化学工業(株)製)
・C’−1−5:テトラヒドロフルフリルアルコール(和光純薬工業(株)製)
・C’−1−6:ジヒドロターピニルメチルエーテル(日本テルペン化学(株)製)
・C’−1−7:テルソルブMTPH(イソボルニルシクロヘキサノール)(日本テルペン化学(株)製)
・C’−1−8:ジヒドロターピニルアセテート(日本テルペン化学(株)製)
(その他)
・C−2−1:ハイソルブEDE(ジエチレングリコールジエチルエーテル、20℃における粘度:1.47mPa・s)(東邦化学工業(株)製)
・C−2−2:アセチルアセトン(20℃における粘度:0.6mPa・s)(和光純薬工業(株)製)
・D−1:イルガキュアーCGI−242(1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタン−1−オンオキシム−O−アセテート、チバスペシャルティケミカルズ社製)
(その他)
・KBM−5103:3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業(株)製
<硬化性組成物の作製>
以下のようにして、調製した。
・A−1:B−4(チタノキサン、日本曹達(株)、固形分98%):2.60部
・B−1:ウレタンアクリレート(U−15HA、15官能、新中村化学工業(株)製):2.16部
・B−2:ウレタンアクリレート(UA−32P、15官能、Kowa(株)製):2.16部
・C−1−1:ターピネオールC(日本テルペン化学(株)製):80部
・C−2−1:ハイソルブEDE(東邦化学工業(株)製):10部
・C−2−2:アセチルアセトン(和光純薬工業(株)製):2.86部
・D−1:IRGACURE OXE−02(BASF社製):0.30部
・F−1:メガファックF−554(パーフルオロアルキル基含有ノニオン界面活性剤、DIC(株)製):0.004部
上記の成分をマグネチックスターラーで1時間撹拌し、孔径0.3μmのポリテトラフルオロエチレン製フィルターで濾過し、実施例1の硬化性組成物を得た。
実施例1のC−1−1を表1に記載の各溶剤に変更し、また、添加量を表1に従って変更した以外は実施例1と同様にして、硬化性組成物を得た。
(実施例7)
実施例2のB−1及びB−2を、それぞれB−3に変更した以外は実施例2と同様にして、硬化性組成物を得た。
実施例4においてA−1の添加量を3.25部に変更した以外は実施例4と同様にして、硬化性組成物を得た。
テルソルブTHA−90の添加量を60部に変更した以外は実施例4と同様にして硬化性組成物を得た。
A−1をA−2に変更した以外は実施例4と同様にして、硬化性組成物を得た。
A−1をA−3に変更し、添加するC−1及びC−2−1の量を表1のように変更した以外は実施例4と同様にして、硬化性組成物を得た。
C−2−2を使用せず、テルソルブTHA−90の添加量を90部に変更した以外は実施例4と同様にして硬化性組成物を得た。
実施例4のB−1及びB−2を、それぞれB−4に変更した以外は実施例4と同様にして、硬化性組成物を得た。
実施例1において、ターピネオールCの添加量を32部に変更し、更に、ハイソルブEDEの添加量を4部に変更した以外は実施例1と同様にして硬化性組成物を得た。
実施例4において、テルソルブTHA−90の添加量を100部に変更し、更に、ハイソルブEDEの添加量を12.5部に変更した以外は実施例4と同様にして硬化性組成物を得た。
KBM−5103を組成物の全固形分量に対し1質量%添加した以外は実施例4と同様にして硬化性組成物を得た。
<酸化チタン分散液1の調製>
下記組成の分散液を調合し、これをジルコニアビーズ(0.3mmφ)17,000部と混合し、ペイントシェーカーを用いて12時間分散を行った。ジルコニアビ−ズ(0.3mmφ)を濾別し、分散液を得た。
・二酸化チタン(石原産業(株)製、商品名:TTO−51(A)、平均一次粒径:10〜30nm):1,875部
・分散剤(DISPERBYK−111、100%品):660部
・溶剤(PGMEA、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート):1,710部
なお、使用した成分は以下の通りである。
TTO−51(A):二酸化チタン、石原産業(株)製、平均一次粒径10〜30nm、表面処理種:Al(OH)3
DISPERBYK−111:リン酸エステル構造を1以上有する高分子分散剤、ビックケミー社製
