JP2015152393A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 外部装置に接続される配線を含む基板と、
前記基板の下方側で前記基板に平行に配置されるガイド板であって、板表面に垂直に貫通する複数の円形貫通孔を有するガイド板と、
一方端が前記基板の外周側で針接続部に接続されて、前記基板の中央側に向かって延伸し、針中間固定部を経由して、さらに前記基板の中央側に向かって延伸し、前記一方端から他方端までの全長に亘って一様な直径を有する複数の針と、
を備え、
前記各針は、
前記針中間固定部で固定され、前記針中間固定部の前記中央側の端面から突き出す梁部と、
前記梁部の先端から前記ガイド板側に曲げられ、前記円形貫通孔との間の隙間寸法が所定の値に設定された直径を有し、先端部が前記円形貫通孔を垂直に通る針先部と、
を含み、
前記針の直径の大きさは、隣接する針先部の間の最短ピッチに基づいて設定され、
前記中央側の端面から前記梁部の先端までの前記梁部の長さは、目標針圧値と、前記針の直径に応じて設定されることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1に記載のプローブカードにおいて、
前記目標針圧値の下で、前記梁部の長さは、前記直径が細くなるにしたがって短く設定されることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1または請求項2に記載のプローブカードにおいて、
前記針先部は、前記針先部の先端部と前記梁部の先端との間に屈曲部を有し、前記屈曲部の先端から前記先端部までの間の部分が前記円形貫通孔の貫通方向に平行であることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のプローブカードにおいて、
前記基板の下面と前記針先部の先端部との間を予め設定された針高さ寸法とする針高さ調整部材を備えることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のプローブカードにおいて、
前記針中間固定部は、前記ガイド板または前記基板に設けられることを特徴とするプローブカード。
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CN114354990B (zh) * | 2020-10-14 | 2024-04-09 | 旺矽科技股份有限公司 | 整合不同电性测试的探针卡 |
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