JP2015163439A - 流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】部品点数を減らして小型化を図ることができると共に、フィルターの壁面への張り付きを抑制した流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】第１流路５０２から液体が供給される第１液体溜まり部５０３と、第１液体溜まり部に連通する第２液体溜まり部５０４と、第２液体溜まり部の底面５０４ａに開口する開口部５１０を有する第２流路５０５と、第１液体溜まり部と第２液体溜まり部との間に設けられて、第２液体溜まり部の開口縁部に固定されたフィルター２１６と、第２液体溜まり部の底面からフィルターが固定された領域の当該フィルターの第２液体溜まり部側の面よりも第１液体溜まり部側に突出して設けられたリブ２４０と、を具備し、１つの第２液体溜まり部に対して、複数の第２流路が設けられており、リブは、フィルターの長手方向Ｌにおいて、少なくとも複数の開口部の間の領域Ｒ１内に設けられている。
【選択図】図９

Description

本発明は、液体に含まれる異物を除去するフィルターを有する流路部材、流路部材を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドでは、一般的に、インクが充填された液体貯留手段であるインクカートリッジから、流路部材を介してヘッド本体にインクが供給され、ヘッド本体に設けられた圧力発生手段を駆動させることによりヘッド本体に供給されたインクがノズルから噴射される。

このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクに含まれる気泡や異物を除去するために、流路部材にフィルターを設けたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

また、フィルターが流れるインクの圧力によって下流側に変形し、下流の液体溜まり部の壁面と接触すると、フィルターの有効面積が減少して圧力損失が増大してしまう。そして、圧力損失が増大することで、下流側に接続されたヘッド本体の流路の背圧が減少し、ノズルに形成されたインクのメニスカスが破壊されてしまう虞がある。

このため、液体溜まり部の底面にフィルター側に突出する突起部材を設けることで、フィルターのよれや液体溜まり部の底面への張りつきを抑制するようにしたものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。

特開２０１１−８４０１１号公報 特開２００９−１０１５７８号公報

しかしながら、上流側に設けられた１つの第１流路に対して、下流側に１つの第２流路を連通し、これら第１流路と第２流路との間にフィルターを設けた場合、フィルターを固定するスペースや、隣り合う第１流路同士を隔離するための壁部等をフィルター毎に設けなくてはならず、流路部材が大型化してしまうという問題がある。また、第１流路と第２流路とで構成される１組の流路毎にフィルターを設けると、部品点数が増大してしまうという問題がある。

また、特許文献２には、１つの第１流路に対して、２つの第２流路を設け、２つの第２流路に対して１つのフィルターを設ける構成が開示されているものの、フィルターの面積が増大することにより、フィルターのたわみ量が増大してしまう。このため、流れるインクの圧力によって下流側に変形したフィルターが底面等に張り付き易くなってしまうという問題がある。なお、特許文献１の突起部を特許文献２に適用するにも、第２流路の数が異なるため組み合わせるのが困難であった。
また、特許文献２では、フィルター下の液体溜まり部が２つに分割されているため、フィルターの有効面積が狭くなってしまうという問題がある。

なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドに用いられる流路部材だけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドに用いられる流路部材においても同様に存在する。また、液体噴射ヘッドに用いられる流路部材に限定されず、他のデバイスに用いられる流路部材についても同様な問題がある。

本発明はこのような事情に鑑み、部品点数を減らして小型化を図ることができると共に、フィルターの壁面への張り付きを抑制した流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、第１流路から液体が供給される第１液体溜まり部と、前記第１液体溜まり部に連通する第２液体溜まり部と、前記第２液体溜まり部の底面に開口する開口部を有する第２流路と、前記第１液体溜まり部と前記第２液体溜まり部との間に設けられて、前記第２液体溜まり部の開口縁部に固定されたフィルターと、前記第２液体溜まり部の底面から前記フィルターが固定された領域の当該フィルターの前記第２液体溜まり部側の面よりも前記第１液体溜まり部側に突出して設けられたリブと、を具備し、１つの前記第２液体溜まり部に対して、複数の前記第２流路が設けられており、前記リブは、前記フィルターの長手方向において、少なくとも複数の前記開口部の間の領域内に設けられていることを特徴とする流路部材にある。
かかる態様では、複数の第２流路に対して１つの第１液体溜まり部、第２液体溜まり部及びフィルターを設けることで、部品点数を減らすことができる。また、フィルターを固定する領域や流路を区画する壁部等が不要となって、小型化することができる。さらに、リブを設けることで、フィルターが流れる液体の圧力によって押圧された際に、フィルターが第２液体溜まり部の底面に張り付くのを抑制することができる。また、リブによってフィルターの張り付きを抑制することで、フィルターの有効面積が著しく減少するのを抑制することができる。さらに、フィルターと底面との間隔を狭くすることができ、流路部材の低背化を実現できると共に気泡排出性を向上することができる。

ここで、前記開口部が３つ以上設けられており、前記リブは、複数の前記開口部に囲まれた領域内に設けられていることが好ましい。これによれば、さらに確実にフィルターの撓みによる張り付きを抑制することができる。

また、前記第２液体溜まり部には、隣り合う前記開口部の間に、前記底面から前記フィルター側に向かって***した尾根が設けられており、前記尾根によって前記開口部毎に凹部が形成されていると共に、該凹部は前記フィルター側で互いに連通して設けられていることが好ましい。これによれば、フィルターの有効面積が減少するのを抑制して、尾根により気泡排出性を向上することができる。

また、前記リブは、前記領域内に複数設けられていることが好ましい。これによれば、さらに確実にフィルターの撓みによる張り付きを抑制することができる。

また、前記領域の外側であって、前記長辺方向において、前記開口部と前記第２液体溜まり部の壁面との間の領域には、前記フィルターが固定された領域の当該フィルターの前記第２液体溜まり部側の面よりも前記第１液体溜まり部側に突出した補助リブが設けられていることが好ましい。これによれば、補助リブを設けることによって、さらに確実にフィルターの撓みによる張り付きを抑制することができる。

さらに、本発明の他の態様は、上記態様の流路部材を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フィルターの張り付きを抑制して、フィルターの圧力損失が増大することによりノズル開口の液体のメニスカスが破壊されるのを抑制することができる。また、液体噴射ヘッドの小型化を実現できる。

また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、フィルターの張り付きを抑制して、フィルターの圧力損失が増大することによりノズル開口の液体のメニスカスが破壊されるのを抑制することができる。また、液体噴射装置の小型化を実現できる。

実施形態１に係る第１ヘッド本体の分解斜視図である。 実施形態１に係る第１ヘッド本体の平面図である。 実施形態１に係る第１ヘッド本体の断面図である。 実施形態１に係る第２ヘッド本体の平面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 実施形態１に係る上流流路部材のフィルター部分の平面図である。 実施形態１に係る上流流路部材のフィルター部分の断面図である。 実施形態１に係る上流流路部材のフィルター部分の断面図である。 実施形態１に係るフィルター部分の比較例を示す断面図である。 実施形態１に係るフィルター部分の変形例を示す平面図である。 実施形態２に係る上流流路部材のフィルター部分の平面図である。 実施形態２に係るフィルター部分の変形例を示す平面図である。 実施形態３に係る上流流路部材のフィルター部分の平面図である。 実施形態３に係るフィルター部分の変形例を示す平面図である。 実施形態４に係る上流流路部材のフィルター部分の平面図である。 一実施形態に係る記録装置の概略斜視図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
最初に本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドとも言う）に設けられるヘッド本体の一例について説明する。なお、図１は、本発明の実施形態１に係る第１ヘッド本体の分解斜視図であり、図２は、第１ヘッド本体の平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′線断面図である。

図示するように、本実施形態のヘッド本体は、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドに搭載される第１ヘッド本体２Ａであり、第１ヘッド本体２Ａは、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、ケース部材４０、コンプライアンス基板４５等の複数の部材を備える。

第１ヘッド本体２Ａを構成する流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ_２あるいはＡｌ_２Ｏ_３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ_３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの双方に直交する方向を、インク滴（液滴）の吐出方向、又は第３の方向Ｚと称する。なお、本実施形態では、説明理解を容易にするために各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の関係を直交とするが、各構成の配置関係が必ずしも直交するものに限定されるべきものでないことを言及しておく。

また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。

また、流路形成基板１０の一方面側（積層方向であってＺ方向）には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。すなわち、流路形成基板１０の一方面に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズル開口２１を有するノズルプレート２０と、を具備する。

連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル開口２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル開口２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。

また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８と、が設けられている。
第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。
また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。すなわち、本実施形態では、ノズル開口２１と第２マニホールド部１８と連通する個別流路として、供給連通路１９と、圧力発生室１２と、ノズル連通路１６と、が設けられている。

このような連通板１５としては、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、またはジルコニウム（Ｚｒ）などのセラミックス等を用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。

ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。すなわち、ノズル開口２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。

このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。

一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。

また、振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、積層形成されて圧電アクチュエーター１３０を構成している。ここで、圧電アクチュエーター１３０は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター１３０の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター１３０の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター１３０の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、第１電極６０が、複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられているため、第１電極６０が振動板の一部として機能するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、上述の弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター１３０自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。ただし、流路形成基板１０上に直接第１電極６０を設ける場合には、第１電極６０とインクとが導通しないように第１電極６０を絶縁性の保護膜等で保護するのが好ましい。つまり、本実施形態では、基板（流路形成基板１０）上に振動板５０を介して第１電極６０を設けた構成を例示したが、特にこれに限定されるものではなく、振動板５０を設けずに第１電極６０を直接基板上に設けるようにしてもよい。すなわち、第１電極６０が振動板として作用するようにしてもよい。つまり、基板上とは、基板の直上も、間に他の部材が介在した状態（上方）も含むものである。

