JP2015178842A - Actuator and conveying device - Google Patents

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清水　康博
Yasuhiro Shimizu
康博 清水
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator, etc. that can obtain a greater variety of output characteristics.SOLUTION: An actuator 1 comprises: a plurality of motors 10 and 20; a rotating shaft 30 that is rotated by driving at least one of the plurality of motors 10 and 20; and a control unit 50 that switches between the connection and disconnection of power transmission paths between the rotating shaft 30 and each of the plurality of motors 10 and 20 so as to transmit a portion or all of driving force of the plurality of motors 10 and 20 to the rotating shaft 30.

Description

本発明は、アクチュエータ及び搬送装置に関する。   The present invention relates to an actuator and a transfer device.

図８は、従来の搬送装置を示す説明図である。同図は、従来の搬送装置の一例として、ステージ駆動装置１００を示している。   FIG. 8 is an explanatory view showing a conventional transport device. FIG. 1 shows a stage driving device 100 as an example of a conventional transfer device.

ステージ駆動装置１００は、真空チャンバ内に配置されたステージを所定の方向に移動させて位置決めするための装置であり、例えば、半導体露光装置などに用いられる。このステージ駆動装置１００は、ワークを載せるステージ１０１と、ステージ１０１を移動させるボールネジ１０２と、ボールネジ１０２に連結されたトルク伝達機構１０３と、トルク伝達機構１０３に連結されたアクチュエータ１０４と、ステージ１０１を収容するチャンバ１０５とを備える。また、ボールネジ１０２は、チャンバ１０５内にてシャフト受ユニット１０６により軸方向に回転移動可能に支持される。また、トルク伝達機構１０３は、チャンバ１０５の壁面に開けられた開口部１０５１に挿入され、ベース部材１０９を介して開口部の縁部に固定される。また、アクチュエータ１０４は、チャンバ１０５の壁面に取り付けられて固定される。   The stage driving apparatus 100 is an apparatus for positioning a stage disposed in a vacuum chamber by moving it in a predetermined direction, and is used for a semiconductor exposure apparatus, for example. The stage driving apparatus 100 includes a stage 101 on which a workpiece is placed, a ball screw 102 for moving the stage 101, a torque transmission mechanism 103 connected to the ball screw 102, an actuator 104 connected to the torque transmission mechanism 103, and a stage 101. And a chamber 105 for housing. The ball screw 102 is supported in the chamber 105 by the shaft receiving unit 106 so as to be rotatable in the axial direction. Further, the torque transmission mechanism 103 is inserted into an opening 1051 opened in the wall surface of the chamber 105 and is fixed to the edge of the opening via the base member 109. The actuator 104 is attached and fixed to the wall surface of the chamber 105.

このステージ駆動装置１００では、アクチュエータ１０４が駆動力を発生すると、この駆動力がトルク伝達機構１０３を介してボールネジ１０２に伝達され、ボールネジ１０２が回転してステージ１０１をシャフト方向に送る。これにより、ステージ１０１が移動できる。また、例えば、一組のステージ駆動装置１００がｘ軸方向およびｙ軸方向（図示省略）にそれぞれ設置されることにより、ステージ１０１がｘｙ平面方向に移動できる。   In the stage driving apparatus 100, when the actuator 104 generates a driving force, the driving force is transmitted to the ball screw 102 via the torque transmission mechanism 103, and the ball screw 102 rotates to send the stage 101 in the shaft direction. Thereby, the stage 101 can move. Further, for example, the stage 101 can be moved in the xy plane direction by installing a set of stage driving devices 100 in the x-axis direction and the y-axis direction (not shown).

アクチュエータ１０４には複数の種類の特性が要求される。例えば、ステージ１０１を意図した場所に移動させる動作では精密動作のためのより低速な回転出力及び搬送を確実に行うための高トルク等が求められる。一方、ステージ１０１の原点復帰動作ではより高速な回転出力等が求められる。このような要求に対する構成として、性能が異なる二つのモータのいずれか一方の回転に応じた出力を取り出し可能に設けられたアクチュエータが知られている（例えば特許文献１）。   The actuator 104 is required to have a plurality of types of characteristics. For example, in the operation of moving the stage 101 to the intended location, a low-speed rotational output for precise operation and a high torque for surely carrying are required. On the other hand, in the origin return operation of the stage 101, a higher speed rotation output or the like is required. As a configuration for such a requirement, there is known an actuator provided such that an output corresponding to the rotation of one of two motors having different performances can be taken out (for example, Patent Document 1).

特開２０１０−１２４５７９号公報JP 2010-124579 A

しかしながら、特許文献１に記載のアクチュエータでは、二つのモータの各々の特性に応じた出力しか得られない。このため、アクチュエータに対して３種類の特性が要求される場合に対応することができない。   However, with the actuator described in Patent Document 1, only an output corresponding to the characteristics of each of the two motors can be obtained. For this reason, it cannot cope with the case where three types of characteristics are required for the actuator.

本発明は、より多くの種類の出力特性が得られるアクチュエータ及び搬送装置を提供することを目的とする。   It is an object of the present invention to provide an actuator and a transport device that can obtain more types of output characteristics.

上記の目的を達成するための本発明のアクチュエータは、複数のモータと、前記複数のモータの少なくともいずれか一つの駆動により回転される回転シャフトと、前記回転シャフトに前記複数のモータの一部又は全部の駆動力を伝達させるように前記回転シャフトと前記複数のモータの各々との間の動力伝達経路の接続と非接続とを切り替える切替部とを備える。   In order to achieve the above object, an actuator of the present invention includes a plurality of motors, a rotating shaft that is rotated by driving at least one of the plurality of motors, and a part of the plurality of motors on the rotating shaft. A switching unit that switches between connection and disconnection of a power transmission path between the rotary shaft and each of the plurality of motors so as to transmit all of the driving force;

従って、回転シャフトに接続されるモータの組み合わせに応じてより多くの種類の出力特性が得られる。   Therefore, more types of output characteristics can be obtained depending on the combination of motors connected to the rotating shaft.

本発明のアクチュエータでは、前記複数のモータの各々から前記回転シャフトに駆動力を伝達する複数の動力伝達経路の各々に設けられた複数のクラッチを有し、前記切替部は、前記複数のクラッチの各々の接続状態を切り替える。   In the actuator of the present invention, the actuator includes a plurality of clutches provided in each of a plurality of power transmission paths that transmit a driving force from each of the plurality of motors to the rotating shaft, and the switching unit includes the plurality of clutches. Switch each connection status.

