JP2016032079A - 粘着シートの貼付方法および貼付装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】弾性を有する板状の貼付部材3を開口部4Aが形成されたフレーム4で保持し、開口部4A内に位置する貼付部材3の貼付面3Aと間隔をあけて対向するように被貼付部材8を配置し、貼付面3Aと被貼付部材8との間に粘着面6Aを被貼付部材8側に向けて粘着シート6を配置し、貼付面3Aとは反対側に流体を供給して貼付部材3を開口部4Aから膨張させることにより、貼付面3Aを被貼付部材8に押し付けて粘着シート6を貼付するときに、膨張していない状態の貼付部材3の貼付面3Aと被貼付部材8との間隔h(×10−3m)と、開口部4Aに内接する円の直径D(×10−3m)と、流体の供給量Q(×10−3m3/s)とを、Q×(h/D)2≧0.75(×10−6m3/s)を満たすように制御する。
【選択図】図2
Description
3A 貼付面
4 フレーム
4A フレーム4の開口部
5 配管(流体供給手段)
5A 流量調整弁
5B 制御手段
6 粘着シート
6A 粘着面
7 テーブル(貼付部)
8 半導体ウェハ(被貼付部材)
D フレーム4の開口部4Aの直径
h 膨張していない状態のダイヤフラム3と半導体ウェハ8との間隔
Claims (2)
- 弾性を有する板状の貼付部材を開口部が形成されたフレームにより保持するとともに、このフレームの前記開口部内に位置する前記貼付部材の貼付面と間隔をあけて対向するように被貼付部材を配置し、前記貼付面と前記被貼付部材との間に粘着面を前記被貼付部材側に向けて粘着シートを配置して、前記貼付部材の貼付面とは反対側に流体を供給して該貼付部材を前記開口部から前記被貼付部材側に膨張させることにより、前記貼付面を前記被貼付部材に押し付けて前記粘着シートを貼付する粘着シートの貼付方法であって、
膨張していない状態の前記貼付部材の貼付面と前記被貼付部材との間隔h(×10−3m)と、前記開口部に内接する円の直径D(×10−3m)と、前記流体の供給量Q(×10−3m3/s)とを、Q×(h/D)2≧0.75(×10−6m3/s)を満たすように制御することを特徴とする粘着シートの貼付方法。 - 開口部が形成されたフレームにより保持された弾性を有する板状の貼付部材と、このフレームの前記開口部内に位置する前記貼付部材の貼付面と間隔をあけて対向するように被貼付部材を配置する貼付部と、前記貼付部材の貼付面とは反対側に流体を供給して該貼付部材を前記開口部から前記被貼付部材側に膨張させることにより前記貼付面を前記被貼付部材に押し付ける流体供給手段とを備え、前記貼付面と前記被貼付部材との間に粘着面を前記被貼付部材側に向けて配置された粘着シートを前記被貼付部材に貼付する粘着シートの貼付装置であって、
前記流体供給手段は、膨張していない状態の前記貼付部材の貼付面と前記被貼付部材との間隔h(×10−3m)と、前記開口部に内接する円の直径D(×10−3m)とに基づいて、前記流体の供給量Q(×10−3m3/s)を、Q×(h/D)2≧0.75(×10−6m3/s)を満たすように制御する制御手段を有することを特徴とする粘着シートの貼付装置。
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