さらに、このような圧電アクチュエーター１３０の個別電極である各第２電極８０には、供給連通路１９とは反対側の端部近傍から引き出され、振動板５０上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０の一端部がそれぞれ接続されている。また、リード電極９０の他端部には、後述する圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０を駆動するための駆動回路１２０が設けられた配線部材１２１が接続されている。配線部材１２１は、可撓性（フレキシブル）なシート状のもの、例えば、ＣＯＦ基板等を用いることができる。なお、配線部材１２１には、駆動回路１２０を設けなくてもよい。つまり、配線部材１２１は、ＣＯＦ基板に限定されず、ＦＦＣ、ＦＰＣ等であってもよい。

また、本実施形態では、第２の方向Ｙにおいて、圧電アクチュエーター１３０の列の間にリード電極９０の他端部を設けて、圧電アクチュエーター１３０の列の間でリード電極９０と配線部材１２１とを接続するようにしたため、１つの配線部材１２１が２列の圧電アクチュエーター１３０にリード電極９０を介して接続されている。もちろん、配線部材１２１の数はこれに限定されず、圧電アクチュエーター１３０の列毎に配線部材１２１を設けるようにしてもよい。本実施形態のように、２つの圧電アクチュエーター１３０の列に１つの配線部材１２１を設けることで、配線部材１２１とリード電極９０とを接続するスペースを小さくすることができ、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。

また、流路形成基板１０の圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター１３０を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター１３０で構成される列毎に独立して設けられており、２つの保持部３１の間（第２の方向Ｙ）には、厚さ方向に貫通した貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の他端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と配線部材１２１とが貫通孔３２内で電気的に接続されている。

また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００を流路形成基板１０及び保護基板３０の外周に形成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。すなわち、マニホールド１００は、第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２を具備する。また、本実施形態のマニホールド１００は、第２の方向Ｙにおいて、２列の圧力発生室１２の両外側に配置されており、２列の圧力発生室１２の両外側に設けられた２つのマニホールド１００は、ヘッド本体２内では連通しないようにそれぞれ独立して設けられている。すなわち、本実施形態の圧力発生室１２の列（第１の方向Ｘに並設された列）毎に１つのマニホールド１００が連通して設けられている。言い換えると、ノズル群毎にマニホールド１００が設けられている。もちろん、２ついのマニホールド１００は、連通していてもよい。

また、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入口４４が設けられている。導入口４４は、本実施形態では、マニホールド１００毎に設けられている。すなわち、一方のノズル列に一方のマニホールド１００を介して連通する第１導入口４４Ａと、他方のノズル列に他方のマニホールド１００を介して連通する第２導入口４４Ｂと、を具備する。なお、第１導入口４４Ａ、第２導入口４４Ｂを導入口４４と総称する。また、本実施形態では、駆動回路１２０が設けられた面側を第２導入口４４Ｂとし、駆動回路１２０が設けられた面とは反対側を第１導入口４４Ａとした。

また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線部材１２１が挿通される接続口４３が設けられている。すなわち、第２の方向Ｙにおいて、接続口４３（貫通孔３２）の両側に第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとが設けられている。つまり、基準方向である第２の方向Ｙにおいて、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの間で配線部材１２１の一端部が圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０にリード電極９０を介して接続されている。そして、配線部材１２１の他端部は、貫通孔３２及び接続口４３の貫通方向、すなわち、第３の方向Ｚであって、インク滴の吐出方向とは反対側に延設されている。

なお、このようなケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。

また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５は、平面視において上述した連通板１５と略同じ大きさで形成されており、コンプライアンス基板４５の内側にノズルプレート２０が露出されている。

このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有するフィルム状の薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。本実施形態では、１つのマニホールド１００に対応して１つのコンプライアンス部４９が設けられている。すなわち、本実施形態では、マニホールド１００が２つ設けられているため、ノズルプレート２０を挟んで第２の方向Ｙの両側に２つのコンプライアンス部４９が設けられている。

このような構成の第１ヘッド本体２Ａでは、インクを噴射する際に、導入口４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター１３０に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター１３０と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。

なお、本実施形態では、ヘッド本体の一例として第１ヘッド本体２Ａを例示したが、特にこれに限定されるものではない。本実施形態の記録ヘッド１では、第１ヘッド本体２Ａと、上述した第１ヘッド本体２Ａと略同じ構造を有するが、マニホールド１００が第１の方向Ｘに３つに分割された第２ヘッド本体２Ｂと、を有する。ちなみに、以降、第１ヘッド本体２Ａ、第２ヘッド本体２Ｂをヘッド本体２と総称する。ここで、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１に搭載される第２ヘッド本体２Ｂについて、図４を参照して説明する。なお、図４は、第２ヘッド本体を示す平面図である。

第２ヘッド本体２Ｂは、第２の方向Ｙにおいてノズル開口２１の両側にマニホールド１００が設けられている。また、第２の方向Ｙの両側に設けられたマニホールド１００は、それぞれ第１の方向Ｘに複数に分割、本実施形態では、３つに分割されている。これにより、第２ヘッド本体２Ｂには、合計６個のマニホールド１００が設けられている。また、コンプライアンス部４９（開口部４８）は区画されたマニホールド１００毎に設けられている。さらに導入口４４は、各マニホールド１００毎に設けられている。すなわち、本実施形態の第２ヘッド本体２Ｂは、第１の方向Ｘに３個並設されたマニホールド１００の列が、第２の方向Ｙに２列設けられている。そして、導入口４４は、各マニホールド１００の第１の方向Ｘにおける中央部に設けられている。したがって、導入口４４は、第１の方向Ｘに３個並設された列が、第２の方向Ｙに２列設けられている。なお、本実施形態では、上述した第１ヘッド本体２Ａと同様に、第２の方向Ｙの一方の導入口４４を第１導入口４４Ａと称し、他方の導入口４４を第２導入口４４Ｂと称する。すなわち、上述した第１ヘッド本体２Ａと同様に、第２ヘッド本体２Ｂにおいても、基準方向である第２の方向Ｙにおいて、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの間で配線部材１２１（図示なし）の一端部が圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０（図示なし）にリード電極９０を介して接続されている。そして、配線部材１２１の他端部は、貫通孔３２及び接続口４３の貫通方向、すなわち、第３の方向Ｚであって、インク滴の吐出方向とは反対側に延設されている。なお、第２ヘッド本体２Ｂの基本的な構成は、第１ヘッド本体２Ａと同様のため重複する説明は省略する。

このような第１ヘッド本体２Ａ及び第２ヘッド本体２Ｂを有する本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドについて詳細に説明する。なお、図５は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図６は、インクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図７は、要部を拡大した断面図である。

図示するように、記録ヘッド１は、ノズル開口２１からインク（液体）をインク滴（液滴）として吐出する２つのヘッド本体２（第１ヘッド本体２Ａ、第２ヘッド本体２Ｂ）と、２つのヘッド本体２を保持すると共にヘッド本体２にインク（液体）を供給する流路ユニット２００と、流路ユニット２００に保持された配線基板３００と、ヘッド本体２の液体噴射面２０ａ側に設けられたカバーヘッド４００と、を具備する。

流路ユニット２００は、上流流路５００が設けられた本実施形態の流路部材である上流流路部材２１０と、下流流路６００が設けられた下流流路部材２２０と、上流流路５００と下流流路６００とを密封した状態で接続するシール部材２３０と、を具備する。

上流流路部材２１０は、本実施形態では、第１上流流路部材２１１と、第２上流流路部材２１２と、第３上流流路部材２１３とが、インク滴を吐出する方向である第３の方向Ｚ（第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに直交する方向）に積層されて構成されている。なお、上流流路部材２１０は特にこれに限定されるものではなく、単一の部材であっても、２以上の複数の部材で構成されていてもよい。また、上流流路部材２１０を構成する複数の部材の積層方向も特に限定されず、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙであってもよい。

第１上流流路部材２１１は、下流流路部材２２０とは反対面側に、インク（液体）が保持されたインクタンクやインクカートリッジなどの液体貯留手段に接続される接続部２１４を有する。本実施形態では、接続部２１４として針状に突出したものとした。なお、接続部２１４には、インクカートリッジなどの液体貯留手段が直接接続されてもよく、また、インクタンクなどの液体貯留手段がチューブ等の供給管などを介して接続されてもよい。このような接続部２１４の内部には、液体貯留手段からのインクが供給される第１上流流路５０１が設けられている。また、第１上流流路部材２１１の接続部２１４の周囲には、液体貯留手段を位置決めするためのガイド壁２１５が設けられている。なお、第１上流流路５０１は、後述する第２上流流路５０２の位置に応じて、第３の方向Ｚに延びる流路や、第３の方向Ｚに直交する方向、すなわち第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面内に延びる流路等で構成されている。

第２上流流路部材２１２は、第１上流流路部材２１１の接続部２１４とは反対面側に固定されて、第１上流流路５０１に連通する第２上流流路５０２を有する。また、第２上流流路５０２の下流側（第３上流流路部材２１３側）には、第１上流流路５０１よりも内径が広く拡幅された第１液体溜まり部５０３が連通して設けられている。すなわち、本実施形態では、第２上流流路５０２が、特許請求の範囲に記載の第１流路に相当する。

第３上流流路部材２１３は、第２上流流路部材２１２の第１上流流路部材２１１とは反対側に設けられている。また、第３上流流路部材２１３には、第１液体溜まり部５０３に対応して第２液体溜まり部５０４が設けられている。そして、第２液体溜まり部５０４の開口部分には、インクに含まれる気泡や異物を除去するためのフィルター２１６が設けられている。これにより、第１液体溜まり部５０３から供給されたインクは、フィルター２１６を介して第２液体溜まり部５０４に供給される。

