JP2016051778A - 金属−セラミックス接合基板 - Google Patents
金属−セラミックス接合基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016051778A JP2016051778A JP2014175668A JP2014175668A JP2016051778A JP 2016051778 A JP2016051778 A JP 2016051778A JP 2014175668 A JP2014175668 A JP 2014175668A JP 2014175668 A JP2014175668 A JP 2014175668A JP 2016051778 A JP2016051778 A JP 2016051778A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- substrate
- ceramic
- ceramic bonding
- bonding substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Description
まず、セラミックス基板として39mm×32mm×0.38mmの大きさの窒化アルミニウム基板を用意した。なお、この窒化アルミニウム基板(試験片)について、JIS R1601(ファインセラミックスの曲げ強さ試験方法)に準拠して、3点曲げ(抗折)試験を支点間距離30mmで行って、試験片が破壊したときの最大荷重から、3点曲げ強度(試験片を一定距離に配置された2支点上に置き、支点間の中央の一点に荷重を加えて破壊したときの最大曲げ応力)を算出したところ、3点曲げ強度は534MPaであり、そのとき(破壊時)のたわみ量(最大たわみ量)は647(μm/30mm)であった。
セラミックス基板として36mm×30mm×0.4mmの大きさの窒化アルミニウム基板(TDパワーマテリアル株式会社製)を使用した以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス接合基板を作製した。なお、本実施例で使用した窒化アルミニウム基板について、実施例1と同様の方法により、3点曲げ強度と最大たわみ量を測求めたところ、それぞれ534MPa、647(μm/30mm)であった。
セラミックス基板として36mm×30mm×0.4mmの大きさの窒化アルミニウム基板を使用した以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス接合基板を作製した。なお、本実施例で使用した窒化アルミニウム基板について、実施例1と同様の方法により、3点曲げ強度と最大たわみ量を求めたところ、それぞれ542MPa、615(μm/30mm)であった。
セラミックス基板として36mm×30mm×0.37mmの大きさの窒化アルミニウム基板(TDパワーマテリアル株式会社製)を使用した以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス接合基板を作製した。なお、本実施例で使用した窒化アルミニウム基板について、実施例1と同様の方法により、3点曲げ強度と最大たわみ量を求めたところ、それぞれ534MPa、647(μm/30mm)であった。
セラミックス基板として36mm×30mm×0.37mmの大きさの窒化アルミニウム基板を使用した以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス接合基板を作製した。なお、本実施例で使用した窒化アルミニウム基板について、実施例1と同様の方法により、3点曲げ強度と最大たわみ量を求めたところ、それぞれ542MPa、615(μm/30mm)であった。
セラミックス基板として55mm×39mm×0.37mmの大きさの窒化アルミニウム基板(TDパワーマテリアル株式会社製)を使用し、金属板として55mm×39mm×0.3mmの大きさの銅板を使用した以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス接合基板を作製した。なお、本比較例で使用した窒化アルミニウム基板について、実施例1と同様の方法により、3点曲げ強度と最大たわみ量を求めたところ、それぞれ534MPa、647(μm/30mm)であった。
セラミックス基板として55mm×39mm×0.37mmの大きさの窒化アルミニウム基板を使用し、金属板として55mm×39mm×0.3mmの大きさの銅板を使用した以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス接合基板を作製した。なお、本比較例で使用した窒化アルミニウム基板について、実施例1と同様の方法により、3点曲げ強度と最大たわみ量を求めたところ、それぞれ542MPa、615(μm/30mm)であった。
セラミックス基板として53mm×39mm×0.37mmの大きさの窒化アルミニウム基板(TDパワーマテリアル株式会社製)を使用し、金属板として53mm×39mm×0.3mmの大きさの銅板を使用した以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス接合基板を作製した。なお、本比較例で使用した窒化アルミニウム基板の窒化アルミニウム基板について、実施例1と同様の方法により、3点曲げ強度と最大たわみ量を求めたところ、それぞれ534MPa、647(μm/30mm)であった。
セラミックス基板として53mm×39mm×0.37mmの大きさの窒化アルミニウム基板を使用し、金属板として53mm×39mm×0.3mmの大きさの銅板を使用した以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス接合基板を作製した。なお、本比較例で使用した窒化アルミニウム基板について、実施例1と同様の方法により、3点曲げ強度と最大たわみ量を求めたところ、それぞれ542MPa、615(μm/30mm)であった。
窒化アルミニウム基板の両面に銅板を接合した後に、銅板の表面にNi−Pめっきを施した以外は、比較例4と同様の方法により、金属−セラミックス接合基板を作製した。
セラミックス基板として52mm×28mm×0.635mmの大きさの窒化アルミニウム基板を使用した以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス接合基板を作製した。なお、本比較例で使用した窒化アルミニウム基板について、実施例1と同様の方法により、3点曲げ強度と最大たわみ量を求めたところ、それぞれ550MPa、430(μm/30mm)であった。
12 ろう材