実施例1のターピネオールCの量を115部に変更し、更に、C−2−1(ハイソルブEDE)の量を115部に変更した以外は、実施例1と同様にして、硬化性組成物を得た。
実施例2のジヒドロターピネオールの量を115部に変更し、更に、C−2−1(ハイソルブEDE)の量を115部に変更した以外は、実施例2と同様にして、硬化性組成物を得た。
実施例3のテルソルブDTO−210の量を115部に変更し、更に、C−2−1(ハイソルブEDE)の量を115部に変更した以外は、実施例3と同様にして、硬化性組成物を得た。
実施例4において、テルソルブTHA−90の添加量を15部に変更し、更に、ハイソウプEDEの添加量を65部に変更した以外は実施例4と同様にして硬化性組成物を得た。
実施例4において、テルソルブTHA−90の添加量を90部に変更し、更に、ハイソルブEDEを添加しなかった以外は実施例4と同様にして硬化性組成物を得た。
作製された硬化性組成物について、以下のようにして評価を行った。評価結果を表2にまとめて示す。
なお、フレキソ印刷による塗布の場合、印刷機としては、フレキソ印刷機(型式A45、ナカン(株)製)を用いた。300mm×400mmのガラス基板(商品名:XG、コーニング社製)上に、アニロックスロール#400を用いて硬化性組成物を印刷した。また、スピンコーターによる塗布の場合は、10cm×10cmのガラス基板(商品名:XG、コーニング社製)を用いた。
インクジェット印刷の場合は、インクジェットプリンタ−(Dimatix社製、DMP−281プリンター)を用いて、10cm×10cmのガラス基板(商品名:XG、コーニング社製)上に硬化性組成物を塗布した。
10cm×10cmのガラス基板(商品名:XG、コーニング社製)上に、硬化性組成物を乾燥膜厚100nmとなるようにスピン塗布し、90℃のオーブンで100秒乾燥(プリベーク)した。得られた基板上の膜を目視により観察し、以下の基準で評価した。白濁がより少ないと、より透明性に優れた膜が得られることを意味する。評価が1又は2であれば実用上問題がなく、1であることがより好ましい。
5:基板全面の乾燥膜が白濁している
4:基板全面の乾燥膜がわずかに白濁している
3:基板の半分程度の乾燥膜がわずかに白濁している
2:基板の一部の乾燥膜がわずかに白濁している
1:乾燥膜の白濁なし
10cm×10cmのガラス基板(商品名:XG、コーニング社製)上に、硬化性組成物を乾燥膜厚100nmとなるようにスピン塗布し、90℃のオーブンで100秒乾燥(プリベーク)した。得られた基板全体において、基板上の膜を目視により観察し、以下の基準で評価した。評価が1又は2であれば実用上問題がなく、1であることがより好ましい。
1:ハジキの発生なし
2:ハジキの発生が1個以上3個未満
3:ハジキの発生が3個以上10個未満
4:ハジキの発生が10個以上
ガラス基板(商品名:XG、コーニング社製)上に、硬化性組成物を乾燥膜厚が100nmとなるようにスピン塗布、フレキソ印刷、インクジェット印刷で塗布し、90℃のオーブンで100秒乾燥(プリベーク)した。その後、全面に超高圧水銀灯を用いて150mJ/cm2の露光(照度は24mW/cm2)をし、その後オーブンにて200℃で30分加熱した。
膜厚の面内分布を64点を測定し、以下のように評価した。
1:面内分布が100nm±5nm以下
2:面内分布が100nm±5nmを超え、100nm±10nm以下
3:面内分布が100nm±10nmを超え、100nm±20nm以下
4:面内分布が100nm±20nmを超える
10cm×10cmのガラス基板(商品名:XG、コーニング社製)上に、硬化性組成物を乾燥膜厚100nmとなるようにスピン塗布し、90℃のオーブンで100秒乾燥(プリベーク)した。その後、全面に超高圧水銀灯を用いて150mJ/cm2の露光(照度は24mW/cm2)をし、その後オーブンにて200℃で30分加熱した。
次いで、N−メチルピロリドン25℃に2分浸漬させ、浸漬前後の膜厚を測定し、膜の残存率を測定した。評価基準を以下に示す。
1:残存率が80%未満
2:残存率が80%以上90%未満
3:残存率が90%以上95%未満
4:残存率が95%以上98%未満
5:残存率が98%以上100%以下
10cm×10cmのガラス基板(商品名:XG、コーニング社製)上に、硬化性組成物を乾燥膜厚100nmとなるようにスピン塗布し、90℃のオーブンで100秒乾燥(プリベーク)した。その後、全面に超高圧水銀灯を用いて150mJ/cm2の露光(照度は24mW/cm2)をし、その後オーブンにて200℃で30分加熱した。JIS K5600−5−4:1999に準拠して、得られた硬化膜の鉛筆硬度を測定した。