また、第３上流流路部材２１３には、第２液体溜まり部５０４に開口する第３上流流路５０５が設けられている。この第３上流流路５０５は、１つの第２液体溜まり部５０４に対して複数個、本実施形態では、２個設けられている。すなわち、第２液体溜まり部５０４には、２つの第３上流流路５０５が開口して設けられている。この第３上流流路５０５が、特許請求の範囲に記載の第２流路に相当する。そして、第３上流流路５０５は、第３上流流路部材２１３の下流流路部材２２０側の面に第１排出口５０６Ａ、第２排出口５０６Ｂとして開口して設けられている。すなわち、１つの接続部２１４に対応する上流流路５００は、第１上流流路５０１、第２上流流路５０２、第１液体溜まり部５０３、第２液体溜まり部５０４及び２つの第３上流流路５０５を有し、上流流路５００は、下流流路部材２２０側に２つの排出口５０６（第１排出口５０６Ａ及び第２排出口５０６Ｂ）として開口する。言い換えると、２つの排出口５０６（第１排出口５０６Ａ及び第２排出口５０６Ｂ）は、共通する流路（共通流路）に連通して設けられている。

このような、第２液体溜まり部５０４には、基端部が底面に固定されて、先端がフィルター２１６側に向かって突出して設けられたリブ２４０（図８参照）が設けられている。なお、第１液体溜まり部５０３、第２液体溜まり部５０４、フィルター２１６、第３上流流路５０５及びリブ２４０等については、詳しくは後述する。

また、第３上流流路部材２１３の下流流路部材２２０側には、下流流路部材２２０側に向かって突出する第１突起部２１７が設けられている。第１突起部２１７は、第３上流流路５０５の各々に対応して設けられており、第１突起部２１７のそれぞれの先端面に排出口５０６が開口して設けられている。

このような上流流路５００が設けられた第１上流流路部材２１１、第２上流流路部材２１２及び第３上流流路部材２１３は、例えば、接着剤や、溶着等によって一体的に積層されている。なお、第１上流流路部材２１１、第２上流流路部材２１２及び第３上流流路部材２１３をネジやクランプ等で固定することもできるが、第１上流流路５０１から第３上流流路５０５に至るまでの接続部分からインク（液体）が漏出するのを抑制するためにも、接着剤や溶着等で接合するのが好ましい。

なお、本実施形態では、１つの上流流路部材２１０に４つの接続部２１４を設け、１つの上流流路部材２１０には４つの独立した上流流路５００が設けられている。そして、各上流流路５００が下流流路部材２２０側で２つに分岐されているため、合計８個の排出口５０６が設けられている。

下流流路部材２２０は、上流流路５００に接続される下流流路６００を有する。下流流路部材２２０には、上流流路部材２１０側に突出する第２突起部が２２１設けられている。第２突起部２２１は、第１突起部２１７に対応して、各上流流路５００毎、すなわち、第１突起部２１７毎にそれぞれ設けられている。また、下流流路６００の一端は第２突起部２２１の先端面に開口し、他端は上流流路部材２１０とは第３の方向Ｚにおいて反対側の面に開口して設けられている。なお、下流流路６００は、各上流流路５００の排出口５０６毎に独立して設けられている。すなわち、１つの上流流路５００は、２つの第１排出口５０６Ａ及び第２排出口５０６Ｂを有するため、第１排出口５０６Ａに接続された下流流路６００が第１接続流路６００Ａ、第２排出口５０６Ｂに接続された下流流路６００が第２接続流路６００Ｂとなる。以降、第１接続流路６００Ａ及び第２接続流路６００Ｂを接続流路６００と総称する。

また、下流流路部材２２０の上流流路部材２１０とは反対面側には、複数のヘッド本体２、本実施形態では、２個のヘッド本体２が固定されている。ここで、１つのヘッド本体２には、上述のようにノズル群（ノズル列）が第２の方向Ｙに並んで形成されており、記録ヘッド１には２つのヘッド本体２が第２の方向Ｙに並設されて設けられている。なお、以降、ヘッド本体２の第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚは、記録ヘッド１の第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚとそれぞれ同じ方向を示す。ちなみに、本実施形態の記録ヘッド１に設けられた２つのヘッド本体２は、上述のように第１ヘッド本体２Ａと第２ヘッド本体２Ｂとからなる。第１ヘッド本体２Ａには、導入口４４が２個（第１導入口４４Ａ及び第２導入口４４Ｂ）設けられ、第２ヘッド本体２Ｂには、導入口４４が６個（第１導入口４４Ａが３個と第２導入口４４Ｂが３個）設けられている。そして、下流流路部材２２０に設けられた下流流路６００（第１接続流路６００Ａ及び第２接続流路６００Ｂ）は、各導入口４４の開口する位置に合わせて開口して設けられている。

ここで、本実施形態では、第１ヘッド本体２Ａは、第１導入口４４Ａが第２の方向Ｙにおいて第２ヘッド本体２Ｂ側となるように配置されている。同様に、第２ヘッド本体２Ｂは、第１導入口４４Ａが第２の方向Ｙにおいて第１ヘッド本体２Ａ側となるように配置されている。そして、下流流路６００である第１接続流路６００Ａは第１排出口５０６Ａと第１導入口４４Ａとを接続し、第２接続流路６００Ｂは第２排出口５０６Ｂと第２導入口４４Ｂとを接続する。したがって、第１ヘッド本体２Ａの流路を接続する第１接続流路６００Ａは、第２接続流路６００Ｂよりも第２ヘッド本体２Ｂ側に配置されている。同様に、第２ヘッド本体２Ｂの流路を接続する第１接続流路６００Ａは、第２接続流路６００Ｂよりも第１ヘッド本体２Ａ側に配置されている。

そして、第１接続流路６００Ａは、本実施形態では、第３の方向Ｚに沿って直線状に形成されている。また、第２接続流路６００Ｂは、第２導入口４４Ｂから第１導入口４４Ａとは離れる第２の方向Ｙに向かって延設された延設流路を有する。具体的には、第２接続流路６００Ｂは、上流流路５００（第２排出口５０６Ｂ）に接続される第１流路６０１と、第１流路６０１に接続された延設流路である第２流路６０２と、第２流路６０２と第２導入口４４Ｂとを接続する第３流路６０３と、を具備する。

第１流路６０１と第３流路６０３とは、第３の方向Ｚに沿って直線状に設けられている。もちろん、第１流路６０１と第３流路６０３とは、第３の方向Ｚに交差する方向に設けられていてもよい。

また、延設流路である第２流路６０２は、第２の方向Ｙに向かって延設されている。本実施形態では、第１流路６０１及び第３流路６０３を第３の方向Ｚに沿って設け、第２流路６０２を水平方向（第２の方向Ｙ）に沿って設けるようにした。

もちろん、第２接続流路６００Ｂは、これに限定されず、第１接続流路６００Ａと同様に第３の方向Ｚに沿って直線上に形成されていてもよい。また、第１接続流路６００Ａ、第２接続流路６００Ｂの何れか一方又は両方が、第３の方向Ｚに対して斜めに傾斜して設けられていてもよい。ただし、第３の方向Ｚに沿った垂直な第１流路６０１及び第３流路６０３と第２の方向Ｙに沿った水平な第２流路６０２とを設けた方が、第２接続流路６００Ｂが専有するスペースを小さくして省スペース化できるので、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。

なお、このような接続流路６００は、例えば、第１下流流路部材２２２と、第２下流流路部材２２３とに形成されている。第１下流流路部材２２２には、第１流路６０１が形成され、第１下流流路部材２２２と第２下流流路部材２２３との間に第２流路６０２が形成されている。また、第２下流流路部材２２３には第３流路６０３が形成されている。これにより、延設流路である第２流路６０２を下流流路部材２２０内に容易に形成することができる。

また、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間には、配線部材１２１を挿通するために配線部材挿通孔２２４が設けられている。配線部材挿通孔２２４は、ヘッド本体２の接続口４３に連通して、配線部材１２１をヘッド本体２側から上流流路部材２１０側に挿通するためのものである。
このような上流流路部材２１０と下流流路部材２２０との間には、上流流路５００と下流流路６００とを接続する（継ぐ）、継手であるシール部材２３０が設けられている。

シール部材２３０は、記録ヘッド１に用いられるインク等の液体に対して耐液体性を有し、且つ弾性変形可能な材料（弾性材料）、例えば、ゴムやエラストマー等を用いることができる。シール部材２３０は、下流流路６００毎に管状部分２３１を有する。管状部分２３１は、内部に連通流路２３２が設けられている。そして、管状部分２３１の連通流路２３２を介して上流流路部材２１０の上流流路と下流流路部材２２０の下流流路とが連通される。なお、管状部分２３１の上流流路部材２１０側の端面には、第１突起部２１７が挿入される環状の第１凹部２３３が設けられている。また、管状部分２３１の下流流路部材２２０側の端面には、第２突起部２２１が挿入される第２凹部２３４が設けられている。そして、第１凹部２３３に挿入された第１突起部２１７の先端面と、第２凹部２３４に挿入された第２突起部２２１の先端面との間で管状部分２３１は第３の方向Ｚに所定の圧力が印加された状態で保持されている。このように上流流路５００と連通流路２３２とはシール部材２３０に第３の方向Ｚに圧力が印加された状態で接続され、連通流路２３２と下流流路６００とはシール部材２３０に第３の方向Ｚに圧力が印加された状態で接続される。したがって、上流流路５００と下流流路６００とは連通流路２３２を介して密封された状態で連通されている。

