JP2015519755A - 支持装置、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、2012年5月29日に出願されて全体が引用により本願に含まれる米国仮出願61/652,582号の利益を主張する。本出願は、2012年6月29日に出願されて全体が引用により本願に含まれる米国仮出願61/666,348号の利益を主張する。
− 放射ビームB(例えばUV放射又はDUV放射)を調節するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
− パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスMAを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続された支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
− 例えば1つ以上のセンサを支持するためのセンサテーブル、又は、基板(例えばレジストコート基板)Wを保持するように構成され、特定のパラメータに従って例えば基板Wのテーブルの表面を正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続された基板支持装置60のような支持テーブルと、
− パターニングデバイスMAによって放射ビームBに与えられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つ以上のダイの一部を含む)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PSと、を備える。
Claims (31)
- リソグラフィ装置のための支持装置であって、
オブジェクトを支持するオブジェクトホルダと、
前記オブジェクトホルダの半径方向外側の抽出本体であって、前記支持装置の上面から流体を抽出する抽出開口を有し、前記オブジェクトホルダから実質的に分離するように前記オブジェクトホルダから離間している、抽出本体と、を備え、
前記抽出本体は、突起を有し、前記突起は、前記オブジェクトホルダを取り囲むように構成されるとともに、使用時に液体の層が前記突起上に保持されて前記オブジェクトホルダ上に支持されたオブジェクトと接触するように構成されている、支持装置。 - 使用時に、前記液体の層の毛管圧が、前記突起の半径方向外側と前記突起の半径方向内側との間の圧力差よりも大きいことによって、前記流体が前記突起の半径方向外側から前記突起の半径方向内側に流れるのを防ぐように構成されている、請求項1に記載の支持装置。
- 前記抽出本体は、真空又は気体を備える中間ギャップによって前記オブジェクトホルダから離間している、請求項1又は2に記載の支持装置。
- 使用時に、前記抽出本体の一部が、前記オブジェクトホルダ上に支持されたオブジェクトの周縁部の下に延出するように構成されている、請求項1から3のいずれか一項に記載の支持装置。
- リソグラフィ装置のための支持装置であって、
オブジェクトホルダと、
前記オブジェクトホルダの半径方向外側の抽出本体であって、前記支持装置の上面から流体を抽出する抽出開口を有し、複数の外周方向に離間した接合部によって前記オブジェクトホルダに接続されて前記接合部間では前記オブジェクトホルダから離間するようになっている、抽出本体と、
を備える、支持装置。 - 前記接合部の少なくとも1つは、前記オブジェクトホルダの上面から部分的にのみ前記抽出本体の底面へと延出して、前記少なくとも1つの接合部の直下で前記抽出本体が前記オブジェクトホルダから離間するようになっている、請求項5に記載の支持装置。
- 前記接合部の少なくとも1つは、前記接合部への及び/又は前記接合部間での熱エネルギの供給、及び/又は、前記接合部からの及び/又は前記接合部間での熱エネルギの除去、を行う接合部調節システムを有する、請求項5又は6に記載の支持装置。
- 前記接合部は、合計すると、前記オブジェクトホルダと前記抽出本体との間の外周部の多くても10%に沿って延出し、前記接合部は、前記外周部の全周に沿って実質的に均等に分散している、請求項5から7のいずれか一項に記載の支持装置。
- 前記抽出本体は、本体及び前記本体の上面に位置決めされたカバーリングを有する、請求項1から8のいずれか一項に記載の支持装置。
- 前記カバーリングは、前記本体の半径方向の範囲を超えて半径方向外側に延出している、請求項9に記載の支持装置。
- 前記抽出本体は、前記抽出本体への熱エネルギの供給及び/又は前記抽出本体からの熱エネルギの除去を行う抽出本体調節システムを有する、請求項1から10のいずれか一項に記載の支持装置。
- 前記抽出本体調節システムは、別々に制御可能である複数の調節ユニットを有し、