10cm×10cmのシリコンウェハ上に、硬化性組成物を乾燥膜厚500nmとなるようにスピン塗布し、90℃のオーブンで100秒乾燥(プリベーク)した。その後、全面に超高圧水銀灯を用いて150mJ/cm2の露光(照度は24mW/cm2)をし、その後オーブンにて200℃で30分加熱した。
エリプソメーターVUV−VASE(ジェー・エー・ウーラム・ジャパン(株)製)を用いて、550nmでの硬化膜の屈折率を測定した。
<酸化チタン分散液2の調製>
下記組成の分散液を調合し、これをジルコニアビーズ(0.3mmφ)100.0部と混合し、ペイントシェーカーを用いて12時間分散を行った。ジルコニアビ−ズ(0.3mmφ)を濾別し、分散液を得た。
・二酸化チタン(石原産業(株)製、商品名:TTO−51(C)、平均一次粒径:10〜30nm):25.0部
・分散剤:25.0部
・溶剤(PGMEA、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート):50.0部
なお、使用した成分は以下の通りである。
・TTO−51(C):二酸化チタン、石原産業(株)製、平均一次粒径10〜30nm、表面処理種:Al(OH)3、ステアリン酸処理あり
・分散剤:下記の化合物1を使用(分子量Mw=13,800、固形分30%PGMEA溶液)
以下の合成例において、以下の略号はそれぞれ以下の化合物を表す。
V−601:ジチル−2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)
GMA:グリシジルメタクリレート
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
メタクリル酸テトラヒドロフラン−2−イル(63.2部(0.405モル当量))、
メタクリル酸(8.2部(0.095モル当量))、
メタクリル酸(3−エチルオキセタン−3−イル)メチル(69部(0.375モル当量))、
メタクリル酸2−ヒドロキシエチル(16.3部、(0.125モル等量))、及び、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)(120部)
の混合溶液を窒素気流下、70℃に加熱した。この混合溶液を撹拌しながら、ラジカル重合開始剤(V−601:ジチル−2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)、和光純薬工業(株)製、12.0部)及びPGMEA(80部)の混合溶液を3.5時間かけて滴下した。滴下が終了してから、70℃で2時間反応させることによりポリマー−1のPGMEA溶液を得た。更にPGMEAを添加して固形分濃度40質量%に調整した。
得られたポリマー−1のゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)は、15,000であった。
2−ナフトール(10g)、クロロベンゼン(30mL)の懸濁溶液に塩化アルミニウム(10.6g)、2−クロロプロピオニルクロリド(10.1g)を添加し、混合液を40℃に加熱して2時間反応させた。氷冷下、反応液に4N HCl水溶液(60mL)を滴下し、酢酸エチル(50mL)を添加して分液した。有機層に炭酸カリウム(19.2g)を加え、40℃で1時間反応させた後、2N HCl水溶液(60mL)を添加して分液し、有機層を濃縮後、結晶をジイソプロピルエーテル(10mL)でリスラリーし、濾過、乾燥してケトン化合物(6.5g)を得た。
得られたケトン化合物(3.0g)、メタノール(30mL)の懸濁溶液に酢酸(7.3g)、50質量%ヒドロキシルアミン水溶液(8.0g)を添加し、加熱還流した。放冷後、水(50mL)を加え、析出した結晶を濾過、冷メタノール洗浄後、乾燥してオキシム化合物(2.4g)を得た。
得られたオキシム化合物(1.8g)をアセトン(20mL)に溶解させ、氷冷下トリエチルアミン(1.5g)、p−トルエンスルホニルクロリド(2.4g)を添加し、室温に昇温して1時間反応させた。反応液に水(50mL)を添加し、析出した結晶を濾過後、メタノール(20mL)でリスラリーし、濾過、乾燥してB−1の化合物(下記の構造)(2.3g)を得た。
