JP2015147287A - actuator and robot - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator capable of simplifying and downsizing a structure to attach an object to be attached to a tip of a rod and to dispose another object to be attached, thus reducing the cost, and to provide a robot using the actuator.SOLUTION: The actuator includes: a housing; a screw installed in the housing, to be driven rotatably upward; a nut installed in the housing in a state of being screwed onto the screw, to be moved in an axial direction by rotation of the screw; a slider attached to the nut, to be moved with the nut in the axial direction by the rotation of the screw; and a rod which is moved with the nut by the rotation of the screw, which can be rotatably driven, and to which an object to be attached is attached. An opening is provided at the housing and a part of the slider is disposed so as to be exposed outside through the opening, where a user can attach another object to be attached than the object to be attached fixed to the rod.

Description

本発明は、アクチュエータとロボットに係り、特に、ネジの回転によりナットを介してスライダとロッドを進退させるように構成したものにあって、ロッドの先端に取付対象物を取り付けるとともに別の取付対象物を配置させるための構成を簡略化・小型化させ、コストの低減を図ることができるように工夫したものに関する。   The present invention relates to an actuator and a robot, and more particularly, to a configuration in which a slider and a rod are advanced and retracted via a nut by rotating a screw, and an attachment object is attached to the tip of the rod and another attachment object. It is related with what was devised so that the structure for arrange | positioning can be simplified and reduced in size, and cost reduction can be aimed at.

ロッドタイプのアクチュエータの構成を開示するものとして、例えば、特許文献１がある。この特許文献１に開示されているアクチュエータは概略次のような構成をなしている。まず、モータユニットがあり、このモータユニットの前方にはカバが設置されている。このカバ内には上記モータによって回転されるボールネジが収容・配置されていて、このボールネジにはボールナットが螺合・配置されている。また、このボールナットにはスライダが設置されており、このスライダにはロットが連結されている。このロッドの先端部は上記カバの前方に出没可能に構成されていて、その先端には、取付対象物として様々な機器や工具等が設置されている。また、上記スライダはガイド装置によって上記ボールネジの軸方向にガイドされている。
そして、上記ボールネジが上記モータユニットによって回転されると、上記ボールナットを介して上記スライダひいては上記ロッドが上記ボールネジの軸方向に進退されることになる。 For example, Patent Document 1 discloses a configuration of a rod-type actuator. The actuator disclosed in Patent Document 1 has the following general configuration. First, there is a motor unit, and a cover is installed in front of the motor unit. A ball screw rotated by the motor is accommodated and arranged in the cover, and a ball nut is screwed and arranged on the ball screw. The ball nut is provided with a slider, and a lot is connected to the slider. The tip of the rod is configured to be able to appear and retract in front of the cover, and various devices, tools, and the like are installed as attachment objects at the tip. The slider is guided in the axial direction of the ball screw by a guide device.
When the ball screw is rotated by the motor unit, the slider and thus the rod are advanced and retracted in the axial direction of the ball screw via the ball nut.

特開２０１３−３６６０６号公報JP 2013-36606 A

しかし、上記従来の構成では、次のような問題があった。 上記したように、ロッドには取付対象物としての様々な機器や工具等が設置される。一例を挙げると、上記ロッドに半田ごてが設置されることがあり、この半田ごてによってプリント基板上に各種電装部品を半田付けする作業が行われる。
その際、半田付けが正常に行われているか否かを確認する必要があり、その為、上記半田ごてにカメラを近接・配置して、該カメラにより半田付け部位を撮影して、半田付けが正常に行われたか否かを判別することが行われる。
しかしながら、そのようなカメラを半田ごてに近接・配置するためには、別のアクチュエータを併設し、そのロッドにカメラを設置しなければならず、構成が複雑化・大型化してしまい、コストが上昇してしまうという問題があった。
また、半田ごてによる半田付け部位を撮影するためには、カメラを半田ごてに同期させて移動させる必要があり、その制御が面倒であるという問題もあった。
なお、この種の問題は異なる種類の取付対象物を併設する場合に限ったことではなく、例えば、ロッドに設置された取付対象物に接続されたケーブル等の付属物を移動可能に設置する場合にも同様にいえることである。 However, the conventional configuration has the following problems. As described above, various devices, tools, and the like as attachment objects are installed on the rod. As an example, a soldering iron may be installed on the rod, and an operation of soldering various electrical components on a printed circuit board by the soldering iron is performed.
At that time, it is necessary to confirm whether or not the soldering is normally performed. For this reason, a camera is placed close to and placed on the soldering iron, and the soldering portion is photographed by the camera. It is determined whether or not the process has been performed normally.
However, in order to place such a camera in close proximity to the soldering iron, it is necessary to install another actuator and install the camera on the rod, which complicates and enlarges the configuration, resulting in a cost reduction. There was a problem of rising.
In addition, in order to take an image of a soldering part by a soldering iron, it is necessary to move the camera in synchronization with the soldering iron, and there is a problem that the control is troublesome.
In addition, this kind of problem is not limited to the case where different types of attachment objects are installed, for example, when an accessory such as a cable connected to the attachment object installed on the rod is movably installed The same is true.

