JP2016027637A - 電界効果によってドーパントをイオン化するためのpn接合オプトエレクトロ装置 - Google Patents
電界効果によってドーパントをイオン化するためのpn接合オプトエレクトロ装置 Download PDFInfo
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Abstract
Description
一方がpドープされ他方がnドープされて一緒にp−n接合を構成する第1及び第2の半導体部分と、
第1の半導体部分に電気的に接続された第1の電極とを少なくとも含み、第1の半導体部分が、第2の半導体部分と第1の電極との間に配置された、少なくとも1つのメサ構造を含むオプトエレクトロ装置を提供し、
前記オプトエレクトロ装置が、更に、少なくとも、
第2の半導体部分に電気的に接続された第2の電極と、
p−n接合のドーパントをイオン化でき、より正確には、p−n接合内(より正確には、第1及び/又は第2の半導体部分内)での電界生成によって第1及び/又は第2の半導体部分のドーパントをイオン化でき、p−n接合にある第1及び/又は第2の半導体部分の少なくとも一部分、より正確には第1及び/又は第2の半導体部分の少なくとも一部分と第1及び第2の半導体部分によって構成された空間電荷領域の少なくとも一部分との側面フランクの少なくとも一部分を覆う要素とを含み、
少なくとも第1の電極と第2の電極の上側面が、実質的に平らな連続面を構成する。
p−n接合に配置された第1及び/又は第2の半導体部分の少なくとも一部分の側面フランクの前記少なくとも一部分と少なくとも1つの導電性ゲートとを覆う少なくとも1つの誘電性パッシベーション層であって、ゲートと第1及び/又は第2の半導体部分の前記少なくとも一部分との間に配置される誘電性パッシベーション層と、
p−n接合に配置された第1及び/又は第2の半導体部分の少なくとも一部分の側面フランクの前記少なくとも一部分を覆い、第1及び/又は第2の半導体部分の前記少なくとも一部分と共にショットキー接触を構成する少なくとも1つの金属部分とを含む。
第1及び/又は第2の半導体部分の少なくとも一部分と空間電荷領域の少なくとも一部分の側面フランクの前記少なくとも一部分と、少なくとも1つの導電性ゲートとを覆う少なくとも1つの誘電性パッシベーション層であって、ゲートと第1及び/又は第2の半導体部分の前記少なくとも一部分との間と、ゲートと空間電荷領域の前記少なくとも一部分との間に配置される少なくとも1つの誘電性パッシベーション層と、
第1及び/又は第2の半導体部分の少なくとも一部分と空間電荷領域の少なくとも一部分との側面フランクの前記少なくとも一部分を覆い、第1及び/又は第2の半導体部分の前記少なくとも一部分と共に及び空間電荷領域の前記少なくとも一部分と共にショットキー接触を構成する少なくとも1つの金属部分とを含んでもよい。
誘電性パッシベーション層の第1の部分が、第1の電極、第1の半導体部分、及び第2の半導体部分の少なくとも一部分を少なくとも部分的に横方向に取り囲み、
ゲートは、誘電性パッシベーション層の第1の部分を横方向に覆い、
誘電性パッシベーション層の第2の部分が、ゲート(ゲートは、誘電性パッシベーション層の第1と第2の部分との間に配置されもよい)を横方向に覆い、
第2の電極が、誘電性パッシベーション層の第2の部分を横方向に覆うようなものであるか、
又は、
金属部分が、第1の電極、第1の半導体部分、及び第2の半導体部分の少なくとも一部を少なくとも部分的に横方向に取り囲み、
第2の電極が、金属部分を横方向に覆うようなものであってもよい。
幾つかのメサ構造と、
メサ構造のうちの1つのp−n接合に配置された第1及び/又は第2の半導体部分の少なくとも一部分の側面フランクの少なくとも一部分、即ちメサ構造のうちの1つの第1及び/又は第2の半導体部分の少なくとも一部分と空間電荷領域の少なくとも一部分の側面フランクの少なくとも一部分と、幾つかの導電性ゲートとをそれぞれ覆う幾つかの誘電性パッシベーション層であって、
ゲートのうちの1つと、メサ構造のうちの1つの第1及び/又は第2の半導体部分の前記少なくとも一部分との間と、ゲートのうちの1つと、メサ構造のうちの1つの空間電荷領域の前記少なくとも一部分との間に配置される誘電性パッシベーション層と、