なお、B−1の1H−NMRスペクトル(300MHz、CDCl3)は、δ=8.3(d,1H),8.0(d,2H),7.9(d,1H),7.8(d,1H),7.6(dd,1H),7.4(dd,1H)7.3(d,2H),7.1(d,1H),5.6(q,1H),2.4(s,3H),1.7(d,3H)であった。
以下のようにして、調製した。
・A−3:上記の酸化チタン分散液2:3.0部
・K−1:上記ポリマー1溶液:2.5部
・C−1:ターピネオールC(日本テルペン化学(株)製):48.5部
・C−2:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(ダイセル(株)製):45.0部
・L−1:上記の光酸発生剤1:0.075部
・M−1:1−シクロヘキシル−3−(2−モノフォリノエチル)チオウレア(DSP五協フード&ケミカル(株)):0.0007部
・O−1:オグソールPG−100(エポキシ−フルオレン誘導体、大阪ガスケミカル(株)製):0.37部
・O−2:オグソールBPEF(9,9−ビス[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]フルオレン、フルオレン系モノマー、大阪ガスケミカル(株)製):0.29部
・G−1:シルクエストA−187SILANE(γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、モメンティブパフォ−マンスマテリアルズ(株)製):0.065部
・G−2:KBE−846(ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド、信越化学工業(株)製):0.12部
・B−1:セロキサイド2021P(3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ダイセル(株)製):0.022部
・P−1:1,3−ジメチルイミダゾリジン−2−オン(和光純薬工業(株)製:0.056部)
・F−1:メガファックF−554(パーフルオロアルキル基含有ノニオン界面活性剤、DIC(株)製):0.0032部
上記の成分をマグネチックスターラーで1時間撹拌し、孔径0.3μmのポリテトラフルオロエチレン製フィルターで濾過し、実施例21の硬化性組成物を得た。
実施例21のC−1、C−2を表3に記載の各溶剤に変更し、また、添加量を表3に従って変更した以外は実施例21と同様にして、硬化性組成物を得た。
実施例21のC−1、C−2を表3に記載の各溶剤に変更し、更に、表3の組成物固形分になるように溶剤の添加量を変更した以外は実施例21と同様にして、硬化性組成物を得た。
実施例21のC−1、C−2を表3に記載の各溶剤に変更し、更に、表3の組成物固形分になるようにC−1、C−2−1添加量を変更した以外は実施例21と同様にして、硬化性組成物を得た。
実施例21に記載の酸化チタン分散液2の、酸化チタンを下記の酸化ジルコニア(UPE−100(第一稀元素(株))に変更した以外は、酸化チタン分散液2と同様に分散処理を行って酸化ジルコニア分散液を得た。
なお、面内膜厚均一性、耐薬品性、及び、鉛筆硬度の評価については、露光を行わない以外は実施例1と同様にして評価を行った。
図3〜図5に記載のタッチパネルにおいて、上記図4のY(102a)電極を基板111と共に取り囲む絶縁層W(以下、「台座層W」ともいう。)を以下のように形成した以外は、特開2013−97692号公報に記載の方法と同様にして形成し、本発明のタッチパネルを得た。更にそのタッチパネルを用いて、特開2013−97692号公報に従ってタッチパネル付き表示装置を得た。
台座層の形成:実施例4の硬化性組成物を基板上に塗布し、プリベークした後、超高圧水銀灯を用いて露光し、アルカリ水溶液にて現像してパターンを形成し、200℃30分間の加熱処理を行い、台座層Wを形成した。なお、上記台座層はタッチ検出電極間の層間絶縁膜としての機能を有する。
得られた表示装置に対して、駆動電圧を印加したところ、良好な表示特性及びタッチ検出性能を示し、信頼性の高い装置であることが分かった。
図3〜図5に記載のタッチパネルにおいて、上記図4のY(102a)電極を基板111と共に取り囲む絶縁層W(台座層W)、絶縁層112及び保護層113を以下のように形成した以外は、特開2013−97692号公報に記載の方法と同様にして形成し、本発明のタッチパネルを得た。更にそのタッチパネルを用いて、特開2013−97692号公報に従ってタッチパネル付き表示装置を得た。
