JP2016055365A - 加工装置及び表示システム - Google Patents
加工装置及び表示システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016055365A JP2016055365A JP2014182061A JP2014182061A JP2016055365A JP 2016055365 A JP2016055365 A JP 2016055365A JP 2014182061 A JP2014182061 A JP 2014182061A JP 2014182061 A JP2014182061 A JP 2014182061A JP 2016055365 A JP2016055365 A JP 2016055365A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- troubles
- display
- identification code
- information
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 29
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000010485 coping Effects 0.000 claims description 15
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000013024 troubleshooting Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Controls And Circuits For Display Device (AREA)
Abstract
【課題】トラブルや不具合に対して迅速に対応可能な加工装置を提供する。【解決手段】制御手段(22)は、各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報を記憶する記憶部(22a)と、各手段又は加工の状態を監視するとともに、記憶部に記憶された各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報に基づいて各手段のトラブル又は加工の不具合を検出する監視部(22b)と、監視部で検出した各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報を表示手段(20)に表示させる表示制御部(22c)と、を備え、記憶部には、各手段のトラブル又は加工の不具合への対処方法を含む情報に関連付けられた識別コード(54)が記憶されており、表示制御部は、各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報とともに識別コードを表示手段に表示させる構成とした。【選択図】図2
Description
本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置、及び表示システムに関する。
半導体ウェーハや樹脂基板、光デバイスウェーハ等の被加工物は、切削装置や研削装置、レーザー加工装置等の加工装置で加工される。これらの加工装置は、各部の状態をセンシングするセンサや、オペレータの指示を入力するユーザインタフェース等を備えており、各種センサで得られるセンシング情報や、ユーザインタフェースからの指示情報等に基づいて自動で制御される。
上述のような加工装置で被加工物を加工する際には、加工によって被加工物に発生する不具合が問題となる。そこで、近年では、加工による不具合を適切に検出できるように、被加工物の状態を監視するカメラ(光学センサ)を備えた加工装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
ところで、上述した加工装置で各部のトラブルや加工の不具合が検出された場合、オペレータは、加工装置の取扱説明書を参酌してトラブルや不具合に対応する。しかしながら、取扱説明書に記載された情報の量は膨大であり、発生したトラブルや不具合に関する情報を短時間で探し出すのは困難である。そのため、トラブルや不具合への対応に長時間を要してしまうことがあった。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、トラブルや不具合に対する迅速な対応を可能にした加工装置、及び表示システムを提供することである。
本発明によれば、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、該保持手段と該加工手段とを相対的に移動する移動手段と、該保持手段、該加工手段、及び該移動手段を含む各手段のトラブル又は加工の不具合を表示する表示手段と、制御手段と、を少なくとも含む加工装置であって、該制御手段は、各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報を記憶する記憶部と、各手段又は加工の状態を監視するとともに、該記憶部に記憶された各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報に基づいて各手段のトラブル又は加工の不具合を検出する監視部と、該監視部で検出した各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報を該表示手段に表示させる表示制御部と、を備え、該記憶部には、各手段のトラブル又は加工の不具合への対処方法を含む情報に関連付けられた識別コードが記憶されており、該表示制御部は、各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報とともに該識別コードを該表示手段に表示させることを特徴とする加工装置が提供される。