メサ構造のうちの1つのp−n接合にある第1及び/又は第2の半導体部分の少なくとも一部分の側面フランクの少なくとも一部分、即ち、メサ構造のうちの1つの第1及び/又は第2の半導体部分の少なくとも一部分と空間電荷領域の少なくとも一部分の側面フランクの少なくとも一部分をそれぞれ覆う幾つかの金属部分とを含み、
第2の電極は、メサ構造それぞれの第2の半導体部分に電気的に接続されてもよく、各メサ構造の少なくとも第1の電極と第2の電極の上側面が、実質的に平らな連続面を構成してもよい。
メサ構造はそれぞれ、誘電性パッシベーション層のうちの1つの第1の部分によって少なくとも部分的に横方向に取り囲まれてもよく、
各ゲートが、誘電性パッシベーション層のうちの1つの第1の部分を横方向に覆ってもよく、
各誘電性パッシベーション層の第2の部分が、ゲートのうちの1つを横方向に覆ってもよく(したがって、誘電性パッシベーション層のうちの1つの第1と第2の部分の間に配置される)、
第2の電極は、誘電性パッシベーション層の第2の部分を横方向に覆ってもよく、
各メサ構造は、金属部分のうちの1つによって少なくとも部分的に横方向に取り囲まれてもよく、
第2の電極は、金属部分を横方向に覆ってもよい。
ゲートは、メサ構造内に延在する少なくとも1つの導電材料の少なくとも一部分を含むか、金属部分が、メサ構造内に延在してもよく、第2の電極が、メサ構造のまわりに配置されてもよい。
ゲート又は金属部分とpドープ半導体部分に電気的に接続された電極との間に電位差を印加して、ゲート又は金属部分に印加される電位が、pドープ半導体部分に電気的に接続された電極に印加される電位以下になるようにする工程、又は、
ゲート又は金属部分とnドープ半導体部分に電気的に接続された電極との間に電位差を印加して、ゲート又は金属部分に印加された電位が、nドープ半導体部分に電気的に接続された電極に印加された電位以上になるようにする工程とを含む。
ゲート又は金属部分と、pドープ半導体部分に電気的に接続された電極との間に電位差を印加して、ゲート又は金属部分上に印加される電位が、pドープ半導体部分に電気的に接続された電極に印加された電位以下になるようする工程、又は、
ゲート又は金属部分とnドープ半導体部分に電気的に接続された電極との間に電位差を印加して、ゲート又は金属部分に印加される電位が、nドープ半導体部分に電気的に接続された電極に印加された電位以上になるようにする工程とを含む。
第2の半導体層と導電性層との間に配置された少なくとも1つの第1の半導体層を含む層スタックであって、第1と第2の半導体層の一方がpドープされ、第1と第2の半導体層の他方がnドープされた層スタックを作成する工程と、
層スタックをエッチングし、p−n接合を構成する第1と第2の半導体部分を含む少なくとも1つのメサ構造と、第1の半導体部分に電気的に接続された第1の電極とを形成する工程と、
p−n接合又は第1及び/又は第2の半導体部分内の電界の生成によって、p−n接合のドーパントをイオン化又は第1及び/又は第2の半導体部分のドーパントをイオン化でき、p−n接合にある第1及び/又は第2の半導体部分の少なくとも一部分の側面フランクの少なくとも一部分、即ち第1及び/又は第2の半導体の少なくとも一部分と第1と第2の半導体部分によって形成された空間電荷領域の少なくとも一部分の側面フランクの少なくとも一部分を覆う要素を作成する工程と、
第2の半導体部分に電気的に接続された第2の電極を作成する工程とを含み、
第2の電極を作成する工程が、少なくとも第1の電極と第2の電極の上側面が実質的に平らな連続面を構成するように導電材料を平坦化する工程を含む、オプトエレクトロ装置を作成する方法に関する。
即ち、シミュレートされたLEDは、部分114を含まず、カソード116は、ゲート118のまわりに配置されず、第2のnドープ半導体部分108の下にそれと直接接して配置され、
シミュレートされたLEDの活性領域104は、16%のインジウムを含む単一InGaN量子井戸によって構成され、非意図的ドープGaN層内に作成され(しかしながら、活性領域104が異なる元素によって構成された場合は、後述する結果と類似の結果が得られる)、
pドープ106及びnドープ108半導体部分、活性領域104、並びに電極112及び116は、1μmの直径を有する円筒状メサ構造として作成され、
ゲート118は、LEDの接合の高さ全体に作成されずにpドープ半導体部分106のまわりだけに形成され、このpドープ半導体部分106から、5nmの厚さを有するSiO2誘電性パッシベーション層120によって分離される。