14 金属回路板
16 放熱用金属板
Claims (7)
- 窒化アルミニウムからなるセラミックス基板の各々の面に金属板として銅板または銅合金板が接合された金属−セラミックス接合基板において、セラミックス基板の厚さが0.25〜0.45mm、金属板の厚さが0.20〜0.28mmであることを特徴とする、金属−セラミックス接合基板。
- 前記金属板がろう材を介して前記セラミックス基板に接合されていることを特徴とする、請求項1に記載の金属−セラミックス接合基板。
- 前記金属板の一方が回路用金属板であり、この回路用金属板の厚さが他方の金属板の厚さ以上であることを特徴とする、請求項1または2に記載の金属−セラミックス接合基板。
- 前記セラミックス基板の3点曲げ強度が500MPa以上であることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれかに記載の金属−セラミックス接合基板。
- 前記金属−セラミックス接合基板の3点曲げ強度が500MPa以上であり、最大たわみ量が450(μm/30mm)以上であることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれかに記載の金属−セラミックス接合基板。
- 前記金属−セラミックス接合基板に対して室温から20分間で380℃まで昇温させて10分間保持した後に5分間で室温に戻す通炉処理を3回繰り返した後の前記金属−セラミックス接合基板の3点曲げ強度が400MPa以上であり、最大たわみ量が400(μm/30mm)以上であることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれかに記載の金属−セラミックス接合基板。
- 前記金属−セラミックス接合基板に対して室温から20分間で380℃まで昇温させて10分間保持した後に5分間で室温に戻す通炉処理を繰り返したときの前記金属−セラミックス接合基板の通炉耐量が10回以上であることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれかに記載の金属−セラミックス接合基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014175668A JP2016051778A (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 金属−セラミックス接合基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014175668A JP2016051778A (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 金属−セラミックス接合基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016051778A true JP2016051778A (ja) | 2016-04-11 |
Family
ID=55659081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014175668A Pending JP2016051778A (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 金属−セラミックス接合基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016051778A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108155103A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-06-12 | 天津荣事顺发电子有限公司 | 一种氮化铝陶瓷覆铜基板及其制备方法 |
WO2018163864A1 (ja) | 2017-03-07 | 2018-09-13 | 三菱マテリアル株式会社 | ヒートシンク付パワーモジュール用基板 |
WO2018163865A1 (ja) | 2017-03-07 | 2018-09-13 | 三菱マテリアル株式会社 | ヒートシンク付パワーモジュール用基板 |
JP2020032463A (ja) * | 2018-08-22 | 2020-03-05 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 多孔性ツールおよびその作製方法 |
JPWO2022172900A1 (ja) * | 2021-02-12 | 2022-08-18 | ||
WO2023047765A1 (ja) * | 2021-09-21 | 2023-03-30 | Dowaメタルテック株式会社 | 金属-セラミックス接合基板およびその製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003197824A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-11 | Toshiba Corp | セラミックス回路基板 |
JP2003273289A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-09-26 | Dowa Mining Co Ltd | セラミックス回路基板およびパワーモジュール |
JP2006062907A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Dowa Mining Co Ltd | アルミニウム−セラミックス接合基板 |
-
2014
- 2014-08-29 JP JP2014175668A patent/JP2016051778A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003197824A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-11 | Toshiba Corp | セラミックス回路基板 |
JP2003273289A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-09-26 | Dowa Mining Co Ltd | セラミックス回路基板およびパワーモジュール |