なお、本実施形態の管状部分２３１は、１つの上流流路部材２１０に対して複数個が一体的になるように、上流流路部材２１０側で板状部分によって連結されている。また、本実施形態では、１つの上流流路部材２１０に上流流路５００の排出口５０６が８個設けられているため、８個の管状部分２３１が一体的に設けられたシール部材２３０となっている。

また、本実施形態では、シール部材２３０に第３の方向Ｚに圧力を印加して、上流流路５００と下流流路６００とを接続するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、管状部分２３１の内壁面と第１突起部２１７及び第２突起部２２１の少なくとも一方の外周面とを密着させて、つまり、径方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの面方向に圧力を印加して流路を接続するようにしてもよい。

また、シール部材２３０と下流流路部材２２０との間には、配線部材１２１が接続される配線基板３００が設けられている。配線基板３００には、配線部材１２１とシール部材２３０の管状部分２３１が挿入される挿通孔が設けられている。本実施形態では、第１接続流路６００Ａに対応して設けられた管状部分２３１と配線部材１２１とが挿通される開口部である第１挿通孔３０１と、第２接続流路６００Ｂに対応して設けられた管状部分２３１が挿通される開口部である第２挿通孔３０２とが設けられている。

本実施形態の第１挿通孔３０１は、２つの配線部材１２１を挿通する大きさで形成されている。なお、２つの配線部材１２１の間には、２つのヘッド本体２の第１接続流路６００Ａが４個設けられているため、この第１接続流路６００Ａに対応するシール部材２３０の管状部分２３１は、配線部材１２１と共に第１挿通孔３０１に挿通される。

また、第２挿通孔３０２は、第２接続流路６００Ｂに対応して設けられた管状部分２３１毎に設けられている。つまり、配線基板３００は、第３の方向Ｚにおいて第２接続流路６００Ｂの延設流路である第２流路６０２から第１導入口４４Ａとは反対側で、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間から第２接続流路６００Ｂを超えて第２の方向Ｙに延びるように配置されている。なお、本実施形態では、２つのヘッド本体２に共通する１つの配線基板３００を設けるようにした。もちろん、配線基板３００は、これに限定されず、１つのヘッド本体２毎に分割して設けるようにしてもよい。この場合にも、各ヘッド本体２毎に設けられた配線基板は、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間から第２接続流路６００Ｂを超えて第２の方向Ｙに延びるように配置されることで、配線部材１２１と配線基板とを容易に接続することが可能となる。なお、本実施形態のように、２つのヘッド本体２に共通する１枚の配線基板３００を用いることで、部品点数を減少させて組立作業を簡略化することができる。

また、配線基板３００には、上流流路部材２１０側の面であって、第１挿通孔３０１の第２の方向Ｙの両側の開口縁部に、配線部材１２１が接続される端子部３１０が設けられている。そして、配線部材１２１の他端部は、配線基板３００の第１挿通孔３０１に下流流路部材２２０側から挿通される。このように第１挿通孔３０１に挿通された配線部材１２１の他端部は、配線基板３００の表面（上流流路部材２１０側の表面）である第２の方向Ｙに沿って屈曲され、配線基板３００の上流流路部材２１０側の表面上で端子部３１０と接続されている。

なお、配線基板３００には、図示しない配線や電子部品等が搭載されており、端子部３１０に接続された配線は、第２の方向Ｙの両端部側に設けられたコネクター３２０に接続されている。そして、コネクター３２０には、図示しない外部配線が接続される。なお、下流流路部材２２０には、コネクター３２０を露出するためのコネクター接続口２２５が設けられており、外部配線は、コネクター接続口２２５によって露出されたコネクター３２０に接続される。

このような流路ユニット２００とヘッド本体２との固定方法は特に限定されず、例えば、接着剤による接着や、ネジ等による固定であってもよい。ただし、ヘッド本体２は小型であり、１つの流路ユニット２００に対してヘッド本体２を複数取り付ける必要があるため、弾性材料からなるシール部材を介して固定するのは困難である。したがって、ヘッド本体２と流路ユニット２００とは接着剤により接着するのが好ましい。

また、流路ユニット２００のヘッド本体２が設けられた面側には、カバーヘッド４００が設けられている。カバーヘッド４００は、本実施形態では、複数のヘッド本体２を覆う大きさを有する。また、カバーヘッド４００には、ノズル開口２１を露出する第２露出開口部４０１が設けられている。本実施形態では、第２露出開口部４０１は、ノズルプレート２０を露出する大きさ、つまり、コンプライアンス基板４５の第１露出開口部４５ａと略同じ開口を有する。

このようなカバーヘッド４００は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接合されており、コンプライアンス部４９の流路（マニホールド１００）とは反対側の空間を封止する。このようにコンプライアンス部４９をカバーヘッド４００で覆うことにより、コンプライアンス部４９が紙等の被記録媒体が接触しても破壊されるのを抑制することができる。また、コンプライアンス部４９にインク（液体）が付着するのを抑制して、カバーヘッド４００の表面に付着したインク（液体）を例えばワイパーブレード等で払拭することができ、被記録媒体をカバーヘッド４００に付着したインク等で汚すのを抑制することができる。なお、特に図示していないが、カバーヘッド４００とコンプライアンス部との間の空間は、大気開放されている。もちろん、カバーヘッド４００は、各ヘッド本体２毎に独立して設けられていてもよい。

ここで、本実施形態の流路部材である上流流路部材２１０の第１上流流路、第１液体溜まり部、第２液体溜まり部、第３上流流路、フィルター２１６及びリブ２４０について、さらに図８〜図１１を参照して詳細に説明する。なお、図８は、上流流路部材のフィルター部分を示す平面図であり、図９は、図８のＢ−Ｂ′線断面図である。また、図１０は、本実施形態のフィルターの状態を示す断面図であり、図１１は、比較例のフィルターの状態を示す断面図である。

図示するように、本実施形態の流路部材である上流流路部材２１０を構成する第２上流流路部材２１２には、第１上流流路部材２１１の第１上流流路５０１（図７参照）に連通する第２上流流路５０２と、第２上流流路５０２よりも大きな内径を有する第１液体溜まり部５０３と、が設けられている。第１液体溜まり部５０３は、第３上流流路部材２１３側に開口して設けられている。

また、第３上流流路部材２１３には、第１液体溜まり部５０３と略同じ内径を有する第２液体溜まり部５０４と、第２液体溜まり部５０４に連通する複数、本実施形態では、２つの第３上流流路５０５と、が設けられている。第２液体溜まり部５０４は、第２上流流路部材２１２側に開口して設けられている。また、第２液体溜まり部５０４が開口する部分には、第２液体溜まり部５０４よりも大きい内径を有する大径部５０７が設けられており、第２液体溜まり部５０４と大径部５０７との間には、これらの内径差によって第１液体溜まり部５０３側に相対向する段差面であるフィルター取付面５０７ａが設けられている。

そして、このフィルター取付面５０７ａにフィルター２１６が固定されている。すなわち、第２液体溜まり部５０４の開口縁部にフィルター２１６が固定されていることになる。このフィルター２１６のフィルター取付面５０７ａへの固定方法は特に限定されず、例えば、熱溶着、超音波溶着などの溶着や、接着剤を用いた接着などが挙げられる。

本実施形態では、フィルター取付面５０７ａに第２上流流路部材２１２側に突出したダイレクター２１８を設け、ダイレクター２１８にフィルター２１６を押しつけた状態でダイレクター２１８を熱又は超音波等で溶融させた後、ダイレクター２１８を固化させることでフィルター２１６をフィルター取付面５０７ａに固定するようにした。なお、ダイレクター２１８は、溶融後にはフィルター２１６の微細孔内及び第３上流流路部材２１３側の面に広がるため、図９では、溶融前のダイレクター２１８を点線で示している。

このようなフィルター２１６は、液体であるインク中に含まれるゴミや気泡などの異物を除去するためのものであり、例えば、金属や樹脂等の繊維を細かく編むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものや、金属や樹脂等の板状部材に複数の微細孔を貫通させたものなどを用いることができる。さらに、フィルター２１６は、不織布等を用いてもよく、その材料は特に限定されるものではない。

ここで、フィルター２１６は、図８に示すように、長手方向Ｌ及び短手方向Ｓを有する。本実施形態では、フィルター２１６の長手方向Ｌ及び短手方向Ｓは、フィルター２１６の第２液体溜まり部５０４に相対向する領域の形状で規定される。つまり、フィルターの長手方向Ｌ及び短手方向Ｓは、第２液体溜まり部５０４の開口形状における長手方向Ｌ及び短手方向Ｓのことである。そして、本実施形態では、第２液体溜まり部５０４の開口形状は長方形状となっているため、長手方向Ｌとは第２液体溜まり部５０４の長辺に沿った方向であり、短手方向Ｓとは第２液体溜まり部５０４の短辺に沿った方向のことである。ちなみに、フィルター２１６は、第２液体溜まり部５０４に相対向する領域が実際にインクの通過する領域であり、この領域の外周に沿ってフィルター２１６を第３上流流路部材２１３に固定する固定部分が形成されている。このフィルター２１６の固定部分は、例えば、第２液体溜まり部５０４とは異なる形状であってもよいが、フィルター２１６の固定部分が広すぎると、隣り合うフィルター２１６の間隔が広くなり、上流流路部材２１０が長手方向Ｌ及び短手方向Ｓの面内方向に大型化してしまう。したがって、フィルター２１６の固定部分は、できるだけ小さい面積で形成するのが好ましい。つまり、フィルター２１６の固定部分は、フィルター２１６のインクが通過する領域の外周に亘って略同じ幅で形成されているのが好ましく、これによりフィルター２１６の外形形状は、フィルター２１６のインクが通過する領域の形状と略一致する。このため、本実施形態のフィルター２１６は、第３の方向Ｚから平面視した際に長方形状を基本とした外形形状を有する。したがって、長手方向Ｌとは、フィルター２１６の長辺に沿った方向と一致し、短手方向Ｓとはフィルター２１６の短辺に沿った方向と一致する。ちなみに、フィルター２１６の外形形状と、第２液体溜まり部５０４のフィルター２１６側の開口形状が異なる形状の場合には、フィルター２１６の長手方向Ｌ及び短手方向Ｓは、フィルター２１６の有効面積を規定する第２液体溜まり部５０４のフィルター２１６側の開口形状に基づいて規定すればよい。つまり、何れの場合においてもフィルター２１６の長手方向Ｌ及び短手方向Ｓとは、フィルター２１６の有効面積を規定する領域において規定すればよい。