また、本発明によれば、カメラ及び表示画面を備えた端末装置と、ネットワークを介して該端末装置が接続されるサーバとを備え、該サーバには、前記加工装置の該記憶部に記憶された該識別コードに対応する該対処方法を含む情報が記憶されており、該表示手段に表示された該識別コードを該カメラで撮像し、該端末装置で取得した該識別コードを該サーバに通知することで、該サーバに記憶されている該対処方法を含む情報が該端末装置の該表示画面に表示されることを特徴とする表示システムが提供される。
本発明に係る加工装置では、記憶部に、加工装置を構成する各手段のトラブル又は加工の不具合への対処方法を含む情報に関連付けられた識別コードが記憶されており、表示制御部は、各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報とともに識別コードを表示手段に表示させるので、オペレータは、この識別コードを利用して、トラブル又は不具合への対処方法を含む情報を迅速に取得できる。
また、本発明に係る表示システムでは、加工装置の表示手段に表示された識別コードを端末装置のカメラで撮像し、取得した識別コードをサーバに通知することで、サーバに記憶されている対処方法を含む情報を端末装置の表示画面に表示させるので、トラブル又は不具合への対処方法を含む情報を迅速に表示できる。
このように、本発明によれば、トラブルや不具合に対する迅速な対応を可能にした加工装置、及び表示システムを提供できる。
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係る加工装置(切削装置)の構成例を模式的に示す図であり、図2は、加工装置の構成例を模式的に示すブロック図である。なお、本発明の加工装置は、切削装置に限定されず、レーザー加工装置、研削装置、研磨装置、ウォータージェット加工装置等でも良い。
図1に示すように、加工装置(切削装置)2は、各構造を支持する基台4を備えている。基台4の上方には、基台4を覆うカバー6が設けられている。カバー6の内側には、空間が形成されており、切削ブレードを含む切削ユニット(加工手段)8が収容されている。切削ユニット8は、切削ユニット移動機構(移動手段)10(図2)によって前後方向(Y軸方向、割り出し送り方向)に移動する。
切削ユニット8の下方には、被加工物11を吸引保持するチャックテーブル(保持手段)12が設けられている。チャックテーブル12は、チャックテーブル移動機構(移動手段)14(図2)によって左右方向(X軸方向、加工送り方向)に移動し、回転機構(不図示)によって鉛直軸(Z軸)の周りに回転する。
基台4の角部には、カセットエレベーター16が設けられている。カセットエレベーター16の上面には、複数の被加工物11を収容可能なカセット18が載置される。被加工物11は、例えば、シリコン、サファイア、樹脂等の材料で形成された円形の板状物である。カセットエレベーター16は、昇降可能に構成されており、この被加工物11を搬出、搬入できるように、カセット18の位置を高さ方向(Z軸方向)において調整する。
カバー6の前面6aには、ユーザインタフェースとなるタッチパネル式のモニタ(表示手段)20が設けられている。このモニタ20は、加工装置2の各部を制御する制御装置(制御手段)22と接続されている。
制御装置22は、モニタ20を通じて設定される加工の条件等に基づいて、切削ユニット8、切削ユニット移動機構10、チャックテーブル12、チャックテーブル移動機構14等の動作を制御する。
図2に示すように、制御装置22は、各種の情報を記憶する記憶部22aを含む。記憶部22aには、切削ユニット8、切削ユニット移動機構10、チャックテーブル12、チャックテーブル移動機構14等で発生する可能性のあるトラブルに関する情報、及び被加工物11の加工の際に生じる可能性のある不具合に関する情報が記憶されている。
また、制御装置22は、切削ユニット8、切削ユニット移動機構10、チャックテーブル12、チャックテーブル移動機構14等の状態を監視する監視部22bを含む。この監視部22bには、被加工物11の加工の状態等を検出するセンサ24が接続されており、監視部22bは、上述した各構造の状態とともに被加工物11の加工の状態を監視する。
また、監視部22bは、記憶部22aに記憶されているトラブルに関する情報又は不具合に関する情報と、監視によって得られる情報とを比較して、各構造で発生するトラブル、及び加工の際に生じる不具合を検出する。
トラブル又は不具合が検出されると、監視部22bは、制御装置22内の表示制御部22cにその旨を通知し、表示制御部22cは、トラブル又は不具合の発生を示す情報をモニタ20に表示させる。
従来の加工装置では、トラブルや不具合の発生がモニタに表示されると、オペレータは、加工装置の取扱説明書を参酌することでトラブルや不具合に対応していた。しかしながら、取扱説明書に記載された情報の量は膨大であり、発生したトラブルや不具合に関する情報を短時間で探し出すのは困難である。
そこで、本実施形態の加工装置2では、トラブル又は不具合に関する情報を効率的に取得できるような構成を採用している。具体的には、制御装置22の記憶部22aに、トラブル又は不具合への対処方法を含む情報に関連付けられた識別コードを記憶させている。識別コードは、例えば、一次元コード(バーコード等)、又は二次元コード(QRコード(登録商標)等)である。
監視部22bからトラブル又は不具合の発生が通知されると、表示制御部22cは、トラブル又は不具合の発生を示す情報とともに、このトラブル又は不具合に対応する識別コードをモニタ20に表示させる。