JP2006062907A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Dowa Mining Co Ltd | アルミニウム−セラミックス接合基板 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018163864A1 (ja) | 2017-03-07 | 2018-09-13 | 三菱マテリアル株式会社 | ヒートシンク付パワーモジュール用基板 |
WO2018163865A1 (ja) | 2017-03-07 | 2018-09-13 | 三菱マテリアル株式会社 | ヒートシンク付パワーモジュール用基板 |
KR20190121768A (ko) | 2017-03-07 | 2019-10-28 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | 히트 싱크가 부착된 파워 모듈용 기판 |
KR20190121769A (ko) | 2017-03-07 | 2019-10-28 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | 히트 싱크가 부착된 파워 모듈용 기판 |
US11302602B2 (en) | 2017-03-07 | 2022-04-12 | Mitsubishi Materials Corporation | Power-module substrate with heat-sink |
US11462456B2 (en) | 2017-03-07 | 2022-10-04 | Mitsubishi Materials Corporation | Power-module substrate with heat-sink |
CN108155103A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-06-12 | 天津荣事顺发电子有限公司 | 一种氮化铝陶瓷覆铜基板及其制备方法 |
JP2020032463A (ja) * | 2018-08-22 | 2020-03-05 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 多孔性ツールおよびその作製方法 |
JP2021178363A (ja) * | 2018-08-22 | 2021-11-18 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 多孔性ツールおよびその作製方法 |
JP7091527B2 (ja) | 2018-08-22 | 2022-06-27 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 多孔性ツールおよびその作製方法 |
JPWO2022172900A1 (ja) * | 2021-02-12 | 2022-08-18 | ||
WO2023047765A1 (ja) * | 2021-09-21 | 2023-03-30 | Dowaメタルテック株式会社 | 金属-セラミックス接合基板およびその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5598522B2 (ja) | 回路基板及びこれを用いた半導体モジュール、回路基板の製造方法 | |
CN107408538B (zh) | 电路基板及半导体装置 | |
CN105189109B (zh) | 接合体、功率模块用基板及自带散热器的功率模块用基板 | |
KR101486176B1 (ko) | 절연 기판용 클래드재 | |
JP2016051778A (ja) | 金属−セラミックス接合基板 | |
JP5720839B2 (ja) | 接合体及びパワーモジュール用基板 | |
JP2015043392A (ja) | 接合体及びパワーモジュール用基板 | |
WO2011149065A1 (ja) | 回路基板およびこれを用いた電子装置 | |
EP3236495B1 (en) | Circuit substrate and electronic device | |
JP2003163315A (ja) | モジュール | |
JP5829403B2 (ja) | 放熱用絶縁基板及びその製造方法 | |
CN106537580B (zh) | 陶瓷电路基板及其制造方法 | |
JP2008147308A (ja) | 回路基板およびこれを用いた半導体モジュール | |
JP7211949B2 (ja) | セラミックス回路基板 | |
JP4104429B2 (ja) | モジュール構造体とそれを用いたモジュール | |
JP5069485B2 (ja) | 金属ベース回路基板 | |
JP7299672B2 (ja) | セラミックス回路基板及びその製造方法 | |
JP5047315B2 (ja) | セラミックス回路基板 | |
JP2008147309A (ja) | セラミックス基板およびこれを用いた半導体モジュール | |
JP2014179416A (ja) | 放熱基板の製造方法、及び当該方法によって製造される放熱基板 | |
JPH10247763A (ja) | 回路基板及びその製造方法 | |
JP2006229247A (ja) | 回路基板及びその製造方法 | |
JP7298988B2 (ja) | セラミックス回路基板及びその製造方法 | |
JP2015185679A (ja) | パワーモジュール用基板及びヒートシンク付パワーモジュール用基板 | |
JP2011077546A (ja) | アルミニウム−セラミックス接合基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170608 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180123 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180307 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20180518 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180730 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20180808 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20181012 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190913 |