JP2015193056A - チャックテーブル、研削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャックテーブル17は、上面を開放した円形凹部が形成された枠体44と、該円形凹部に嵌め込まれて板状ワークWの保持面42を形成するポーラス板41とを備え、枠体の底面51にポーラス板を負圧にする吸引孔53が形成され、枠体の内側面52にポーラス板に水を供給する供給口56が形成される構成にした。
【選択図】図3
Description
16 研削手段
17 チャックテーブル
41 ポーラス板
42 保持面
44 枠体
53 吸引孔
56 供給口
58 ポーラス板の側面
59 ポーラス板の下面
75 吸引源
81、82、83 供給路
84 供給配管
86 流量調整バルブ
87 供給源
88 研削屑
W 板状ワーク
Claims (2)
- 板状ワークを保持するチャックテーブルであって、
上面の保持面で板状ワークを吸引保持する円板状のポーラス板と、該保持面を開放して該ポーラス板の側面と下面を囲繞する枠体とで構成され、
該枠体は、中央に貫通形成され該ポーラス板と吸引源とを連通する吸引孔と、該ポーラス板の側面に接する該枠体の内側面から水を供給する供給口と、該枠体の内部に形成し該供給口と供給源とを連通する供給路と、を備えるチャックテーブル。 - 請求項1記載のチャックテーブルを用いて板状ワークを保持する保持手段と、該保持手段が保持する板状ワークに研削砥石を当接させ研削する研削手段とを備える研削装置であって、
該保持手段は、
該チャックテーブルの該供給路と該供給源とを接続する供給配管と、該供給配管に配設される流量調整バルブとを備え、
該ポーラス板と吸引源を連通させ板状ワークを吸引保持すると共に、該供給源から供給する水を該流量調整バルブで調整し、
該枠体の内側面の該供給口から供給する水が該ポーラス板の側面から内部に浸入し、該ポーラス板の中央の該吸引孔から吸引され、該ポーラス板の内部に浸入した研削屑を吸引除去することを特徴とする研削装置。
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