JP2015166140A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】流路部材の接続部から流出した液体がヘッド基板に到達することを抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射するヘッド本体１５０と、ヘッド本体１５０を駆動するヘッド基板１７０と、外部からインクが供給されるインク供給口及びヘッド本体１５０にインクを供給する流路が形成された流路部材と、流路部材の上面及び側面に流出したインクをヘッド基板１７０の平面方向に誘導し、当該平面方向に誘導されたインクを流路部材の厚さ方向である第３の方向Ｚに誘導することが可能な案内溝２００とを備え、案内溝２００のうち第３の方向Ｚに誘導する第２案内溝は、ヘッド基板１７０の平面方向においてヘッド基板１７０よりも外側に配置され、第２案内溝からヘッド基板１７０の端部の間に、ヘッド基板１７０側に突出した壁部が設けられている。
【選択図】図７

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

液滴を噴射する液体噴射ヘッドは、液体の一例としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッドが知られている。インクジェット式記録ヘッドは、インクを噴射するヘッド本体と、インクカートリッジ等の液体貯留手段からヘッド本体にインクを供給する流路が設けられた流路部材とを備えている。具体的には、流路部材の被記録媒体側にヘッド本体が設けれ、流路部材の被記録媒体とは反対側にヘッド本体に駆動信号を供給するヘッド基板が設けられている。

流路部材には、当該流路部材にインクを供給するチューブ等が接続される接続部が設けられている。接続部からチューブ等を着脱したときなどにインクが接続部の周辺にあふれ出す場合があり、このインク滴は、流路部材の表面を伝ってヘッド基板に流れ込む虞がある。

そこで、そのようなインクからヘッド基板等を保護するためにインクを誘導する溝を設けた記録ヘッドが提案されている。例えば、流路部材に設けられた溝は、流路部材の上面（被記録媒体とは反対面）から側面を伝って流路部材の外部、例えばキャリッジにインクを導くように設けられている。このような溝により、ヘッド基板にインクが到達することを抑制している。

特開２００３−７２０５３号公報

しかしながら、溝により誘導されたインクは流路部材の被記録媒体側の底面を伝い、ヘッド基板側に到達する虞があり、ヘッド基板の電子回路や電子部品をインクから保護するために万全を期す必要がある。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、流路部材の接続部から流出した液体がヘッド基板に到達することを抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、液体噴射面から液体を噴射するヘッド本体と、前記ヘッド本体に積層され、前記ヘッド本体を駆動するヘッド基板と、前記ヘッド基板に対して前記ヘッド本体が配置される側と反対側に配置され、外部から液体が供給される接続部を有し、該接続部から前記ヘッド本体に前記液体を供給する流路が形成された流路部材と、前記流路部材に設けられ、前記接続部から前記流路部材の前記ヘッド基板とは反対側の面、及び当該面に連続して前記ヘッド基板に交差した面に流出した液体を前記ヘッド基板の平面方向に誘導し、当該平面方向に誘導された液体を前記流路部材の厚さ方向に誘導することが可能な案内溝とを備え、前記案内溝の前記流路部材の厚さ方向に誘導する部位は、前記ヘッド基板の平面方向において当該ヘッド基板よりも外側に配置されており、前記流路部材の前記ヘッド基板が配置される側の面には、前記流路部材の厚さ方向に誘導する部位から前記ヘッド基板の端部までの間に、該面から前記ヘッド基板側に突出した壁部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、接続部から液体が流出した際に、当該液体は、流路部材の表面を伝って案内溝に誘導され、さらに案内溝の厚さ方向に誘導する部位により、液体は流路部材のヘッド基板側の底面に到達する。当該液体は、壁部が設けられていることによりヘッド基板側に侵入することが抑制される。したがって、ヘッド基板に液体が接触して短絡することを抑制し、液体の噴射不良やヘッド基板の破壊を抑制することができる。これにより、信頼性が向上した液体噴射ヘッドが提供される。

ここで、前記流路部材の前記ヘッド基板とは反対面側には、前記接続部の周りを囲む凹部が設けられ、前記凹部に開口し、前記案内溝に連通した案内流路を備えることが好ましい。これによれば、接続部から流出した液体を案内流路を介して案内溝に誘導することができる。つまり、液体が流路部材の上面に溢れることを抑制し、案内溝に誘導することができる。

また、前記壁部は、前記液体噴射面から液体を噴射される被記録媒体が相対移動する搬送方向に交差する方向に延設されていることが好ましい。これによれば、液体が搬送方向に沿って壁部を乗り越え、ヘッド基板に到達することをより確実に抑制することができる。

また、前記接続部は、前記流路部材の前記ヘッド基板とは反対面に設けられ、前記案内溝は、前記流路部材の前記反対面に連続して前記液体噴射面に交差する側面に設けられて前記ヘッド基板の平面方向に液体を案内する第１案内溝と、前記第１案内溝に連続して前記流路部材の厚さ方向に液体を案内する第２案内溝とを備え、前記壁部は、前記第２案内溝から前記ヘッド基板の端部までの間に設けられていることが好ましい。これによれば、第１案内溝及び第２案内溝によりヘッド基板に浸入しないように液体を誘導することができる。

また、前記案内流路は、前記流路部材の前記凹部及び前記流路部材の前記側面に開口し、当該側面の開口は、前記第１案内溝又は前記第２案内溝よりも前記流路部材の前記反対面側に開口していることが好ましい。これによれば、案内流路から第１案内溝及び第２案内溝により確実に液体を誘導することができる。

さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、流路部材の接続部から流出した液体がヘッド基板に到達することを抑制することができる液体噴射装置が提供される。

実施形態１に係る記録ヘッドの斜視図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの接続部側の平面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの正面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの側面図である。 図４のＡ−Ａ’線断面図である。 図４のＢ−Ｂ’線断面図である。 図４のＣ−Ｃ’線断面図である。 ヘッド本体の分解斜視図である。 ヘッド本体の液体噴射面側の平面図である。 図１１のＤ−Ｄ′線断面図である。 インクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

〈実施形態１〉
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単に記録ヘッドとも言う。

図１は実施形態１に係る記録ヘッドの斜視図であり、図２は記録ヘッドの分解斜視図であり、図３は記録ヘッドの分解斜視図であり、図４は記録ヘッドの接続部側の平面図であり、図５は記録ヘッドの正面図であり、図６は記録ヘッドの側面図であり、図７は図４のＡ−Ａ’線断面図であり、図８は図４のＢ−Ｂ’線断面図であり、図９は図４のＣ−Ｃ’線断面図である。

記録ヘッド１は、流路部材１３０と、流路部材１３０に固定された保持部材１４０と、保持部材１４０に固定された複数のヘッド本体１５０と、ヘッド本体１５０の液体噴射面側を覆うカバーヘッド１６０と、を具備する。

まず、ヘッド本体１５０について、さらに図１０〜図１２を参照して詳細に説明する。図１０はヘッド本体の分解斜視図であり、図１１はヘッド本体の液体噴射面側の平面図であり、図１２は図１１のＤ−Ｄ′線断面図である。

本実施形態のヘッド本体１５０は、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０及びケース部材４０等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。

本実施形態では、第１の方向Ｘにおいて、詳しくは後述する流路部材１３０が保持部材１４０よりも突出した一端側をＸ２側と称し、反対側の他端部側をＸ１側と称する。第１の方向Ｘとは交差し、後述するヘッド本体が並設された方向を第２の方向Ｙとする。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの双方に交差する方向を第３の方向Ｚと称する。なお、本実施形態では、説明理解を容易にするために各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の関係を直交とするが、各構成の配置関係が必ずしも直交するものに限定されるべきものでないことを言及しておく。

流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ_２あるいはＡｌ_２Ｏ_３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ_３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。本実施形態では、当該方向を第１の方向としてあり、圧力発生室１２の並設方向とも称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列は第２の方向としてある。

また、本実施形態では、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された２列は、一方の圧力発生室１２の列に対して、他方の圧力発生室１２の列が第１の方向Ｘで隣り合う圧力発生室１２の間隔の半分だけ第１の方向Ｘにずれた位置に配置されている。これにより、詳しくは後述するノズル開口２１も同様に、ノズル開口２１の２列が半分の間隔だけ第１の方向Ｘにずれて配置されて、第１の方向Ｘの解像度を２倍にしている。もちろん、２列の圧力発生室１２の第１の方向Ｘの位置を同じ位置として、圧力発生室１２の列毎に異なるインクが供給されるようにしてもよい。

また、流路形成基板１０の一方面側（積層方向であって−Ｚ方向）には、連通板１５が接合されている。また、連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接合されている。

連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。

また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部（絞り流路、オリフィス流路）１８とが設けられている。

第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。

また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。

このような連通板１５としては、ステンレスやＮｉなどの金属、またはジルコニウムなどのセラミックなどを用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。

また、ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。すなわち、ノズル開口２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１の列（ノズル列）が第２の方向Ｙに２列形成されている。本実施形態では、ノズルプレート２０の圧力発生室１２とは反対面側であるインク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａとなっている。また、液体噴射面２０ａに直交する方向、すなわち、第３の方向Ｚはインクが噴射される液体噴射方向となっている。

このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。

一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。

また、振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、本実施形態では、成膜及びリソグラフィー法によって積層形成されて圧電アクチュエーター３００を構成している。ここで、圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、第１電極６０が、複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられているため、第１電極６０が振動板の一部として機能するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、上述の弾性膜５１及び絶縁体膜５２の何れか一方又は両方を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。

また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護して収容するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０には、厚さ方向である第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の第２電極８０に接続された一端部とは反対側の他端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と駆動ＩＣ等の駆動回路１２０を実装した配線部材１２１とが、貫通孔３２内で電気的に接続されている。

また、このような構成のヘッド本体１５０には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１５０と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１５０とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０とヘッド本体１５０とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。

なお、ケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。

また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。

このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。

なお、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている。本実施形態では、１つのヘッド本体１５０には２つの独立したマニホールド１００が設けられているため、導入路４４はマニホールド１００毎に、すなわち合計２個設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線部材１２１が挿通される接続口４３が設けられている。

このような構成のヘッド本体１５０では、インクを噴射する際に、液体貯留手段から流路部材１３０を介して導入路４４からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。

このようなヘッド本体１５０は、図３に示すように、保持部材１４０にノズル列の並び方向、すなわち、第２の方向Ｙに所定の間隔で４つ固定されている。すなわち、記録ヘッド１には、ノズル開口２１が並設されたノズル列が８列設けられていることになる。このように複数のヘッド本体１５０を用いてノズル列の多列化を図ることで、１つのヘッド本体１５０にノズル列を多列形成するのに比べて歩留まりの低下を防止することができる。また、ノズル列の多列化を図るために複数のヘッド本体１５０を用いることで、１枚のシリコンウェハから形成できるヘッド本体１５０の取り数を増大させることができ、シリコンウェハの無駄な領域を減少させて製造コストを低減することができる。