第1の電極112、第1のpドープ半導体部分106及び活性領域104のまわりだけ、
第1の電極112、第1のpドープ半導体部分106及び活性領域104の一部分のまわりだけ、
第1の電極112と第1のpドープ半導体部分106のまわりだけ、
第1のpドープ半導体部分106(この場合、ゲート118の頂点と実質的に平らな上側面122との間の空間を材料が満たす)のまわりだけ、又は、
接合に配置された、即ち活性領域104と接する第1のpドープ半導体部分106の部分のまわりだけ(この場合、ゲート118の頂点と実質的に平らな上側面122の間の空間を材料が満たす)、に作成されてもよい。
106,108 半導体部分
112,116 電極
118,120,154 要素
122 連続面
124 メサ構造
Claims (18)
- 一方がpドープされ他方がnドープされてともにp−n接合を構成する第1(106)及び第2(108)の半導体部分と、
前記第1の半導体部分(106)に電気的に接続され、前記第2の半導体部分(108)と前記第1の電極(112)との間に配置された第1の電極(112)と、
を少なくとも含む少なくとも1つのメサ構造(124)を有するオプトエレクトロ装置(100)であって、
前記第2の半導体部分(108)に電気的に接続された第2の電極(116)と、
前記第1(106)及び/又は第2(108)の半導体部分内に電界を生成することによって前記第1(106)及び/又は第2(108)の半導体部分のドーパントをイオン化でき、また前記第1(106)及び/又は第2(108)の半導体部分の少なくとも一部分と前記第1(106)及び第2(108)の半導体部分によって構成された空間電荷領域の少なくとも一部分との側面フランクの少なくとも一部分を覆う要素(118、120、154)とを少なくとも含み、
少なくとも前記第1の電極(112)と前記第2の電極(116)の上側面が、実質的に平らな連続面(122)を構成するオプトエレクトロ装置(100)。 - 前記第1(106)及び/又は第2(108)の半導体部分のドーパントをイオン化できる前記要素が、
前記第1(106)及び/又は第2(108)の半導体部分の少なくとも一部分及び前記空間電荷領域の少なくとも一部分の前記側面フランクの前記少なくとも一部分と、少なくとも1つの導電性ゲート(118)とを覆う少なくとも1つの誘電性パッシベーション層(120)であって、前記ゲート(118)と、前記第1(106)及び/又は第2(108)の半導体部分の前記少なくとも一部分との間に、及び前記ゲート(118)と前記空間電荷領域の前記少なくとも一部分との間に配置される少なくとも1つの誘電性パッシベーション層(120)と、
前記第1(106)及び/又は第2(108)の半導体部分の少なくとも一部分と、前記空間電荷領域の少なくとも一部分との前記側面フランクの前記少なくとも一部分を覆い、前記第1(106)及び/又は第2(108)の半導体部分の少なくとも一部分及び前記空間電荷領域の少なくとも一部分と共にショットキー接触を構成する少なくとも1つの金属部分(154)とを有する、請求項1に記載のオプトエレクトロ装置(100)。 - 前記誘電性パッシベーション層(120)の第1の部分が、前記第1の電極(112)、前記第1の半導体部分(106)、及び前記第2の半導体部分(108)の少なくとも一部分を少なくとも部分的に横方向に取り囲み、
前記ゲート(118)が、前記誘電性パッシベーション層(120)の前記第1の部分を横方向に覆い、
前記誘電性パッシベーション層(120)の第2の部分が、前記ゲート(118)を横方向に覆い、
前記第2の電極(116)が、前記誘電性パッシベーション層(120)の前記第2の部分を横方向に覆い、
又は、
前記金属部分(154)が、前記第1の電極(112)、前記第1の半導体部分(106)、及び前記第2の半導体部分(108)の少なくとも一部分を少なくとも部分的に横方向に取り囲み、
前記第2の電極(116)が、前記金属部分(154)を横方向に覆う、請求項2に記載のオプトエレクトロ装置(100)。 - 複数のメサ構造(124)と、