従って、クラッチを用いることでより確実に各動力伝達経路の接続と非接続とを切り替えることができる。   Therefore, connection and disconnection of each power transmission path can be switched more reliably by using the clutch.

本発明のアクチュエータでは、前記回転シャフトの回転中心軸線と同一の回転中心軸線で回転可能に設けられた複数の歯車を有し、前記複数のクラッチは、前記複数の歯車の各々と前記回転シャフトとの接続状態を切り替え、前記複数のモータの各々の回転子に設けられた歯車は、前記複数の歯車のうちそれぞれ異なる歯車と接続される。   In the actuator of the present invention, the actuator includes a plurality of gears rotatably provided on a rotation center axis that is the same as the rotation center axis of the rotation shaft, and the plurality of clutches include each of the plurality of gears, the rotation shaft, The gears provided on the rotors of the plurality of motors are connected to different gears among the plurality of gears.

従って、複数のクラッチを回転シャフトの回転中心軸線上に集中配置することができる。   Therefore, a plurality of clutches can be concentrated on the rotation center axis of the rotary shaft.

本発明のアクチュエータでは、前記クラッチは、前記複数のモータの各々の回転子に直接回転駆動される歯車と前記回転子との接続状態を切り替える。   In the actuator of the present invention, the clutch switches a connection state between the rotor and a gear that is directly driven to rotate by the rotor of each of the plurality of motors.

従って、回転シャフトに設けるギアの数を一つにすることができるので、部品点数をより少なくすることができる。   Therefore, since the number of gears provided on the rotating shaft can be reduced to one, the number of parts can be further reduced.

本発明のアクチュエータでは、前記複数のモータの一部の回転中心軸線又は全部の回転中心軸線と前記回転シャフトの回転中心軸線とは平行でない。   In the actuator of the present invention, some or all of the rotation center axes of the plurality of motors are not parallel to the rotation center axis of the rotation shaft.

従って、回転シャフトに対するモータの配置の自由度がより向上する。   Accordingly, the degree of freedom in arranging the motor with respect to the rotating shaft is further improved.

本発明のアクチュエータでは、前記複数のモータには同一の特性を有するモータが二つ以上含まれ、前記同一の特性を有するモータは、前記動力伝達経路においてそれぞれ異なる歯車比で前記回転シャフトと接続される。   In the actuator of the present invention, the plurality of motors include two or more motors having the same characteristics, and the motors having the same characteristics are connected to the rotating shaft at different gear ratios in the power transmission path. The

従って、同一の特性を有する複数のモータから多様な出力を得ることができる。   Therefore, various outputs can be obtained from a plurality of motors having the same characteristics.

本発明のアクチュエータでは、前記複数のモータの数をｎ（ｎ≧２）とした場合の前記回転シャフトと前記複数のモータとの接続状態の組み合わせのパターン数が２ｎである。 In the actuator of the present invention, when the number of the plurality of motors is n (n ≧ 2), the number of patterns of combinations of connection states of the rotary shaft and the plurality of motors is 2n .

従って、モータの数を超えたより多くのパターン数の出力特性を得ることができる。   Therefore, it is possible to obtain output characteristics with a larger number of patterns than the number of motors.

上記の目的を達成するための本発明の搬送装置は、上記のアクチュエータを備え、前記回転シャフトの回転により搬送物を搬送する。   In order to achieve the above object, a transport apparatus of the present invention includes the above-described actuator, and transports a transported object by rotation of the rotary shaft.

従って、アクチュエータの回転シャフトに接続されるモータの組み合わせに応じてより多くの種類の出力特性が得られる。   Therefore, more types of output characteristics can be obtained depending on the combination of motors connected to the rotary shaft of the actuator.

本発明のアクチュエータ及び搬送装置によれば、より多くの種類の出力特性を得ることができる。   According to the actuator and the conveying device of the present invention, more types of output characteristics can be obtained.

図１は、本発明の一実施形態による搬送装置の主要構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a main configuration of a transport apparatus according to an embodiment of the present invention. 図２は、アクチュエータの主要構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a main configuration of the actuator. 図３は、二つのモータの各々の特性の一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of characteristics of each of the two motors. 図４は、回転シャフトから得られるアクチュエータの出力特性の一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating an example of output characteristics of the actuator obtained from the rotating shaft. 図５は、第１の変形例によるアクチュエータの主要構成を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a main configuration of the actuator according to the first modification. 図６は、第２の変形例によるアクチュエータの主要構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a main configuration of an actuator according to the second modification. 図７は、第３の変形例によるアクチュエータの主要構成を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a main configuration of an actuator according to a third modification. 図８は、従来の搬送装置を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory view showing a conventional transport device.

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する各実施形態の要件は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。   Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto. The requirements of the embodiments described below can be combined as appropriate. Some components may not be used.

図１は、本発明の一実施形態による搬送装置２００の主要構成を示す図である。従来の搬送装置１００と同様の構成については、同じ符号を付して説明を省略する。搬送装置２００は、ステージ１０１と、ボールネジ１０２と、トルク伝達機構１０３と、アクチュエータ１と、チャンバ１０５とを備える。アクチュエータ１は、トルク伝達機構１０３に連結される。アクチュエータ１が駆動力を発生すると、この駆動力がトルク伝達機構１０３を介してボールネジ１０２に伝達され、ボールネジ１０２が回転してステージ１０１を軸方向に送る。これにより、ステージ１０１が移動できる。また、例えば、一組の搬送装置２００がｘ軸方向およびｙ軸方向（図示省略）にそれぞれ設置されることにより、ステージ１０１がｘｙ平面方向に移動できる。   FIG. 1 is a diagram illustrating a main configuration of a transport apparatus 200 according to an embodiment of the present invention. The same components as those of the conventional transfer device 100 are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. The transfer device 200 includes a stage 101, a ball screw 102, a torque transmission mechanism 103, an actuator 1, and a chamber 105. The actuator 1 is connected to the torque transmission mechanism 103. When the actuator 1 generates a driving force, this driving force is transmitted to the ball screw 102 via the torque transmission mechanism 103, and the ball screw 102 rotates to send the stage 101 in the axial direction. Thereby, the stage 101 can move. Further, for example, the stage 101 can be moved in the xy plane direction by installing the set of transport apparatuses 200 in the x-axis direction and the y-axis direction (not shown).