図３及び図７を参照して、保持部材１４０について詳細に説明する。保持部材１４０は、第３の方向Ｚの一方面側（記録シートＳ側）には、内部にヘッド本体１５０が収容保持されるヘッド本体保持部１４１が設けられている。ヘッド本体保持部１４１は、保持部材１４０の記録シートＳ側の面に開口する凹形状を有する。また、ヘッド本体保持部１４１は、４つのヘッド本体１５０が収容可能な大きさで形成されている。そして、ヘッド本体保持部１４１内には、４つのヘッド本体１５０が収容されている。ヘッド本体１５０のケース部材４０の液体噴射面２０ａとは反対面をヘッド本体保持部１４１の底面に固定することで保持部材１４０はヘッド本体１５０を保持している。

また、保持部材１４０のヘッド本体保持部１４１側の面には、ヘッド本体保持部１４１の開口を覆うカバーヘッド１６０が設けられている。

カバーヘッド１６０は、ヘッド本体１５０の液体噴射面２０ａを露出する露出開口部１６１を有する板状部材からなる。露出開口部１６１は、各ヘッド本体１５０の液体噴射面２０ａを独立して露出するように４つ形成されている（図３参照）。

このようなカバーヘッド１６０は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対側に接合されており、コンプライアンス部４９にインクが付着するのを抑制している。

さらに、保持部材１４０の第３の方向Ｚの他方面側、すなわち、流路部材１３０側には、内部にヘッド基板１７０が収容される配線基板保持部１４２が設けられている。配線基板保持部１４２内には、ヘッド基板１７０が、記録シートＳのインク滴が着弾する面、いわゆる印刷面に一方の面を対向して配置されている。ヘッド基板１７０は、本実施形態ではリジット基板からなり、ヘッド基板１７０が第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面方向となるように配線基板保持部１４２内に収容されている。

このような配線基板保持部１４２は、詳しくは後述するが、第３の方向Ｚの液体噴射面２０ａとは反対側の開口が流路部材１３０によって封止される。これにより、ヘッド基板１７０は、保持部材１４０の配線基板保持部１４２内に収容される。このように、ヘッド基板１７０を保持部材１４０内に収容することで、ヘッド基板１７０にインクが付着することによる配線の短絡や搭載された電子部品の故障等を抑制することができる。

また、保持部材１４０には、流路部材１３０から供給されたインクをヘッド本体１５０に供給するための接続流路１４３が設けられている。本実施形態では、接続流路１４３は、ヘッド本体１５０の導入路４４毎に設けられている。すなわち、１つのヘッド本体１５０には、２個の導入路４４が設けられているため、４個のヘッド本体１５０に対して合計８個の接続流路１４３が設けられている。なお、接続流路１４３は、一端が配線基板保持部１４２内に突出して設けられた第１突起部１４４の端面に開口して設けられている。また、接続流路１４３の他端は、ヘッド本体保持部１４１の底面に開口して設けられている。第１突起部１４４の端面に開口する一端が流路部材１３０に接続され、ヘッド本体保持部１４１の底面に開口する他端がヘッド本体１５０の導入路４４に接続される。これにより、流路部材１３０からのインクは、接続流路１４３を介してヘッド本体１５０に供給される。

また、保持部材１４０には、第１の方向Ｘにおいて、１つのヘッド本体１５０毎に設けられた２個の接続流路１４３の間に、配線部材１２１を挿通するための配線部材挿通孔１４５が設けられている。配線部材挿通孔１４５は、ヘッド本体１５０の接続口４３に挿通して、配線部材１２１をヘッド本体１５０側から流路部材１３０側に挿通するためのものである。このような配線部材挿通孔１４５は、ヘッド本体１５０の第１の方向Ｘの幅と略同じ幅の開口で設けられている。

また、ヘッド基板１７０には、第１突起部１４４を挿通する第１挿通孔１７１と、配線部材１２１を挿通する第２挿通孔１７２と、が設けられている。そして、第２挿通孔１７２を挿通された配線部材１２１は、液体噴射面２０ａとは反対側の面において、ヘッド基板１７０と接続されている。なお、ヘッド基板１７０と配線部材１２１との接続方法は特に限定されず、例えば、ハンダ付けやろう付けなどのろう接や、共晶接合、溶接、導電性粒子を含む導電性接着剤（ＡＣＰ、ＡＣＦ）、非導電性接着剤（ＮＣＰ、ＮＣＦ）等が挙げられる。

また、ヘッド基板１７０には、第１の方向Ｘの両端部にコネクター１７３が設けられている。コネクター１７３は、本実施形態では、第３の方向Ｚにおいて、ヘッド基板１７０のヘッド本体１５０とは反対面側に固定されている。そして、保持部材１４０には、コネクター１７３に相対向する側壁に配線基板保持部１４２と外部とを連通する接続孔１４６が設けられており、コネクター１７３は、接続孔１４６によって外部に露出される。これにより、コネクター１７３には、記録ヘッド１の外部からＦＰＣ、ＦＦＣ等のフレキシブル基板である可撓性基板が接続される（図１参照）。すなわち、本実施形態のコネクター１７３に接続された外部配線である可撓性基板は、記録ヘッド１の第２の方向Ｙに導出される。