台座層W、絶縁層112及び保護層113の形成:実施例4の硬化性組成物を基板上にスリット塗布し、プリベークした後、超高圧水銀灯を用いて露光し、アルカリ水溶液にて現像してパターンを形成し、200℃30分間の加熱処理を行い、各層を形成した。
得られた表示装置に対して、駆動電圧を印加したところ、良好な表示特性及びタッチ検出性能を示し、信頼性の高い装置であることが分かった。
Claims (17)
- 成分Aとして、下記a1〜a3よりなる群から選ばれた少なくとも1種と、
成分Bとして、硬化性化合物と、
成分Cとして、溶剤とを含有し、
前記成分Cが、成分C−1として、20℃における粘度が50mPa・s以上200mPa・s以下であり、かつ、表面張力が30mN/m以上41mN/m以下である少なくとも1種の有機溶剤と、成分C−2として、20℃における粘度が50mPa・s未満である少なくとも1種の有機溶剤と、を含有し、
前記成分C−1の含有量が、成分Cの総質量に対して20〜95質量%であり、
硬化性組成物の20℃における粘度が1mPa・s以上30mPa・s以下であることを特徴とする
硬化性組成物。
a1:アルコキシ基を有する、チタン化合物及び/又はジルコニウム化合物、
a2:チタン原子若しくはジルコニウム原子に直結するアルコキシ基を少なくとも1つ有する、チタノキサン、ジルコノキサン及び/又はチタノキサン−ジルコノキサン縮合物、
a3:チタン原子及び/又はジルコニウム原子を含有する金属酸化物。 - 成分Bが重合性化合物である、請求項1に記載の硬化性組成物。
- 成分C−1がターピネオール、ジヒドロターピネオール、4−(アセチルオキシ)−α,α,4−トリメチルシクロヘキサンメタノールアセタート、及び、2−[1−メチル−1−(4−メチル−3−シクロヘキセン−1−イル)エトキシ]エタノールよりなる群から選択される少なくとも1つを含有する、請求項1又は2に記載の硬化性組成物。
- 前記硬化性組成物中の固形分の総量が、硬化性組成物の全質量に対して、2〜15質量%である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 成分Bが6官能以上の重合性化合物を含有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 前記a2が、アルコキシ基を有するチタン化合物、アルコキシ基を有するジルコニウム化合物及びハロゲノ基を有するチタン化合物及びハロゲノ基を有するジルコニウム化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種を、チタン原子及びジルコニウム原子の総モル量1.0モルに対して、0.5〜1.9倍モル当量の水により加水分解縮合させて得られるチタノキサン、ジルコノキサン及び/又はチタノキサン−ジルコノキサン縮合物である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 成分Aが、前記a2を含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 成分Dとして、光重合開始剤を含有する、請求項1〜7のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 少なくとも工程a〜工程dをこの順で含む硬化膜の製造方法。
工程a:請求項1〜8のいずれか1項に記載の硬化性組成物を基板上に塗布する塗布工程
工程b:塗布された硬化性組成物から溶剤を除去する溶剤除去工程
工程c:溶剤が除去された硬化性組成物の少なくとも一部を活性光線により露光する露光工程
工程d:硬化性組成物を熱処理する熱処理工程 - 少なくとも工程1〜工程5をこの順で含む硬化膜の製造方法。
工程1:請求項1〜8のいずれか1項に記載の硬化性組成物を基板上に塗布する塗布工程
工程2:塗布された硬化性組成物から溶剤を除去する溶剤除去工程
工程3:溶剤が除去された硬化性組成物の少なくとも一部を活性光線により露光する露光工程
工程4:露光された硬化性組成物を水性現像液により現像する現像工程
工程5:現像された硬化性組成物を熱処理する熱処理工程 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載の硬化性組成物を硬化してなる硬化膜。
- 層間絶縁膜又はオーバーコート膜である、請求項11に記載の硬化膜。
- 波長550nmにおける屈折率が1.6〜1.9である、請求項11又は12に記載の硬化膜。
- 請求項11〜13のいずれか1項に記載の硬化膜を有する液晶表示装置。
