JP2015210270A - 強化した時計部品を製造する方法、時計部品および時計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】微細機械加工可能な素材から部品10を製造する製造方法であって、部品10は時計部品の半完成品を形成し、少なくとも1つの初期粗さを有する表面を含む。製造方法は、表面の粗さを減少させるエッチング流体内での部品10の機械的強化処理のステップを含む。微細機械加工可能な素材の基板を提供し、基板の少なくとも一部を、少なくとも一つの開口を有する保護コーティングで被膜し、基板を保護コーティングの開口を通じてエッチングしてエッチングされた表面を形成し、機械的強化処理を保護コーティングの開口を通じてエッチングされた表面へ適用し、その後保護コーティングを除去する。エッチング流体は、プラズマまたは液体化学エッチング液であてよい。
【選択図】図1
Description
前記微細機械加工可能な素材の基板を提供するステップと、
前記基板の少なくとも一部を、少なくとも一つの開口を有する保護コーティングで被膜するステップと、
前記保護コーティングの前記開口を通じて前記基板をエッチングすることによりエッチングされた表面を得るステップと、
前記機械的強化処理を、前記保護コーティングの前記開口を通じて前記エッチングされた表面へ適用するステップと、
その後、前記保護コーティングを除去するステップと、
を備えている。
前記プラズマは、ハロゲン含有気体、特にフッ素または塩素含有気体、から形成される。
前記部品は、前記プラズマ処理中に電気的にバイアスされる。
前記液体化学エッチング液は、酸または塩基を含み、特に水酸化カリウム、またはフッ化水素酸、硝酸及びまたは酢酸の混合物を含む。
開口は、前記基板を貫いてエッチングされ、前記エッチング処理は前記基板の前記開口の前記側壁に適用される。
前記基板は、ディープエッチング、特に深堀反応性イオンエッチング(DRIE)によりエッチングされる。
前記保護コーティングは、フォトレジストまたは酸化シリコンで形成される。及びまたは 前記半完成品の部品は、LIGA技術またはレーザ切断技術を用いて形成される。
SF6を10容積%から85容積%の間の範囲で含有するガス、
1から200sccmの間の範囲の流量を有するガス流、
0.1Paから5Paの間の範囲の、室内ガス圧、
500Wから3000Wの間の範囲の、プラズマ源電源、
−10Vから−40Vの間の範囲の、基板のバイアス、
20℃から120℃の間の範囲の、基板温度、及び
30秒から300秒の間の範囲の、処理時間。
2 入口
3 誘導結合プラズマ室
4 ポンピング出口
5 ホルダー
6 ツール
7 電圧発生装置
8 容器
Claims (15)
- 時計部品を製造する方法であって、
前記時計部品の半完成品を形成する部品は、微細機械加工可能な素材から生産され、当該部品は、少なくとも初期粗さを有する1つの表面を含み、
該方法は、前記表面の前記粗さを減少させるエッチング流体により前記部品を機械的に強化するステップ(E4)を含む、
時計部品を製造する方法。 - エッチング流体による前記部品の前記機械的強化処理は、等方性型である、
請求項1に記載の方法。 - 前記微細機械加工可能な素材の基板を提供する(E0)ステップと、
前記基板の少なくとも一部を、少なくとも一つの開口を有する保護コーティングで被膜する(E1〜E2)ステップと、
前記保護コーティングの前記開口を通じて前記基板をエッチングしてエッチングされた表面を得る(E3)ステップと、
前記機械的強化処理(E4)を、前記保護コーティングの前記開口を通じて前記エッチングされた表面へ適用するステップと、
その後、前記保護コーティングを除去する(E5)ステップと、
を含む、請求項1または2に記載の方法。 - 前記機械的強化処理(E4)は、プラズマ処理または液体化学エッチング液による処理である、
請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。 - 前記プラズマは、ハロゲン含有気体から、特にフッ素または塩素含有気体から形成される、
請求項4に記載の方法。 - 前記部品は、前記プラズマ処理中に電気的にバイアスされる、
請求項4または5に記載の方法。 - 前記液体化学エッチング液は、酸または塩基を含み、特に水酸化カリウム、またはフッ化水素酸、硝酸及びまたは酢酸の混合物を含む、
請求項4に記載の方法。 - 開口は、前記基板を貫いてエッチングされ、前記エッチング処理は前記基板の前記開口の前記側壁に適用される、
請求項3から7のいずれか一項に記載の方法。 - 前記基板は、ディープエッチング、特に深堀反応性イオンエッチング(DRIE)によりエッチングされる、
請求項3から8のいずれか一項に記載の方法。 - 前記保護コーティングが、フォトレジストまたは酸化シリコンで形成される、
請求項3から9のいずれか一項に記載の方法。 - 前記半完成品の部品は、LIGA技術またはレーザ切断技術を用いて形成される、
請求項1に記載の方法。 - 前記微細機械加工可能な素材は、シリコン、ダイヤモンド、及び石英からなる群から選択される素材の1つである、
請求項1から11のいずれか一項に記載の方法。 - 前記時計部品は、歯車、がんぎ車、針、振り石、アンクル、及びばね、特に戻りばねまたはヒゲゼンマイからなる群から選択される要素の1つである、
請求項1から12のいずれか一項に記載の方法。 - 請求項1から13のいずれか一項に記載の方法により得られる、時計部品。
- 請求項14に記載の時計部品を含む、時計。
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