前記第1(106)及び/又は第2(108)の半導体部分の少なくとも一部分及び前記メサ構造(124)のうちの1つの前記空間電荷領域の少なくとも一部分の前記側面フランクの少なくとも一部分と幾つかの導電性ゲート(118)とをそれぞれ覆う複数の誘電性パッシベーション層(120)であって、前記ゲート(118)のうちの1つと前記メサ構造(124)のうちの1つの前記第1及び/又は第2の半導体部分の前記少なくとも一部分との間に、及び前記ゲート(118)のうちの1つと前記メサ構造(124)のうちの1つの前記空間電荷領域の前記少なくとも一部分との間に各誘電性パッシベーション層(120)が配置され、又は、前記第1(106)及び/又は第2(108)の半導体部分の少なくとも一部分及び前記メサ構造(124)のうちの1つの空間電荷領域の少なくとも一部分の前記側面フランクの少なくとも一部分を幾つかの金属部分(154)がそれぞれ覆っている、前記誘電性パッシベーション層(120)と、を有し、
前記第2の電極(116)が、各メサ構造(124)の前記第2の半導体部分(108)に電気的に接続され、各メサ構造(124)の前記第1の電極(112)と前記第2の電極(116)の前記上側面が、実質的に平らな連続面(122)を構成する、請求項2又は3に記載のオプトエレクトロ装置(100)。 - 各前記メサ構造(124)が、前記誘電性パッシベーション層(120)のうちの1つの第1の部分によって少なくとも部分的に横方向に取り囲まれ、
各ゲート(118)が、前記誘電性パッシベーション層(120)のうちの1つの第1の部分を横方向に覆い、
各誘電性パッシベーション層(120)の第2の部分が、前記ゲート(118)のうちの1つを横方向に覆い、
前記第2の電極(116)が、前記誘電性パッシベーション層(120)の前記第2の部分を横方向に覆い、又は、
各メサ構造(124)が、前記金属部分(154)のうちの1つによって少なくとも部分的に横方向に取り囲まれ、
前記第2の電極(116)が、前記金属部分(154)を横方向に覆う、請求項4に記載のオプトエレクトロ装置(100)。 - 前記ゲート(118)が、前記メサ構造(124)内に延在する少なくとも1つの導電材料の少なくとも一部分を含むか、前記金属部分(154)が、前記メサ構造(124)内に延在し、
前記第2の電極(116)が、前記メサ構造(124)のまわりに配置された、請求項2に記載のオプトエレクトロ装置(100)。 - 複数のメサ構造(124)を含み、
前記ゲート(118)が前記メサ構造(124)の1つ又は複数の内に延在する少なくとも1つの導電材料の複数の部分を含むか、複数の金属部分(154)が前記メサ構造(124)の1つ又は複数の内に延在し、
前記第2の電極(116)が、各メサ構造(124)のまわりに配置された、請求項2に記載のオプトエレクトロ装置(100)。 - 更に、前記メサ構造(124)の隣り及び前記第2の電極(116)の隣りに配置された電気接点(128)を含み、前記ゲート(118)又は前記金属部分(154)が、前記電気接点(128)に電気的に接続された、請求項2〜7のいずれか一項に記載のオプトエレクトロ装置(100)。
- 前記実質的に平らな連続面(122)が、更に、前記ゲート(118)又は前記金属部分(154)の上側面及び/又は前記誘電性パッシベーション層(120)の上側面によって構成されている、請求項2〜8のいずれか一項に記載のオプトエレクトロ装置(100)。
- 各誘電性パッシベーション層(120)が、各ゲート(118)の上側面を覆う、請求項2〜8のいずれか一項に記載のオプトエレクトロ装置(100)。
- 更に、前記第2の半導体部分(108)と同じ導電型によってドープされた半導体を含む少なくとも1つのバッファ層(110)を含み、前記第2の半導体部分(108)と前記第2の電極(116)が、互い隣り合って配置された、請求項1〜10のいずれか一項に記載のオプトエレクトロ装置(100)。
- 構造化された上側面を含む第2のドープ半導体層(111)を更に含み、前記構造化された上側面の第1の突出部分が、前記第2の半導体部分(108)を構成し、前記第2の電極(116)が、前記第2のドープ半導体層(111)の少なくとも第2の部分上に配置されて前記第2のドープ半導体層(111)の前記構造化面のくぼみを形成する、請求項1〜11のいずれか一項に記載のオプトエレクトロ装置(100)。