このような保持部材１４０の配線基板保持部１４２側には、図１、図２、図７及び図８に示すように、流路部材１３０が接合されている。

図示するように、流路部材１３０は、ケース部材１３１と、ケース部材１３１の内部に収容された流路形成部材１３５及び供給部材１３６と、を具備する。

ケース部材１３１は、中空の箱形状を有し、第１ケース部材１３２と第２ケース部材１３３とに分割された２つの部材が固定されて構成されている。このようなケース部材１３１の内部には、空間である収容部１３４が形成されており、この収容部１３４内に流路形成部材１３５が収容されている。

ケース部材１３１に収容される流路形成部材１３５は、特に図示していないが、例えば、インクに含まれる気泡や異物を除去するフィルターや、流路内のインクの圧力に応じて流路を開閉する弁体等の各機能部が設けられた機能部材である。また、流路形成部材１３５には、ヒーター等の加熱手段が設けられていてもよい。

このような流路形成部材１３５の内部には、流路１３５１が設けられており、流路１３５１の一端は、第１ケース部材１３２側に開口して設けられて、インクが供給される接続部の一例であるインク供給口１３５２となっている。流路１３５１の他端は、第２ケース部材１３３側に開口したインク排出口１３５３となっている。

第１ケース部材１３２のヘッド基板１７０とは反対側の面には、接続部の一例であるインク供給口１３５２の周りを囲む凹部として第１開口部１３２１及び第２開口部１３２２が設けられている。

第１開口部１３２１は、インク供給口１３５２が露出するように、第１ケース部材１３２を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。

また、第２開口部１３２２は、第１ケース部材１３２の前記面に設けられた凹部として設けられている。第２開口部１３２２は、第１開口部１３２１を内側に含み、第１開口部１３２１よりも大きく開口している。

第１開口部１３２１及び第２開口部１３２２によって露出されたインク供給口１３５２には、インクカートリッジなどの液体貯留手段が直接又は他の流路部材やチューブ等の供給管を介して接続されてインクが供給される。インク供給口１３５２は、このようにインクが供給される接続部の一例であり、液体貯留手段や前記供給管等が着脱される部位である。この着脱の際に、液体貯留手段、供給管又はインク供給口１３５２からインクが流出する場合がある。インク供給口１３５２から流出したインクは、後述する案内溝２００に誘導される。

第１ケース部材１３２には、第１案内流路１３２３が設けられ、第２ケース部材１３３には、第２案内流路１３３３が設けられている。

第１案内流路１３２３は、第１ケース部材１３２を第３の方向Ｚに貫通する貫通孔として形成されており、一方の開口は、第２開口部１３２２の底面に形成され、他方の開口は第２ケース部材１３３側に形成されている。

第２案内流路１３３３は、第２ケース部材１３３の第１ケース部材１３２側の上面と、当該上面に連続した側面とに開口した凹部として形成されている。第１案内流路１３２３は、第２案内流路１３３３に連通しており、一つの案内流路を形成している。本実施形態では、第２の方向Ｙに第２開口部１３２２の両端に、２つの第１案内流路１３２３と２つの第２案内流路１３３３とがそれぞれ設けられている。

第１案内流路１３２３及び第２案内流路１３３３からなる案内流路は、接続部であるインク供給口１３５２から流出したインクを第２開口部１３２２から後述する案内溝２００に誘導する流路である。

なお、本実施形態では、第１案内流路１３２３及び第２案内流路１３３３から案内流路を形成したがこのような態様に限定されない。例えば、第２案内流路１３３３を凹部としてではなく、第２ケース部材１３３の第１ケース部材１３２側の上面及び当該上面に連続した側面に開口した流路として形成してもよい。また、第１案内流路１３２３は、第２開口部１３２２の底面に開口したが、第１開口部１３２１の内面に開口していてもよい。

第２ケース部材１３３と流路形成部材１３５との間には、供給部材１３６が設けられている。

供給部材１３６には、流路形成部材１３５の流路１３５１（図２参照）に連通すると共に保持部材１４０に連通する第１供給流路１３６１が設けられている。第１供給流路１３６１は、一端が流路形成部材１３５側に突出して設けられた第２突起部１３６２の端面に開口して設けられている。また、第１供給流路１３６１の他端は、第２ケース部材１３３側に開口して設けられており、第２ケース部材１３３側に内径が拡幅された第１液体溜まり部１３６２が設けられている。

第２ケース部材１３３には、第２供給流路１３３１が設けられている。第２供給流路１３３１の供給部材１３６側の開口部分は、第１液体溜まり部１３６２に対応して拡幅された第２液体溜まり部１３３２となっており、第２液体溜まり部１３３２の開口部分（第１液体溜まり部１３６２と第２液体溜まり部１３３２との間）には、インクに含まれる気泡や異物を除去するためのフィルター１３７が設けられている。これにより、第１供給流路１３６１から供給されたインクは、フィルター１３７を介して第２供給流路１３３１に供給される。

また、第２供給流路１３３１は、第２液体溜まり部１３３２よりも下流側（保持部材１４０側）で、２つに分岐されている。すなわち、本実施形態では、供給部材１３６には、４つの第１供給流路１３６１が設けられ、第２ケース部材１３３には、８個の第２供給流路１３３１が設けられている。