また、フィルター２１６の長手方向Ｌは、記録ヘッド１における第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの何れか一方と一致する方向となるように上流流路部材２１０に設けられていてもよい。もちろん、フィルター２１６の長手方向Ｌが第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面内で、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの双方と交差する方向となるように配置されてもよい。なお、本実施形態では、長手方向Ｌ及び短手方向Ｓの双方に直交する方向は、記録ヘッド１の第３の方向Ｚと一致するため、第３の方向Ｚとして説明する。

このような第２液体溜まり部５０４は、フィルター２１６に相対向する底面５０４ａに、複数の第３上流流路５０５の開口部５１０が開口して設けられている。本実施形態では、１つの第２液体溜まり部５０４に２つの第３上流流路５０５を連通させるようにした。なお、本実施形態では、１つの第２液体溜まり部５０４に２つの第３上流流路５０５（開口部５１０）を連通させるようにしたため、一方の開口部５１０を第１開口部５１０Ａと称し、他方の開口部５１０を第２開口部５１０Ｂと称する。また、以降、開口部５１０とは、第１開口部５１０Ａ及び第２開口部５１０Ｂの両方を指す。ここで、第１開口部５１０Ａ及び第２開口部５１０Ｂは、第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａに長手方向Ｌに所定の間隔をおいて離れて配置されている。本実施形態では、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとは、短手方向Ｓで同じ位置で、長手方向Ｌに所定の間隔で配置されている。そして、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとの間には、底面５０４ａからフィルター２１６側に向かって***した尾根２１９が形成されている。尾根２１９は、底面５０４ａから第２液体溜まり部５０４の長手方向Ｌの中央に短手方向Ｓに亘って突出して設けられている。このような尾根２１９の先端は、フィルター２１６に達することなく、すなわち、尾根２１９とフィルター２１６とが接触することなく形成されている。そして、この尾根２１９によって第２液体溜まり部５０４には、第１開口部５１０Ａが開口する第１凹部５１１Ａと、第２開口部５１０Ｂが開口する第２凹部５１１Ｂとの２つの凹部５１１が形成される。なお、尾根２１９は、フィルター２１６に達することなく形成されているため、第１凹部５１１Ａと第２凹部５１１Ｂとはフィルター２１６側で互いに連通する。このように互いに隣り合う２つの凹部５１１の間に尾根２１９を形成して、それぞれの開口部５１０毎に凹部５１１を形成して凹部５１１の底面、すなわち、第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａを凹部５１１毎に開口部５１０に向かって傾斜して設ける。すなわち、フィルター２１６と底面５０４ａとの第３の方向Ｚの間隔は、開口部５１０から第２液体溜まり部５０４のフィルター２１６が固定された外周側及び尾根２１９の先端に向かって徐々に小さくなるように形成されている。これにより開口部５１０から離れた位置でフィルター２１６を通過したインクの流速を速めて、気泡排出性を向上することができる。

なお、第１凹部５１１Ａ及び第２凹部５１１Ｂは、相対向するフィルター２１６の有効面積が同じ面積となるように、尾根２１９は長手方向Ｌの中央に短手方向Ｓに亘って設けられている。これにより、第１開口部５１０Ａに供給するインクのフィルター２１６による圧力損失と、第２開口部５１０Ｂに供給するインクのフィルター２１６による圧力損失を略同じ値とすることができる。これにより、記録ヘッド１に供給するインクの圧力損失のばらつきを抑制することができる。そして、このように第１凹部５１１Ａと第２凹部５１１Ｂとがフィルター２１６の有効面積が同じ面積となるようにするには、第１凹部５１１Ａ及び第２凹部５１１Ｂの間には、長手方向Ｌの中心が必ず配置される。ここで、長手方向Ｌ及び短手方向Ｓを含む面内方向において、凹部５１１のフィルター２１６側の開口の周縁部から開口部５１０までの距離は、できるだけ同じ距離となるように開口部５１０を配置するのが好ましい。これは、開口部５１０が何れか上記面内方向において、何れか一方に著しく偏心して設けられていると、フィルター２１６と底面５０４ａとの間を通過するインクの流速にばらつきが生じ、流速が低い領域に気泡が溜まりやすく、溜まった気泡が予期せぬタイミングで記録ヘッド１に流れてインクの噴射不良等が発生する虞があるからである。したがって、第２液体溜まり部５０４が長手方向Ｌ及び短手方向Ｓを有する、すなわち、長辺及び短辺を有する形状の場合、長手方向Ｌの中央に尾根２１９を形成して、長手方向Ｌに２つに分割した凹部５１１を形成することで、２つの凹部５１１の長手方向Ｌ及び短手方向Ｓのアスペクト比を比較的小さくすることができる。したがって、各凹部５１１に開口部５１０を設けることで、開口部５１０から凹部５１１の開口周縁までの距離をできるだけ均等にすることができる。

これに対して、例えば、第２液体溜まり部５０４を短手方向Ｓに分割する尾根２１９を設けて２つの凹部５１１を形成すると、２つの凹部５１１の長手方向Ｌ及び短手方向Ｓのアスペクト比が、第２液体溜まり部５０４よりも大きくなってしまう。このため、このようなアスペクト比が比較的高い凹部５１１の各々に開口部５１０を形成すると、開口部５１０から凹部５１１の開口周縁までの距離に大きく差が生じることになる。つまり、２つの開口部５１０は、長手方向Ｌを同じ位置として短手方向Ｓに離して配置することはなく、２つの開口部５１０は、必ず長手方向Ｌを分断する尾根２１９によって形成された凹部５１１の底面に、長手方向Ｌに離した位置に配置される。なお、本実施形態では、第３上流流路５０５を配置する関係で、第１開口部５１０Ａ及び第２開口部５１０Ｂは、凹部５１１の中心よりも若干ずれた位置に配置されている。

このように、２つの第３上流流路５０５に対して１つの第２液体溜まり部５０４及びフィルター２１６を設けることで、第３上流流路５０５の各々に対して１つずつフィルター２１６を設ける場合に比べて、部品点数を減らしてコストを低減することができる。また、２つの第３上流流路５０５に対して１つの第２液体溜まり部５０４及びフィルター２１６を設けることで、フィルター２１６の溶着領域や流路を区画する壁部を減少させて、上流流路部材２１０の長手方向Ｌ及び短手方向Ｓを含む面内方向、特に面内方向における第３上流流路５０５の並設方向の小型化を図ることができる。すなわち、例えば、第３上流流路５０５の各々に個別にフィルター２１６を設ける場合、隣り合うフィルター２１６の間には、２つのフィルター２１６毎に溶着するフィルター取付面５０７ａが必要になるため大型化してしまう。また、フィルター２１６毎に第２液体溜まり部５０４が必要になり、２つの第２液体溜まり部５０４を区画する壁部の分だけ大型化してしまうからである。

このような第２液体溜まり部５０４には、リブ２４０が設けられている。本実施形態のリブ２４０は、第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａに基端部が固定されて、先端部がフィルター２１６に向かって、すなわち第３の方向Ｚに直線状に突出して設けられた円柱形状を有する。また、リブ２４０は、先端がフィルター２１６のフィルター取付面５０７ａに固定された領域の第２液体溜まり部５０４側の面よりも第１液体溜まり部５０３側に突出して設けられている。これにより、フィルター２１６の第２液体溜まり部５０４側の面はリブ２４０によって支持されている。

具体的には、本実施形態では、短手方向Ｓに並設された２つのリブ２４０で構成された組を、長手方向Ｌに等間隔となるように３カ所に設けるようにした。すなわち、合計６個のリブ２４０を設けるようにした。ここで、長手方向Ｌに並設された３組のリブ２４０は、フィルター２１６の第２液体溜まり部５０４に相対向する領域を長手方向Ｌに４等分する位置に配置されている。本実施形態では、長手方向Ｌの一方から他方に向かって第１リブ２４１、第２リブ２４２、第３リブ２４３と称する。ちなみに、リブ２４０とは、全ての第１リブ２４１、第２リブ２４２、第３リブ２４３を指す。

なお、リブ２４０は、フィルター２１６の長手方向Ｌにおいて、少なくとも第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとの間の領域Ｒ１に設けられていればよい。ここで言う領域Ｒ１とは、フィルター２１６の第２液体溜まり部５０４に相対向する領域の内、第１開口部５１０Ａの中心を通る短手方向Ｓに沿った線７００と、第２開口部５１０Ｂの中心を通る短手方向Ｓに沿った線７０１との間の領域のことである。この第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとの間には、上述のように必ずフィルター２１６の長手方向Ｌの中心が配置されるため、長手方向Ｌの少なくとも第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとの領域Ｒ１にリブ２４０を設けることで、フィルター２１６の長手方向Ｌの中央部がリブ２４０によって支持される。

