JP2016004173A - Application device, method of manufacturing workpiece by application of adhesive, device for manufacturing member for display device, and method for manufacturing member for display device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば、表示装置を構成する一対のワークを貼り合わせるために、ワークに接着剤を塗布する技術に改良を施した塗布技術、表示装置用部材の製造技術に関する。 The present invention relates to, for example, a coating technique obtained by improving a technique for applying an adhesive to a workpiece in order to bond a pair of workpieces constituting a display device, and a manufacturing technique for a member for a display device.
一般的に、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイを代表とする平板状の表示装置（フラットパネルディスプレイ）は、表示パネルと、必要に応じて操作用のタッチパネルや表面を保護する保護パネル（カバーパネル）、バックライトやその導光板等が、フラットパネルディスプレイの筐体に組み込まれて構成されている。 In general, a flat display device (flat panel display) typified by a liquid crystal display or an organic EL display has a display panel, a touch panel for operation and a protective panel (cover panel) for protecting the surface as necessary, A backlight, its light guide plate, and the like are built in a housing of a flat panel display.
これらの表示パネル、タッチパネル、保護パネル、バックライトやその導光板等（以下、ワークと呼ぶ）は、積層されてフラットパネルディスプレイの筐体に組み込まれる。それぞれのワークは、個別にあるいは予め積層された状態で組み込まれる。例えば、保護パネルにタッチパネルを積層した複合パネルとして構成されたものを用いることもある。 These display panels, touch panels, protective panels, backlights, their light guide plates, and the like (hereinafter referred to as workpieces) are stacked and incorporated in the housing of the flat panel display. Each workpiece is assembled individually or in a pre-stacked state. For example, what was comprised as a composite panel which laminated | stacked the touch panel on the protective panel may be used.
また、表示パネルには、タッチパネルの機能が組み込まれたものが用いられることもある。このように、ワークとしては様々な形態があるが、以下、表示装置を構成するワークを、２以上積層したものを、表示装置用部材と呼ぶ。 A display panel in which a touch panel function is incorporated may be used. As described above, there are various types of workpieces. Hereinafter, a laminate of two or more workpieces constituting the display device is referred to as a display device member.
かかるワークの積層には、接着シートを用いて貼り合わせる方法と流動性の有る液状の接着剤を用いて貼り合わせる方法がある。接着シートは、接着剤に比べて比較的高価であり、剥離紙の剥離等の工程が必要となる。このため、近年のコスト削減の要求などから、接着剤を用いた貼り合わせが増えている。 There are two methods for laminating such workpieces: a method of bonding using an adhesive sheet and a method of bonding using a fluid liquid adhesive. The adhesive sheet is relatively expensive compared to the adhesive, and a process such as peeling of the release paper is required. For this reason, bonding using an adhesive is increasing due to the recent demand for cost reduction.
例えば、図１９（Ａ）に示すように、スリット型のノズルＮから、ＵＶ硬化樹脂の接着剤ＲをワークＳ１の塗布面に塗布しながら、ノズルＮとワークＳ１とを相対移動させる。これにより、ワークＳ１の塗布面に接着剤Ｒを塗布する。 For example, as shown in FIG. 19A, the nozzle N and the workpiece S1 are moved relative to each other while applying the UV-curable resin adhesive R from the slit type nozzle N to the application surface of the workpiece S1. As a result, the adhesive R is applied to the application surface of the workpiece S1.
また、かかる接着層は、各ワークの間の緩衝材として、ワークを保護する機能を求められる場合がある。さらに、ディスプレイの大型化などから、ワークも大面積となり、変形が生じやすい。このため、変形を吸収してワークを保護するために、接着層に要求される厚みが増える傾向にある。例えば、数１００μｍの厚みが要求されるようになってきている。 In addition, such an adhesive layer may be required to have a function of protecting the workpiece as a buffer material between the workpieces. Furthermore, due to the increase in the size of the display, the work also has a large area and is likely to be deformed. For this reason, in order to absorb a deformation | transformation and to protect a workpiece | work, it exists in the tendency for the thickness requested | required of a contact bonding layer to increase. For example, a thickness of several hundred μm has been required.
液状の接着剤を用いてかかる接着層の厚みを確保しようとすると、必要な接着剤の量が増える。すると、ワークに塗布された接着剤が流動して、ワークからはみ出しやすくなる。 If a liquid adhesive is used to secure the thickness of such an adhesive layer, the amount of adhesive required increases. As a result, the adhesive applied to the workpiece flows and easily protrudes from the workpiece.
また、上記のような接着剤の塗布直後には、接着剤の表面の形状が安定しない場合がある。このように接着剤の貼合面の形状が不安定な状態でワークを貼り合わせると、貼り合わされた接着剤の縁部が、視認領域に入ってしまう等、所望の状態とならない可能性がある。また、塗布後、時間の経過とともに、接着剤の表面には、***や窪みによる崩れが生じる。この崩れが貼合面にある状態で貼り合わせると、***や窪みを押圧しきれずに、ボイド（気泡、真空泡）となってしまう。 Further, immediately after application of the adhesive as described above, the shape of the surface of the adhesive may not be stable. In this way, when the workpiece is bonded in a state where the shape of the bonding surface of the adhesive is unstable, there is a possibility that the edge of the bonded adhesive will not enter a visual recognition region, or the desired state may not be achieved. . Moreover, after application | coating, with the progress of time, the surface of an adhesive agent will collapse by a protrusion or a hollow. When pasting together in a state where this collapse is on the pasting surface, the bumps and cavities cannot be pressed, resulting in voids (bubbles, vacuum bubbles).
例えば、図１９（Ｂ）に示すように、接着剤Ｒの塗布面の縁部には、表面張力により、***が生じて角がたつようになる。このような角が、ボイドの逃げ道を塞いで囲い込んでしまう。このため、図１９（Ｃ）に示すように、ワークＳ２を貼り合わせた後に、噛み込んだボイドＢが残留することになる。 For example, as shown in FIG. 19 (B), the edge of the application surface of the adhesive R is raised due to surface tension and has a corner. These horns block and enclose the void escape path. For this reason, as shown in FIG. 19C, after the work S2 is bonded, the bite B that remains is left.
これに対処するため、ワークの表面に接着剤を塗布した後、塗布形状が崩れないように仮硬化を行っていた（特許文献１参照）。つまり、図２０（Ａ）に示すように、スリット型のノズルＮから、ワークＳ１の塗布面の全体に接着剤Ｒを塗布する。この後、図２０（Ｂ）に示すように、照射部ＩがＵＶ光を照射することにより、接着剤Ｒを仮硬化させて流動や崩れを抑制していた。 In order to cope with this, after applying an adhesive to the surface of the workpiece, provisional curing is performed so that the applied shape does not collapse (see Patent Document 1). That is, as shown in FIG. 20A, the adhesive R is applied from the slit type nozzle N to the entire application surface of the workpiece S1. Thereafter, as shown in FIG. 20 (B), the irradiation part I irradiates the UV light to temporarily cure the adhesive R to suppress the flow and collapse.
上記のように接着剤Ｒの仮硬化を行うと、流動による***や窪みは抑制される。しかし、この場合、図２０（Ｃ）（Ｄ）に示すように、接着剤Ｒの流動性が減少するので、貼り合わせ時に、接着剤Ｒの表面に噛み込んだボイドＢが移動し難くなり、ボイドＢが外部に抜け難くなる。また、接着剤Ｒの内部に発生したボイドＢも、外部に抜け難くなる。さらに、ボイドＢを排除するため、貼り合わせのための押し込み量を増やすと、接着剤ＲがワークＳ１、Ｓ２の縁からはみ出しやすくなる。 When the adhesive R is pre-cured as described above, bulges and depressions due to flow are suppressed. However, in this case, as shown in FIGS. 20C and 20D, since the fluidity of the adhesive R is reduced, the void B biting into the surface of the adhesive R is difficult to move during bonding, It becomes difficult for the void B to come out to the outside. Further, the void B generated inside the adhesive R is also difficult to come out. Furthermore, if the pushing amount for bonding is increased in order to eliminate the void B, the adhesive R easily protrudes from the edges of the workpieces S1 and S2.
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、接着剤の流動を抑制しつつ、貼り合わせ時にボイトの排出が促進されて、接着層にボイドが残留しない塗布装置、接着剤塗布ワーク製造方法、表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法を提供することにある。 The present invention has been proposed in order to solve the above-described problems of the prior art, and the purpose thereof is to suppress the flow of the adhesive and promote the discharge of the void at the time of bonding. An object of the present invention is to provide a coating apparatus in which no voids remain in the layer, an adhesive-coated workpiece manufacturing method, a display device member manufacturing apparatus, and a display device member manufacturing method.
上記の目的を達成するため、本発明の塗布装置は、表示装置を構成する一対のワークを、エネルギーの照射により硬化する接着剤を介して貼り合わせるために、少なくとも一方のワークに対して、接着剤を塗布する塗布部と、前記塗布部により塗布された接着剤に対して、エネルギーを照射することにより、接着剤が硬化した硬化層を形成する照射部と、を有し、前記塗布部は、前記硬化層における他方のワークとの貼り合わせ側の面に、貼り合わせ前に硬化させない接着剤を、前記硬化層よりも薄く塗布することにより、未硬化層を形成することを特徴とする。 In order to achieve the above object, the coating apparatus of the present invention is bonded to at least one workpiece in order to bond the pair of workpieces constituting the display device via an adhesive that is cured by energy irradiation. An application part for applying an agent; and an irradiation part for forming a cured layer in which the adhesive is cured by irradiating energy to the adhesive applied by the application part. The uncured layer is formed by applying an adhesive that is not cured before bonding onto the surface of the cured layer that is to be bonded to the other workpiece thinner than the cured layer.
