JP2015186329A - 圧電モーター - Google Patents
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Abstract
Description
本発明に係わる圧電モーターは、回転可能に設けられた被駆動体に当接する接触部と、前記接触部の前記被駆動体と反対側に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子に電圧を印加することにより振動して、前記被駆動体に力を加えることにより前記被駆動体を回転させる振動体と、
前記振動体を振動可能に保持する保持部と、
基台と、
前記保持部と前記基台とを連結し、前記保持部を介して前記接触部を前記被駆動体に向けて付勢する1対の弾性体と、を備え、
前記弾性体の前記基台に固定されている第1部分と前記弾性体の前記保持部に固定されている第2部分とを結ぶ第1の直線と、前記被駆動体の前記接触部との当接部分と前記被駆動体の回転中心とを結ぶ第2の直線に直交する第3の直線とのなす角度θ1が、5°以下であることを特徴とする。
本発明に係わる圧電モーターでは、前記第1の直線と前記第3の直線とは、平行であることが好ましい。
本発明に係わる圧電モーターでは、前記被駆動体は、横断面形状が円形状であることが好ましい。
これにより、被駆動体を円滑に回転させることができる。
本発明に係わる圧電モーターは、移動可能に設けられた被駆動体に当接する接触部と、前記接触部の前記被駆動体と反対側に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子に電圧を印加することにより振動して、前記被駆動体に力を加えることにより前記被駆動体を移動させる振動体と、
前記振動体を振動可能に保持する保持部と、
基台と、
前記保持部と前記基台とを連結し、前記保持部を介して前記接触部を前記被駆動体に向けて付勢する1対の弾性体と、を備え、
前記弾性体の前記基台に固定されている第1部分と前記弾性体の前記保持部に固定されている第2部分とを結ぶ直線と、前記被駆動体の前記接触部との当接部分の移動方向とのなす角度θ2が、5°以下であることを特徴とする。
本発明に係わる圧電モーターでは、前記直線と前記移動方向とは、平行であることが好ましい。
本発明に係わる圧電モーターでは、前記被駆動体は、横断面形状が長手形状であることが好ましい。
これにより、被駆動体を円滑に移動させることができる。
本発明に係わる圧電モーターでは、前記弾性体は、板バネであることが好ましい。
本発明に係わる圧電モーターでは、前記振動体は、前記接触部が前記被駆動体に対して接触および離間するような第1楕円軌跡を描くように振動する第1振動モードと、
前記接触部が前記第1楕円軌跡とは方向が逆であり、前記被駆動体に対して接触および離間するような第2楕円軌跡を描くように振動する第2振動モードとを、有することが好ましい。
前記被駆動体を有することが好ましい。
図1は、本発明の圧電モーターの第1実施形態を示す平面図である。図2は、図1中のA−A線での断面図である。図3は、図1に示す圧電モーターの振動体の斜視図である。図4は、図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。図5は、図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。図6は、図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。図7は、図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。図8は、図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。図9は、本発明と異なる圧電モーターの停止時の状態を説明するための図である。
圧電モーター1は、電圧の印加により振動する振動体2を有する振動部10と、回転可能な円盤状のローター(被駆動体)5と、振動部10とローター5とを支持する支持体6とを有している。なお、ローター5は、換言すれば、横断面形状が円形状の被駆動体である。
振動部10は、振動体2と、振動体2を振動可能に保持する保持部(保持機構)3と、基台4と、保持部3と基台4とを連結し、保持部3を介して振動体2の後述する凸部26をローター5に向けて付勢する1対の板バネ(弾性体)71、72とを備えている。
振動体2は、長方形の板状をなし、図2および図3の上側から4つの電極21a、21b、21cおよび21dと、板状の圧電素子22と、凸部(接触部)26および4つの連結部27を有する振動板である補強板(シム)23と、板状の圧電素子24と、4つの電極25a、25b、25cおよび25d(図3中、電極25aおよび25bは、図示せず、各符号のみを括弧内に示す)とをこの順に積層して構成されている。なお、図2および図3では、厚さ方向を誇張して示している。
保持部3は、振動体2の振動を阻害しないように構成され、振動体2を振動可能に保持している。この保持部3は、互いに離間するように配置された1対の支柱31、32と、支柱31の上側の端部と支柱32の下側の端部とを連結する連結部33とを有している。