そして、フィルター２１６の第２液体溜まり部に相対向する領域を長手方向Ｌに４等分した領域を長手方向Ｌの一方側から他方側に順番にＬ１／４、Ｌ２／４、Ｌ３／４、Ｌ４／４とすると、本実施形態の第１開口部５１０ＡはＬ２／４に設けられ、第２開口部５１０ＢはＬ４／４に設けられている。したがって、本実施形態では、長手方向Ｌにおいて、Ｌ２／４とＬ３／４との境界に設けられた２つの第２リブ２４２と、Ｌ３／４とＬ４／４との境界に設けられた２つの第３リブ２４３と、の合計４つのリブ２４０が領域Ｒ１内に設けられていることになる。したがって、領域Ｒ１内に設けられたこれら４つのリブ２４０が特許請求の範囲に記載のリブに相当する。

また、長手方向Ｌにおいて、Ｌ１／４とＬ２／４との境界に設けられた２つの第１リブ２４１は、領域Ｒ１の外側となるため、この２つの第１リブ２４１が、特許請求の範囲に記載の補助リブに相当する。

このように、長手方向Ｌにおいて第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとの間の領域Ｒ１にリブ２４０（第２リブ２４２、第３リブ２４３）を設けることで、このリブ２４０（第２リブ２４２、第３リブ２４３）によってフィルター２１６の長手方向Ｌの中央部を支持することができる。これにより、図１０に示すように、第１液体溜まり部５０３から第２液体溜まり部５０４に向かって流れるインクの圧力によってフィルター２１６が第２液体溜まり部５０４側に押圧された際に、フィルター２１６の最も撓み量が大きくなる長手方向Ｌの中央部がリブ２４０（第２リブ２４２、第３リブ２４３）によって支持される。したがって、フィルター２１６の第２液体溜まり部５０４側への撓みによる突出量がリブ２４０（第２リブ２４２、第３リブ２４３）の間で分割されて小さくなり、フィルター２１６が第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａに張り付くのを抑制することができる。したがって、フィルター２１６が第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａに張り付くことにより、フィルター２１６の圧力損失が増大し、圧力発生室１２の背圧に影響を受けてノズル開口２１のインクのメニスカスが破壊されるのを抑制することができる。

これに対して、リブ２４０を設けていない場合には、図１１に示すように、第１液体溜まり部５０３から第２液体溜まり部５０４に向かって流れるインクの圧力によってフィルター２１６が第２液体溜まり部５０４側に押圧された際に、フィルター２１６が撓み変形して、フィルター２１６が第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａに張り付いてしまう。

特に、本実施形態では、フィルター２１６は、２つの第３上流流路５０５に共通して１つだけ設けられているため、１つの第３上流流路５０５毎にフィルター２１６を個別に設ける場合に比べて面積が広い。このようにフィルター２１６の面積の増大に比例して、フィルター２１６をフィルター取付面５０７ａに固定した際の熱等によるよれ量（撓み変形が可能な量）が大きくなるため、フィルター２１６がインクの圧力によって押圧された際に第２液体溜まり部５０４側への突出量が大きくなり、フィルター２１６は第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａに張り付き易い。つまり、本実施形態では、複数の第３上流流路５０５が連通する第２液体溜まり部５０４にフィルター２１６を設けた構成において、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとの間の領域Ｒ１にリブ２４０（第２リブ２４２、第３リブ２４３）を設けることで、大きな面積のフィルター２１６の撓み変形による第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａへの張り付きを効果的に抑制することができるものである。

なお、本実施形態では、領域Ｒ１の外側に補助リブである２つの第１リブ２４１を設けるようにした。これにより、フィルター２１６が第２液体溜まり部５０４側に向かって撓み変形した際に、第１リブ２４１、第２リブ２４２及び第３リブ２４３によって分割された４つの領域Ｌ１／４、Ｌ２／４、Ｌ３／４、Ｌ４／４で、フィルター２１６の第３の方向Ｚへの撓み変形による突出量を分割して小さくすることができる。したがって、フィルター２１６の第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａへの張り付きをさらに確実に抑制することができる。もちろん、補助リブである第１リブ２４１を設けなくても、すなわち、領域Ｒ１内の４つのリブ２４０（第２リブ２４２、第３リブ２４３）だけでもフィルター２１６の第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａへの張り付きを抑制することができる。

なお、本実施形態では、第１リブ２４１、第２リブ２４２及び第３リブ２４３等の各リブ２４０は、短手方向Ｓにも２つ並設されている。この短手方向Ｓに並設された２つのリブ２４０は、フィルター２１６の第２液体溜まり部５０４に相対向する領域を、短手方向Ｓに３等分する位置に配置されている。ここで、フィルター２１６は、短手方向Ｓにおいても、中心が最も第２液体溜まり部５０４側に突出して撓むため、リブ２４０は、短手方向Ｓの中央部に設けるのが好ましい。具体的には、フィルター２１６の第２液体溜まり部５０４に相対向する領域を短手方向Ｓに４等分した領域を短手方向Ｓの一方側から他方側に向かってＳ１／４、Ｓ２／４、Ｓ３／４、Ｓ４／４とした場合、リブ２４０は短手方向ＳにおいてＳ２／４及びＳ３／４の領域に設けるのが好ましい。また、短手方向Ｓを３等分にした領域を短手方向Ｓの一方側から他方側に向かってＳ１／３、Ｓ２／３、Ｓ３／３とした場合に、リブ２４０はＳ２／３の領域に設けるのがさらに好適である。ちなみに、領域Ｓ２／４、Ｓ３／４や、領域Ｓ２／３とは、隣り合う領域の境界部分を含む。本実施形態では、リブ２４０を短手方向Ｓにおいて、領域Ｓ２／３に設けることで、短手方向Ｓのフィルター２１６の撓みによるフィルター２１６の第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａへの張り付きを効果的に抑制することができる。もちろん、リブ２４０を設ける短手方向Ｓの位置は、上記領域のみに限定されるものではなく、上記領域以外の領域にリブ２４０を設けることによっても、フィルター２１６の撓みによる第２液体溜まり部５０４側への突出量は、リブ２４０によって分割されて減少させることができる。

なお、リブ２４０は、上述したように、フィルター２１６のフィルター取付面５０７ａに固定された領域のフィルター２１６の第２液体溜まり部５０４側の面よりも第１液体溜まり部５０３側に突出して設けられている。ここで、リブ２４０のフィルター２１６のフィルター取付面５０７ａに固定された面からの突出量ｈは、大きすぎるとフィルター２１６と第１液体溜まり部５０３との間隔が狭くなり、フィルター２１６上で保持できる気泡の量が減少してしまい、記録ヘッド１の寿命が短くなると共に、気泡を排出させるクリーニング動作を行う場合には頻繁なクリーニング動作が必要になって、インクの無駄な消費が増大してしまう。また、リブ２４０の突出量ｈが大きすぎると、フィルター２１６をフィルター取付面５０７ａに押圧する際に、リブ２４０がフィルター２１６を突き破る虞がある。このため、リブ２４０の突出量ｈは、ダイレクター２１８のフィルター取付面５０７ａからの突出量よりも低くするのが好ましい。また、リブ２４０がフィルター２１６のフィルター取付面５０７ａに固定された面よりも第１液体溜まり部５０３側に突出せずに設けられていると、リブ２４０を設けていたとしても、フィルター２１６がインクの圧力によって撓んだ際に、フィルター２１６が第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａに張り付く虞がある。このため、リブ２４０は、フィルター２１６のフィルター取付面５０７ａに固定された面よりも第１液体溜まり部５０３側に突出し、且つその突出量ｈは、ダイレクター２１８の高さ以下であるのが好適である。

また、本実施形態では、リブ２４０を設けることによって、フィルター２１６の第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａへの張り付きを抑制することができるため、第２液体溜まり部５０４を第３の方向Ｚに浅く形成することができる。すなわち、リブ２４０を設けずにフィルター２１６の液体溜まり部５０４の底面５０４ａへの張り付きを抑制するためには、フィルター２１６と底面５０４ａとの間隔を広げることで実現できる。しかしながら、第２液体溜まり部５０４が第３の方向Ｚに深くなると、上流流路部材２１０が第３の方向Ｚに大型化してしまう。また、フィルター２１６と底面５０４ａとの間の間隔が広くなると、この間を流れるインクの流速が減少し、気泡排出性が低下してしまう。本実施形態では、リブ２４０を設けることで、フィルター２１６の第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａへの張り付きを抑制することができるため、第２液体溜まり部５０４を第３の方向Ｚに浅くして、上流流路部材２１０の第３の方向Ｚの小型化及び気泡排出性を向上することができる。

さらに、本実施形態では、円柱形状のリブ２４０を設けたため、リブ２４０が第２液体溜まり部５０４を完全に分割することがない。そして、円柱形状のリブ２４０の先端面がフィルター２１６に当接するため、リブ２４０によってフィルター２１６の有効面積が著しく減少するのを抑制して、リブ２４０によるフィルター２１６の圧力損失の増大を比較的小さくすることができる。これに対して、例えば、尾根２１９をフィルター２１６に当接させた場合には、尾根２１９の先端に平坦面を形成して、フィルター２１６に面接触させて、フィルター２１６の破損を抑制する必要がある。このため、尾根２１９がフィルター２１６に当接する面積が増大し、フィルター２１６の有効面積が減少して、フィルター２１６の圧力損失が増大する。つまり、本実施形態では、リブ２４０及び尾根２１９は、第２液体溜まり部５０４を分割することなく設けることで、フィルター２１６の有効面積が著しく減少するのを抑制して、小型化することができる。