前記硬化層となる接着剤に対する前記照射部の照射タイミングは、接着剤の塗布の始端及び終端における接着剤の貼合面に崩れが生じる前であってもよい。 The irradiation timing of the irradiation part with respect to the adhesive serving as the hardened layer may be before the adhesive bonding surface at the start and end of application of the adhesive is broken.
前記硬化層の塗布厚を検出する検出部と、前記検出部により検出された塗布厚に基づいて、前記未硬化層となる接着剤の塗布厚を制御する塗布厚制御部と、を有してもよい。 A detection unit that detects the coating thickness of the hardened layer; and a coating thickness control unit that controls the coating thickness of the adhesive to be the uncured layer based on the coating thickness detected by the detection unit. Also good.
なお、上記の各態様は、接着剤塗布ワーク製造方法、ワークを積層して表示装置用部材を製造する製造装置及び製造方法の発明としても捉えることができる。 In addition, each said aspect can also be grasped | ascertained also as invention of the manufacturing apparatus which laminates | stacks a workpiece | work, and manufactures the member for display apparatuses, and a manufacturing method.
本発明によれば、接着剤の流動を抑制しつつ、貼り合わせ時にボイトの排出が促進されて、接着層にボイドが残留しない塗布装置、接着剤塗布ワーク製造方法、表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the discharge | emission of a void is accelerated | stimulated at the time of bonding, suppressing the flow of an adhesive agent, the coating apparatus with which a void does not remain in an adhesive layer, the adhesive application workpiece manufacturing method, The manufacturing apparatus of the member for display apparatuses And the manufacturing method of the member for display apparatuses can be provided.
本発明の実施の形態（以下、実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。 Embodiments of the present invention (hereinafter referred to as embodiments) will be specifically described with reference to the drawings.
［構成］
まず、本実施形態の構成を、図１〜図１１を参照して説明する。
［ワーク］
本装置は、表示装置用部材の積層体を製造する表示装置用部材の製造装置である。表示装置用部材には、表示パネルと保護パネルを積層した部材のように表示機能を備えた部材も、保護パネルとタッチパネルを積層した部材のようにその部材だけでは表示機能を備えていない部材も含まれる。
[Constitution]
First, the configuration of the present embodiment will be described with reference to FIGS.
[work]
This apparatus is a display device member manufacturing apparatus that manufactures a laminate of display device members. The display device member includes a member having a display function such as a member in which a display panel and a protective panel are laminated, and a member having no display function only by the member, such as a member in which a protective panel and a touch panel are laminated. included.
すなわち、積層の対象となるワークは、表示パネル、タッチパネル、保護パネル、バックライトやその導光板等の様々なものがあるが、本実施形態では、表示パネルと保護パネルとを接着剤を介して貼り合わせることにより、表示装置用部材を構成する例を説明する。以下の説明では、積層の対象となる一対のワークをＳ１、Ｓ２とし、ワークＳ１、Ｓ２を積層した積層体をＺとする。 That is, there are various kinds of workpieces to be laminated, such as a display panel, a touch panel, a protective panel, a backlight, and a light guide plate thereof, but in this embodiment, the display panel and the protective panel are interposed via an adhesive. The example which comprises the member for display apparatuses by bonding together is demonstrated. In the following description, a pair of workpieces to be stacked is S1 and S2, and a stacked body in which the workpieces S1 and S2 are stacked is Z.
［表示装置用部材の製造装置］
図１に示すように、表示装置用部材の製造装置１００は、接着剤塗布装置１、貼合装置２、硬化装置３及び搬送装置４を有する。表示装置用部材の製造装置１００は、また、制御装置７を備えている。制御装置７は、各部を構成する装置の動作の制御や、ワークＳ１、Ｓ２の搬送タイミングの制御等を行う。
[Manufacturing device for display device member]
As illustrated in FIG. 1, the display device
搬送装置４は、ワークＳ１、Ｓ２を各部へ搬送する搬送部とその駆動機構から構成される。搬送部としては、たとえば、ターンテーブル、コンベア等が考えられるが、上記の各装置の間でワークＳ１、Ｓ２搬送可能なものであれば、どのような装置であってもよい。
The
ワークＳ１、Ｓ２は、ローダ５によって表示装置用部材の製造装置１００に搬入され、搬送装置４で搬送される。搬送装置４に沿って接着剤塗布装置１、貼合装置２及び硬化装置３が配置されている。不図示のピックアップ手段によって、ワークＳ１、Ｓ２は搬送装置４からピックアップされ、各装置への搬入及び搬出がなされる。各装置において、後述する工程を経ることにより、ワークＳ１、Ｓ２を貼合後の積層体Ｚにおける接着剤Ｒを本硬化させた表示装置用部材Ｌが製造され、アンローダ６によって表示装置用部材の製造装置１００から搬出される。
The workpieces S <b> 1 and S <b> 2 are carried into the display device
［接着剤塗布装置］
接着剤塗布装置１の構成を、図２〜図６を参照して説明する。なお、図中、ステージ１２ａの移動により、塗布ノズル１０ａがステージ１２ａに対して相対移動する方向を、塗布方向とする。そして、ワークＳ１の一辺である塗布開始端側を上流側、これと反対側の一辺である塗布終了端側を下流側とする。図２では、矢印Ｆ１で示す左から右が塗布方向であり、左側が上流、右側が下流である。この上流側、下流側は、塗布開始端側と塗布終了端側が逆になると、入れ替わる。つまり、図３に示すように、矢印Ｆ２で示す右から左が塗布方向である場合、右側が上流、左側が下流となる。
[Adhesive application equipment]
The configuration of the
接着剤塗布装置１は、図２及び図３に示すように、支持部１２、塗布部１０、照射部１１、検出部１３を有する。
［支持部］
支持部１２は、接着剤塗布装置１におけるワークＳ１を、塗布面を上に向けて支持する。この支持部１２は、ステージ１２ａ、駆動機構１２ｂを有する。ステージ１２ａは、ワークＳ１が載置される平板状のテーブルである。駆動機構１２ｂは、ステージ１２ａを水平方向に往復移動させる機構である。駆動機構１２ｂとしては、例えば、駆動源によって回転するボールねじとすることが考えられる。ただし、載置されたワークＳ１を水平方向に往復移動可能な装置であれば、どのような装置であってもよい。駆動機構１２ｂにおけるステージ１２ａの移動の開始、停止及び速度は、制御装置７によって制御される。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
[Supporting part]
The
［塗布部］
塗布部１０は、ワークＳ１、Ｓ２を、エネルギーの照射により硬化する接着剤Ｒを介して貼り合わせるために、ワークＳ１に対して、接着剤Ｒを塗布する構成部である。この塗布部１０による１回目の塗布においては、図４に示すように、エネルギーの照射により接着剤Ｒが硬化した硬化層Ｒｈを形成する。
[Applying part]
The
そして、塗布部１０は、図５に示すように、２回目の塗布において、硬化層ＲｈにおけるワークＳ２との貼り合わせ側の面に、貼り合わせ前に硬化させない接着剤Ｒを塗布することにより、未硬化層Ｒｓを形成する。特に、本実施形態では、塗布部１０による接着剤Ｒの塗布厚は、未硬化層Ｒｓが、硬化層Ｒｈよりも薄く形成されるように設定されている。
And, as shown in FIG. 5, in the second application, the
塗布部１０は、図２及び図３に示すように、塗布ノズル１０ａ、遮蔽部１０ｂ、タンクＴ、流路Ｆを有する。塗布ノズル１０ａは、例えば、タンクＴに収容された接着剤Ｒを、配管及び供給量を調節するバルブを有する流路Ｆを介して、ポンプにより送り出すことによりワークＳ１に供給するスリットを備えたスリットコータである。
The
スリットは、ワークＳ１の塗布面に平行で、ワークＳ１の相対移動の方向に直交する方向に細長く延びた開口であり、その長手方向の長さが、ワークＳ１の幅と同等若しくは僅かに短くなっている。図４及び図５に示すように、塗布ノズル１０ａの先端部分は、このようなスリットを、ワークＳ１に対向する位置に備えている。また、塗布ノズル１０ａは、例えば、不図示の駆動機構によって、ワークＳ１の塗布面に対して直交し、接離する方向に昇降するように設けられている。
The slit is an opening that is elongated in a direction parallel to the application surface of the workpiece S1 and perpendicular to the direction of relative movement of the workpiece S1, and the length in the longitudinal direction is equal to or slightly shorter than the width of the workpiece S1. ing. As shown in FIG.4 and FIG.5, the front-end | tip part of the
本実施形態における塗布部１０は、上記のように、ステージ１２ａの往復動に従って、２回に分けて接着剤Ｒを重ねて塗布する。このとき、１回目の塗布においては塗布厚が厚く、２回目の塗布においては塗布厚が薄くなるように塗布する。貼り合わせ直前の接着剤Ｒは、１回目の塗布と２回目の塗布によって形成された硬化層Ｒｈと未硬化層Ｒｓとを合わせた厚さの接着層Ｒａとなる（図９参照）。
As described above, the
塗布部１０は、１回目の塗布において、接着層Ｒａの大半の厚さを硬化層Ｒｈとして確保する。そして、２回目の塗布において、残りの厚さを未硬化層Ｒｓとして確保する。例えば、接着層Ｒａの膜厚２００μｍ中、１９０μｍを硬化層Ｒｈとして、１０μｍ程度を未硬化層Ｒｓとする。
The
接着剤Ｒの塗布厚は、塗布ノズル１０ａのスリットとワークＳ１との距離、接着剤Ｒの吐出量、塗布ノズル１０ａとステージ１２ａとの相対移動速度のいずれか又はこれらの組み合わせによって調整可能である。塗布ノズル１０ａのスリットとワークＳ１との距離は、制御装置７による塗布ノズル１０ａの昇降制御によって調節される。塗布ノズル１０ａからの接着剤Ｒの吐出量は、制御装置７のバルブ制御及びポンプ制御によって調節される。相対移動速度は、制御装置７によるステージ１２ａの移動速度制御によって調節される。
The coating thickness of the adhesive R can be adjusted by either the distance between the slit of the
また、吐出直後の接着剤Ｒの形状は、接着剤Ｒの吐出速度、粘度及び温度、塗布面と塗布ノズル１０ａとの相対移動速度及びクリアランスなどに左右される。また、塗布後の接着剤Ｒの形状は、後述するように変化する。
The shape of the adhesive R immediately after discharge depends on the discharge speed, viscosity and temperature of the adhesive R, the relative movement speed between the application surface and the
さらに、塗布ノズル１０ａには、図２〜図６に示すように、遮蔽部１０ｂが設けられている。遮蔽部１０ｂは、照射部１１からのエネルギーを遮って、塗布ノズル１０ａ先端の接着剤Ｒに照射されることを防止する部材である。この遮蔽部１０ｂは、例えば、塗布ノズル１０ａの照射部１１側に取り付けられた板状の部材とすることができる。なお、塗布ノズル１０ａと照射部１１との距離、照射部１１の照射強度、照射方向、照射範囲等によっては、塗布ノズル１０ａ先端の接着剤Ｒへの照射エネルギーの影響が少ない場合もあり、かかる場合には、遮蔽部１０ｂは設けなくてもよい。
Further, the
接着剤Ｒは、外部からエネルギーの照射により硬化する樹脂であればよい。例えば、紫外線（ＵＶ）硬化樹脂や熱硬化樹脂が考えられる。本実施形態では、紫外線硬化樹脂を用いて説明する。使用される接着剤Ｒの粘度は、特に限定はされない。但し、硬化による流動の抑制の必要性が高い粘度としては、２千〜数万ｃｐｓが想定され、比較的粘度の低い２千〜５千ｃｐｓが好ましい。 The adhesive R may be a resin that is cured by energy irradiation from the outside. For example, an ultraviolet (UV) curable resin or a thermosetting resin can be considered. In the present embodiment, description will be made using an ultraviolet curable resin. The viscosity of the adhesive R used is not particularly limited. However, 2,000 to several tens of thousands of cps is assumed as the viscosity having a high necessity for suppressing flow due to curing, and 2,000 to 5,000 cps having a relatively low viscosity is preferable.