このように、フィルター１３７よりも上流の第１供給流路１３６１の数を減らすことで、第１供給流路１３６１を形成する領域を確保するために流路部材１３０が大型化することを抑制することができる。また、フィルター１３７よりも下流の第２供給流路１３３１の２つに対して１つの共通するフィルター１３７を設けることで、フィルター１３７を接合する面積や、隣り合う第１液体溜まり部１３６２（第２液体溜まり部１３３２）同士が連通しないように隔離する壁などを設けるスペースを減少させて、流路部材１３０の小型化を図ることができる。

このような流路部材１３０は、保持部材１４０の配線基板保持部１４２側に固定される。また、保持部材１４０と流路部材１３０との間には、接続流路１４３と第２供給流路１３３１とを接続する接続連通路１８１が設けられたシール部材１８０が設けられている。シール部材１８０によって接続流路１４３と第２供給流路１３３１とが密封された状態で接続されている。

なお、流路部材１３０は、第１の方向Ｘの幅が保持部材１４０よりも大きな幅を有する。これは、上述のように、流路形成部材１３５は、内部にフィルターや、弁体、加熱手段等の各機能部が設けられた機能部材であるため、各機能部を配置する領域や、各機能部への流路１３５１を引き回す領域が必要だからである。すなわち、流路部材１３０の第１の方向Ｘの幅を保持部材１４０と同じ幅まで縮小するのは実質的に困難であり、また、保持部材１４０側を流路部材１３０と同じ第１の方向Ｘまで拡幅すると、記録ヘッド１の大型化、特に液体噴射面２０ａ側の大型化を招いてしまう。したがって、本実施形態の流路部材１３０は、保持部材１４０よりも第１の方向ＸのＸ２側から突出して設けられている。

このように、第３の方向Ｚに沿って、ヘッド本体１５０、保持部材１４０、ヘッド基板１７０、及び流路部材１３０が積層されている。保持部材１４０に保持されたヘッド本体１５０には、ヘッド基板１７０が積層されている。ここでいう積層とは、ヘッド本体１５０にヘッド基板１７０が直接的に接触することの他に、ヘッド本体１５０とヘッド基板１７０との間に他の部品（本実施形態では保持部材１４０）が介在し、間接的に組み付けられる場合も含む。また、流路部材１３０は、ヘッド基板１７０に対してヘッド本体１５０が配置される側と反対側に配置されている。ここでいう積層とは、流路部材１３０にヘッド基板１７０が直接的に接触することの他に、流路部材１３０とヘッド基板１７０との間に他の部品（本実施形態ではシール部材１８０）が介在し、間接的に組み付けられる場合も含む。

ここで、図１、図２、図４〜図６及び図９を参照して、記録ヘッド１に設けられた案内溝２００及び壁部２５０について詳細に説明する。

流路部材１３０には、インク供給口１３５２から流路部材１３０のヘッド基板１７０とは反対側の面、及び当該面に連続してヘッド基板１７０とは交差した面に流出したインクをヘッド基板１７０の平面方向に誘導し、ヘッド基板１７０の平面方向に誘導されたインクを流路部材１３０の厚さ方向である第３の方向Ｚに誘導することが可能な案内溝２００が設けられている。

本実施形態では、流路部材１３０は、第１ケース部材１３２と第２ケース部材１３３を備えている。したがって、流路部材１３０のヘッド基板１７０とは反対側の面は、第１ケース部材１３２のヘッド基板１７０とは反対側の上面１３２４となる。また、上面１３２４に連続してヘッド基板１７０とは交差した面とは、第１ケース部材１３２の上面１３２４に連続してヘッド基板１７０と交差した第１側面１３２５と、第２ケース部材１３３のヘッド基板１７０と交差した第２側面１３３４とからなる。ここでは、ヘッド基板１７０は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに対して平行であり、第１側面１３２５及び第２側面１３３４はヘッド基板１７０に垂直、すなわち、第３の方向Ｚに平行となっている。なお、第１側面１３２５及び第２側面１３３４を合わせて側面１３１５とする。

インク供給口１３５２から流出したインクは、第１開口部１３２１及び第２開口部１３２２内に貯留される。さらに、本実施形態では、第２開口部１３２２内のインクは、後述する第１案内流路１３２３及び第２案内流路１３３３を介して案内溝２００に誘導される。したがって、原則的には、インク供給口１３５２から、流路部材１３０の上面１３２４及び側面１３１５に流出することが抑制されている。

しかしながら、第１開口部１３２１及び第２開口部１３２２の容積や形状によっては、第２開口部１３２２からインクが溢れ、上面１３２４及び側面１３１５にまで流出する場合がある。

案内溝２００は、上面１３２４及び側面１３１５まで流出したインクをヘッド基板１７０の平面方向に誘導し、さらにその平面方向に誘導されたインクを第３の方向Ｚに誘導する。

ヘッド基板１７０の平面方向とは、ヘッド基板１７０の平面に平行な場合だけではなく、平面に対して交差した方向を含む。すなわち、ヘッド基板１７０の平面方向とはヘッド基板１７０の平面に対して垂直以外の方向を含む。また、案内溝２００がインクを第３の方向Ｚに誘導するとは、第３の方向Ｚに平行な方向のみならず、第３の方向Ｚに交差する方向を含む。すなわち、第３の方向Ｚに垂直となる方向以外を含む。

本実施形態に係る案内溝２００は、ヘッド基板１７０の平面方向にインクを誘導することが可能な第１案内溝２０１と、当該インクを第３の方向Ｚに誘導することが可能な第２案内溝２０２とを備える。

