JP2016043277A - 塗布装置、圧電素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents
塗布装置、圧電素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】非動作時においてノズルを収容するノズル収容部が、ノズルが収容された状態においてノズルの吐出口に対向して設けられた開口であって、ノズル収容部内部の液体を外部へ排出する排液部と、排液部を囲むように設けられた排液突出部と、ノズル収容部に供給された液体を保持する液体保持部とを含み、ノズル収容部に液体が供給され、液体保持部によって保持された液体の前記底面からの高さが排液突出部の底面からの高さを超えることにより、排液突出部の内側から排液部に液体が排出されることを特徴とする。
【選択図】図4
Description
11 ノズル
12 ノズル基板
13 液室
14 液室基板
15 振動板
16 圧電素子
161 共通電極
162 圧電膜
163 個別電極
17 第1の絶縁保護膜
18 第2の絶縁保護膜
18a コンタクトホール
19 第3の絶縁保護膜
20 サブフレーム
21 配線
22 配線
100 塗布装置
101 ノズル
102 回転部
103 スピンコート部
200 ノズル待機部
201 開口部
202 溶液供給部
203 排液突出部
204 溶液保持部
205 排液管
206 U字部
207 不活性ガス噴出部
Claims (10)
- 薄膜状に形成するための材料をノズルから吐出すると共に、非動作時において前記ノズルを収容するノズル収容部を含む塗布装置であって、
前記ノズル収容部が、
前記ノズルが収容された状態において、前記ノズル収容部の底面において前記ノズルの吐出口に対向して設けられた開口であって、前記ノズル収容部内部の液体を外部へ排出する排液部と、
前記底面から突出して前記排液部を囲むように設けられた排液突出部と、
前記ノズル収容部の内部で、前記底面、前記排液突出部及び前記ノズル収容部の内壁によって画定される空間において前記ノズル収容部に供給された液体を保持する液体保持部とを含み、
前記ノズル収容部に液体が供給され、前記液体保持部によって保持された液体の前記底面からの高さが前記排液突出部の前記底面からの高さを超えることにより、前記排液突出部の内側から前記排液部に前記液体が排出されることを特徴とする塗布装置。 - 前記ノズル収容部の内部に前記液体を供給する液体供給部を含み、
前記液体供給部は、前記ノズル収容部の内壁において前記ノズル収容部の天面に隣接して設けられた開口を介して前記ノズル収容部の内部に前記液体を供給することにより、前記ノズル収容部の内部に供給された液体が前記ノズル収容部の内壁を伝って前記液体保持部に到達することを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。 - 前記排液部は、前記ノズル収容部の外部において前記開口から鉛直下方に接続された管を含み、前記管が途中で曲げられることにより前記開口から排出された液体が一時的に溜まるように構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の塗布装置。
- 前記ノズルが収容された状態において前記ノズルの先端が前記排液突出部の内側に入り込むように構成されたことを特徴とする請求項1乃至3いずれか1項に記載の塗布装置。
- 前記液体保持部によって保持された液体の前記底面からの高さが前記排液突出部の前記底面からの高さを超えることにより前記排液突出部の内側に前記液体が流れ込む際に、前記ノズル収容部に収容された前記ノズルに前記液体が接触するように構成されたことを特徴とする請求項1乃至4いずれか1項に記載の塗布装置。
- 収容された前記ノズルに前記液体を吹き付ける液体噴出部を含むことを特徴とする請求項1乃至5いずれか1項に記載の塗布装置。
- 収容された前記ノズルに気体を吹き付ける気体噴出部を含むことを特徴とする請求項5または6に記載の塗布装置。
- 請求項1乃至7いずれか1項に記載の塗布装置を用いて製造された圧電素子。
- 請求項1乃至7いずれか1項に記載の塗布装置を用いて製造された圧電素子を含む液滴吐出ヘッド。
- 請求項9に記載の液滴吐出ヘッドを含む画像形成装置。
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