図２は、アクチュエータ１の主要構成を示す図である。アクチュエータ１は、例えば、複数のモータ（例えば二つのモータ１０，２０）と、回転シャフト３０と、複数の歯車（例えば四つの歯車１１，１２，２１，２２）と、複数のクラッチ（例えば二つのクラッチ４１，４２）と、制御部５０とを備える。   FIG. 2 is a diagram illustrating a main configuration of the actuator 1. The actuator 1 includes, for example, a plurality of motors (for example, two motors 10 and 20), a rotary shaft 30, a plurality of gears (for example, four gears 11, 12, 21, and 22), and a plurality of clutches (for example, two motors). Clutches 41, 42) and a controller 50.

図３は、二つのモータ１０，２０の各々の特性の一例を示す図である。図３における線ａ，ｂは、それぞれモータ１０，２０の特性を示す。複数のモータの各々は、例えば電動機であり、制御部５０の制御下で動作する。具体的には、本実施形態のアクチュエータ１は、二つのモータ１０，２０を有する。図３に示すように、モータ１０，２０は異なる特性を有する。すなわち、モータ１０，２０は、時間単位の回転数及びトルク等の原動機としての性能が異なる。   FIG. 3 is a diagram illustrating an example of characteristics of each of the two motors 10 and 20. Lines a and b in FIG. 3 indicate the characteristics of the motors 10 and 20, respectively. Each of the plurality of motors is an electric motor, for example, and operates under the control of the control unit 50. Specifically, the actuator 1 of the present embodiment has two motors 10 and 20. As shown in FIG. 3, the motors 10 and 20 have different characteristics. That is, the motors 10 and 20 have different performances as a prime mover, such as the number of rotations and torque in time units.

回転シャフト３０は、複数のモータの少なくともいずれか一つの駆動により回転される。具体的には、回転シャフト３０は例えば円柱状のシャフトである。回転シャフト３０は、アクチュエータ１の筐体６０により回転可能に支持されている。   The rotating shaft 30 is rotated by driving at least one of a plurality of motors. Specifically, the rotating shaft 30 is, for example, a cylindrical shaft. The rotating shaft 30 is rotatably supported by the housing 60 of the actuator 1.

複数の歯車は、複数のモータの駆動に応じて回転する。具体的には、本実施形態のアクチュエータ１は、四つの歯車１１，１２，２１，２２を有する。歯車１１，２１は、複数のモータの各々の回転子の回転中心から延設された出力シャフトに設けられる。歯車１２，２２は、回転シャフト３０の回転中心軸線と同一の回転中心軸線で回転可能に設けられている。歯車１１と歯車１２とは噛み合っている。すなわち、モータ１０の駆動に応じて歯車１１及び歯車１２が回転する。歯車２１と歯車２２とは噛み合っている。すなわち、モータ２０の駆動に応じて歯車２１及び歯車２２が回転する。このように、複数のモータの各々の回転子に設けられた歯車は、複数の歯車（例えば歯車１２，２２）のうちそれぞれ異なる歯車と接続される。歯車１１と歯車１２との歯車比と、歯車２１と歯車２２との歯車比は異なる。   The plurality of gears rotate in response to driving of the plurality of motors. Specifically, the actuator 1 of the present embodiment has four gears 11, 12, 21, and 22. The gears 11 and 21 are provided on an output shaft extending from the rotation center of the rotor of each of the plurality of motors. The gears 12 and 22 are rotatably provided on the same rotation center axis as that of the rotation shaft 30. The gear 11 and the gear 12 are meshed with each other. That is, the gear 11 and the gear 12 rotate according to the driving of the motor 10. The gear 21 and the gear 22 are meshed with each other. That is, the gear 21 and the gear 22 rotate according to the driving of the motor 20. As described above, the gears provided on the rotors of the plurality of motors are connected to different gears among the plurality of gears (for example, the gears 12 and 22). The gear ratio between the gear 11 and the gear 12 and the gear ratio between the gear 21 and the gear 22 are different.

複数のクラッチは、回転シャフトの回転中心軸線と同一の回転中心軸線で回転可能に設けられた複数の歯車の各々と回転シャフトとの接続状態を切り替える。具体的には、本実施形態のアクチュエータ１は、二つのクラッチ４１，４２を有する。   The plurality of clutches switch a connection state between each of the plurality of gears provided to be rotatable on the same rotation center axis as the rotation shaft and the rotation shaft. Specifically, the actuator 1 of the present embodiment has two clutches 41 and 42.

クラッチ４１は、歯車１２と回転シャフト３０との間に介在して、歯車１２と回転シャフト３０との物理的な接続と非接続とを切り替える。すなわち、クラッチ４１により歯車１２と回転シャフト３０とが接続されている場合、歯車１２の回転と回転シャフト３０との回転とは連動する。一方、クラッチ４１により歯車１２と回転シャフト３０とが接続されていない場合、歯車１２の回転と回転シャフト３０との回転とは連動しない。このため、クラッチ４１により歯車１２と回転シャフト３０とが接続されている場合、モータ１０の駆動による回転力が歯車１１，１２を介して回転シャフト３０に伝達される。この場合、モータ１０から回転シャフト３０への動力伝達経路が成立する。一方、クラッチ４１により歯車１２と回転シャフト３０とが接続されていない場合、モータ１０の回転力は回転シャフト３０に伝達されない。この場合、モータ１０から回転シャフト３０への動力伝達経路は成立しない。   The clutch 41 is interposed between the gear 12 and the rotating shaft 30 and switches between physical connection and non-connection between the gear 12 and the rotating shaft 30. That is, when the gear 12 and the rotation shaft 30 are connected by the clutch 41, the rotation of the gear 12 and the rotation of the rotation shaft 30 are interlocked. On the other hand, when the gear 12 and the rotating shaft 30 are not connected by the clutch 41, the rotation of the gear 12 and the rotation of the rotating shaft 30 are not interlocked. For this reason, when the gear 12 and the rotating shaft 30 are connected by the clutch 41, the rotational force generated by driving the motor 10 is transmitted to the rotating shaft 30 via the gears 11 and 12. In this case, a power transmission path from the motor 10 to the rotating shaft 30 is established. On the other hand, when the gear 12 and the rotary shaft 30 are not connected by the clutch 41, the rotational force of the motor 10 is not transmitted to the rotary shaft 30. In this case, the power transmission path from the motor 10 to the rotating shaft 30 is not established.

