JP2015205388A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
4 基台
4a 開口
4b 支持台
4c 開口
6 カセットエレベータ
8 カセット
10 仮置き機構
12 プッシュプル機構
14 ガイドレール
16 X軸移動テーブル
18 防水カバー
20 チャックテーブル(保持手段)
20a 保持面
22 クランプ
24 第1搬送機構
26 切削ユニット(切削手段)
28 撮像ユニット(撮像手段)
30 切削ブレード
32 洗浄機構
34 スピンナテーブル
36 第2搬送機構
38 モニタ
40 制御装置(制御手段)
40a カーフ幅検出部
40b インデックス送り量設定部
40c インデックス送り制御部
40d カーフ間距離検出部
40e 補正インデックス送り量設定部
42 操作パネル
11 被加工物
11a 表面
11b 裏面
11c カーフ(第一のカーフ)
11d 形成予定位置
11e カーフ(第二のカーフ)
11f 形成予定位置
13 ダイシングテープ
15 フレーム
21 撮像画像
W 幅
D1 所望のカーフ間距離
D2 距離
I1 インデックス送り量
I2 補正インデックス送り量
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段で保持された被加工物を撮像する撮像手段と、該保持手段で保持された被加工物を切削する切削ブレードと該切削ブレードを回転させるスピンドルとを有した切削手段と、を備えた切削装置であって、
該切削ブレードで被加工物を切削して形成したカーフを該撮像手段で撮像することにより形成された撮像画像をもとに該カーフの幅を検出するカーフ幅検出部と、
所望のカーフ間距離に該カーフ幅検出部で検出された該カーフの幅を加算してインデックス送り量として設定するインデックス送り量設定部と、
該インデックス送り量設定部で設定されたインデックス送り量で該切削ブレードを被加工物に対してインデックス送りするインデックス送り制御部と、を有した制御手段を備えることを特徴とする切削装置。 - 該制御手段は、
被加工物に形成された第一のカーフと、該第一のカーフから前記インデックス送り量でインデックス送りされた位置に形成された第二のカーフと、を該撮像手段で撮像し、該第一のカーフと該第二のカーフとの間の距離を検出するカーフ間距離検出部と、
該カーフ間距離検出部で検出された距離と前記所望のカーフ間距離との間にずれがある場合に、該ずれを加味した補正インデックス送り量を設定する補正インデックス送り量設定部と、をさらに有し、
該インデックス送り制御部は、補正インデックス送り量が設定された場合に該補正インデックス送り量で該切削ブレードを被加工物に対してインデックス送りすることを特徴とする請求項1に記載の切削装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018206791A (ja) * | 2017-05-30 | 2018-12-27 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法 |
CN114169675A (zh) * | 2021-11-01 | 2022-03-11 | 深圳市匠心智汇科技有限公司 | 划切加工的监测方法、装置、终端设备及存储介质 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0637180A (ja) * | 1992-07-16 | 1994-02-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 薄溝加工機のバックラッシュ測定方法及びバックラッシュ補正機能を有する薄溝加工機 |
JPH07211672A (ja) * | 1994-01-17 | 1995-08-11 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング方法及び装置 |
JP2004050347A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Mitsutoyo Corp | 研削加工方法、及びこの方法を用いた平面研削盤またはグラインディングセンタ |
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2014
- 2014-04-23 JP JP2014089322A patent/JP6296881B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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---|---|---|---|---|
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