［照射部］
照射部１１は、接着剤Ｒに対して硬化のためのエネルギーを照射する処理部である。この照射部１１は、図６に示すように、エネルギーを照射する照射源１１ａを複数有している。この照射部１１においては、例えば、複数のＬＥＤやＬＤ、ランプ等の照射源１１ａが、ワークＳ１の塗布面に平行であって、図中、白矢印で示すワークＳ１の相対移動の方向に直交する方向に等間隔でワークＳ１に対向して配置されている。
[Irradiation part]
The
例えば、接着剤ＲがＵＶ硬化樹脂である場合、照射源１１ａはＵＶ光を出力するものとし、照射源１１ａからのＵＶ光を、ワークＳ１に塗布された接着剤Ｒに照射する。また、接着剤Ｒが熱硬化樹脂の場合は、照射部１１は、熱源からの熱エネルギーを照射することになる。この場合の照射部１１は、例えば、Ｉｒ（赤外線）を出力するものとすることができる。なお、図６では、２列となっているが、１列であっても、３列以上であってもよく、特に限定されない。また、照射源１１ａ同士が密着又は連結していてもよく、その配置も千鳥（ジグザク）状態で配置されていてもよい。
For example, when the adhesive R is a UV curable resin, the irradiation source 11a outputs UV light, and the adhesive R applied to the workpiece S1 is irradiated with the UV light from the irradiation source 11a. Moreover, when the adhesive R is a thermosetting resin, the
照射部１１による照射は、接着剤Ｒが硬化状態となるように行われる。硬化状態とは、完全には至らない仮硬化状態から全体が完全に硬化する完全硬化状態までの状態を含む。また、接着剤Ｒの全体が硬化状態となる場合も、一部が硬化状態となる場合も含む。
Irradiation by the
完全硬化に必要なエネルギー量と照射時間となるように照射することで、接着剤Ｒを完全硬化状態にできる。完全硬化に必要なエネルギー量より少ないエネルギー量又は照射時間となるように照射することで、接着剤Ｒを仮硬化状態にできる。ある種のＵＶ硬化樹脂では、大気中でＵＶ照射すると、酸素阻害等により接着剤Ｒの表面の硬化が進まないタイプの仮硬化状態となる。 By irradiating so that the amount of energy and the irradiation time required for complete curing are obtained, the adhesive R can be in a completely cured state. By irradiating so that the amount of energy or the irradiation time is less than the amount of energy required for complete curing, the adhesive R can be in a temporarily cured state. When a certain type of UV curable resin is irradiated with UV in the atmosphere, it is in a temporarily cured state in which the surface of the adhesive R does not cure due to oxygen inhibition or the like.
なお、例えば、完全硬化を１００％とした場合に、８０〜９０％程度の硬化状態、あるいは表面が酸素阻害でやや硬化度合いが低い状態のほうが、２回目に塗布する接着剤Ｒとの馴染みがよく、境界層ができにくい。 For example, when the complete curing is set to 100%, the cured state of about 80 to 90%, or the state where the surface is somewhat inhibited by oxygen inhibition, is more familiar with the adhesive R applied the second time. Well, it is difficult to create a boundary layer.
照射部１１によるエネルギー照射のＯＮ、ＯＦＦ、照射エネルギーの強度は、制御装置７によって制御される。さらに、照射部１１が接着剤Ｒにエネルギーを照射する照射タイミングは、制御装置７によって制御される。この照射タイミングは、発明者が精査した後述のような接着剤Ｒの流動態様に基づいて、接着剤Ｒの貼合面に崩れが発生する前のタイミングに設定されている。
ON / OFF of energy irradiation by the
（接着剤の流動態様）
発明者が、接着剤Ｒの流動を精査したところ、以下のような現象が生じていることが判明した。接着剤ＲがワークＳ１上に平面状に塗布された場合、その塗布された接着剤Ｒの端部は、時間とともにその形状が変化する。つまり、接着剤Ｒが矩形状に塗布された場合、その端部である４辺の形状が、塗布された時から変化する。この時、ワークＳ１と接触する塗布部分に対向する接着剤Ｒの表面側、つまり貼合面となる上面側の形状が主に変化する。この変化は、塗布直後から始まり、一定の時間で収束する。この収束までの時間は、接着剤Ｒの状態（粘度、厚さ、塗布直後の形状等）によって変動する。
(Adhesive flow mode)
When the inventor scrutinized the flow of the adhesive R, it was found that the following phenomenon occurred. When the adhesive R is applied on the workpiece S1 in a planar shape, the shape of the end of the applied adhesive R changes with time. That is, when the adhesive R is applied in a rectangular shape, the shape of the four sides, which are the end portions, changes from when it is applied. At this time, the shape of the surface side of the adhesive R facing the application portion in contact with the workpiece S1, that is, the shape of the upper surface side serving as the bonding surface is mainly changed. This change starts immediately after application and converges in a certain time. The time until convergence varies depending on the state of the adhesive R (viscosity, thickness, shape immediately after application, etc.).
より具体的には、接着剤Ｒを吐出する塗布ノズル１０ａとワークＳ１とを相対的に移動させて、ワークＳ１表面に接着剤Ｒを塗布する場合、塗布直後、つまりワークＳ１の表面に接着剤Ｒが接触した直後の接着剤Ｒにおける塗布の始端の表面は、図７の（ａ）に示すようになる。すなわち、ワークＳ１と接着剤Ｒの接触部分をアンカーにして、塗布ノズル１０ａが移動する方向に引かれて緩やかに傾斜した曲率半径の大きな曲面ｒ１が生じる。同時に、接着剤Ｒには、始端方向、つまり始端での外縁に向かう方向に表面張力が働く。
More specifically, when the adhesive R is applied to the surface of the workpiece S1 by relatively moving the
塗布ノズル１０ａが塗布の始端から離れるに従って引っ張られる力が弱くなり、代わりに表面張力が強く働く。そのため、図７の（ｂ）に示すように、表面の断面縁部の角部の曲率半径が最小となる略直角近くまで接着剤Ｒが流動し、接着剤Ｒの表面のうち、他方のワークＳ２との貼合面に、ワークＳ１の表面と略平行な平坦面ｒ２が生じる。この平坦面ｒ２が生じる時点が第１のタイミングである。
As the
その後、時間の経過に従って、図７の（ｃ）に示すように、表面張力により、断面角部の接着剤Ｒがさらに外縁に向かう方向とは逆となる内側に移動して、平坦面ｒ２と異なる高さの***ｒ３が生じる。このとき、一部に窪みが生じる場合もある。このように接着剤Ｒに***、窪みの少なくとも一方が生じた状態を、崩れと呼ぶ。この崩れが生じる時点が第２のタイミングである。この第２のタイミングが過ぎた後も崩れはしばらく続いて収束する。 Then, as time passes, as shown in FIG. 7 (c), the surface tension causes the adhesive R at the cross-sectional corner portion to move further inward in the direction opposite to the outer edge, and the flat surface r2 A ridge r3 of different height is produced. At this time, a dent may arise in a part. The state in which at least one of the bulge and the dent is generated in the adhesive R in this way is called collapse. The time at which this collapse occurs is the second timing. Even after the second timing has passed, the collapse continues for a while and converges.