クラッチ４２は、歯車２２と回転シャフト３０との間に介在して、歯車２２と回転シャフト３０との物理的な接続と非接続とを切り替える。すなわち、クラッチ４２により歯車２２と回転シャフト３０とが接続されている場合、歯車２２の回転と回転シャフト３０との回転とは連動する。一方、クラッチ４２により歯車２２と回転シャフト３０とが接続されていない場合、歯車２２の回転と回転シャフト３０との回転とは連動しない。このため、クラッチ４２により歯車２２と回転シャフト３０とが接続されている場合、モータ２０の駆動による回転力が歯車２１，２２を介して回転シャフト３０に伝達される。この場合、モータ２０から回転シャフト３０への動力伝達経路が成立する。一方、クラッチ４２により歯車２２と回転シャフト３０とが接続されていない場合、モータ２０の回転力は回転シャフト３０に伝達されない。この場合、モータ２０から回転シャフト３０への動力伝達経路は成立しない。   The clutch 42 is interposed between the gear 22 and the rotary shaft 30 to switch between physical connection and non-connection between the gear 22 and the rotary shaft 30. That is, when the gear 22 and the rotating shaft 30 are connected by the clutch 42, the rotation of the gear 22 and the rotation of the rotating shaft 30 are interlocked. On the other hand, when the gear 22 and the rotating shaft 30 are not connected by the clutch 42, the rotation of the gear 22 and the rotation of the rotating shaft 30 are not linked. For this reason, when the gear 22 and the rotating shaft 30 are connected by the clutch 42, the rotational force generated by driving the motor 20 is transmitted to the rotating shaft 30 through the gears 21 and 22. In this case, a power transmission path from the motor 20 to the rotary shaft 30 is established. On the other hand, when the gear 22 and the rotary shaft 30 are not connected by the clutch 42, the rotational force of the motor 20 is not transmitted to the rotary shaft 30. In this case, the power transmission path from the motor 20 to the rotating shaft 30 is not established.

このように、複数のクラッチは、複数のモータの各々から回転シャフト３０に駆動力を伝達する複数の動力伝達経路の各々に設けられる。なお、クラッチ４１，４２の具体的構成は、周知のものが適用可能である。クラッチ４１，４２の具体的構成は、例えば円板同士の板面の当接又は離間により接続と非接続とを切り替え可能に設けられた摩擦クラッチであってもよいし、その他の形状（例えば円錐クラッチ）であってもよい。摩擦クラッチの具体的構成は、乾式でも湿式でもよい。また、クラッチ４１，４２の具体的構成は、噛み合いクラッチ、遠心クラッチ、電磁クラッチ、流体クラッチその他のクラッチであってもよい。   Thus, the plurality of clutches are provided in each of the plurality of power transmission paths that transmit the driving force from each of the plurality of motors to the rotating shaft 30. Note that a specific configuration of the clutches 41 and 42 can be applied. The specific configurations of the clutches 41 and 42 may be, for example, friction clutches that can be switched between connection and disconnection by contact or separation of the plate surfaces of the disks, or other shapes (for example, cones). Clutch). The specific configuration of the friction clutch may be dry or wet. The specific configurations of the clutches 41 and 42 may be meshing clutches, centrifugal clutches, electromagnetic clutches, fluid clutches, and other clutches.

制御部５０は、複数のモータ及び複数のクラッチの動作を制御する。具体的には、制御部５０は、例えばエレクトロニックコントロールユニット（Electronic Control Unit：ＥＣＵ）である。   The control unit 50 controls operations of the plurality of motors and the plurality of clutches. Specifically, the control unit 50 is, for example, an electronic control unit (ECU).

制御部５０は、回転シャフト３０に複数のモータの一部又は全部の駆動力を伝達させるように回転シャフト３０と複数のモータの各々との間の動力伝達経路の接続と非接続とを切り替える切替部として機能する。そして、制御部５０は、回転シャフト３０に接続されたモータを動作させる。具体的には、モータ１０の駆動により回転シャフト３０を回転させる場合、制御部５０は、クラッチ４１により歯車２１と回転シャフト３０とを接続状態にするとともに、クラッチ４２により歯車２２と回転シャフト３０とを非接続状態にする。また、モータ２０の駆動により回転シャフト３０を回転させる場合、制御部５０は、クラッチ４２により歯車２２と回転シャフト３０とを接続状態にするとともに、クラッチ４１により歯車１２と回転シャフト３０とを非接続状態にする。アクチュエータ１は、モータ１０及びモータ２０の両方を回転シャフト３０に接続することもできる。この場合、制御部５０は、クラッチ４１，４２により歯車１２，２２と回転シャフト３０とを接続状態にする。いずれの場合においても、制御部５０は、回転シャフト３０への動力伝達経路が成立したモータを動作させる。このように、制御部５０は、複数のモータの各々から回転シャフト３０に駆動力を伝達する複数の動力伝達経路の各々に設けられた複数のクラッチの各々の接続状態を切り替える。   The control unit 50 switches switching between connection and disconnection of a power transmission path between the rotation shaft 30 and each of the plurality of motors so that the rotation shaft 30 transmits part or all of the driving force of the plurality of motors. It functions as a part. Then, the control unit 50 operates a motor connected to the rotating shaft 30. Specifically, when the rotary shaft 30 is rotated by driving the motor 10, the control unit 50 puts the gear 21 and the rotary shaft 30 into a connected state by the clutch 41, and the gear 22 and the rotary shaft 30 by the clutch 42. Is disconnected. When the rotating shaft 30 is rotated by driving the motor 20, the control unit 50 places the gear 22 and the rotating shaft 30 in the connected state by the clutch 42, and disconnects the gear 12 and the rotating shaft 30 by the clutch 41. Put it in a state. The actuator 1 can also connect both the motor 10 and the motor 20 to the rotating shaft 30. In this case, the control unit 50 brings the gears 12 and 22 and the rotary shaft 30 into a connected state by the clutches 41 and 42. In any case, the control unit 50 operates the motor in which the power transmission path to the rotating shaft 30 is established. As described above, the control unit 50 switches the connection state of each of the plurality of clutches provided in each of the plurality of power transmission paths that transmit the driving force from each of the plurality of motors to the rotating shaft 30.