第２ケース部材１３３の第２側面１３３４には、側方に突出した突部２１０が形成されている。本実施形態では、第２ケース部材１３３の第２の方向Ｙの両側の２つの第２側面１３３４に突部２１０が形成されている。第１案内溝２０１は、突部２１０にヘッド基板１７０とは反対側に開口する溝として形成されている。また、第１案内溝２０１は、第２の方向Ｙに沿って長尺に形成されている。

このような第１案内溝２０１によれば、第２側面１３３４にまで流出したインクを受け、ヘッド基板１７０の平面方向にインクを誘導することができる。

ここで、後述するように、第２の方向Ｙは、記録ヘッド１が被記録媒体に対して移動する方向となっている。したがって、第１ケース部材１３２の上面１３２４に流出したインクは、第２の方向Ｙに沿って動きやすい。このため、上面１３２４のインクは、第２ケース部材１３３の第２の方向Ｙの両側の第２側面１３３４により多く流出することになる。

このようにインクが多く流出してくる第２側面１３３４には、第１案内溝２０１が設けられているので、より効果的にインクを第１案内溝２０１で回収することができる。

なお、本実施形態では、上述したように２つの第２側面１３３４に第１案内溝２０１を設けたが、このような態様に限定されない。例えば、第２ケース部材１３３の第２側面１３３４の全周に亘って第１案内溝２０１を設けてもよい。

第２案内溝２０２は、突部２１０の端部のうち第１の方向ＸのＸ２側に、第１案内溝２０１と連続する溝として形成されている。また、第２案内溝２０２は、インクを第３の方向Ｚに沿って誘導するように形成されている。本実施形態では、２つの第１案内溝２０１に対応して２つの第２案内溝２０２がそれぞれ設けられている。

第２案内溝２０２によれば、第１案内溝２０１によりヘッド基板１７０の平面方向に誘導されたインクを、さらに第３の方向Ｚに沿わせて誘導することができる。なお、第２案内溝２０２の第３の方向Ｚにおける長さについては特に限定はないが、第２ケース部材１３３の下面（ヘッド基板１７０側の面）よりも下方まで設けられていることが好ましい。

このような第１案内溝２０１及び第２案内溝２０２から構成される案内溝は、インク供給口１３５２から上面１３２４及び側面１３１５に流出したインクを第２案内溝２０２により第３の方向Ｚに沿って特定の場所に誘導することができる。

請求項に記載する「案内溝の流路部材の厚さ方向に誘導する部位」とは、案内溝２００のうちインクを第３の方向Ｚに沿わせる部分をいい、本実施形態では、第２案内溝２０２が相当する。

第２案内溝２０２は、ヘッド基板１７０の平面方向においてヘッド基板１７０よりも外側に配置されている。具体的には、図４に示すように、ヘッド基板１７０の平面視、すなわち、記録ヘッド１の平面視において、第２案内溝２０２は、ヘッド基板１７０よりも第１の方向ＸのＸ２側である外側に配置されている。換言すれば、当該平面視において、ヘッド基板１７０と第２案内溝２０２とは重なっていない。

第２案内溝２０２に誘導されたインクは、鉛直方向の下方（第３の方向Ｚの−Ｚ側）に落下する。このとき、第２案内溝２０２がヘッド基板１７０よりも外側に配置されていることで、落下したインクがヘッド基板１７０に落着することを回避することができる。

流路部材１３０のヘッド基板１７０が配置される側の面、本実施形態では、第２ケース部材１３３のヘッド基板１７０側の面には、当該面からヘッド基板１７０側である第３の方向Ｚの−Ｚ側に突出した壁部２５０が設けられている。

壁部２５０は、第２案内溝２０２からヘッド基板１７０の端部までの間に設けられている。すなわち、壁部２５０は図４や図６に示すように、第２案内溝２０２とヘッド基板１７０の端部（第１の方向ＸにおけるＸ２側の端部）との間に配置されている。本実施形態では、壁部２５０は、第２の方向Ｙに沿って延設されており、流路部材１３０の第２の方向Ｙの幅よりも広くなっている。壁部２５０の第２の方向Ｙの両端は、流路部材１３０よりも突出しており、上述した第２案内溝２０２の底部を形成する突部２１０と一体的になっている。

このような壁部２５０によれば、第２案内溝２０２により第２ケース部材１３３のヘッド基板１７０側まで誘導されたインクは、ヘッド基板１７０側に侵入することが抑制される。また、壁部２５０を第１の方向Ｘに沿って長尺に設けた。この第２の方向Ｙは、後述するように、記録ヘッド１が被記録媒体に対して移動する方向となっている。第２の方向Ｙに沿って記録ヘッド１が移動する場合、第２案内溝２０２により誘導され、第２ケース部材１３３のヘッド基板１７０側の面に付着したインクは、第２の方向Ｙに沿って動く。つまり、壁部２５０に沿ってインクが動くことになるので、第１の方向ＸのＸ１側に向かって壁部２５０を乗り越え、ヘッド基板１７０に到達することをより確実に抑制することができる。

なお、壁部２５０は、第２案内溝２０２とヘッド基板１７０の前記端部との間にあればよく、本実施形態のように第２案内溝２０２と一体的である必要はない。また、壁部２５０が第３の方向Ｚの−Ｚ側の高さに特に限定はない。さらに、壁部２５０は、第２の方向Ｙに沿っていたが、これに限定されず、第２の方向Ｙに交差する方向に延設されていてもよい。