一方、塗布の終端では、塗布ノズル１０ａが接着剤Ｒの吐出を停止した後、上昇して行くに従って、図８の（ａ）に示すように、接着剤Ｒが引き伸ばされる。その後、図８の（ｂ）に示すように、ワークＳ１側と塗布ノズル１０ａ側に接着剤Ｒが切れるので、その縁部の角部に突出ｒ４が生じる。この突出ｒ４は、図８の（ｃ）に示すように、時間の経過に従って、ワークＳ１側の接着剤Ｒに重力や表面張力等によって吸収されて消失する。そのため、接着剤Ｒの表面のうち、他方のワークＳ２との貼合面に、ワークＳ１の表面と略平行な平坦面ｒ５が生じる。この平坦面ｒ５が生じる時点も、第１のタイミングである。その後、時間の経過に従って、図７（ｃ）と同様に、平坦面ｒ５と異なる高さの崩れが生じる。この崩れが生じる時点も、第２のタイミングである。
On the other hand, at the end of application, the adhesive R is stretched as shown in FIG. 8A as it rises after the
なお、塗布の始端から終端に至る途中における塗布方向と平行な縁部、つまり側端でも、図７と同様の変化を生じる。但し、後述するように、塗布ノズル１０ａが移動することによる引っ張り状態や塗布方向との位置関係から、始端とは相違するタイミングで変化が進む。
It should be noted that the same change as that in FIG. 7 occurs at the edge parallel to the coating direction in the middle of the coating from the start end to the end, that is, the side end. However, as will be described later, the change progresses at a timing different from the starting end due to the tensile state due to the movement of the
以上から、始端における第１のタイミングと第２のタイミングとの間隔、終端における第１のタイミングと第２のタイミングとの間隔、および側端における第１のタイミングと第２のタイミングとの間隔は、必ずしも一致していない。また、塗布の始端又は側端においては、塗布の開始とほぼ同時に平坦面が生じている場合もある。その場合には、始端又は側端においては、第１のタイミングは塗布開始のタイミングとほぼ同時となる。 From the above, the interval between the first timing and the second timing at the start end, the interval between the first timing and the second timing at the end, and the interval between the first timing and the second timing at the side end are as follows. , Not necessarily match. In addition, a flat surface may be generated at the start end or side end of the application almost simultaneously with the start of the application. In this case, at the start end or the side end, the first timing is almost the same as the application start timing.
もし、第１のタイミングよりも早く硬化してしまうと、曲率半径の大きな曲面のｒ１状態で形状が固定されてしまう。そこで、例えば、第１のタイミングの後に照射が開始するように、塗布ノズル１０ａと照射部１１の間隔を設定する。第２のタイミングより硬化が遅くなると、崩れが生じた状態で形状が固定されてしまう。そこで、例えば、第２のタイミングよりも前に照射が開始するように、照射部１１の照射タイミングを設定する。
If it hardens earlier than the first timing, the shape is fixed in the r1 state of the curved surface having a large curvature radius. Therefore, for example, the interval between the
検出部１３は、１回目に塗布された接着剤Ｒの厚みを検出する構成部である。例えば、検出部１３は、塗布方向における塗布ノズル１０ａの他方側（図２における上流側、図３における下流側）に設けられ、塗布前のワークＳ１の表面までの距離及び塗布後の接着剤Ｒの表面までの距離を検出する。なお、塗布ノズル１０ａの待機位置と塗布位置との間の昇降は、検出部１３から独立している。
The
検出部１３が有するセンサとしては、センサから検出対象までの距離を検出するセンサとする。より具体的には、センサからステージ１２ａの表面までの距離、センサからワークＳ１の表面までの距離、センサからワークＳ１に塗布された接着剤Ｒの表面までの距離等を検出できるセンサとする。例えば、レーザセンサを用いることができる。「センサから」とは、「所定の基準位置から」を意味し、センサの距離の演算手法により異なる。例えば、センサ下面を所定の基準位置とすることができるが、これには限定されない。
The sensor included in the
検出部１３におけるセンサは、それぞれ複数存在する。検出部１３における複数のセンサは、例えば、ワークＳ１の塗布面に平行であって、塗布方向に直交する方向に等間隔で複数配置されている。これらのセンサは、移動するステージ１２ａ、ワークＳ１、接着剤Ｒまでの距離を継続的に検出することにより、検出対象の傾きや厚さを検出することができる。
There are a plurality of sensors in the
［貼合装置］
貼合装置２は、図９（Ａ）に示すように、ワークＳ１、Ｓ２を積層して貼り合せる貼合部２０を備える。貼合部２０は、チャンバ２１内に下側プレート２２と上側プレート２３を対向配置した構成となっている。チャンバ２１は上下動が可能であり、上方に移動すると下側プレート２２と上側プレート２３が外部に開放されワークＳ１、Ｓ２が搬入可能となる。下方に移動すると下側プレート２２と上側プレート２３はチャンバ内に収容され、チャンバ内部に密閉空間が形成される。チャンバ２１は不図示の排気手段によって内部圧力を調整可能となっている。つまり、ワークＳ１、Ｓ２が搬入されると、チャンバ２１が下降して内部が密閉された上で減圧され、減圧雰囲気下で貼り合せが行われるようになっている。
[Bonding device]
As shown in FIG. 9A, the
下側プレート２２は、支持部として、プレート上に載置されたワークＳ１を支持する。上側プレート２３は、保持部として、ワークＳ２を保持機構により保持する。本実施形態では、例として、下側プレート２２に、接着層Ｒａが形成されたワークＳ１が支持され、上側プレート２３にワークＳ２が保持される場合を説明する。
The
上側プレート２３の保持機構として、たとえば、静電チャック、メカチャック、真空チャック、粘着チャック等、現在又は将来において利用可能なあらゆる保持機構が適用可能である。複数の種類のチャックを併用することも可能である。上側プレート２３には、駆動部として、昇降機構２５が備えられている。この昇降機構２５によって、上側プレート２３は下側プレート２２に接離可能に移動し、図９（Ｂ）に示すように、上側プレート２３に保持されたワークＳ２を下側プレート２２に支持されたワークＳ１に押し付けて積層する。ワークＳ１とワークＳ２は、ワークＳ１の表面に形成された接着層Ｒａを介して貼り合わされ、積層体Ｚが形成される。
As the holding mechanism for the
下側プレート２２は、載置されたワークＳ１の位置がずれないように、上側プレート２３と同様の保持機構を備えていてもよい。
The
［硬化装置］
図１０（Ａ）（Ｂ）に示すように、硬化装置３は、ワークＳ１とワークＳ２を接着している接着剤Ｒを硬化する硬化部３０を備える。硬化部３０は、積層体Ｚが載置されるステージ３１と、ステージ３１上に配置された照射ユニット３３を備える。
[Curing equipment]
As shown in FIGS. 10A and 10B, the
照射ユニット３３は、硬化エネルギー、例えば、ＵＶ光を発することができる１つまたは複数のランプやＬＥＤ、ＬＤ等から構成されている。照射ユニット３３の照射は、接着層Ｒａを硬化するのに必要な量のエネルギーを照射することができるように調節されている。このエネルギーの量は、照射の強度と時間により調整される。
The
［制御装置］
制御装置７は、表示装置用部材Ｌの製造装置１００の動作を制御する装置である。本実施形態においては、未硬化層Ｒｓが硬化層Ｒｈよりも薄く形成されるように、ステージ１２ａの移動及びその速度、塗布ノズル１０ａの高さ及び接着剤Ｒの吐出量等を制御する。このような塗布厚の制御は、検出部１３の検出値に基づいて１回目の塗布厚を求め、これに基づいて、２回目の塗布厚を制御することにより行う。さらに、制御装置７は、１回目の塗布において、崩れが生じる前にエネルギーの照射が行われるように、照射部１１の照射タイミング、照射強度等を制御する。
[Control device]
The
制御装置７は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって実現できる。この制御装置７の制御による各部の動作の詳細は、本実施形態の作用として後述する。
The
このような制御を実現するための制御装置７の構成を、仮想的な機能ブロック図である図１１を参照して説明する。すなわち、制御装置７は、機構制御部７０、記憶部７１、塗布厚制御部７２、照射指示部７３、照射強度指示部７４、入出力制御部７５を有する。なお、オペレータが、制御装置７を操作するためのスイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の入力装置については、説明を省略する。
The configuration of the
機構制御部７０は、検出部１３からの検出値が入力され、塗布部１０、照射部１１、支持部１２、貼合部２０、硬化部３０等の機構部の駆動源、バルブ、スイッチ、電源等を制御する処理部である。
The
記憶部７１は、距離、塗布厚、塗布厚分布、照射タイミング等の各種の検出値や算出値、各部の位置、移動速度、吐出量、所定の塗布厚、塗布回数等の各種の設定値のように、本装置の処理に必要な情報を記憶する処理部である。所定の塗布厚は、オペレータが、入力装置を介して入力した所望の塗布厚を、記憶部７１が記憶することにより設定できる。上記のように、塗布厚は、１回目の塗布厚が厚く、これよりも２回目の塗布厚が薄くなればよい。例えば、塗布厚としては、１回目と２回目の塗布を合わせた最終的な塗布厚を設定してもよいし、１回目と２回目の塗布厚をそれぞれ設定してもよい。１回目の塗布厚として設定される塗布厚を、最終的に目標とする塗布厚よりも薄くしておき、目標までの残余の塗布厚を２回目の塗布厚としてもよい。目標とする塗布厚に対する１回目と２回目の塗布厚の割合が設定されていてもよい。照射タイミングは、第２のタイミングの前に設定されている。
The
塗布厚制御部７２は、塗布部１０による塗布厚を制御する処理部である。塗布厚制御部７２は、塗布厚指示部７２ａ、塗布厚検出部７２ｂを有する。塗布厚指示部７２ａは、あらかじめ設定された塗布厚となるように、支持部１２、塗布部１０を制御する処理部である。塗布厚検出部７２ｂは、検出部１３による検出値に基づいて、接着剤Ｒの塗布厚を求める処理部である。塗布厚指示部７２ａは、１回目、２回目ともに、あらかじめ設定された塗布厚で塗布してもよいが、塗布厚検出部７２ｂが検出した１回目の塗布厚に基づいて、２回目の塗布厚を調整してもよい。例えば、１回目の塗布を、１回目として設定された塗布厚で塗布して、その１回目に実際に塗布された接着剤Ｒの塗布厚の算出値に応じて、最終的に目標の塗布厚となるように、２回目の塗布厚を指示することができる。１回目の塗布厚に対して、所定の割合の塗布厚で、２回目の塗布を行うように制御してもよい。さらに、塗布厚指示部７２ａは、検出された塗布厚分布に応じて、全体の塗布厚が均一化するように、２回目の塗布厚を指示することができる。
The coating
照射指示部７３は、設定された照射タイミングに従って、照射部１１の照射を制御する処理部である。照射強度指示部７４は、照射部１１の照射強度を制御する処理部である。入出力制御部７５は、制御対象となる各部との間での信号の変換や入出力を制御するインタフェースである。
The
なお、制御装置７には、装置の状態を確認するためのディスプレイ、ランプ、メータ等の出力装置７６が接続されている。この出力装置７６は、所定の塗布厚、検出部１３の検出値、塗布厚検出部７２ｂにより算出された塗布厚、ステージ１２ａ、ワークＳ１の傾き、接着剤Ｒの塗布厚分布、第１のタイミング、第２のタイミング、始端照射タイミング、終端照射タイミング等を、数値又は図で示した画像を表示してもよい。
The
［作用］
以上のような構成を有する本実施形態の作用を説明する。
（概要）
まず、図２に示すように、塗布ノズル１０ａと照射部１１の直下を、ワークＳ１を載置したステージ１２ａが、駆動機構１２ｂによって水平方向（図中、矢印が示す右から左）に、移動する。塗布ノズル１０ａと照射部１１のステージ１２ａに対する相対移動は、ワークＳ１に対する相対移動と同義である。
[Action]
The operation of the present embodiment having the above configuration will be described.