図４は、回転シャフト３０から得られるアクチュエータ１の出力特性の一例を示す図である。図４に含まれる線Ａ，Ｂ，Ｃはそれぞれ、回転シャフト３０に接続されたモータの組み合わせが異なる。線Ａは、モータ１０のみが回転シャフト３０に接続された第１のパターンにおける回転数及びトルクの関係を示す線である。線Ｂは、モータ２０のみが回転シャフト３０に接続された第２のパターンにおける回転数及びトルクの関係を示す線である。線Ｃは、モータ１０及びモータ２０が回転シャフト３０に接続された第３のパターンにおける回転数及びトルクの関係を示す線である。   FIG. 4 is a diagram illustrating an example of output characteristics of the actuator 1 obtained from the rotary shaft 30. Lines A, B, and C included in FIG. 4 have different combinations of motors connected to the rotating shaft 30. Line A is a line showing the relationship between the rotational speed and torque in the first pattern in which only the motor 10 is connected to the rotary shaft 30. Line B is a line showing the relationship between the rotational speed and torque in the second pattern in which only the motor 20 is connected to the rotary shaft 30. A line C is a line indicating the relationship between the rotational speed and the torque in the third pattern in which the motor 10 and the motor 20 are connected to the rotary shaft 30.

図３に示すように、二つのモータ１０，２０の特性は異なる。また、歯車１１と歯車１２との歯車比と、歯車２１と歯車２２との歯車比は異なる。このため、図４の線Ａ，Ｂで示すように、第１のパターンにおける出力特性と第２のパターンにおける出力特性は異なる。また、第３のパターンにおける出力特性は、第１のパターンと第２のパターンの出力特性が合成された出力特性になる。具体的には、図４の線Ｃで示すように、第３のパターンにおける出力特性は、時間単位の回転数がより小さい回転数（例えば第１パターンの回転数）になると共に、トルクが第１のパターンのトルクと第２のパターンのトルクを足し合わせたトルクになる。このように、複数のモータの数をｎ（ｎは２以上の整数（ｎ≧２）、例えばｎ＝２）とした場合の回転シャフト３０と複数のモータとの接続状態の組み合わせのパターン数は、２ｎ（例えば２２＝４）である。２ｎのパターン数には、いずれのモータも回転シャフト３０に接続されない場合を含む。一つ以上のモータが回転シャフト３０に接続されて回転シャフト３０から出力が得られる場合のパターン数は、２ｎ−１である。 As shown in FIG. 3, the characteristics of the two motors 10 and 20 are different. Further, the gear ratio between the gear 11 and the gear 12 and the gear ratio between the gear 21 and the gear 22 are different. For this reason, as indicated by lines A and B in FIG. 4, the output characteristics in the first pattern and the output characteristics in the second pattern are different. The output characteristics in the third pattern are output characteristics obtained by combining the output characteristics of the first pattern and the second pattern. Specifically, as shown by the line C in FIG. 4, the output characteristics in the third pattern have a smaller number of revolutions in time units (for example, the number of revolutions in the first pattern) and the torque is the first. The torque is the sum of the torque of the first pattern and the torque of the second pattern. Thus, when the number of the plurality of motors is n (n is an integer greater than or equal to 2 (n ≧ 2), for example, n = 2), the number of patterns of combinations of connection states of the rotating shaft 30 and the plurality of motors is as follows. 2 n (for example, 2 2 = 4). The number of patterns of 2n includes the case where no motor is connected to the rotating shaft 30. The number of patterns in the case where one or more motors are connected to the rotating shaft 30 and output is obtained from the rotating shaft 30 is 2 n −1.

このようなアクチュエータ１を備える搬送装置２００は、アクチュエータ１の出力特性に応じた動作を行うことができる。具体的には、例えばステージ１０１を意図した場所に移動させる動作において、アクチュエータ１は、モータ１０が回転シャフト３０に接続されたパターン（第１のパターン等）で動作する。これにより、高トルクを得られる。ここで、より高いトルクが求められる場合には、アクチュエータ１は、モータ１０及びモータ２０が回転シャフト３０に接続された第３のパターンで動作することもできる。また、ステージ１０１の原点復帰動作において、アクチュエータ１は、モータ２０のみが回転シャフト３０に接続された第２のパターンで動作する。これにより、より迅速にステージ１０１を原点復帰させることができる。   The transport apparatus 200 including such an actuator 1 can perform an operation according to the output characteristics of the actuator 1. Specifically, for example, in the operation of moving the stage 101 to the intended location, the actuator 1 operates in a pattern (first pattern or the like) in which the motor 10 is connected to the rotary shaft 30. Thereby, a high torque can be obtained. Here, when a higher torque is required, the actuator 1 can also operate in a third pattern in which the motor 10 and the motor 20 are connected to the rotary shaft 30. Further, in the origin return operation of the stage 101, the actuator 1 operates in a second pattern in which only the motor 20 is connected to the rotating shaft 30. Thereby, the stage 101 can be returned to the origin more quickly.

以上説明したように、本実施形態によれば、回転シャフト３０に複数のモータの一部又は全部の駆動力を伝達させるように回転シャフト３０と複数のモータの各々との間の動力伝達経路の接続と非接続とを切り替える。このため、回転シャフト３０に接続されるモータの組み合わせに応じてより多くの種類の出力特性が得られる。   As described above, according to the present embodiment, the power transmission path between the rotating shaft 30 and each of the plurality of motors is transmitted to the rotating shaft 30 so as to transmit a part or all of the driving forces of the plurality of motors. Switch between connected and disconnected. For this reason, more types of output characteristics can be obtained depending on the combination of motors connected to the rotating shaft 30.

また、複数のモータの各々から回転シャフト３０に駆動力を伝達する複数の動力伝達経路の各々に設けられた複数のクラッチの各々の接続状態を切り替える。このように、クラッチを用いることでより確実に各動力伝達経路の接続と非接続とを切り替えることができる。   Further, the connection state of each of the plurality of clutches provided in each of the plurality of power transmission paths that transmit the driving force from each of the plurality of motors to the rotating shaft 30 is switched. In this way, the use and disconnection of each power transmission path can be switched more reliably by using the clutch.

