JP2015209552A - ガス放出機構を備えたキャンロールを用いた長尺フィルムの処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ロールツーロールで搬送される長尺フィルムに対してキャンロール56の外周面に巻きつけた状態でスパッタリング処理等の熱負荷の掛かる表面処理を施す長尺フィルムの処理方法であって、キャンロール56の外周肉厚部には周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って複数のガス導入路24が配設されており、各ガス導入路24はキャンロール56の外周面で開口する複数のガス放出孔25を備えており、キャンロール56の外周面に巻きついている長尺フィルムがその単位面積当たり張力によってキャンロール56の中心軸Oに向って引っ張られる力に基づいてガス導入路24の供給ガス圧を制御する。
【選択図】 図2
Description
Ρ=T/(R×W)
G<20000/d
α=0.5×G
μ={In(T2/T1)}/A (但し、T2>T1)
巻回された長尺フィルムFを上記したスパッタリングウェブコータ50の巻出ロール52側にセットし、その一端を引き出してキャンロール56等のロール群を経由させて巻取ロール64に取り付けた。巻出ロール52側の張力と巻取ロール64側の張力はともに100Nとした。ロータリージョイント30、40の供給口36a、46aに接続したガス供給配管に設けた圧力計でのガス圧が900Paになるように調整しながらアルゴンガスをキャンロール56のガス導入路24に供給した。
長尺フィルムFの搬送速度、長尺フィルムFの張力、キャンロール56への供給ガス圧、及びカソードへの投入電力を下記表1に示すように様々に変えた以外は実施例1と同様にして実施例2〜6及び比較例1〜4の成膜処理を行った。それらの成膜処理結果を成膜条件と共に下記表1に示す。なお、表中の「○」はシワやうねりが発生しなかったことを示しており、「×」はシワまたはうねりが発生したことを示している。
21 回転軸
22 回転軸受け
23 冷媒循環路
24 ガス導入路
25 ガス放出孔
30、40 ロータリージョイント
35、45 バルブ
37、47 磁石
50 真空成膜装置(スパッタリングウェブコータ)
51 真空チャンバー
52 巻出ロール
53、63 フリーロール
54、62 張力センサーロール
55、61 フリーロール
56 キャンロール
57、58、59、60 スパッタリングカソード
64 巻取ロール
F 長尺フィルム
Claims (5)
- 真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺フィルムに対して内部に冷媒循環路を備えたキャンロールの外周面に巻きつけた状態で熱負荷の掛かる表面処理を施す長尺フィルムの処理方法であって、前記キャンロールの外周部には周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って複数のガス導入路が配設されており、各ガス導入路は前記キャンロールの外周面で開口する複数のガス放出孔を備えており、前記ガス導入路の供給ガス圧をG[Pa]、前記キャンロールの外周面に巻きついている長尺フィルムがその単位面積当たり張力によってキャンロールの中心軸に向って引っ張られる力をΡ[Pa]とした時、Pに基づいてGを制御することを特徴とする長尺フィルムの処理方法。
- 前記Gの前記Pに対する比G/Ρが0.1〜1.0の範囲内となるように前記制御を行うことを特徴とする、請求項1に記載の長尺フィルムの処理方法。
- 前記熱負荷の掛かる表面処理が真空成膜処理であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の長尺フィルムの処理方法。
- 前記真空成膜処理がスパッタリング処理であることを特徴とする、請求項3に記載の長尺フィルムの処理方法。
- 前記熱負荷の掛かる表面処理がプラズマ処理またはイオンビーム処理であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の長尺フィルムの処理方法。
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