(Overview)
First, as shown in FIG. 2, the
接着剤Ｒの１回目の塗布は、ワークＳ１の一辺の端部（図中、左端）から始まり、これに対向する一辺の端部（図中、右端）で終了する。２回目の塗布は、１回目の終了側の端部（図中、右端）から始まり、１回目の開始側の端部（図中、左端）で終了する。塗布が開始する始端側を、塗布上流側とし、塗布が終了する終端側を塗布下流側とする。このため、１回目の塗布と、２回目の塗布では、上流側と下流側とが入れ替わる。 The first application of the adhesive R starts from an end portion (left end in the drawing) of the workpiece S1 and ends at an end portion (right end in the drawing) opposite to the one side. The second application starts from the end of the first end (right end in the figure) and ends at the first start end (left end in the figure). The starting end side where the application starts is the upstream side of application, and the end side where the application ends is the downstream side of application. For this reason, in the first application and the second application, the upstream side and the downstream side are interchanged.
１回目の塗布においては、図４に示すように、塗布ノズル１０ａにより接着剤Ｒを塗布しながら、上流側に配置された照射部１１が、その直下の塗布部分に硬化のためのエネルギー、例えばＵＶ光を照射することにより、図中、網掛け部分で示すように、接着剤Ｒを硬化状態とした硬化層Ｒｈを形成する。
In the first application, as shown in FIG. 4, while the adhesive R is applied by the
一方、２回目の塗布においては、図５に示すように、塗布ノズル１０ａにより、１回目よりも薄く接着剤Ｒを塗布する。この２回目の塗布においては、照射部１１によるエネルギー照射は行わない。これにより、厚い硬化層Ｒｈの上に薄い未硬化層Ｒｓが形成される。その後、貼合部２０によるワークＳ１、２の貼り合わせ、硬化部３０による接着剤Ｒの本硬化が行われる。
On the other hand, in the second application, as shown in FIG. 5, the adhesive R is applied thinner by the
（塗布工程）
次に、本実施形態の塗布工程を、図１〜図１１の構成図に加えて、図１２〜図１４を参照して説明する。以下の説明の(1)〜(14)は、図１２及び図１３の(1)〜(14)にそれぞれ対応する。なお、図１２及び図１３におけるステージ１２ａ、ワークＳ１、Ｓ２、塗布ノズル１０ａ、照射部１１の位置及び大きさ等は、説明のための便宜的な表現に過ぎない。
(Coating process)
Next, the coating process of this embodiment will be described with reference to FIGS. 12 to 14 in addition to the configuration diagrams of FIGS. In the following description, (1) to (14) correspond to (1) to (14) in FIGS. Note that the positions and sizes of the
（１回目の塗布）
(1) ワークＳ１が載置されたステージ１２ａが塗布ノズル１０ａに対して検出部１３側から移動を開始して、検出部１３の直下に塗布前のワークＳ１が来た時に、検出部１３のセンサによって、ワークＳ１の表面までの距離の検出が開始する。検出した値は、制御装置７が記憶部７１に記憶する。
(First application)
(1) When the
(2) ステージ１２ａの移動に従って、検出部１３のセンサは検出を継続し、ワークＳ１の反対端に達すると、検出を停止する。制御装置７は、検出されたワークＳ１の表面までの距離から、所定の塗布厚および塗布厚の均一性が得られる平行度となるように、塗布ノズル１０ａの高さを調整する。
(2) The sensor of the
(3) ステージ１２ａが塗布開始位置に移動することにより、待機高さにある塗布ノズル１０ａの吐出口が、ワークＳ１の塗布始端の直上に位置付けられる。そして、塗布ノズル１０ａが、塗布高さへの下降を開始する。
(3) When the
(4) 塗布ノズル１０ａが塗布高さまで達して停止した後、塗布ノズル１０ａからの接着剤Ｒの吐出を開始すると、接着剤ＲがワークＳ１に供給される。ワークＳ１から塗布高さの間に接着剤Ｒが行き渡った後に、ステージ１２ａが塗布方向への移動を開始し、ワークＳ１の表面への接着剤Ｒの塗布が開始する。この時点から、ステージ１２ａは移動を開始して加速して行き、塗布ノズル１０ａは接着剤Ｒの吐出量を徐々に増やしていく。
(4) After the
(5)ステージ１２ａは加速を止めて一定の定常速度となり、塗布ノズル１０ａの接着剤Ｒの吐出量も増加を止めて一定となる。つまり、この状態で、ステージ１２ａ、ワークＳ１、接着剤Ｒに対する塗布ノズル１０ａ及び照射部１１の相対移動速度は、定常速度になる。照射指示部７３は、塗布の開始すなわちステージ１２ａの移動開始から、時間のカウントを開始して、照射タイミングになると、照射部１１に照射を開始させる。
(5) The
なお、ステージ１２ａの駆動機構１２ｂの設定等から、ステージ１２ａの移動開始から定常速度に達するまでの時間が分かる。このため、この時間に基づいて、ステージ１２ａが定常速度となった後で照射部１１が塗布の始端に来るように、塗布ノズル１０ａと照射部１１との間隔を設定しておけばよい。これにより、照射部１１の接着剤Ｒへの照射を、塗布の始端から定常速度で行うことができる。
Note that the time from the start of movement of the
但し、塗布の始端への照射は、上述のように照射タイミングによって決まる。このため、照射タイミングのための第２のタイミングの前で、照射部１１が始端に照射できるように、塗布ノズル１０ａと照射部１１との間隔を設定するとよい。従って、定常速度で照射を開始できる間隔は、照射タイミングで照射できる間隔であればよい。例えば、設計時において、塗布ノズル１０ａと照射部１１との間隔を設定することができる。
However, the irradiation to the coating start end is determined by the irradiation timing as described above. For this reason, it is good to set the space | interval of the
定常速度で照射することにより、単位面積当たりの接着剤Ｒに対する照射エネルギー量を均一化することができる。但し、速度に応じて照射強度を変えることにより、照射エネルギー量を均一化することもできる。また、速度の程度や、接着剤Ｒの粘度、要求される硬化の程度によっては、照射強度を一定にして速度が変わっても、ある程度の照射エネルギー量の均一性は維持できるか、又は許容できるバラつきの範囲内に収まる。従って、必ずしも、定常速度で照射を開始しなくてもよい。 By irradiating at a steady speed, the amount of irradiation energy for the adhesive R per unit area can be made uniform. However, the amount of irradiation energy can be made uniform by changing the irradiation intensity according to the speed. Depending on the degree of speed, the viscosity of the adhesive R, and the required degree of curing, even if the irradiation intensity is kept constant and the speed changes, a certain degree of uniformity in the amount of irradiation energy can be maintained or allowed. It falls within the range of variation. Therefore, it is not always necessary to start irradiation at a steady speed.
