JP2015233089A - 化合物半導体素子用エピタキシャルウェハ及び化合物半導体素子 - Google Patents
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- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title claims abstract description 39
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 19
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 abstract description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 16
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 8
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N arsane Chemical compound [AsH3] RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000018936 Vitellaria paradoxa Nutrition 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910021480 group 4 element Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021476 group 6 element Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 that is Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 1
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- Bipolar Transistors (AREA)
- Bipolar Integrated Circuits (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Abstract
【解決手段】基板200上に高電子移動度トランジスタ構造300とヘテロバイポーラトランジスタ構造400とを積層してなる化合物半導体素子用エピタキシャルウェハ100において、高電子移動度トランジスタ構造300は、n型不純物の濃度が1.0×1018cm-3以上3.0×1018cm-3以下であるサブコレクタ層401を有しているものである。
【選択図】図1
Description
200 基板
300 高電子移動度トランジスタ構造
301 バッファ層
302 第1の電子供給層
303 第1のスペーサ層
304 チャネル層
305 第2のスペーサ層
306 第2の電子供給層
307 ショットキー層
308 コンタクト層
400 ヘテロバイポーラトランジスタ構造
401 サブコレクタ層
402 コレクタ層
403 ベース層
404 エミッタ層
405 エミッタコンタクト層
406 ノンアロイコンタクト層
500 分離層
600 化合物半導体素子
601 エミッタ電極
602 ベース電極
603 コレクタ電極
604 ソース電極
605 ゲート電極
606 ドレイン電極
700 高電子移動度トランジスタ部
800 ヘテロバイポーラトランジスタ部
900 絶縁領域
Claims (3)
- 基板上に高電子移動度トランジスタ構造とヘテロバイポーラトランジスタ構造とを積層してなる化合物半導体素子用エピタキシャルウェハにおいて、
前記高電子移動度トランジスタ構造は、n型不純物の濃度が1.0×1018cm-3以上3.0×1018cm-3以下であるサブコレクタ層を有していることを特徴とする化合物半導体素子用エピタキシャルウェハ。 - 前記n型不純物は、Si、S、又はGeの何れか一つである請求項1に記載の化合物半導体素子用エピタキシャルウェハ。
- 請求項1又は2に記載の化合物半導体素子用エピタキシャルウェハを使用して作製されていることを特徴とする化合物半導体素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2015233089A true JP2015233089A (ja) | 2015-12-24 |
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Family Applications (1)
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JP (1) | JP2015233089A (ja) |
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