JP2016002381A5 - - Google Patents

Description

上記の目的を達成するための、本発明の一様態による撮影装置は、
測定光を照射した被検査物からの戻り光と前記測定光に対応する参照光とを合波した光を偏光成分が異なる複数の光に分割する分割手段と、前記複数の光を検出する検出手段と、を有する被検査物を撮影する撮影装置であって、
光路に設けられた第１の反射部材と、
前記第１の反射部材により生じる異なる偏光成分の間の位相差を補正するように設けられた第２の反射部材と、を有し、
前記第１の反射部材の境界面への入射光と反射光とで規定される第１の入射面と、前記第２の反射部材の境界面への入射光と反射光とで規定される第２の入射面とが、互いに交差するように、前記第１の反射部材と前記第２の反射部材とが設けられる。
また、上記の目的を達成するための、本発明の一様態による撮影装置は、
測定光を照射した被検査物からの戻り光と前記測定光に対応する参照光とを合波した光を偏光成分が異なる複数の光に分割する分割手段と、前記複数の光を検出する検出手段と、を有する被検査物を撮影する撮影装置であって、
光路に設けられた第１の光学部材と、
前記第１の光学部材とは異なる種類であり、前記第１の光学部材により生じる異なる偏光成分の間の位相差を補正する第２の光学部材と、を有する。

Claims (18)

1. 測定光を照射した被検査物からの戻り光と前記測定光に対応する参照光とを合波した光を偏光成分が異なる複数の光に分割する分割手段と、前記複数の光を検出する検出手段と、を有する被検査物を撮影する撮影装置であって、
   光路に設けられた第１の反射部材と、
   前記第１の反射部材により生じる異なる偏光成分の間の位相差を補正するように設けられた第２の反射部材と、を有し、
   前記第１の反射部材の境界面への入射光と反射光とで規定される第１の入射面と、前記第２の反射部材の境界面への入射光と反射光とで規定される第２の入射面とが、互いに交差するように、前記第１の反射部材と前記第２の反射部材とが設けられることを特徴とする撮影装置。
2. 前記第２の反射部材は、前記第１の反射部材と同じ種類の反射部材であることを特徴とする請求項１に記載の撮影装置。
3. 前記第１の反射部材は、前記測定光と前記参照光とのうち少なくとも一つの光を反射する反射部材であり、
   前記第２の反射部材は、前記反射した光を前記第１の反射部材が設けられた光路の光軸を含む平面に対して交差する方向に反射する反射部材であり、前記第１の反射部材の反射により生じる前記位相差を、前記第２の反射部材の反射により補正することを特徴とする請求項１または２に記載の撮影装置。
4. 前記第１の反射部材及び前記第２の反射部材が前記参照光の光路に設けられ、
   前記参照光の光路に設けられ、前記第１の反射部材及び前記第２の反射部材の後段に設けられる偏光調整部材を更に有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の撮影装置。
5. 前記第１の反射部材は、前記測定光の光路に配置される第１の波長選択部材であり、
   前記第２の反射部材は、前記測定光の光路に設けられる第２の波長選択部材であり、前記第１の波長選択部材の反射により生じる前記位相差を、前記第２の波長選択部材の反射により補正することを特徴とする請求項１または２に記載の撮影装置。
6. 前記第１の反射部材は、前記測定光の光路に配置される前記測定光を走査する第１の走査手段であり、
   前記第２の反射部材は、前記測定光の光路に配置される前記測定光を走査する第２の走査手段であり、前記第１の走査手段の反射により生じる前記位相差を、前記第２の走査手段の反射により補正することを特徴とする請求項１または２に記載の撮影装置。
7. 前記第１の反射部材が前記測定光の光路に設けられている場合には前記第２の反射部材は前記測定光の光路に設けられ、
   前記第１の反射部材が前記参照光の光路に設けられている場合には前記第２の反射部材は前記参照光の光路に設けられることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の撮影装置。
8. 測定光を照射した被検査物からの戻り光と前記測定光に対応する参照光とを合波した光を偏光成分が異なる複数の光に分割する分割手段と、前記複数の光を検出する検出手段と、を有する被検査物を撮影する撮影装置であって、
   光路に設けられた第１の光学部材と、
   前記第１の光学部材とは異なる種類であり、前記第１の光学部材により生じる異なる偏光成分の間の位相差を補正する第２の光学部材と、
   を有することを特徴とする撮影装置。
9. 前記第２の光学部材は、前記位相差が補正されるように配置される偏光調整部材であることを特徴とする請求項８に記載の撮影装置。
10. 前記第１の光学部材が前記測定光の光路に設けられている場合には前記第２の光学部材は前記測定光の光路に設けられ、
    前記第１の光学部材が前記参照光の光路に設けられている場合には前記第２の光学部材は前記参照光の光路に設けられることを特徴とする請求項８または９に記載の撮影装置。
11. 測定光を照射した被検査物からの戻り光を偏光成分が異なる複数の光に分割する分割手段と、前記複数の光を検出する検出手段と、を有する被検査物を撮影する撮影装置であって、
    光路に設けられた光学部材により生じる異なる偏光成分の間の位相差を補正する補正手段を有することを特徴とする撮影装置。
12. 前記補正手段を駆動する駆動手段と、
    前記位相差が補正されるように前記駆動手段を制御する制御手段と、
    を更に有することを特徴とする請求項１１に記載の撮影装置。
13. 前記補正手段は、偏光調整部材であり、
    前記駆動手段は、前記偏光調整部材を回転することを特徴とする請求項１２に記載の撮影装置。
14. 前記補正手段は、ポラライザであり、
    前記駆動手段は、前記ポラライザのスリットを回転することを特徴とする請求項１２に記載の撮影装置。
15. 前記補正手段は、液晶光学素子であり、
    前記駆動手段は、前記液晶光学素子に電圧を印加することを特徴とする請求項１２に記載の撮影装置。
16. 前記補正手段は、ファイバ型の偏光制御部材であり、
    前記駆動手段は、前記偏光制御部材を加圧することを特徴とする請求項１２に記載の撮影装置。
17. 前記光学部材は、前記測定光の光路に配置される第１の波長選択部材であり、
    前記補正手段は、前記測定光の光路に設けられる第２の波長選択部材であり、前記第１の波長選択部材の反射により生じる前記位相差を、前記第２の波長選択部材の反射により補正することを特徴とする請求項１１に記載の撮影装置。
18. 前記光学部材は、前記測定光の光路に配置される前記測定光を走査する第１の走査手段であり、
    前記補正手段は、前記測定光の光路に配置される前記測定光を走査する第２の走査手段であり、前記第１の走査手段の反射により生じる前記位相差を、前記第２の走査手段の反射により補正することを特徴とする請求項１１に記載の撮影装置。