(6) ステージ１２ａの移動により、検出部１３の直下に塗布前のワークＳ１が来た時に、検出部１３のセンサによって、塗布済みの接着剤Ｒが硬化した硬化層Ｒｈの表面までの距離の検出が開始する。検出した値は、制御装置７が記憶部７１に記憶する。なお、ステージ１２ａは、塗布ノズル１０ａがワークＳ１の塗布終端に到達する手前から、減速を開始する。この減速にしたがって、塗布ノズル１０ａは、接着剤Ｒの吐出量を徐々に減少させていく。
(6) When the pre-application workpiece S1 comes directly under the
(7)塗布ノズル１０ａが、ワークＳ１の塗布終端の直上に到達すると、ステージ１２ａは一旦停止するとともに、照射部１１も一旦、照射及び移動を停止する。この時、塗布ノズル１０ａは、接着剤Ｒの吐出を停止する。
(7) When the
(8)このように塗布ノズル１０ａに対して、ステージ１２ａが停止した状態で、塗布ノズル１０ａは上昇して待機高さで停止する。既に、塗布ノズル１０ａは接着剤Ｒの吐出を停止しているので、塗布ノズル１０ａが待機高さに達するまでの間のいずれかの時点で、ワークＳ１側とノズル側に接着剤Ｒが切り離される。
(8) With the
(9)接着剤Ｒが確実に切れたタイミングの後で、ステージ１２ａは再び移動を開始する。この移動距離は、少なくとも照射部１１が塗布の終端へ到達できる距離である。この間のステージ１２ａの移動速度は、短時間の加速後に減速に転じる。照射指示部７３は、塗布ノズル１０ａの上昇開始から、時間のカウントを開始して、照射タイミングになると、照射部１１に照射を開始させる。この終端照射タイミングは、第２のタイミングの前であればよい。また、接着剤Ｒが確実に切れるタイミングは、予め試験で確認しておくことで、設定しておくことができる。照射部１１が塗布の終端に達した時点で、照射部１１は照射を停止する。これにより、ワークＳ１の上に、接着剤Ｒによる硬化層Ｒｈが形成される。
(9) After the timing when the adhesive R is surely cut, the
(10) ステージ１２ａの移動に従って、検出部１３は検出を継続し、検出部１３がワークＳ１の塗布終了端まで達すると、ステージ１２ａは停止する。
(10) According to the movement of the
なお、ステージ１２ａの移動速度が低下するに従って、照射強度指示部７４が、照射部１１の照射強度を徐々に低下させ、ステージ１２ａの移動速度が短時間に昇降（変化）するに従って、照射部１１の照射強度を昇降（変化）させることにより、照射エネルギー量の均一化を図ることもできる。
The irradiation
また、照射部１１が塗布の終端に達した時点で照射を停止してもよいし、終端を通過してから照射を停止してもよい。
Further, the irradiation may be stopped when the
（２回目の塗布）
(11) 次に、１回目の塗布とは反対の方向に、ステージ１２ａが移動を開始して、待機位置にある塗布ノズル１０ａが、ワークＳ１の塗布開始端の直上に来ると、ステージ１２ａが一旦停止する。
(Second application)
(11) Next, when the
(12) そして、待機位置にある塗布ノズル１０ａが下降を開始して、塗布位置まで達して停止し、塗布ノズル１０ａからの接着剤Ｒの吐出を開始すると、接着剤ＲがワークＳ１の硬化層Ｒｈに供給される。
(12) Then, when the
(13)これと同時に、ステージ１２ａが移動を再開する。これにより、ワークＳ１の表面への接着剤Ｒの塗布が開始する。
(13) At the same time, the
(14）塗布ノズル１０ａがワークＳ１の塗布終了端の直上に来ると、ステージ１２ａは一旦停止する。塗布ノズル１０ａは、接着剤Ｒの吐出を終了し、待機位置まで上昇する。すると、ワークＳ１側と塗布ノズル１０ａ側に接着剤Ｒが切り離される。これにより、硬化層Ｒｈの上に、硬化層Ｒｈよりも薄い未硬化層Ｒｓが形成された接着層Ｒａとなる。
(14) When the
（１回目の塗布厚の算出）
制御装置７の塗布厚検出部７２ｂは、検出部１３が硬化層Ｒｈの表面までの距離を検出する都度、接着剤Ｒの塗布厚を算出し、記憶部７１に記憶していく。つまり、図１４に示すように、塗布厚検出部７２ｂは、あらかじめ検出したワークＳ１の表面までの距離Ｈ１と、硬化層Ｒｈの表面までの距離Ｈ２との差分をとることで、塗布された接着剤Ｒの高さ（塗布厚）を求める。塗布厚検出部７２ｂは、このように塗布開始端から塗布終了端までの接着剤Ｒの塗布厚を求めることにより、塗布された接着剤Ｒの全面の塗布厚の分布を作成する。作成された塗布厚の分布は、記憶部７１が記憶する。
(Calculation of the first coating thickness)
The application
（２回目の塗布厚の制御）
塗布厚指示部７２ａは、１回目の塗布で検出された塗布厚よりも薄く、最終的な塗布厚が目標とする所定の厚さとなるように、２回目の塗布に当たって、塗布厚指示部７２ａが塗布厚を制御する。さらに、全体の厚みが均一化するように制御することもできる。
(Control of coating thickness for the second time)
The application
つまり、塗布厚指示部７２ａは、塗布ノズル１０ａと塗布済みの接着剤Ｒの表面までの距離、塗布ノズル１０ａからの接着剤Ｒの吐出量、塗布ノズル１０ａとステージ１２ａとの相対移動の速度等を調整することにより、２回目の塗布厚を制御する。塗布ノズル１０ａと塗布済みの接着剤Ｒの表面までの距離は遠いほど厚くなり、近いほど薄くなる。塗布ノズル１０ａからの接着剤Ｒの吐出量が多いほど厚くなり、少ないほど薄くなる。塗布ノズル１０ａとステージ１２ａとの相対移動の速度が速いほど薄くなり、遅いほど厚くなる。
That is, the coating
また、塗布厚分布において、塗布厚が薄い箇所については、２回目に塗布する接着剤Ｒを厚く、塗布厚が厚い箇所については、２回目に塗布する接着剤Ｒを薄くするとともに、最終的に接着剤Ｒの全体が均一の厚さとなるように調整することができる。塗布厚の平均値に応じて、最終的に接着剤Ｒの全体が所望の厚さとなるように調整する大まかな処理でもよい。 In the application thickness distribution, the adhesive R to be applied for the second time is thickened for the portion where the coating thickness is thin, and the adhesive R to be applied for the second time is made thin for the portion where the coating thickness is thick. The entire adhesive R can be adjusted to have a uniform thickness. Depending on the average value of the coating thickness, rough processing may be performed in which the entire adhesive R is finally adjusted to a desired thickness.
（貼合工程）
上記のように、接着層Ｒａが形成されたワークＳ１は、不図示のピックアップ手段によって接着剤塗布装置１から搬出され、搬送装置４で搬送されて、貼合装置２に搬入される。ここで、ワークＳ２も、貼合装置２に搬入される。図９（Ａ）に示すように、下側プレート２２は、プレート上に載置されたワークＳ１を支持する。上側プレート２３は、ワークＳ２を保持機構により保持する。ワークＳ１とワークＳ２の搬送タイミングは、貼合装置２で合流することができるように調整すれば良く、一つに限定されるものではない。
(Bonding process)
As described above, the workpiece S1 on which the adhesive layer Ra is formed is unloaded from the
例えば、ワークＳ２をワークＳ１と同時に表示装置用部材の製造装置１００に搬入するが、接着剤塗布装置１は通過して先に貼合装置２に搬入する。そして、ワークＳ１が接着剤塗布装置１で接着剤Ｒを塗布されている間は、貼合装置２において待機していても良い。あるいは、ワークＳ２は、ワークＳ１よりも後のタイミングで表示装置用部材の製造装置１００に搬入し、接着剤塗布装置１での塗布が完了したワークＳ１と同じタイミングで貼合装置２に搬入するようにしてもよい。ワークＳ１への塗布にかかる時間とワークＳ２の貼合装置２への搬入にかかる時間との兼ね合いで、ロス時間が生じないようにすればよい。
For example, the workpiece S <b> 2 is carried into the display device
ワークＳ１、Ｓ２が搬入されると、チャンバ２１が下降して内部が密閉された上で減圧され、減圧雰囲気下で、図９（Ｂ）に示すように、上側プレート２３に保持されたワークＳ２を下側プレート２２に支持されたワークＳ１に押し付けて貼り合せが行われる。この貼り合わせ時に、接着層Ｒａの表面においてボイドを噛み込んでも、未硬化層Ｒｓは流動性が維持されているので、ボイドが移動して外部に抜ける。また、接着剤Ｒの内部に発生したボイドも、外部に抜ける。このようにワークＳ１とワークＳ２を貼り合せて形成された積層体Ｚは、不図示のピックアップ手段によって貼合装置２から搬出され、搬送装置４で搬送され、硬化装置３に搬入される。
When the workpieces S1 and S2 are carried in, the
（硬化工程）
図１０（Ａ）に示すように、搬送装置４で搬送された積層体Ｚは硬化装置３のステージ３１に載置される。そして、図１０（Ｂ）に示すように、照射ユニット３３が、接着剤Ｒが完全に硬化するのに必要な量のエネルギーを照射し、接着層Ｒａの硬化が完了する。
(Curing process)
As shown in FIG. 10A, the stacked body Z transported by the
なお、表示装置用部材の製造装置１００は、接着剤塗布装置１、貼合装置２及び硬化装置３の前後又はその間に別の工程を行ってもよい。そのために、表示装置用部材の製造装置１００は、例えば、接着剤塗布装置１の前段又は貼合装置２の前段でワークＳ１、Ｓ２の外観を撮像して位置合わせを行う位置合わせ部や、完成した積層体Ｚを梱包するテーピングユニット等を備えてもよい。また、貼り合せ時に生じるワークＳ１とワークＳ２のずれを修正する位置合わせ部や、貼合面に発生したボイドを大気圧で加圧して消滅させる待機時間を確保する待機部等を貼合装置２の後段に備えてもよい。
In addition, the
また、搬送装置４、接着剤塗布装置１又は貼合装置２に、ワークＳ１を反転する機構を設け、接着剤Ｒが塗布されたワークＳ１を反転して、貼合装置２の上側プレート２３に保持させてもよい。この場合、ワークＳ２を、下側プレート２２に載置して、貼り合わせを行うことができる。もちろん、ワークＳ２を反転して、貼合装置２の上側プレート２３に保持させてもよい。
Moreover, the mechanism which reverses the workpiece | work S1 is provided in the conveying
［効果］
以上のような本実施形態によれば、以下のような効果が得られる。
（１）表示装置を構成するワークＳ１、Ｓ２を、エネルギーの照射により硬化する接着剤Ｒを介して貼り合わせるために、一方のワークＳ１に対して、接着剤Ｒを塗布する塗布ノズル１０ａと、塗布ノズル１０ａにより塗布された接着剤Ｒに対して、エネルギーを照射することにより、接着剤Ｒが硬化した硬化層Ｒｈを形成する照射部１１とを有する。そして、塗布ノズル１０ａは、硬化層Ｒｈにおける他方のワークＳ２との貼り合わせ側の面に、貼り合わせ前に硬化させない接着剤Ｒを、硬化層Ｒｈよりも薄く塗布することにより、未硬化層Ｒｓを形成する。
[effect]
According to the present embodiment as described above, the following effects can be obtained.