また、複数のクラッチは、回転シャフト３０の回転中心軸線と同一の回転中心軸線で回転可能に設けられた複数の歯車の各々と回転シャフト３０との接続状態を切り替え、複数のモータの各々の回転子に設けられた歯車は、複数の歯車のうちそれぞれ異なる歯車と接続される。このため、複数のクラッチを回転シャフト３０の回転中心軸線上に集中配置することができる。   The plurality of clutches switch the connection state between each of the plurality of gears rotatably provided on the same rotation center axis as that of the rotation shaft 30 and the rotation shaft 30 and rotate each of the plurality of motors. The gears provided in the child are connected to different gears among the plurality of gears. For this reason, a plurality of clutches can be concentrated on the rotation center axis of the rotary shaft 30.

また、複数のモータの数をｎとした場合の回転シャフト３０と複数のモータとの接続状態の組み合わせのパターン数が２ｎであるので、モータの数を超えたパターン数に応じたより多くの出力特性を得ることができる。 In addition, since the number of patterns of the combination of the connection state of the rotary shaft 30 and the plurality of motors is 2 n when the number of the plurality of motors is n , more outputs according to the number of patterns exceeding the number of motors. Characteristics can be obtained.

（変形例）
以下、アクチュエータ１の変形例について、図５〜図７を参照して説明する。各変形例によるアクチュエータは、特筆する構成及び特徴を除いて上記の実施形態におけるアクチュエータ１と同様の構成を有する。各変形例における上記の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付して説明を省略する。各変形例のアクチュエータは、上記の実施形態におけるアクチュエータ１と同様、搬送装置２００に用いることができる。 (Modification)
Hereinafter, modified examples of the actuator 1 will be described with reference to FIGS. The actuator according to each modified example has the same configuration as that of the actuator 1 in the above-described embodiment except for the configuration and features to be noted. About the structure similar to said embodiment in each modification, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted. The actuator of each modified example can be used for the transport apparatus 200 as in the actuator 1 in the above embodiment.

図５は、第１の変形例によるアクチュエータ１Ａの主要構成を示す図である。第１の変形例におけるクラッチは、複数のモータの各々の回転子に直接回転駆動される歯車（例えば歯車１１又は歯車２１）と回転子との接続状態を切り替える。具体的には、クラッチ４１Ａは、モータ１０の回転子と歯車１１の接続状態を切り替える。クラッチ４１Ａによりモータ１０の回転子と歯車１１が接続されている場合に、歯車１１はモータ１０の駆動に応じて回転する。クラッチ４２Ａは、モータ２０の回転子と歯車２１の接続状態を切り替える。クラッチ４２によりモータ２０の回転子と歯車２１が接続されている場合に、歯車２１はモータ２０の駆動に応じて回転する。   FIG. 5 is a diagram showing a main configuration of an actuator 1A according to the first modification. The clutch in the first modified example switches the connection state between the rotor and a gear (for example, the gear 11 or the gear 21) that is directly driven to rotate by the rotor of each of the plurality of motors. Specifically, the clutch 41 </ b> A switches the connection state between the rotor of the motor 10 and the gear 11. When the rotor of the motor 10 and the gear 11 are connected by the clutch 41 </ b> A, the gear 11 rotates according to the driving of the motor 10. The clutch 42 </ b> A switches the connection state between the rotor of the motor 20 and the gear 21. When the rotor of the motor 20 and the gear 21 are connected by the clutch 42, the gear 21 rotates according to the driving of the motor 20.

また、第１の変形例では、回転シャフト３０に一つの歯車３１が設けられている。歯車１１，２１は共に歯車３１と噛み合う。第１の変形例では、歯車１１と歯車２１の歯数を異ならせることで、モータ１０と回転シャフト３０との動力伝達経路における歯車比とモータ２０と回転シャフト３０との動力伝達経路における歯車比とを異ならせることができる。   Further, in the first modification, one gear 31 is provided on the rotary shaft 30. Both the gears 11 and 21 mesh with the gear 31. In the first modification, the gear ratio in the power transmission path between the motor 10 and the rotating shaft 30 and the gear ratio in the power transmission path between the motor 20 and the rotating shaft 30 are made different by changing the number of teeth of the gear 11 and the gear 21. Can be different.

第１の変形例における制御部５０は、クラッチ４１Ａ，４２Ａの動作を制御することで、複数のモータの各々から回転シャフト３０に駆動力を伝達する複数の動力伝達経路の各々に設けられた複数のクラッチの各々の接続状態を切り替える。   The control unit 50 according to the first modified example controls the operations of the clutches 41A and 42A, thereby providing a plurality of power transmission paths provided in each of a plurality of power transmission paths that transmit driving force from each of the plurality of motors to the rotary shaft 30. The connection state of each clutch is switched.

以上、第１の変形例によれば、上記の実施形態と同様の効果を奏する。また、回転シャフト３０に設けるギアの数を一つにすることができるので、部品点数をより少なくすることができる。   As mentioned above, according to the 1st modification, there exists an effect similar to said embodiment. Further, since the number of gears provided on the rotary shaft 30 can be reduced to one, the number of parts can be further reduced.

図６は、第２の変形例によるアクチュエータ１Ｂの主要構成を示す図である。第２の変形例におけるモータ１０は、かさ歯車１１Ａ，１２Ａを介して回転シャフト３０と接続される。第２の変形例におけるモータ１０の回転子の出力シャフトと回転シャフト３０とは平行でなく、例えば直交している。第２の変形例におけるクラッチ４１は、かさ歯車１２Ａと回転シャフト３０との間に介在して、かさ歯車１２Ａと回転シャフト３０との物理的な接続と非接続とを切り替える。   FIG. 6 is a diagram showing a main configuration of an actuator 1B according to the second modification. The motor 10 in the second modification is connected to the rotary shaft 30 via bevel gears 11A and 12A. The output shaft of the rotor of the motor 10 and the rotary shaft 30 in the second modification are not parallel, but are orthogonal, for example. The clutch 41 in the second modified example is interposed between the bevel gear 12A and the rotating shaft 30, and switches between physical connection and non-connection between the bevel gear 12A and the rotating shaft 30.