- 請求項11〜13のいずれか1項に記載の硬化膜を有する有機EL表示装置。
- 請求項11〜13のいずれか1項に記載の硬化膜を有するタッチパネル。
- 請求項11〜13のいずれか1項に記載の硬化膜を有するタッチパネル表示装置。
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Cited By (4)
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JP2018072523A (ja) * | 2016-10-27 | 2018-05-10 | Jsr株式会社 | 液晶表示素子及びその製造方法 |
JP2019112555A (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-11 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | 活性エネルギー線硬化性組成物およびそれを用いたインデックスマッチング層および積層体 |
CN110320753A (zh) * | 2018-03-29 | 2019-10-11 | 株式会社田村制作所 | 感光性树脂组合物 |
CN115404030A (zh) * | 2021-05-27 | 2022-11-29 | 双叶电子工业株式会社 | 固化性树脂组合物及有机el元件 |
Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
WO2019160723A1 (en) * | 2018-02-14 | 2019-08-22 | Corning Incorporated | Foldable glass article including an optically transparent polymeric hard-coat and methods of making the same |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012102308A (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-31 | Hyundai Motor Co Ltd | インクジェット印刷用半導体酸化物インク組成物とその製造方法、及びそれを利用した光電変換素子の製造方法 |
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012102308A (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-31 | Hyundai Motor Co Ltd | インクジェット印刷用半導体酸化物インク組成物とその製造方法、及びそれを利用した光電変換素子の製造方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018072523A (ja) * | 2016-10-27 | 2018-05-10 | Jsr株式会社 | 液晶表示素子及びその製造方法 |
JP2022009139A (ja) * | 2016-10-27 | 2022-01-14 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物 |
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JP2019112555A (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-11 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | 活性エネルギー線硬化性組成物およびそれを用いたインデックスマッチング層および積層体 |
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CN110320753A (zh) * | 2018-03-29 | 2019-10-11 | 株式会社田村制作所 | 感光性树脂组合物 |
CN115404030A (zh) * | 2021-05-27 | 2022-11-29 | 双叶电子工业株式会社 | 固化性树脂组合物及有机el元件 |
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