基台4は、振動体2を保持した保持部3を1対の板バネ71、72を介して支持し、支持体6に固定されている。基台4の形状は、特に限定されないが、本実施形態では、横断面の形状が略四角形である棒状、すなわち、一方向に長い略直方体をなしている。
このような構成の振動部10のX軸方向前方には、ローター5が配置されている。
以上、圧電モーター1の基本的な構成について説明した。
次に、圧電モーター1の動作について説明する。
圧電素子22および24は、前述したように、正電圧の印加と解除とを繰り返す(一定の周期で正電荷が印加される)ことで、その長手方向に伸長する動作と元の形状に戻る動作(伸張している状態から収縮する動作)とを繰り返す。そのため、電極21a、21b、21c、21d、25a、25b、25cおよび25dに一定周期で通電し、これら電極21a、21b、21c、21d、25a、25b、25cおよび25dと、補強板23との間に一定周期で正電圧が印加されると、圧電素子22および24は収縮および伸長を繰り返す。
振動体2は、このような第1振動モードまたは第2振動モードを利用して、ローター5を回転させる。
図10は、本発明の圧電モーターの第2実施形態を示す平面図である。
10…振動部
2…振動体
21a、21b、21c、21d…電極
22、24…圧電素子
23…補強板
25a、25b、25c、25d…電極
26…凸部
27…連結部
3…保持部
31、32…支柱
33…連結部
4…基台
5…ローター
50…回転中心
51…軸部
52…外周面
53…当接部分
54…回転中心軸
6…支持体
71、72…板バネ
711、721…第1部分
712、722…第2部分
713…貫通孔
8…スライダー
80a、80b…ローラー
81a、81b…軸
82a、82b…溝
83a、83b…凸部
84…当接部分
91〜94…直線
95…押圧方向
96…移動方向
111〜118…ネジ
121〜124…矢印
Claims (9)
- 回転可能に設けられた被駆動体に当接する接触部と、前記接触部の前記被駆動体と反対側に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子に電圧を印加することにより振動して、前記被駆動体に力を加えることにより前記被駆動体を回転させる振動体と、
前記振動体を振動可能に保持する保持部と、
基台と、
前記保持部と前記基台とを連結し、前記保持部を介して前記接触部を前記被駆動体に向けて付勢する1対の弾性体と、を備え、
前記弾性体の前記基台に固定されている第1部分と前記弾性体の前記保持部に固定されている第2部分とを結ぶ第1の直線と、前記被駆動体の前記接触部との当接部分と前記被駆動体の回転中心とを結ぶ第2の直線に直交する第3の直線とのなす角度θ1が、5°以下であることを特徴とする圧電モーター。 - 前記第1の直線と前記第3の直線とは、平行である請求項1に記載の圧電モーター。
- 前記被駆動体は、横断面形状が円形状である請求項1または2に記載の圧電モーター。
- 移動可能に設けられた被駆動体に当接する接触部と、前記接触部の前記被駆動体と反対側に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子に電圧を印加することにより振動して、前記被駆動体に力を加えることにより前記被駆動体を移動させる振動体と、
前記振動体を振動可能に保持する保持部と、
基台と、
前記保持部と前記基台とを連結し、前記保持部を介して前記接触部を前記被駆動体に向けて付勢する1対の弾性体と、を備え、
前記弾性体の前記基台に固定されている第1部分と前記弾性体の前記保持部に固定されている第2部分とを結ぶ直線と、前記被駆動体の前記接触部との当接部分の移動方向とのなす角度θ2が、5°以下であることを特徴とする圧電モーター。 - 前記直線と前記移動方向とは、平行である請求項4に記載の圧電モーター。
- 前記被駆動体は、横断面形状が長手形状である請求項4または5に記載の圧電モーター。
- 前記弾性体は、板バネである請求項1ないし6のいずれか1項に記載の圧電モーター。
- 前記振動体は、前記接触部が前記被駆動体に対して接触および離間するような第1楕円軌跡を描くように振動する第1振動モードと、
前記接触部が前記第1楕円軌跡とは方向が逆であり、前記被駆動体に対して接触および離間するような第2楕円軌跡を描くように振動する第2振動モードとを、有する請求項1ないし7のいずれか1項に記載の圧電モーター。 - 前記被駆動体を有する請求項1ないし8のいずれか1項に記載の圧電モーター。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014059824A JP6269223B2 (ja) | 2014-03-24 | 2014-03-24 | 圧電モーター |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015186329A true JP2015186329A (ja) | 2015-10-22 |
JP6269223B2 JP6269223B2 (ja) | 2018-01-31 |
Family
ID=54352354
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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