図７は、第３の変形例によるアクチュエータ１Ｃの主要構成を示す図である。第３の変形例におけるモータ１０は、第２の変形例と同様、かさ歯車１１Ａ，１２Ａを介して回転シャフト３０と接続される。また、第３の変形例におけるモータ２０は、かさ歯車２１Ａ，２２Ａを介して回転シャフト３０と接続される。第３の変形例におけるモータ１０，２０の回転子の出力シャフトと回転シャフト３０とは平行でなく、例えば直交している。第３の変形例におけるクラッチ４１は、かさ歯車１２Ａと回転シャフト３０との間に介在して、かさ歯車１２Ａと回転シャフト３０との物理的な接続と非接続とを切り替える。第３の変形例におけるクラッチ４２は、かさ歯車２２Ａと回転シャフト３０との間に介在して、かさ歯車２２Ａと回転シャフト３０との物理的な接続と非接続とを切り替える。   FIG. 7 is a diagram showing a main configuration of an actuator 1C according to a third modification. The motor 10 in the third modification is connected to the rotary shaft 30 via bevel gears 11A and 12A, as in the second modification. The motor 20 in the third modification is connected to the rotary shaft 30 via bevel gears 21A and 22A. The output shafts of the rotors of the motors 10 and 20 and the rotary shaft 30 in the third modification are not parallel, but are orthogonal, for example. The clutch 41 in the third modified example is interposed between the bevel gear 12 </ b> A and the rotating shaft 30 to switch between physical connection and non-connection between the bevel gear 12 </ b> A and the rotating shaft 30. The clutch 42 in the third modified example is interposed between the bevel gear 22 </ b> A and the rotating shaft 30 to switch between physical connection and non-connection between the bevel gear 22 </ b> A and the rotating shaft 30.

以上、第２の変形例及び第３の変形例によれば、上記実施形態の効果に加えて、モータの回転子の出力シャフトと回転シャフト３０とが平行に限られないので、回転シャフト３０に対するモータの配置の自由度がより向上する。   As mentioned above, according to the 2nd modification and the 3rd modification, in addition to the effect of the above-mentioned embodiment, since the output shaft of the rotor of the motor and the rotation shaft 30 are not limited to being parallel, The degree of freedom of motor arrangement is further improved.

なお、第２の変形例及び第３の変形例のように、平行でないシャフト同士を接続する歯車は、かさ歯車に限られない。例えば冠歯車、ハイポイドギヤ、ねじ歯車、ウォームギヤ等、他の歯車であってもよい。   In addition, the gear which connects the shafts which are not parallel like the 2nd modification and the 3rd modification is not restricted to a bevel gear. For example, other gears such as a crown gear, a hypoid gear, a screw gear, and a worm gear may be used.

また、上記実施形態等における回転シャフト３０はシャフトであるが、これは回転シャフト３０の一例であってこれに限られるものでない。例えば、回転シャフト３０はボールネジであってもよい。この場合、ボールネジに螺合するネジ構造を回転シャフト３０の軸方向に沿って直動させることができる。すなわち、アクチュエータから直動出力を得ることができる。   Moreover, although the rotating shaft 30 in the said embodiment etc. is a shaft, this is an example of the rotating shaft 30 and is not restricted to this. For example, the rotation shaft 30 may be a ball screw. In this case, the screw structure screwed into the ball screw can be moved linearly along the axial direction of the rotary shaft 30. That is, a linear motion output can be obtained from the actuator.

また、上記の実施形態等では複数のモータの各々に設けられた歯車と回転シャフト３０に設けられた歯車とが直接噛み合っているが、これは動力伝達経路の具体的構成の一例であって、これに限られるものでない。例えば、複数のモータの各々に設けられた歯車と回転シャフト３０に設けられた歯車との間に一つ以上の別の歯車が介在してもよい。また、複数のモータの各々に設けられた歯車と回転シャフト３０に設けられた歯車をスプロケットとし、ローラーチェーンや環状のベルト等により動力を伝達するようにしてもよい。   Further, in the above embodiment and the like, the gear provided in each of the plurality of motors and the gear provided in the rotary shaft 30 are directly meshed, but this is an example of a specific configuration of the power transmission path, It is not limited to this. For example, one or more other gears may be interposed between a gear provided to each of the plurality of motors and a gear provided to the rotary shaft 30. Moreover, the gear provided in each of the plurality of motors and the gear provided on the rotary shaft 30 may be sprockets, and power may be transmitted by a roller chain, an annular belt, or the like.

また、上記実施形態等におけるアクチュエータが備えるモータの数（ｎ）は２であるが、３以上であってもよい。この場合、より多くのパターン数（２ｎ）の出力特性を得ることができる。 Moreover, although the number (n) of the motors provided in the actuator in the above-described embodiment and the like is 2, it may be 3 or more. In this case, output characteristics with a larger number of patterns (2 n ) can be obtained.

複数のモータのうち一部又は全部は、同一の特性を有するモータでもよい。すなわち、アクチュエータが備える複数のモータのうち二つ以上は、時間単位の回転数及びトルク等の原動機としての性能が同一であるか、モータ同士の性能の差が無視できるほどに小さい同一種類のモータであってもよい。この場合、同一の特性を有するモータは、動力伝達経路においてそれぞれ異なる歯車比で回転シャフトと接続される。これにより、トルクや時間単位の回転数をモータごとに異なるものにすることができる。このため、同一の特性を有する複数のモータから多様な出力を得ることができる。   Some or all of the plurality of motors may be motors having the same characteristics. That is, two or more of the plurality of motors included in the actuator have the same performance as a prime mover such as the number of revolutions and torque in time units, or the same type of motor that is so small that the difference in performance between the motors can be ignored It may be. In this case, motors having the same characteristics are connected to the rotating shaft at different gear ratios in the power transmission path. Thereby, a torque and the rotation speed of a time unit can be varied for every motor. For this reason, various outputs can be obtained from a plurality of motors having the same characteristics.

特性が異なるモータの各々と回転シャフトとの動力伝達経路における歯車比は同一であってもよい。   The gear ratio in the power transmission path between each of the motors having different characteristics and the rotating shaft may be the same.

モータは、電動機に限らない。例えば気体、液体等の流体の流れにより生じる圧力から回転力を出力する圧力モータ、熱機関（例えばレシプロエンジン等）その他のあらゆる原動機が本実施形態におけるモータとして採用され得る。   The motor is not limited to an electric motor. For example, a pressure motor that outputs a rotational force from a pressure generated by the flow of a fluid such as gas or liquid, a heat engine (for example, a reciprocating engine), or any other prime mover may be employed as the motor in this embodiment.