オペレータは、例えば、モニタ20に表示された識別コードを端末装置のカメラで撮像し、取得した識別コードを用いてトラブル又は不具合への対処方法を含む情報を呼び出す。呼び出された情報は、端末装置の画面(表示画面)に表示される。
識別コードに基づき呼び出されるトラブル又は不具合への対処方法を含む情報は、端末装置に記憶されていても良いし、ネットワーク上のサーバに記憶されていても良い。図3は、トラブル又は不具合への対処方法を含む情報をサーバに記憶させた表示システムの構成例を模式的に示す図である。
図3に示すように、本実施形態の表示システム32は、携帯型の端末装置34を備えている。この端末装置34の背面側には、モニタ20に表示される識別コードを撮像するカメラ36が配置されている。一方、端末装置34の正面側には、各種の情報を表示する画面(表示画面)38(図4(B)参照)が設けられている。
端末装置34は、ネットワーク40を介してサーバ42に接続される。ネットワーク40は、例えば、インターネット等のWAN(Wide Area Network)である。ただし、本発明のネットワークはこれに限定されず、企業等の内部に構築されたLAN(Local Area Network)等でも良い。
サーバ42には、トラブル又は不具合への対処方法を含む情報が記憶されている。この対処方法を含む情報は、上述した識別コードに関連付けられている。次に、この表示システム32を用いてトラブル又は不具合への対処方法を含む情報を端末装置34の画面38に表示させる方法について説明する。
図4(A)は、加工装置2のモニタ20に表示される情報の例を模式的に示す図である。トラブル又は不具合が検出されると、加工装置2のモニタ20には、図4(A)に示すように、トラブル又は不具合の発生を示す情報52とともに、このトラブル又は不具合に対応する識別コード54が表示される。なお、図4(A)では、2つの識別コード54がモニタ20に表示されている。
次に、オペレータは、モニタ20に表示された識別コード54を端末装置34のカメラ36で撮像する。そして、端末装置34で取得した識別コード54を、ネットワーク40を介してサーバ42に通知する。
サーバ42は、端末装置34から識別コード54を通知されると、この識別コード54に関連付けられた対処方法を含む情報を端末装置34に送信する。そして、端末装置34は、サーバ42から送信された対処方法を含む情報を画面38に表示させる。
図4(B)は、端末装置34の画面38に表示される情報の例を模式的に示す図である。図4(B)に示すように、画面38には、対処方法を説明する文字情報56と、対処方法を説明する画像情報58とが表示される。なお、画像情報58には、写真等の静止画と映像等の動画とが含まれる。オペレータは、画面38に表示された文字情報56及び画像情報58を参酌することで、トラブルや不具合に対して迅速に対応できる。
以上のように、本実施形態に係る加工装置(切削装置)2では、記憶部22aに、加工装置2を構成する各構造(各手段)のトラブル又は加工の不具合への対処方法を含む情報に関連付けられた識別コード54が記憶されており、表示制御部22cは、トラブル又は不具合の発生を示す情報52(各構造のトラブル又は加工の不具合に関する情報)とともに識別コード54をモニタ(表示手段)20に表示させるので、オペレータは、この識別コード54を利用して、トラブル又は不具合への対処方法を含む情報を迅速に取得できる。
また、本実施形態に係る表示システム32では、加工装置2のモニタ20に表示された識別コード54を端末装置34のカメラ36で撮像し、取得した識別コード54をサーバ42に通知することで、サーバ42に記憶されている対処方法を含む情報を端末装置の画面(表示画面)38に表示させるので、オペレータは、トラブル又は不具合への対処方法を含む情報を迅速に取得できる。
よって、本実施形態に係る加工装置2及び表示システム32によれば、トラブルや不具合に対する迅速な対応が可能である。なお、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
2 加工装置(切削装置)
4 基台
6 カバー
8 切削ユニット(加工手段)
10 切削ユニット移動機構(移動手段)
12 チャックテーブル(保持手段)
14 チャックテーブル移動機構(移動手段)
16 カセットエレベーター
18 カセット
20 モニタ(表示手段)
22 制御装置(制御手段)
22a 記憶部
22b 監視部
22c 表示制御部
24 センサ
32 表示システム
34 端末装置
36 カメラ
38 画面(表示画面)
40 ネットワーク
42 サーバ
52 トラブル又は不具合の発生を示す情報
54 識別コード
56 対処方法を説明する文字情報
58 対処方法を説明する画像情報
11 被加工物
4 基台
6 カバー
8 切削ユニット(加工手段)
10 切削ユニット移動機構(移動手段)
12 チャックテーブル(保持手段)
14 チャックテーブル移動機構(移動手段)
16 カセットエレベーター
18 カセット
20 モニタ(表示手段)
22 制御装置(制御手段)
22a 記憶部
22b 監視部
22c 表示制御部
24 センサ
32 表示システム
34 端末装置
36 カメラ
38 画面(表示画面)
40 ネットワーク
42 サーバ
52 トラブル又は不具合の発生を示す情報
54 識別コード
56 対処方法を説明する文字情報
58 対処方法を説明する画像情報
11 被加工物
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、該保持手段と該加工手段とを相対的に移動する移動手段と、該保持手段、該加工手段、及び該移動手段を含む各手段のトラブル又は加工の不具合を表示する表示手段と、制御手段と、を少なくとも含む加工装置であって、