- 前記第2の半導体部分(108)の第2の部分(125)と前記第1の半導体部分(106)との間に配置された前記第2の半導体部分(108)の第1の部分(123)が、前記第2の半導体部分(108)の前記第2の部分(125)に関係する凹部を形成し、前記第2の電極(116)が、前記第2の半導体部分(108)の前記第2の部分(125)の上側面(127)で前記第2の半導体部分(108)に電気的に接続された、請求項1〜11のいずれか一項に記載のオプトエレクトロ装置(100)。
- 前記第1の半導体部分(106)が、pドープされ、アクセプタ活性化エネルギーが、約200meV以上である少なくとも1つの半導体を含む、又は前記第1の半導体部分(106)が、nドープされ、ドナー活性化エネルギーが約200meV以上である少なくとも1つの半導体を含む、請求項1〜13のいずれか一項に記載のオプトエレクトロ装置(100)。
- 1つ又は複数の発光ダイオード及び/又は1つ又は複数のフォトダイオードに対応する請求項1〜14のいずれか一項に記載の1つ又は幾つかのオプトエレクトロ装置(100)を含む電子装置(1000)。
- オプトエレクトロ装置(100)の第1の電極(112)と第2の電極(116)との間に電圧を印加することによって前記オプトエレクトロ装置(100)の分極を実施する工程と、
前記ゲート(118)又は金属部分(154)と前記pドープ半導体部分(106)に電気的に接続された電極(112)との間に電位差を印加して、前記ゲート(118)又は金属部分(154)に印加される前記電位が、前記pドープ半導体部分(106)に電気的に接続された前記電極(112)に印加された電位より低くなるようにする工程と、
前記ゲート(118)又は金属部分(154)と前記nドープ半導体部分(106)に電気的に接続された前記電極(112)との間に電位差を印加して、前記ゲート(118)又は金属部分(154)に印加される前記電位が、前記nドープ半導体部分(106)に電気的に接続された前記電極(112)に印加された前記電位以上になるようにする工程とを含む、請求項2〜14のいずれか一項に記載のオプトエレクトロ装置(100)からの光放射方法。 - 前記ゲート(118)又は金属部分(154)と前記pドープ半導体部分(106)に電気的に接続された前記電極(112)との間に電位差を印加して、前記ゲート(118)又は金属部分(154)に印加された前記電位が、前記pドープ半導体部分(106)に電気的に接続された電極(112)に印加された電位以下になるようにする工程と、
前記ゲート(118)又は金属部分(154)と前記nドープ半導体部分(106)に電気的に接続された電極(112)との間に電位差を印加して、前記ゲート(118)又は金属部分(154)に印加された前記電位が、前記nドープ半導体部分(106)に電気的に接続された前記電極(112)に印加された電位以上になるようにする工程とを含む、請求項2〜10のいずれか一項、または、請求項2と請求項11〜14いずれか一項に記載のオプトエレクトロ装置(100)からの光電変換方法。 - オプトエレクトロ装置(100)を作成する方法であって、少なくとも、
第2の半導体層(111)と導電性層との間に配置された少なくとも1つの第1の半導体層(115)を含む層スタックを作成する工程であって、前記第1と第2の半導体層の一方(115)がpドープされ、前記第1と第2の半導体層の他方(111)がnドープされる工程と、
前記層スタックをエッチングし、第1(106)と第2(108)の半導体部分を含む少なくとも1つのメサ構造(124)を作成して、p−n接合及び前記第1の半導体部分(106)に電気的に接続された第1の電極(112)を形成する工程と、
前記第1(106)及び/又は第2(108)の半導体部分内に電界を生成することにより第1及び/又は第2の半導体部分のドーパントをイオン化し前記第1(106)及び/又は第2(108)の半導体部分の少なくとも一部分及び前記第1(106)及び/又は第2(108)の半導体部分によって構成された空間電荷領域の少なくとも一部分の前記側面フランクの少なくとも一部分を覆う要素(118、120、154)を作成する工程と、
前記第2の半導体部分(108)に電気的に接続された第2の電極(116)を作成する工程とを含み、
少なくとも前記第2の電極(116)を作成する工程が、前記導電材料を平坦化して、少なくとも前記第1の電極(112)と前記第2の電極(116)の上側面が、実質的に平らな連続面(122)を構成するようにする工程を含む方法。
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