制御部５０は、ＥＣＵに限られない。本実施形態における制御部の特徴を満たす構成であれば、その具体的構成は問われない。   The control unit 50 is not limited to the ECU. The specific configuration is not limited as long as the configuration satisfies the characteristics of the control unit in the present embodiment.

また、制御部５０は、動力伝達経路が回転シャフト３０に接続された複数のモータのうち一部又は全部を駆動しなくてもよい。この場合、駆動されないモータが回転シャフト３０の回転運動における負荷として働き、回転シャフト３０がより回転しにくくなる。この負荷を意図的に利用したい場合、制御部５０によるこのような動作制御が行われる。   Further, the control unit 50 may not drive some or all of the plurality of motors whose power transmission path is connected to the rotary shaft 30. In this case, the motor that is not driven acts as a load in the rotational motion of the rotary shaft 30, and the rotary shaft 30 is more difficult to rotate. When it is desired to use this load intentionally, such operation control by the control unit 50 is performed.

本実施形態による搬送装置は、ステージ駆動装置に限られない。本実施形態による搬送装置は、アクチュエータの回転シャフトの回転により搬送物を搬送する機構を有する他の搬送装置を含む。   The transport apparatus according to the present embodiment is not limited to the stage driving apparatus. The transport apparatus according to the present embodiment includes another transport apparatus having a mechanism for transporting a transport object by rotation of a rotary shaft of an actuator.

１ アクチュエータ
１０，２０ モータ
１１，１２，２１，２２ 歯車
３０ 回転シャフト
４１，４２ クラッチ
５０ 制御部
６０ 筐体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Actuator 10, 20 Motor 11, 12, 21, 22 Gear 30 Rotating shaft 41, 42 Clutch 50 Control part 60 Case

Claims (8)

複数のモータと、
前記複数のモータの少なくともいずれか一つの駆動により回転される回転シャフトと、
前記回転シャフトに前記複数のモータの一部又は全部の駆動力を伝達させるように前記回転シャフトと前記複数のモータの各々との間の動力伝達経路の接続と非接続とを切り替える切替部と
を備えるアクチュエータ。 Multiple motors,
A rotating shaft that is rotated by driving at least one of the plurality of motors;
A switching unit that switches between connection and disconnection of a power transmission path between the rotation shaft and each of the plurality of motors so as to transmit the driving force of a part or all of the plurality of motors to the rotation shaft. Actuator provided. 前記複数のモータの各々から前記回転シャフトに駆動力を伝達する複数の動力伝達経路の各々に設けられた複数のクラッチを有し、
前記切替部は、前記複数のクラッチの各々の接続状態を切り替える
請求項１に記載のアクチュエータ。 A plurality of clutches provided in each of a plurality of power transmission paths for transmitting a driving force from each of the plurality of motors to the rotating shaft;
The actuator according to claim 1, wherein the switching unit switches a connection state of each of the plurality of clutches. 前記回転シャフトの回転中心軸線と同一の回転中心軸線で回転可能に設けられた複数の歯車を有し、
前記複数のクラッチは、前記複数の歯車の各々と前記回転シャフトとの接続状態を切り替え、
前記複数のモータの各々の回転子に設けられた歯車は、前記複数の歯車のうちそれぞれ異なる歯車と接続される
請求項２に記載のアクチュエータ。 A plurality of gears provided so as to be rotatable around the same rotation center axis as that of the rotation shaft;
The plurality of clutches switch the connection state between each of the plurality of gears and the rotating shaft,
The actuator according to claim 2, wherein a gear provided on a rotor of each of the plurality of motors is connected to a different gear among the plurality of gears. 前記クラッチは、前記複数のモータの各々の回転子に直接回転駆動される歯車と前記回転子との接続状態を切り替える
請求項２に記載のアクチュエータ。 The actuator according to claim 2, wherein the clutch switches a connection state between a gear that is directly driven to rotate by a rotor of each of the plurality of motors and the rotor. 前記複数のモータの一部の回転中心軸線又は全部の回転中心軸線と前記回転シャフトの回転中心軸線とは平行でない
請求項３又は４に記載のアクチュエータ。 The actuator according to claim 3 or 4, wherein some or all of the rotation center axes of the plurality of motors are not parallel to the rotation center axis of the rotation shaft. 前記複数のモータには同一の特性を有するモータが二つ以上含まれ、
前記同一の特性を有するモータは、前記動力伝達経路においてそれぞれ異なる歯車比で前記回転シャフトと接続される
請求項１から５のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 The plurality of motors includes two or more motors having the same characteristics,
The actuator according to any one of claims 1 to 5, wherein the motors having the same characteristics are connected to the rotating shaft at different gear ratios in the power transmission path. 前記複数のモータの数をｎ（ｎ≧２）とした場合の前記回転シャフトと前記複数のモータとの接続状態の組み合わせのパターン数が２ｎである
請求項１から６のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 The number of patterns of combinations of connection states of the rotary shaft and the plurality of motors when the number of the plurality of motors is n (n ≧ 2) is 2 n. The actuator described. 請求項１から７のいずれか一項に記載のアクチュエータを備え、
前記回転シャフトの回転により搬送物を搬送する
搬送装置。 The actuator according to any one of claims 1 to 7, comprising:
A conveying device that conveys a conveyed object by rotation of the rotating shaft.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106961180A (en) * 2016-01-12 2017-07-18 翰昂汽车零部件有限公司 Method and device for the transmitting torque in actuator
WO2021106983A1 (en) * 2019-11-26 2021-06-03 東洋製罐株式会社 Discharge device
TWI846985B (en) 2019-11-26 2024-07-01 日商東洋製罐股份有限公司 Dispensing device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106961180A (en) * 2016-01-12 2017-07-18 翰昂汽车零部件有限公司 Method and device for the transmitting torque in actuator
WO2021106983A1 (en) * 2019-11-26 2021-06-03 東洋製罐株式会社 Discharge device
JP2021084641A (en) * 2019-11-26 2021-06-03 東洋製罐株式会社 Discharge device
TWI846985B (en) 2019-11-26 2024-07-01 日商東洋製罐股份有限公司 Dispensing device

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