該制御手段は、各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報を記憶する記憶部と、各手段又は加工の状態を監視するとともに、該記憶部に記憶された各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報に基づいて各手段のトラブル又は加工の不具合を検出する監視部と、該監視部で検出した各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報を該表示手段に表示させる表示制御部と、を備え、
該記憶部には、各手段のトラブル又は加工の不具合への対処方法を含む情報に関連付けられた識別コードが記憶されており、
該表示制御部は、各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報とともに該識別コードを該表示手段に表示させることを特徴とする加工装置。 - カメラ及び表示画面を備えた端末装置と、ネットワークを介して該端末装置が接続されるサーバとを備え、
該サーバには、請求項1に記載された加工装置の該記憶部に記憶された該識別コードに対応する該対処方法を含む情報が記憶されており、
該表示手段に表示された該識別コードを該カメラで撮像し、該端末装置で取得した該識別コードを該サーバに通知することで、該サーバに記憶されている該対処方法を含む情報が該端末装置の該表示画面に表示されることを特徴とする表示システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014182061A JP2016055365A (ja) | 2014-09-08 | 2014-09-08 | 加工装置及び表示システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014182061A JP2016055365A (ja) | 2014-09-08 | 2014-09-08 | 加工装置及び表示システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016055365A true JP2016055365A (ja) | 2016-04-21 |
Family
ID=55756958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014182061A Pending JP2016055365A (ja) | 2014-09-08 | 2014-09-08 | 加工装置及び表示システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016055365A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019054096A (ja) * | 2017-09-14 | 2019-04-04 | 株式会社ディスコ | 加工装置及び加工装置の使用方法 |
EP3640401A1 (en) | 2015-09-16 | 2020-04-22 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Excavator |
JP2020149089A (ja) * | 2019-03-11 | 2020-09-17 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2021005751A (ja) * | 2019-06-25 | 2021-01-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 監視システムおよび監視方法 |
JP2021005633A (ja) * | 2019-06-26 | 2021-01-14 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
WO2022244068A1 (ja) * | 2021-05-17 | 2022-11-24 | 株式会社ニデック | 状態管理プログラムおよび状態管理方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5754049A (ja) * | 1980-09-13 | 1982-03-31 | Okuma Howa Kikai Kk | Dosaijofutsukihohooyobishudanojusurukosakukikai |
JPS63245356A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-12 | Hitachi Seiki Co Ltd | 工作機械の故障通報装置 |
JPH11119815A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-04-30 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | Nc工作機械の故障診断方法及び装置 |
JP2009140204A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Seiko Epson Corp | エラー管理システム、および画像表示装置 |
JP2011066233A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
-
2014
- 2014-09-08 JP JP2014182061A patent/JP2016055365A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5754049A (ja) * | 1980-09-13 | 1982-03-31 | Okuma Howa Kikai Kk | Dosaijofutsukihohooyobishudanojusurukosakukikai |
