JP2013517465A5 - - Google Patents

Claims (25)

1. 光路相違光学部品群と検出器を有する干渉計であって、
   前記光路相違光学部品群は、少なくとも２つの反射素子とビームスプリッタとを有し、前記ビームスプリッタは入力ビームを、それぞれ、第１および第２の光路を経て前記検出器へ到達する第１および第２のビームに分割するよう構成されており、
   前記第１および第２のビームは、それぞれ、第１および第２の反射素子へ向けられ、
   前記第１の反射素子は前記第１のビームを前記第２の反射素子へ向かわせるように構成されており、前記第２の反射素子は前記第１のビームを前記ビームスプリッタ経由で前記検出器へ向かわせるよう構成されており、
   前記第２の反射素子は前記第２のビームを前記第１の反射素子へ向かわせるよう構成されており、前記第１の反射素子は前記第２のビームを前記ビームスプリッタ経由で前記検出器へと向かわせるよう構成されており、
   前記第１および第２の光路は光路長差を有しており、
   前記検出器は、前記第１および第２のビームの干渉によって生成されたパターンを検出するよう構成されており、
   前記第１および第２の反射素子は、前記第１および第２のビームを前記検出器に焦点合わせするために凹面状に湾曲しており、
   前記光路相違光学部品群は、前記第１および第２のビームが、前記ビームスプリッタを離れて前記検出器へ向かうときには、互いに対してずれるように構成されており、それによって前記第１および第２のビームの間には、ずれ角度ができる、干渉計。
2. 前記光路相違光学部品群は、前記第１および第２のビームが前記ビームスプリッタ、前記第１の反射素子、および、前記第２の反射素子を巡回する光路を逆方向に周って進むように配置される、請求項１に記載の干渉計。
3. 前記光路相違光学部品群は、前記第１および第２のビームの干渉パターンを、前記干渉パターンが前記検出器の平面を横切って広がるように生成する、請求項１または請求項２に記載の干渉計。
4. 前記第１の反射素子と前記第２の反射素子が一緒に１つのユニットとして形成されている、請求項１から３のいずれか一つに記載の干渉計。
5. 前記反射素子の少なくとも１つの前記湾曲は、像面が前記検出器の表面において平坦な光の場を持つような態様で、前記第１のビームおよび前記第２のビームを焦点合わせするよう構成されている、請求項１から４のいずれか一つに記載の干渉計。
6. 前記ビームスプリッタは、前記第１および第２のビームを、それぞれ、透過と反射によって生成する、請求項１から５のいずれか一つに記載の干渉計。
7. 前記ビームスプリッタは、前記第１および第２のビームを、それぞれ、透過と反射によって前記検出器へ向ける、請求項６に記載の干渉計。
8. さらに、前記入力ビームをコリメートするための入力光学部品を有する、請求項１から７のいずれか一つに記載の干渉計。
9. 前記入力光学部品は、望遠鏡または双眼鏡を構成する配置を有する、請求項８に記載の干渉計。
10. 前記２つの反射素子の曲率は同じである、請求項１から９のいずれか一つに記載の干渉計。
11. 前記検出器は、前記第１および第２のビームの干渉によって作られたパターンを直線に沿って検知できるよう構成されている、請求項１から１０のいずれか一つに記載の干渉計。
12. 前記検出器は、センサの直線状アレイである、請求項１１に記載の干渉計。
13. 前記検出器は、直線に沿って走査するために動くよう構成された、少なくとも１つのセンサを有する、請求項１１に記載の干渉計。
14. 前記第１の光路および前記第２の光路は三角形の光路を含む、請求項１から１５のいずれか一つに記載の干渉計。
15. 前記反射素子とビームスプリッタは、互いに対して固定されている、請求項１から１４のいずれか一つに記載の干渉計。
16. 前記検出器は、前記光路相違光学部品群に対して固定されている、請求項１から１２および請求項１４から１５のいずれか一つに記載の干渉計。
17. 前記ビームスプリッタは、前記入力ビームを、ほぼ等しい強度を有する第１ビームおよび第２ビームに分割する、請求項１から１６のいずれか一つに記載の干渉計。
18. 前記光路相違光学部品群、または、前記反射素子および前記ビームスプリッタは、モノリシックに形成されている、請求項１から１７のいずれか一つに記載の干渉計。
19. 前記検出器は、干渉パターン中における空間的変化を示す信号を出力するよう構成された、請求項１から１８のいずれか一つに記載の干渉計。
20. 請求項１９に記載の干渉計を有し、さらに、干渉パターンのフーリエ変換に基づいて入力ビームに存在する波長を示すよう構成された分析器を有する、分光計。
21. 請求項１から１９のいずれか一つに記載の干渉計を有する結像分光計であって、前記検知器は、前記第１および第２のビームを組み合わせることによって生成されたパターンを２次元で検知するように構成されている、結像分光計。
22. 前記検知器は、前記第１および第２のビームの干渉によって生成される空間的に変化するパターンを一方向において検知し、かつ、前記入力ビームについての結像情報を第２の方向において検知するよう構成されている、請求項２１に記載の結像分光計。
23. 前記検出器は、センサの２次元アレイである、請求項２１または２２に記載の結像分光計。
24. 前記検出器は、領域を走査するために直線に沿って動くよう構成された、センサの直線状アレイである、請求項２１または２２に記載の結像分光計。
25. 前記入力ビームの中にある波長と、前記入力ビームに関する結像情報と、を示すように構成された分析器をさらに有する、請求項２１から２４のいずれか一つに記載の結像分光計。