また、図９に示すように、本実施形態に係る流路部材１３０には、第１案内流路１３２３及び第２案内流路１３３３が設けられている。接続部の一例であるインク供給口１３５２から流出したインクは、第１開口部１３２１及び第２開口部１３２２に貯留される。これにより、少量のインクであれば、流路部材１３０の上面１３２４や側面１３１５（図１等参照）を伝ってヘッド基板１７０にインクが侵入することを抑制できる。

そして、第２開口部１３２２には、第１案内流路１３２３が開口している。第１案内流路１３２３には第２案内流路１３３３が連通しており、第２案内流路１３３３は、第２側面１３３４において案内溝２００よりもヘッド基板１７０とは反対側に開口している。

したがって、第２開口部１３２２に貯留されたインクは、第１案内流路１３２３及び第２案内流路１３３３を経由して、第１案内溝２０１に誘導されるか、又は、第２ケース部材１３３のヘッド基板１７０側の面に誘導される。いずれにしても、インクは、ヘッド基板１７０の壁部２５０よりも外側に誘導される。

このように、インク供給口１３５２から流出したインクを、第１案内流路１３２３及び第２案内流路１３３３を介して案内溝２００に誘導することができる。つまり、インクが流路部材１３０の上面１３２４に溢れることを抑制し、案内溝２００に誘導することができる。

このように、案内流路を設けることで、インク供給口１３５２から流出したインクの経路を制御することができる。仮に、このような案内流路を設けない場合、インクが流路部材１３０の上面１３２４に溢れることになるが、この上面１３２４に溢れたインクを意図した案内溝２００に誘導するために、上面１３２４に溝を形成するなどしなければならない。本実施形態に係る記録ヘッドによれば、上面１３２４に溝を形成することが不要となり、案内溝２００により確実にインクを誘導することができる。

本実施形態に係る第１案内流路１３２３及び第２案内流路１３３３を形成した場合、上面１３２４にはインクはあまり溢れることがなく、第１案内溝２０１の第１の方向ＸにおけるＸ１側の端部に当該インクが回収されることも少ない。しかしながら、第２開口部１３２２から溢れるような量のインクが生じた場合、当該インクは第１案内溝２０１により回収される。すなわち、本実施形態に係る第１案内溝２０１によれば、第２開口部１３２２からインクが溢れるようなことが生じても、より確実にインクがヘッド基板１７０に到達することを抑制することができる。

このように、本実施形態に係る記録ヘッド１によれば、接続部の一例であるインク供給口１３５２からインクが流出した際に、当該インクは、流路部材１３０の表面を伝って第１案内溝２０１に回収されて第２案内溝２０２に誘導され、又は第１案内流路１３２３及び第２案内流路１３３３を伝って第２案内溝２０２に誘導される。そして、第２案内溝２０２に誘導されたインクは、壁部２５０によりヘッド基板１７０側に侵入することが抑制される。したがって、ヘッド基板１７０にインクが接触して短絡することを抑制し、インクの噴射不良やヘッド基板１７０の破壊を抑制できる。これにより、信頼性が向上した記録ヘッド１が提供される。

なお、本実施形態に係る記録ヘッド１では、ヘッド基板１７０のコネクター１７３は、壁部２５０に面していない。万が一、第２案内溝２０２に誘導されたインクが壁部２５０を越えてヘッド基板１７０側に達したとしても、保持部材１４０の壁面に到達するにおさえ、コネクター１７３に到達する可能性を低減することができる。

〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、実施形態１に係る記録ヘッド１では、案内溝２００は、流路部材１３０の側面１３１５に設けられていたが、このような態様に限定されない。例えば、流路部材１３０の上面１３２４に第１案内溝２０１に相当する溝を設け、第１側面１３２５及び第２側面１３３４に第２案内溝２０２に相当する溝を設け、それらの溝を連通させたものを案内溝としてもよい。

また、実施形態１では、接続部の一例であるインク供給口１３５２の周囲には凹部として第１開口部１３２１及び第２開口部１３２２を設けたが、このような態様に限定されず、当該凹部を設けなくてもよい。この場合は、インク供給口１３５２が流路部材１３０の上面１３２４に現れることになるが、上面１３２４に流路部材１３０の側面１３１５にインクを誘導する溝を設けることが好ましい。このような溝を設けることで、側面１３１５にインクを誘導し、案内溝２００で回収し、第３の方向Ｚに沿って誘導することができる。

また、実施形態１では、第１案内流路１３２３及び第２案内流路１３３３を設けたが、このような態様に限定されず、それらの案内流路を設けなくてもよい。すなわち、流路部材１３０の上面１３２４に現れたインク供給口１３５２、又は上面１３２４に第１開口部１３２１及び第２開口部１３２２を設け、その内部に現れたインク供給口１３５２を有する記録ヘッド１であってもよい。このような場合は、第１案内流路１３２３及び第２案内流路１３３３を介さず、流路部材１３０の上面１３２４から側面１３１５をインクが伝い、案内溝２００で回収し、第３の方向Ｚに沿って誘導することができる。

さらに、実施形態１では、流路部材１３０に凹部として第１開口部１３２１及び第２開口部１３２２を設け、その内部にインク供給口１３５２を設けた。このインク供給口１３５２は、第１開口部１３２１よりもヘッド基板１７０側であった。つまり、インク供給口１３５２は、第１開口部１３２１よりもヘッド基板１７０とは反対側に突出していない。しかしながら、インク供給口１３５２は、第１開口部１３２１や流路部材１３０の上面１３２４よりもヘッド基板１７０とは反対側に突出していてもよい。この場合であっても、インク供給口１３５２から溢れたインクは、第１開口部１３２１内に落下して貯留される。