(1) An
このため、接着剤Ｒの膜厚の厚い方を担う硬化層Ｒｈによって接着剤Ｒの変動が抑制されるとともに、貼り合わせ時における圧力で、接着剤Ｒが外周へ押し出されることを抑制できる。さらに、上記のように、薄い未硬化層Ｒｓがその表面において噛み込んだボイドは、流動性のある未硬化層Ｒｓ内を移動して外部に抜ける。また、接着剤Ｒの内部に発生したボイドも外部に抜ける。従って、ボイドのない安定した貼り合わせを行うことができ、製品の品質が向上する。 For this reason, while the fluctuation | variation of the adhesive agent R is suppressed by the hardened layer Rh which bears the one where the film thickness of the adhesive agent R is thick, it can suppress that the adhesive agent R is extruded by the pressure at the time of bonding. Further, as described above, the void that has been bitten on the surface of the thin uncured layer Rs moves through the fluid uncured layer Rs and escapes to the outside. In addition, voids generated inside the adhesive R also escape to the outside. Therefore, stable bonding without voids can be performed, and the quality of the product is improved.
（２）また、硬化層Ｒｈとなる接着剤Ｒに対する照射部１１の照射タイミングは、接着剤Ｒの塗布の始端及び終端における接着剤Ｒの貼合面に崩れが生じる前である。
(2) Moreover, the irradiation timing of the
このため、硬化層Ｒｈの形状を、***や窪みが無い若しくは許容範囲内の状態で固定できる。また、かかる硬化層Ｒｈに薄く未硬化層Ｒｓを塗布した場合、平坦面を維持し易い。この未硬化層Ｒｓは、薄い塗布のため縁部の***が発生しにくい。特に１０μｍ以下であると、縁部の***がほとんど発生しない。 For this reason, the shape of the hardened layer Rh can be fixed in a state where there is no bulge or dent or is within an allowable range. Further, when a thin uncured layer Rs is applied to the cured layer Rh, it is easy to maintain a flat surface. Since the uncured layer Rs is thinly applied, the edge bulge hardly occurs. In particular, when the thickness is 10 μm or less, the edge is hardly raised.
硬化層Ｒｈの塗布厚を検出する検出部１３と、検出部１３により検出された塗布厚に基づいて、未硬化層Ｒｓとなる接着剤Ｒの塗布厚を制御する塗布厚制御部７２と、を有する。
A
このため、１回目の実際の塗布厚に応じて、２回目の塗布厚を調整することにより、所望の塗布厚を得ることができる。 Therefore, a desired coating thickness can be obtained by adjusting the second coating thickness in accordance with the first actual coating thickness.
［他の実施形態］
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。例えば、図１５に示すように、塗布方向における塗布ノズル１０ａを挟んで検出部１３と反対側（図２における下流側、図３における上流側）に、検出部１３と同様の検出部１３ａを追加してもよい。この検出部１３ａは、塗布前のワークＳ１の表面までの距離を検出する。検出部１３のセンサと検出部１３ａのセンサの基準となる高さは同じであり、その位置関係は、固定である。
[Other Embodiments]
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, as shown in FIG. 15, a
検出部１３、１３ａにおけるセンサは、それぞれ複数存在する。検出部１３、１３ａにおける複数のセンサは、例えば、ワークＳ１の塗布面に平行であって、塗布方向に直交する方向に等間隔で複数配置されている。一方側の検出部１３の複数のセンサと、他方側の検出部１３ａの複数のセンサとは、一対一で対応している。一方側と他方側とで対応する一対のセンサの検出位置は、ステージ１２ａの移動に従って、ステージ１２ａ上の同一の軌跡を辿る。このような検出部１３、１３ａを設けることによって、塗布前のワークＳ１の表面までの距離の検出、第１回目の塗布、照射部１１による照射、塗布後の接着剤Ｒである硬化層Ｒｈの表面までの距離の検出を、同一方向への移動に従って行うことができる。
There are a plurality of sensors in the
つまり、図１５（１）〜（３）に示すように、ステージ１２ａの移動に従って、接着剤Ｒの塗布の開始前に、検出部１３によって、ワークＳ１の表面までの距離が検出される。そして、図１５（４）〜（７）に示すように、同一方向のステージ１２ａの移動に従って、ワークＳ１に塗布され、硬化した硬化層Ｒｈの表面までの距離が検出される。図１６に示すように、塗布厚検出部７２ｂは、検出部１３ａが検出したワークＳ１の表面までの距離Ｈ１と、検出部１３が検出した硬化層Ｒｈの表面までの距離Ｈ２との差分をとることで、塗布された接着剤Ｒの高さ（塗布厚）を求める。その他の工程は、上記の実施形態と同様である。
That is, as shown in FIGS. 15 (1) to 15 (3), according to the movement of the
このような態様によれば、１方向への移動によって、塗布厚の検出と１回目の塗布を行うことができるので、往復動させる場合よりも、処理が高速となり、ステージ１２ａのずれも少ない。
According to such an aspect, since the coating thickness can be detected and the first coating can be performed by moving in one direction, the processing becomes faster and the displacement of the
接着剤Ｒは、貼り合わせのために必要な面状に塗布されればよい。例えば、ワークＳ１の片面の全体に行き渡るように塗布してもよいし、一部に塗布されていない領域があってもよい。また、接着剤ＲがワークＳ１の縁に達していてもよいし、達していなくてもよい。接着剤ＲがワークＳ１の縁の一部に達していて、一部に達していない部分があってもよい。 The adhesive R may be applied to the surface necessary for bonding. For example, you may apply | coat so that the whole surface of the workpiece | work S1 may be spread, and there may exist the area | region which is not apply | coated to one part. Further, the adhesive R may or may not reach the edge of the workpiece S1. There may be a part where the adhesive R reaches a part of the edge of the workpiece S1 and does not reach the part.
また、接着剤Ｒを吐出するノズルとして、スリットノズルを例に挙げて説明したが、塗布ノズル１０ａは、スリットノズルに限られない。例えば、塗布ノズル１０ａを、スリットノズルの代わりに、多数の針状ノズルが並んだマルチノズルとして、このマルチノズルによって接着剤Ｒを複数のスジ状に塗布してもよい。複数のスジ状に塗布された接着剤Ｒ同士が展延して一体化して面状になっても、スリットノズルによる塗布と同様に、面状の塗布が可能である。例えば、図１７に示すように、塗布ノズル１０ａからの接着剤Ｒが複数のスジ状に塗布してもよい。
Moreover, although the slit nozzle was mentioned as an example as a nozzle which discharges the adhesive agent R, the
この場合、例えば、矩形の面状に塗布された四辺の縁部以外に、中央部においては、スジ状の接着剤Ｒが一体化するまで、硬化のための照射を待つ必要がある。この照射を待つ時間は、前記第１、第２および始端、後端の照射タイミングの時間より格段に長く必要となるため、硬化層Ｒｈは、スリットノズルにより塗布し、未硬化層Ｒｓは、マルチノズルにより塗布するというように、各層を異なる種類の塗布ノズル１０ａによって塗布してもよい。
In this case, for example, it is necessary to wait for irradiation for curing until the streak-shaped adhesive R is integrated in the central portion other than the four side edges applied in a rectangular plane shape. Since the time for waiting for this irradiation needs to be much longer than the irradiation timing times of the first, second, start and rear ends, the hardened layer Rh is applied by a slit nozzle, and the unhardened layer Rs is multi-layered. Each layer may be applied by a different type of
貼り合せ対象となるワークＳ１、Ｓ２は、表示装置を構成する積層体Ｚとなる部材であって、片面に接着剤Ｒを面状に塗布して貼り合わせるものであれば、その大きさ、形状、材質等は問わない。つまり、偏光板等を含む表示パネル、操作用のタッチパネル、表面を保護する保護パネル、平板状のバックライトやバックライトの導光板等、これらの少なくとも２種を貼合して表示装置用部材Ｌを構成するものであればよい。表示装置としても、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等、貼り合わされる平板状のワークを有し、現在又は将来において利用可能な表示装置を広く含む。 The workpieces S1 and S2 to be bonded are members to be the laminated body Z constituting the display device, and if the adhesive R is applied in a planar shape on one side and bonded, the size and shape thereof Any material can be used. That is, at least two of these, such as a display panel including a polarizing plate, a touch panel for operation, a protective panel for protecting the surface, a flat backlight, a light guide plate for backlight, and the like are bonded to each other. As long as it constitutes. The display device includes a wide range of display devices that have a flat plate-like work to be bonded, such as a liquid crystal display and an organic EL display, and can be used at present or in the future.
また、互いに貼り合わされる一対のワークＳ１、Ｓ２は、１枚であっても、複数枚の積層体であってもよい。表示パネル、駆動回路、プリント基板を貼合した積層体に、さらに、タッチパネル、保護パネル又は複合パネルを貼合する等であってもよい。すなわち、表示装置用部材Ｌとして積層されるワークの積層数は、特定の数には限定されない。 Further, the pair of workpieces S1 and S2 to be bonded to each other may be one sheet or a plurality of stacked bodies. A touch panel, a protective panel, or a composite panel may be further bonded to the laminate in which the display panel, the drive circuit, and the printed board are bonded. That is, the number of workpieces stacked as the display device member L is not limited to a specific number.