なお、本実施形態では、２つの開口部５１０が短手方向Ｓに同じ位置となるように配置するようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、図１２に示すように、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとが短手方向Ｓに所定の間隔をおいて離れて配置されている場合であっても、上述した実施形態１と同様に、領域Ｒ１にリブ２４０（第２リブ２４２及び第３リブ２４３）を設けることで、フィルター２１６の撓み変形による第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａへの張り付きを抑制することができる。また、第１開口部５１０Ａ及び第２開口部５１０Ｂが短手方向Ｓに離れて配置されている場合であっても、短手方向Ｓにおいてリブ２４０を４分割したＳ２／４及びＳ３／４の領域に設けることで、効果的にフィルター２１６の短手方向Ｓにおける張り付きを抑制することができる。また、リブ２４０は、短手方向Ｓを３分割したＳ２／３の領域に設けるのが好適である。さらに、補助リブである第１リブ２４１を設けることで、フィルター２１６の撓み変形による第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａへの張り付きをさらに確実に抑制することができる。なお、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとが短手方向Ｓに離れた位置に配置されていたとしても、尾根２１９のフィルター２１６側の先端位置は、上述した実施形態１と同じ位置となる。

（実施形態２）
図１３は、本発明の実施形態２に係る上流流路部材のフィルター部分を示す平面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図示するように、本実施形態の第２液体貯まり部５０４のフィルター２１６側の開口形状及びフィルター２１６の外径形状は、楕円形状となっている。
このような構成の場合、フィルター２１６の長手方向Ｌとは、楕円形状における長軸の軸方向に沿った方向であり、短手方向Ｓとは、楕円形状における短軸の軸方向に沿った方向である。

そして、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂは、長手方向Ｌの中心を挟んだ両側に設けられているため、上述した実施形態１と同様に、長手方向Ｌにおいて第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとの間の領域Ｒ１にリブ２４０を設ければよい。

本実施形態では、上述した実施形態１と同様に、短手方向Ｓに並設された２つのリブ２４０を、長手方向Ｌを４等分する位置に配置するようにした。つまり、長手方向Ｌの一方から他方に向かって設けたリブ２４０を、第１リブ２４１、第２リブ２４２、第３リブ２４３と称する。ここで、長手方向Ｌを４等分するとは、フィルター２１６の第２液体貯まり部５０４に相対向する領域の内、長手方向Ｌで最も長い部分を４つに分割することを言う。

そして、第２リブ２４２、第３リブ２４３の４つのリブ２４０が、領域Ｒ１に配置され、特許請求の範囲に記載のリブに相当し、第１リブ２４１の２つのリブ２４０が領域Ｒ１の外側に配置された補助リブに相当する。

また、リブ２４０の短手方向Ｓの位置は、上述した実施形態１と同様である。ちなみに、短手方向Ｓを等分する際にも、長手方向Ｌと同様にフィルター２１６の第２液体溜まり部５０４に相対向する領域の内、短手方向Ｓで最も長い部分を分割すればよい。

このような構成であっても、上述した実施形態１と同様に、リブ２４０を設けることによって、フィルター２１６がインクの圧力で第２液体溜まり部５０４側に押圧されても、フィルター２１６が第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａに張り付くのを抑制することができる。

また、リブ２４０を設けることによって、第２液体溜まり部５０４を第３の方向Ｚに浅く形成することができ、上流流路部材２１０の小型化を図ることができると共に気泡排出性を向上することができる。

また、リブ２４０及び尾根２１９によって第２液体溜まり部５０４が分割されず、リブ２４０が当接する面積の分だけ、フィルター２１６の有効面積が減少するだけなので、フィルター２１６の圧力損失が著しく増大するのを抑制することができる。

なお、本実施形態では、第１開口部５１０Ａ及び第２開口部５１０Ｂが、短手方向Ｓで同じ位置となるように配置したが、特にこれに限定されない。ここで、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとの変形例を図１４に示す。なお、図１４は、本発明の実施形態２の変形例を示す上流流路部材のフィルター部分の平面図である。

図示するように、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとは、短手方向Ｓに所定の間隔をおいて離れて配置されている。このような構成であっても、上述した実施形態２と同様に、領域Ｒ１にリブ２４０（第２リブ２４２及び第３リブ２４３）を設けることで、フィルター２１６の撓み変形による第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａへの張り付きを抑制することができる。また、第１開口部５１０Ａ及び第２開口部５１０Ｂが短手方向Ｓに離れて配置されている場合であっても、短手方向Ｓにおいてリブ２４０を４分割したＳ２／４及びＳ３／４の領域に設けることで、効果的にフィルター２１６の短手方向Ｓにおける張り付きを抑制することができる。また、リブ２４０は、短手方向Ｓを３分割したＳ２／３の領域に設けるのが好適である。さらに、補助リブである第１リブ２４１を設けることで、フィルター２１６の撓み変形による第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａへの張り付きをさらに確実に抑制することができる。なお、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとが短手方向Ｓに離れた位置に配置されていたとしても、尾根２１９のフィルター２１６側の先端位置は、上述した実施形態１と同じ位置となる。

（実施形態３）
図１５は、本発明の実施形態２に係る上流流路部材のフィルター部分を示す平面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１５に示すように、本実施形態のフィルター２１６及び第２液体溜まり部５０４の形状は、上述した実施形態１と同様に長方形状となっている。また、第１開口部５１０Ａ及び第２開口部５１０Ｂは、上述した実施形態１と同様の配置となっており、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとの間には尾根２１９が形成されている構成も実施形態１と同様である。

そして、第２液体溜まり部５０４には、基端部が第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａに固定され、先端部がフィルター２１６に向かって突出するリブ２５０が設けられている。本実施形態のリブ２５０は、板形状を有し、面方向が第３の方向Ｚと一致するように起立して設けられている。
このようなリブ２５０は、本実施形態では、第２液体溜まり部５０４の対角線７１０上、７１１上に配置されている。

本実施形態では、一方の対角線７１０上に、対角線７１０の線方向がリブ２５０の面方向と一致するように等間隔で５つ設け、他方の対角線７１１上に対角線７１１の線方向がリブ２５０の面方向と一致するように２つ設け、合計７つ設けるようにした。

ここで、本実施形態では、一方の対角線７１０上に配置された５つのリブ２５０を、長手方向Ｌの一方側（第１開口部５１０Ａ側）から他方側（第２開口部５１０Ｂ側）に向かって、第１リブ２５１、第２リブ２５２、第３リブ２５３、第４リブ２５４、第５リブ２５５と称する。

そして、第１リブ２５１と第５リブ２５５とは、第３の方向Ｚから平面視した際に、第２液体溜まり部５０４の内面、すなわち、フィルター２１６が固定されたフィルター取付面５０７ａから連続して設けられている。

このようなリブ２５０は、本実施形態では、領域Ｒ１内には、第３リブ２５３、第４リブ２５４が配置されており、この第３リブ２５３及び第４リブ２５４が、特許請求の範囲に記載のリブに相当する。
また、第１リブ２５１、第２リブ２５２、第５リブ２５５は、領域Ｒ１の外側に設けられているため、特許請求の範囲に記載の補助リブに相当する。

一方、他方の対角線７１１上に配置された２つのリブ２５０を、長手方向Ｌの一方側（第１開口部５１０Ａ側）から他方側（第２開口部５１０Ｂ側）に向かって、第６リブ２５６、第７リブ２５７と称する。

そして、第６リブ２５６と第７リブ２５７とは、第３の方向Ｚから平面視した際に、第２液体溜まり部５０４の内面、すなわち、フィルター２１６が固定されたフィルター取付面５０７ａから連続して設けられている。このような第６リブ２５６及び第７リブ２５７は、領域Ｒ１の外側に配置されている。したがって、第６リブ２５６及び第７リブ２５７は、特許請求の範囲に記載の補助リブに相当する。

このような構成であっても、上述した実施形態１と同様に、リブ２５０を設けることによって、フィルター２１６がインクの圧力で第２液体溜まり部５０４側に押圧されても、フィルター２１６が第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａに張り付くのを抑制することができる。

また、リブ２５０を設けることによって、第２液体溜まり部５０４を第３の方向Ｚに浅く形成することができ、上流流路部材２１０の小型化を実現できると共に気泡排出性を向上することができる。

また、リブ２５０及び尾根２１９によって第２液体溜まり部５０４が分割されておらず、リブ２５０が当接する面積の分だけ、フィルター２１６の有効面積が減少するだけなので、フィルター２１６の圧力損失が著しく増大するのを抑制することができる。

なお、本実施形態では、第３の方向Ｚから平面視した際に同じ厚さ、すなわち、対角線７１０、７１１のそれぞれにおいて対角線７１０、７１１に直交する方向の厚さが同じ厚さの複数のリブ２５０を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、厚さの異なるリブを設けるようにしてもよい。ここでこのような例を図１６に示す。なお、図１６は、実施形態３に係る上流流路部材のフィルター部分の変形例を示す平面図である。

図示するように、複数のリブ２５０は、フィルター２１６の中心、すなわち、長手方向Ｌの中心に向かって、徐々に厚さが厚くなるように形成されている。すなわち、第３リブ２５３が最も厚く、第２リブ２５２及び第４リブ２５４が２番目に厚く、第１リブ２５１、第５リブ２５５、第６リブ２５６及び第７リブ２５７が最も薄い。これにより、最も撓みが大きくなるフィルター２１６の長手方向Ｌの中心部において、リブ２５０（第３リブ２５３）がフィルター２１６を確実に支持することができる。また、フィルター２１６の長手方向Ｌの両端部側においては、リブ２５０（第１リブ２５１、第５リブ２５５、第６リブ２５６及び第７リブ２５７）の厚さを薄くすることで、リブ２５０の先端面がフィルター２１６に当接することによる有効面積の減少をできるだけ小さくすることができる。