JPS63245356A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-12 | Hitachi Seiki Co Ltd | 工作機械の故障通報装置 |
JPH11119815A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-04-30 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | Nc工作機械の故障診断方法及び装置 |
JP2009140204A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Seiko Epson Corp | エラー管理システム、および画像表示装置 |
JP2011066233A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3640401A1 (en) | 2015-09-16 | 2020-04-22 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Excavator |
JP2019054096A (ja) * | 2017-09-14 | 2019-04-04 | 株式会社ディスコ | 加工装置及び加工装置の使用方法 |
JP2020149089A (ja) * | 2019-03-11 | 2020-09-17 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2021005751A (ja) * | 2019-06-25 | 2021-01-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 監視システムおよび監視方法 |
JP7340799B2 (ja) | 2019-06-25 | 2023-09-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 監視システムおよび監視方法 |
JP2021005633A (ja) * | 2019-06-26 | 2021-01-14 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP7408306B2 (ja) | 2019-06-26 | 2024-01-05 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
WO2022244068A1 (ja) * | 2021-05-17 | 2022-11-24 | 株式会社ニデック | 状態管理プログラムおよび状態管理方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2016055365A (ja) | 加工装置及び表示システム | |
JP6935168B2 (ja) | 加工装置 | |
TWI786272B (zh) | 加工裝置的控制方法及半導體加工系統 | |
JP6285578B2 (ja) | 画像処理装置、実装処理システム、画像処理方法及びプログラム | |
JP2011110628A (ja) | ロボット制御システムおよびロボット制御方法 | |
JP2007163380A (ja) | 目視検査作業管理システム | |
JP2021052144A (ja) | ウエーハの加工方法、及びウエーハの加工装置 | |
JP6108806B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2021027071A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2009278029A (ja) | ダイシング装置 | |
JP2018041136A (ja) | 加工装置及びその作動方法 | |
JP6566719B2 (ja) | 加工装置 | |
JP6594971B2 (ja) | 部品実装ラインの生産管理システム | |
JP6004761B2 (ja) | ダイシング方法 | |
JP2013145422A (ja) | 作業検知システムの設定方法及びそれを用いた作業検知システム | |
JP6918421B2 (ja) | 加工装置及び加工装置の使用方法 | |
JP2017177298A (ja) | 基板処理装置の異常検出システム及び方法 | |
JP6964945B2 (ja) | 加工方法 | |
CN112213328A (zh) | 晶片检查装置 | |
JP6703463B2 (ja) | 調整方法及び装置 | |
JP6558948B2 (ja) | 加工装置 | |
JP6689542B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2017159201A (ja) | ワーク洗浄装置、及びワーク洗浄方法 | |
JP2020071703A (ja) | 加工装置及び加工方法 | |
JP2020077668A (ja) | 加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170713 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180522 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20181113 |