前記複数の調節ユニットの各々は、前記抽出本体の各調節領域への熱エネルギの供給及び/又は前記抽出本体の各調節領域からの熱エネルギの除去を行う、請求項11に記載の支持装置。 - 前記抽出本体調節システムは、前記抽出本体の温度を制御する流体移送チャネルのネットワークを備える、請求項11又は12に記載の支持装置。
- 前記抽出本体調節システムは、高くても30℃、又は高くても22℃の沸点を有するような圧力で二酸化炭素を含有する冷却チャネルを有する、請求項11から13のいずれか一項に記載の支持装置。
- 前記抽出開口の半径方向内側にあり、前記オブジェクトホルダの上面から液体を抽出する液体抽出部を備える、請求項1から14のいずれか一項に記載の支持装置。
- 前記抽出本体は、前記液体抽出部の少なくとも一部を有する、請求項15に記載の支持装置。
- 前記液体抽出部は、前記液体抽出部への熱エネルギの供給及び/又は前記液体抽出部からの熱エネルギの除去を行う液体抽出部調節システムを有する、請求項15又は16に記載の支持装置。
- 前記抽出本体は、前記抽出本体への熱エネルギの供給及び/又は前記抽出本体からの熱エネルギの除去を行う抽出本体調節システムを有し、前記液体抽出部調節システム及び前記抽出本体調節システムが別々に制御可能である、請求項17に記載の支持装置。
- 前記液体抽出部調節システムは、前記液体抽出部の温度を制御する流体移送チャネルのネットワークを有する、請求項16から18のいずれか一項に記載の支持装置。
- 前記オブジェクトホルダは、基板ホルダである、請求項1から19のいずれか一項に記載の支持装置。
- 熱伝導率を有するテーブル材料で形成されたテーブルであって、前記テーブルの凹部内に前記抽出本体が位置決めされ、前記抽出本体と前記テーブルとの間にギャップがある、テーブルと、
前記抽出本体の上面から前記テーブルの上面まで前記ギャップにまたがる部材であって、前記テーブル材料の前記熱伝導率よりも低い熱伝導率を有する熱抵抗材料の熱抵抗層を含む部材と、
を備える、請求項1から20のいずれか一項に記載の支持装置。 - 前記部材のうち、前記抽出本体の前記上面上よりも前記テーブルの前記上面上にある部分の方が大きい、請求項21に記載の支持装置。
- 前記部材は、前記抽出本体の前記上面に沿って内側に延出するよりも前記テーブルの前記上面に沿って外側に長く延出する、請求項21又は22に記載の支持装置。
- 前記部材は、前記テーブルの前記上面の実質的に全体にわたって延出する、請求項21から23のいずれか一項に記載の支持装置。
- 前記部材は、熱適合材料の熱適合層を有し、前記熱適合材料の25℃での比熱容量が前記テーブル材料の25℃での比熱容量よりも小さい、請求項21から24のいずれか一項に記載の支持装置。
- 前記熱適合材料の熱伝導率は、前記テーブル材料の前記熱伝導率よりも高い、請求項21から25のいずれか一項に記載の支持装置。
- 前記熱抵抗層は、前記熱適合層と、前記テーブルの前記上面及び前記抽出本体の前記上面の双方と、の間にある、請求項21から26のいずれか一項に記載の支持装置。
- 前記熱抵抗材料の25℃での比熱容量は、前記テーブル材料の比熱容量よりも大きい、請求項21から27のいずれか一項に記載の支持装置。
- 請求項1から28のいずれか一項に記載の前記支持装置を備える、リソグラフィ装置。
- リソグラフィ装置を用いたデバイス製造方法であって、
支持装置によって基板を支持しながら、パターニングデバイスによってパターニングしたビームを前記基板上に投影することを含み、
前記支持装置は、
オブジェクトを支持するオブジェクトホルダと、
前記オブジェクトホルダの半径方向外側の抽出本体であって、前記支持装置の上面から流体を抽出する抽出開口を有し、前記オブジェクトホルダから実質的に分離するように前記オブジェクトホルダから離間している、抽出本体と、を備え、
前記抽出本体は、突起を備え、前記突起は、前記オブジェクトホルダを取り囲む環状部を形成するように構成されるとともに、使用時に液体の層が前記突起上に保持されて前記オブジェクトホルダ上に支持されたオブジェクトと接触するように構成されている、方法。 - リソグラフィ装置を用いたデバイス製造方法であって、
支持装置によって基板を支持しながら、パターニングデバイスによってパターニングしたビームを前記基板上に投影することを含み、
前記支持装置は、
オブジェクトホルダと、
前記オブジェクトホルダの半径方向外側の抽出本体であって、前記支持装置の上面から流体を抽出する抽出開口を有し、複数の外周方向に離間した接合部によって前記オブジェクトホルダに接続されて前記接合部間では前記オブジェクトホルダから離間するようになっている、抽出本体と、
を備える、方法。
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