また、上述した各実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

また、これら各実施形態の記録ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図１３は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

インクジェット式記録装置Ｉは、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３を具備する。キャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動可能に設けられている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。この記録ヘッド１が移動するキャリッジ軸５に沿う方向（主走査方向）が第２の方向Ｙである。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により主走査方向とは直交する副走査方向（第１の方向Ｘ；搬送方向）に搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。

また、インクジェット式記録装置Ｉには、装置本体４に固定されて内部にインクが貯留されたインクタンク等の液体貯留手段２が設けられている。この液体貯留手段２には、記録ヘッド１にインクを供給する供給管２ａが接続されている。記録ヘッド１には、インク供給口１３５２が４つ設けられており、各インク供給口１３５２に１本の供給管２ａが接続されている。なお、同図においては２本の供給管２ａの図示を省略している。

供給管２ａは、フレキシブルチューブ等の管状部材からなり、内部にインクを供給する供給路が設けられている。そして、供給管２ａ（供給路）の一端が記録ヘッド１のインク供給口１３５２に接続されることで、液体貯留手段２のインクを記録ヘッド１に供給している。

なお、特に図示していないが、供給管２ａの途中には、加圧ポンプ又は吸引ポンプ等の加圧充填機構が設けられており、加圧充填機構の圧送によってインクは液体貯留手段２から記録ヘッド１に供給される。

さらに、インクジェット式記録装置Ｉには、当該インクジェット式記録装置Ｉの動作を制御する制御装置９が設けられている。記録ヘッド１のコネクター１７３には、ＣＯＦ等の配線基板４００の一端が接続され、配線基板４００の他端が制御装置９に接続されている。

なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、カートリッジなどの液体貯留手段２がキャリッジ３には搭載されず、記録ヘッド１に間接的にインクを供給した構成であるが、特にこれに限定されない。例えば、液体貯留手段２をキャリッジ３に搭載し、記録ヘッド１に直接的にインクを供給してもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置Ｉに搭載されていなくてもよい。

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。

また、本発明は、広く配線実装構造全般を対象としたものであり、液体噴射ヘッド以外の他のデバイスに適用することができる。

Ｉ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 １ インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 １０ 流路形成基板、 ２０ ノズルプレート、 ２０ａ 液体噴射面、 ２１ ノズル開口、 １００ マニホールド、 １２１ 配線部材、 １３０ 流路部材、 １３１ ケース部材、 １３１５ 側面、 １３２ 第１ケース部材、 １３２１ 第１開口部（凹部）、 １３２２ 第２開口部（凹部）、 １３２３ 第１案内流路（案内流路）、 １３３ 第２ケース部材、 １３３３ 第２案内流路（案内流路）、 １３５２ インク供給口（接続部）、 １４０ 保持部材、 １５０ ヘッド本体、 １７０ ヘッド基板、 １７３ コネクター、 ２００ 案内溝、 ２０１ 第１案内溝、 ２０２ 第２案内溝、 ２５０ 壁部

Claims (6)

1. 液体噴射面から液体を噴射するヘッド本体と、
   前記ヘッド本体に積層され、前記ヘッド本体を駆動するヘッド基板と、
   前記ヘッド基板に対して前記ヘッド本体が配置される側と反対側に配置され、外部から液体が供給される接続部を有し、該接続部から前記ヘッド本体に前記液体を供給する流路が形成された流路部材と、
   前記流路部材に設けられ、前記接続部から前記流路部材の前記ヘッド基板とは反対側の面、及び当該面に連続して前記ヘッド基板に交差した面に流出した液体を前記ヘッド基板の平面方向に誘導し、当該平面方向に誘導された液体を前記流路部材の厚さ方向に誘導することが可能な案内溝とを備え、
   前記案内溝の前記流路部材の厚さ方向に誘導する部位は、前記ヘッド基板の平面方向において当該ヘッド基板よりも外側に配置されており、
   前記流路部材の前記ヘッド基板が配置される側の面には、前記流路部材の厚さ方向に誘導する部位から前記ヘッド基板の端部までの間に、該面から前記ヘッド基板側に突出した壁部が設けられている
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
   前記流路部材の前記ヘッド基板とは反対面側には、前記接続部の周りを囲む凹部が設けられ、
   前記凹部に開口し、前記案内溝に連通した案内流路を備える
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
3. 請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
   前記壁部は、前記液体噴射面から液体を噴射される被記録媒体が相対移動する搬送方向に交差する方向に延設されている
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
4. 請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
   前記接続部は、前記流路部材の前記ヘッド基板とは反対面に設けられ、
   前記案内溝は、前記流路部材の前記反対面に連続して前記液体噴射面に交差する側面に設けられて前記ヘッド基板の平面方向に液体を案内する第１案内溝と、前記第１案内溝に連続して前記流路部材の厚さ方向に液体を案内する第２案内溝とを備え、
   前記壁部は、前記第２案内溝から前記ヘッド基板の端部までの間に設けられている
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
5. 請求項４に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
   前記案内流路は、前記流路部材の前記凹部及び前記流路部材の前記側面に開口し、当該側面の開口は、前記第１案内溝又は前記第２案内溝よりも前記流路部材の前記反対面側に開口している
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
6. 請求項１〜請求項５の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。

Images