なお、本実施形態では、フィルター２１６及び第２液体溜まり部５０４の外形形状を長方形状としたが、特にこれに限定されず、上述した実施形態２と同様に楕円形状等であってもよい。
また、第１開口部５１０Ａ及び第２開口部５１０Ｂは、短手方向Ｓにずれた位置に配置されていてもよい。

また、本実施形態では、板形状を有するリブ２５０を設けるようにしたが、本実施形態のリブ２５０と、上述した実施形態１の円柱形状を有するリブ２４０とを混在させて設けるようにしてもよい。

（実施形態４）
図１７は、本発明の実施形態４に係る上流流路部材のフィルター部分の平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１７に示すように、本実施形態のフィルター２１６及び第２液体溜まり部５０４の形状は、上述した実施形態１と同様に長方形状となっている。
また、第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａには、３つの第３上流流路５０５が開口部５１０によって連通して設けられている。

本実施形態では、３つの開口部５１０を、第１開口部５１０Ａ、第２開口部５１０Ｂ、第３開口部５１０Ｃと称する。そして、これら３つの開口部５１０は、長手方向Ｌに所定の間隔で離れた配置されており、第１開口部５１０Ａと第３開口部５１０Ｃとは、短手方向Ｓの位置が同じ位置で設けられている。また、第１開口部５１０Ａ及び第３開口部５１０Ｃと第２開口部５１０Ｂとは、短手方向Ｓに所定の間隔をおいて離した位置に配置されている。

また、尾根２１９は、第１開口部５１０Ａと第２開口部５１０Ｂとの間と、第２開口部５１０Ｂと第３開口部５１０Ｃとの間と、第１開口部５１０Ａと第３開口部５１０Ｃとの間と、に連続して設けられている。これにより、第１開口部５１０Ａが開口する第１凹部５１１Ａと、第２開口部５１０Ｂが開口する第２凹部５１１Ｂと、第３開口部５１０Ｃが開口する第３凹部５１１Ｃとの３つの凹部５１１が形成されている。
このような尾根２１９は、上述した実施形態１と同様に、フィルター２１６に接触することなく形成されており、各凹部５１１は、互いに連通して設けられている。

このような構成では、本実施形態の長手方向Ｌにおける開口部５１０の間の領域Ｒ１とは、長手方向Ｌにおいて両端部に設けられた開口部５１０、すなわち、第１開口部５１０Ａと第３開口部５１０Ｃとの間の領域のことである。つまり、領域Ｒ１とは、フィルター２１６の第２液体溜まり部５０４に相対向する領域の内、第１開口部５１０Ａの中心を通る短手方向Ｓに沿った線７００と、第３開口部５１０Ｃの中心を通る短手方向Ｓに沿った線７０１との間の領域のことである。

このような領域Ｒ１に、上述した実施形態１と同様の円柱形状を有するリブ２４０が設けられている。このように領域Ｒ１にリブ２４０を設けることにより、上述した実施形態１と同様の効果を奏することができる。

また、１つの第２液体溜まり部５０４に３つ以上の開口部５１０が設けられている場合には、３つの開口部５１０によって囲まれた領域Ｒ２内にリブ２４０を設けるのが好ましい。これにより、フィルター２１６の変形による第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａへの張り付きをさらに確実に抑制することができる。
なお、本実施形態では、フィルター２１６及び第２液体溜まり部５０４の外形形状を長方形状としたが、特にこれに限定されず、上述した実施形態２と同様に楕円形状等であってもよい。

また、第１開口部５１０Ａ及び第２開口部５１０Ｂは、短手方向Ｓにずれた位置に配置されていてもよい。
さらに、リブ２４０の形状は特に限定されず、上述した実施形態３と同様に、板形状を有するリブ２５０を設けるようにしてもよい。

また、本実施形態では、リブ２４０を１つだけ設けるようにしたが、複数のリブ２４０、２５０を設けるようにしてもよく、また、領域Ｒ１の外側に補助リブを設けるようにしてもよい。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
例えば、上述した実施形態１〜３では、１つの液体溜まり部５０４に２つの第３上流流路５０５（２つの開口部５１０）を連通させ、実施形態４では、１つの液体溜まり部５０４に３つの第３上流流路５０５（３つの開口部５１０）を連通させるようにしたが、１つの液体溜まり部５０４に連通する第３上流流路５０５の数は特にこれに限定されず、１つの液体溜まり部５０４に４つ以上の第３上流流路５０５を連通させるようにしてもよい。

また、第３上流流路５０５の下流側において、さらに第３上流流路５０５を２つ以上に分岐させてもよい。
さらに、上述した各実施形態では、尾根２１９を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、尾根２１９は設けられていなくてもよい。さらに、第２液体溜まり部５０４の底面５０４ａは、各凹部５１１において開口部５１０に向かって傾斜するように設けたが、底面５０４ａの形状は特にこれに限定されず、長手方向Ｌ及び短手方向Ｓを含む面内方向に平行な方向に配置されていてもよい。

さらに、例えば、上述した各実施形態では、ヘッド本体２が２つ設けられた記録ヘッド１について説明したが、ヘッド本体２の数は、特にこれに限定されず、１個のヘッド本体を有する記録ヘッド１であっても、３個以上のヘッド本体２を有する記録ヘッド１であってもよい。また、上述した実施形態１では、記録ヘッド１に第１ヘッド本体２Ａと第２ヘッド本体２Ｂとを設けた構成を例示したが、特にこれに限定されず、記録ヘッド１に第１ヘッド本体２Ａ及び第２ヘッド本体２Ｂの何れか一方のみを設けるようにしてもよい。もちろん、ヘッド本体２の構成は、上述した第１ヘッド本体２Ａ、第２ヘッド本体２Ｂに限定されるものではない。

また、上述した実施形態１では、上流流路５００が設けられた流路部材である上流流路部材２１０と下流流路６００が設けられた下流流路部材２２０とを有する流路ユニット２００を例示したが、例えば、インク（液体）を循環させる場合には、上流と下流とを逆転させればよい。すなわち、ヘッド本体２に供給されたインクを下流流路６００から上流流路５００に流して液体貯留手段や排出されたインクが貯留される貯留部等に排出（循環）すればよい。

また、上述した各実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター１３０を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

また、上述した記録ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図１８は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

図１８に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、複数のインクジェット式記録ヘッド１を有するインクジェット式記録ヘッドユニットＩＩ（以下、ヘッドユニットＩＩとも言う）は、液体貯留手段であるインクカートリッジ１Ａが着脱可能に設けられ、このヘッドユニットＩＩを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニットＩＩは、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニットＩＩを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。

また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録ヘッド１（ヘッドユニットＩＩ）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、液体貯留手段であるインクカートリッジ１Ａがキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、液体貯留手段とインクジェット式記録ヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。

Ｉ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 ＩＩ インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、 １ インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 ２ ヘッド本体、 ２Ａ 第１ヘッド本体、 ２Ｂ 第２ヘッド本体、 ２０ ノズルプレート、 ２０ａ 液体噴射面、 ２１ ノズル開口、 １００ マニホールド、 １２０ 駆動回路、 １２１ 配線部材、 １３０ 圧電アクチュエーター、 ２００ 流路ユニット、 ２１０ 上流流路部材（流路部材）、 ２１９ 尾根、 ２２０ 下流流路部材、 ２３０ シール部材、 ２４０、２５０ リブ、 ３００ 配線基板、 ４００ カバーヘッド、 ５００ 上流流路、 ５０１ 第１上流流路、 ５０２ 第２上流流路（第１流路）、 ５０３ 第１液体溜まり部、 ５０４ 第２液体溜まり部、 ５０４ａ 底面、 ５０５ 第３上流流路（第２流路）、 ５０６ 排出口、 ５１０ 開口部、 ５１１ 凹部、 ６００ 下流流路、 Ｌ 長手方向、 Ｒ１、Ｒ２ 領域、 Ｓ短手方向、 Ｘ 第１の方向、 Ｙ 第２の方向、 Ｚ 第３の方向

Claims (7)

1. 第１流路から液体が供給される第１液体溜まり部と、
   前記第１液体溜まり部に連通する第２液体溜まり部と、
   前記第２液体溜まり部の底面に開口する開口部を有する第２流路と、
   前記第１液体溜まり部と前記第２液体溜まり部との間に設けられて、前記第２液体溜まり部の開口縁部に固定されたフィルターと、
   前記第２液体溜まり部の底面から前記フィルターが固定された領域の当該フィルターの前記第２液体溜まり部側の面よりも前記第１液体溜まり部側に突出して設けられたリブと、
   を具備し、
   １つの前記第２液体溜まり部に対して、複数の前記第２流路が設けられており、
   前記リブは、前記フィルターの長手方向において、少なくとも複数の前記開口部の間の領域内に設けられていることを特徴とする流路部材。
2. 前記開口部が３つ以上設けられており、
   前記リブは、複数の前記開口部に囲まれた領域内に設けられていることを特徴とする請求項１記載の流路部材。
3. 前記第２液体溜まり部には、隣り合う前記開口部の間に、前記底面から前記フィルター側に向かって***した尾根が設けられており、
   前記尾根によって前記開口部毎に凹部が形成されていると共に、該凹部は前記フィルター側で互いに連通して設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の流路部材。
4. 前記リブは、前記領域内に複数設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の流路部材。
5. 前記領域の外側であって、前記長辺方向において、前記開口部と前記第２液体溜まり部の壁面との間の領域には、前記フィルターが固定された領域の当該フィルターの前記第２液体溜まり部側の面よりも前記第１液体溜まり部側に突出した補助リブが設けられていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の流路部材。
6. 請求項１〜５の何れか一項に記載の流路部材を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
7. 請求項６記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。

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