接着剤Ｒが塗布されるワークＳ１は、表示装置の表示パネルまたは表示パネルを含む積層体であってもよいし、保護パネル、タッチパネル又はタッチパネルを含む保護パネル（複合パネル）であってもよい。但し、偏光板やカラーフィルタ等を含む表示パネルは、歪みも大きく、その歪みの固体差も大きい。保護パネルのみ、タッチパネルのみ又はそれらの複合パネルのように、シンプルな構成のものの方が、歪みが少なく、接着剤Ｒを均一に塗布しやすい。なお、接着剤Ｒの流動を抑制してボイドの発生を防止することは、平板上のバックライトやバックライトの導光板等を貼り合わせる場合にも要求される。つまり、バックライトや導光板もワークＳ１、Ｓ２として捉えることができる。接着剤Ｒは、積層体、バックライト、導光板のいずれに塗布してもよいが、この場合にも、シンプルな構成のバックライト、導光板側に塗布することが好ましい。 The workpiece S1 to which the adhesive R is applied may be a display panel of a display device or a laminate including a display panel, or may be a protective panel, a touch panel, or a protective panel (composite panel) including a touch panel. However, a display panel including a polarizing plate, a color filter, and the like has a large distortion and a large solid difference in the distortion. A simple configuration such as a protective panel only, a touch panel only, or a composite panel thereof is less distorted and easier to apply the adhesive R uniformly. In addition, suppressing the flow of the adhesive R to prevent the generation of voids is also required when attaching a backlight on a flat plate, a light guide plate of the backlight, or the like. That is, the backlight and the light guide plate can also be regarded as the workpieces S1 and S2. The adhesive R may be applied to any of the laminate, the backlight, and the light guide plate, but in this case as well, it is preferable to apply the adhesive R to the backlight and the light guide plate side having a simple configuration.
また、貼り合わされるワークＳ１、Ｓ２の双方に、接着剤Ｒを塗布してもよい。双方のワークＳ１、Ｓ２に接着剤Ｒを塗布する場合、一方にのみ、上記のように２層に接着剤Ｒを塗布してもよいし、双方に、上記のように２層に接着剤Ｒを塗布してもよい。 Moreover, you may apply | coat the adhesive agent R to both workpiece | work S1 and S2 bonded together. When the adhesive R is applied to both the workpieces S1 and S2, the adhesive R may be applied to the two layers as described above, or the adhesive R to the two layers as described above. May be applied.
上記の実施形態では、ステージ１２ａを往復動させることにより、１回目と２回目の塗布を行なっていた。しかし、本発明は、往復動による塗布には限定されない。例えば、１回目の塗布後、１回目の塗布開始位置まで戻って、同方向への移動により、２回目の塗布を行ってもよい。ワークＳ１と塗布部１０との関係は、相対移動であればよいので、双方又は一方が移動すればよい。従って、例えば、ステージ１２ａによりワークＳ１側を移動させるのではなく、塗布ノズル１０ａ及び照射部１１側を移動させることにより、塗布を行なってもよい。この場合も、塗布ノズル１０ａの加速時及び減速時には、照射部１１は塗布ノズル１０ａとは独立して減速及び加速することにより、上記と同様の定常速度の維持が可能となる。
In the above embodiment, the first and second coatings are performed by reciprocating the
照射部１１によるエネルギーの照射は、上記のように、塗布された接着剤Ｒの全体でなくてもよい。例えば、図１８（Ａ）に示すように、接着剤Ｒの外縁部のみに照射してもよい。また、図１８（Ｂ）に示すように、外縁部の内側に照射してもよい。図１８（Ｂ）は散点的に照射した例であるが、面状に照射してもよい。
The irradiation of energy by the
本発明は、１回目に塗布した接着剤Ｒに対する硬化は必須であるが、必ずしも上記の照射タイミングによることには限定されない。つまり、塗布しながら硬化させる必要はない。例えば、照射部１１の構成も、塗布ノズル１０ａに追従させるものには限定されない。図２０（Ｂ）に示したように、接着剤Ｒの塗布後に、全体に照射する構成でもよい。この場合、照射範囲を選択的に変更できるシャッター、マスク等の遮蔽部を備えてもよい。
In the present invention, curing for the adhesive R applied for the first time is essential, but the present invention is not necessarily limited to the above irradiation timing. That is, it is not necessary to cure while applying. For example, the configuration of the
接着剤塗布装置１におけるステージ１２ａ上へのワークＳの支持は、バキュームチャック、静電チャック、メカチャック、粘着チャック等、現在又は将来において利用可能なあらゆる保持機構により、安定化させることができる。複数の種類の保持機構を併用することも可能である。
Support of the workpiece S on the
使用する接着剤Ｒの種類は、紫外線硬化型の樹脂には限定されない。電磁波や熱の照射により硬化する樹脂が一般的であるが、現在又は将来において利用可能なあらゆる接着剤であって、エネルギーの照射により硬化するものに適用可能である。この場合、接着剤の種類に応じて、照射部を、種々の赤外線、放射線等の照射装置、加熱装置、乾燥装置等に変えることになる。 The kind of the adhesive R to be used is not limited to the ultraviolet curable resin. Resins that are cured by irradiation with electromagnetic waves or heat are generally used, but any adhesive that can be used at present or in the future and that is cured by irradiation of energy can be applied. In this case, according to the kind of adhesive agent, an irradiation part will be changed into various irradiation apparatuses, such as infrared rays and a radiation, a heating apparatus, a drying apparatus.
１…接着剤塗布装置
１０…塗布部
１０ａ…塗布ノズル
１０ｂ…遮蔽部
１１…照射部
１１ａ…照射源
１２…支持部
１２ａ…ステージ
１２ｂ…駆動機構
１３、１３ａ…検出部
２…貼合装置
２０…貼合部
２１…チャンバ
２２…下側プレート
２３…上側プレート
２５…昇降機構
３…硬化装置
３０…硬化部
３１…ステージ
３３…照射ユニット
４…搬送装置
５…ローダ
６…アンローダ
７…制御装置
７０…機構制御部
７１…記憶部
７２…塗布厚制御部
７２ａ…塗布厚指示部
７２ｂ…塗布厚検出部
７３…照射指示部
７４…照射強度指示部
７５…入出力制御部
７６…出力装置
１００…表示装置用部材の製造装置
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記塗布部により塗布された接着剤に対して、エネルギーを照射することにより、接着剤が硬化した硬化層を形成する照射部と、
を有し、
前記塗布部は、前記硬化層における他方のワークとの貼り合わせ側の面に、貼り合わせ前に硬化させない接着剤を、前記硬化層よりも薄く塗布することにより、未硬化層を形成することを特徴とする塗布装置。 In order to bond a pair of workpieces constituting the display device via an adhesive that is cured by energy irradiation, an application unit that applies an adhesive to at least one workpiece;
An irradiation unit that forms a cured layer in which the adhesive is cured by irradiating energy to the adhesive applied by the application unit, and
Have
The application part forms an uncured layer on the surface of the cured layer on the side to be bonded to the other workpiece by applying an adhesive that is not cured before bonding, thinner than the cured layer. A characteristic coating apparatus.
前記検出部により検出された塗布厚に基づいて、前記未硬化層となる接着剤の塗布厚を制御する塗布厚制御部と、
を有することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の塗布装置。 A detection unit for detecting the coating thickness of the cured layer;
Based on the coating thickness detected by the detection unit, a coating thickness control unit that controls the coating thickness of the adhesive that becomes the uncured layer;
The coating apparatus according to claim 1, further comprising:
照射部が、前記塗布部により塗布された接着剤に対して、エネルギーを照射することにより、接着剤が硬化した硬化層を形成し、
前記塗布部が、前記硬化層における他方のワークとの貼り合わせ側の面に、貼り合わせ前に硬化させない接着剤を、前記硬化層よりも薄く塗布することにより、未硬化層を形成することを特徴とする接着剤塗布ワーク製造方法。 The application unit applies the adhesive to at least one workpiece in order to bond the pair of workpieces constituting the display device via an adhesive that is cured by energy irradiation,
The irradiation part irradiates energy to the adhesive applied by the application part, thereby forming a cured layer in which the adhesive is cured,
The application part forms an uncured layer on the surface of the cured layer on the side to be bonded to the other workpiece by applying an adhesive that is not cured before bonding, thinner than the cured layer. A method for producing an adhesive-coated workpiece.
前記一対のワークを、前記塗布した接着剤によって貼り合わせる貼合装置と、
前記貼合装置において貼り合わされた前記一対のワークの前記接着剤を硬化させる硬化装置と、
前記一対のワークを、前記塗布装置、前記貼合装置及び前記硬化装置の間で搬送する搬送装置と、
を有することを特徴とする表示装置用部材の製造装置。 The coating apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein an adhesive that is cured by energy irradiation is applied to at least one of a pair of workpieces constituting the display device,
A bonding apparatus for bonding the pair of workpieces with the applied adhesive;
A curing device that cures the adhesive of the pair of workpieces bonded in the bonding device;
A conveying device that conveys the pair of workpieces between the coating device, the bonding device, and the curing device;
An apparatus for manufacturing a member for a display device, comprising:
前記一対のワークを、前記塗布した接着剤によって貼り合わせ、
前記貼り合わされた一対のワークの接着剤を硬化させることを特徴とする表示装置用部材の製造方法。 The adhesive is applied to at least one of the pair of workpieces constituting the display device by the adhesive-coated workpiece manufacturing method according to claim 4,
Bonding the pair of workpieces with the applied adhesive,
A method for manufacturing a member for a display device, wherein the adhesive for the pair of workpieces bonded together is cured.
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