JP2015188208A - 超音波センサー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 開口部11が形成された基板12と、前記開口部11を塞ぐように前記基板12に設けられた振動板15と、前記振動板15の前記開口部11とは反対側に積層された第1電極16と圧電体層17と第2電極18とを含む圧電素子19と、を具備する超音波センサー10であって、前記第1電極と前記圧電体層と前記第2電極とが積層される方向をZ方向とし、前記Z方向において前記第1電極と前記圧電体層と前記第2電極とが完全に重なっている部分を能動部としたとき、1つの前記開口部11に対向して前記能動部20が複数配置され、隣り合う前記能動部20間に、前記振動板15の振動を抑制する抑制部(柱状部30a)が設けられている。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の実施形態1に係る超音波センサーの概略構成を示す平面図、図2(a)は、図1のA−A′線断面図であり、図2(b)は、図1のB−B′線断面図であり、図2(c)は、図1のC−C′線断面図である。
実施形態1では、封止板30に柱状部30aを設けたが、封止板30には柱状部30aを設けず、代わりに基板12(振動板15)上に金属層35を設け、この金属層35により抑制部を構成してもよい。金属層35の材料としては、金、銅、アルミニウムなどを採用することができる。このような金属層は、基板12上に配線を形成する際、配線と同じ材料で、配線と同時に形成することができる。配線と同じ材料で配線と同時に形成することを考慮すると、導電性の点から金が好ましい。
上述した実施形態において、超音波センサー10はアスペクト比が大きいが比較的サイズが小さい開口部11を備えていた。本実施形態では、アスペクト比は小さいがサイズが非常に大きい開口部11Aを備えた超音波センサー10Aについて説明する。
実施形態3では、封止板30に設けた柱状部30cと基板12上に設けた金属層35Aとによって抑制部を構成したが、実施形態1と同様、封止板30に設けた柱状部30aのみによって抑制部を構成しても良い。または、実施形態2と同様、基板12上に設けた金属層35のみによって抑制部を構成しても良い。
以上説明した超音波センサー10、10Aでは、圧電素子19を駆動することにより、超音波が発信される。振動板15の圧電素子19とは反対側(開口部11、11A側)が、測定対象物に向けて発信される超音波や測定対象物から反射した超音波(エコー信号)の通過領域となる構成と、圧電素子19側が、測定対象物に向けて発信される超音波や測定対象物から反射した超音波(エコー信号)の通過領域となる構成とがある。実施形態1〜3は、前者の構成を前提としている。これによれば、振動板15の圧電素子19とは反対側の構成を簡素化させ、超音波等の良好な通過領域を確保できる。また、電極や配線等の電気的領域や各部剤の接着固定領域を測定対象物から遠ざけて、これらと測定対象物との間での汚染や漏れ電流を防止しやすくなる。
Claims (9)
- 開口部が形成された基板と、
前記開口部を塞ぐように前記基板に設けられた振動板と、
前記振動板の前記開口部とは反対側に積層された第1電極と圧電体層と第2電極とを含む圧電素子と、
を具備する超音波センサーであって、
前記第1電極と前記圧電体層と前記第2電極とが積層される方向をZ方向とし、前記Z方向において前記第1電極と前記圧電体層と前記第2電極とが完全に重なっている部分を能動部としたとき、1つの前記開口部に対向して前記能動部が複数配置されており、隣り合う前記能動部間に、前記振動板の振動を抑制する抑制部が設けられていることを特徴とする超音波センサー。 - 前記抑制部は前記圧電素子側に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の超音波センサー。
- 平面視において、1つの前記開口部に対向して配置される複数の前記能動部の合計の面積は、1つの前記開口部の面積に対して60〜80%を占めていることを特徴とする請求項1又は2に記載の超音波センサー。
- 互いに直交しかつ前記Z方向とも直交する2つの方向をX方向及びY方向としたとき、1つの前記開口部に対向して、X方向及びY方向に前記能動部が複数配置されており、前記X方向において隣り合う前記能動部間、及び、前記Y方向において隣り合う前記能動部に、前記抑制部が設けられていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の超音波センサー。
- 前記抑制部は、隣り合う前記開口部間にも設けられていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の超音波センサー。
- 前記抑制部は、金属層を含むことを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の超音波センサー。
- 前記金属層は金を含むことを特徴とする請求項6に記載の超音波センサー。
- 前記圧電素子の周囲の空間を封止する封止板を具備し、
前記抑制部は、前記封止板に設けられた柱状部を含むことを特徴とする請求項1〜7の何れか一項に記載の超音波センサー。 - 平面視において、前記能動部と前記開口部はいずれも長方形であり、前記能動部のアスペクト比と比較して前記開口部のアスペクト比の方が大きく、当該開口部の長手方向に複数の前記能動部が設けられていることを特徴とする請求項1〜8の何れか一項に記載の超音波センサー。
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