本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、ロッドの先端に取付対象物を取り付けるとともに別の取付対象物を配置させるための構成を簡略化・小型化させ、コストの低減を図ることが可能なアクチュエータとこのアクチュエータを使用したロボットを提供することにある。   The present invention has been made on the basis of such points, the purpose of which is to simplify and miniaturize the configuration for attaching an attachment object to the tip of the rod and arranging another attachment object, An object of the present invention is to provide an actuator capable of reducing the cost and a robot using the actuator.

上記課題を解決するべく請求項１に記載されたアクチュエータは、ハウジングと、上記ハウジング内に設置され上回転・駆動されるネジと、上記ハウジング内に上記ネジに螺合された状態で設置され上記ネジの回転によって軸方向に移動されるナットと、上記ナットに取り付けられ上記ネジの回転によって上記ナットとともに軸方向に移動されるスライダと、上記ネジの回転によって上記ナットとともに移動され回転・駆動可能であって取付対象物が取り付けられるロッドと、を具備し、上記ハウジングに開口部を設け、上記スライダの一部を上記開口部を介して外部に露出・配置させて上記取付対象物とは別の取付対象物を搭載可能にしたことを特徴とするものである。
また、請求項２に記載されたアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドは中空部を備えていて該中空部内に上記ネジが同軸上に収容・配置されていることを特徴とするものである。
また、請求項３に記載されたアクチュエータは、請求項１又は請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドを回転・駆動するロッド用モータが設置されていて、上記ロッドはスプラインシャフトであり、このスプラインシャフトにはスプラインナットが噛合・配置されていて、上記ロッド用モータにより上記スプラインナットを回転させることにより上記ロッドを回転・駆動するようにしたことを特徴とするものである。
また、請求項４に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ネジを回転・駆動するネジ用モータは上記ネジと同軸上に配置されていることを特徴とするものである。
また、請求項５に記載されたロボットは、請求項１〜請求項４の何れかに記載のアクチュエータを用いたことを特徴とするものである。
また、請求項６に記載されたロボットは、テーブルトップ型のロボットであり、請求項１〜請求項４の何れかに記載したアクチュエータをＺ−Ｒ軸アクチュエータとして用いることを特徴とするものである。
また、請求項７に記載されたロボットは、多関節ロボットであり、請求項１〜請求項４の何れかに記載したアクチュエータをＺ−Ｒ軸アクチュエータとして用いることを特徴とするものである。 In order to solve the above-described problem, an actuator according to claim 1 is provided with a housing, a screw that is installed in the housing and is rotated and driven, and is installed in a state of being screwed into the screw in the housing. A nut that is moved in the axial direction by the rotation of the screw, a slider that is attached to the nut and moved in the axial direction together with the nut by the rotation of the screw, and is moved and rotated and driven together with the nut by the rotation of the screw. A rod to which an object to be attached is attached, and an opening is provided in the housing, and a part of the slider is exposed and arranged outside through the opening and is separate from the object to be attached. The mounting object can be mounted.
According to a second aspect of the present invention, in the actuator according to the first aspect, the rod includes a hollow portion, and the screw is coaxially accommodated and disposed in the hollow portion. Is.
According to a third aspect of the present invention, in the actuator according to the first or second aspect, a rod motor for rotating and driving the rod is installed, and the rod is a spline shaft. A spline nut is engaged and arranged on the shaft, and the rod is rotated and driven by rotating the spline nut by the rod motor.
The actuator described in claim 4 is the actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein a screw motor for rotating and driving the screw is arranged coaxially with the screw. It is characterized by.
A robot described in claim 5 is characterized in that the actuator described in any one of claims 1 to 4 is used.
The robot described in claim 6 is a table top type robot, and the actuator described in any one of claims 1 to 4 is used as a Z-R axis actuator. .
A robot described in claim 7 is an articulated robot, and the actuator described in any one of claims 1 to 4 is used as a Z-R axis actuator.

以上述べたように、請求項１記載のアクチュエータによると、ハウジングと、上記ハウジング内に設置され上回転・駆動されるネジと、上記ハウジング内に上記ネジに螺合された状態で設置され上記ネジの回転によって軸方向に移動されるナットと、上記ナットに取り付けられ上記ネジの回転によって上記ナットとともに軸方向に移動されるスライダと、上記ネジの回転によって上記ナットとともに移動され回転・駆動可能であって取付対象物が取り付けられるロッドと、を具備し、上記ハウジングに開口部を設け、上記スライダの一部を上記開口部を介して外部に露出・配置させて上記取付対象物とは別の取付対象物を搭載可能にしたため、別途アクチュエータを併設させることなく、異なる取付対象物を同時に設置して移動させることができ、構成の簡略化・小型化、コストの低減を図ることができる。また、上記異なる取付対象物は自動的に同期して移動することになるので、煩雑な制御を強いられることもない。
また、請求項２記載のアクチュエータによると、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドは中空部を備えていて該中空部内に上記ネジが同軸上に収容・配置されているため、煩雑な制御を要することなく、構成の簡略化、装置の小型化を図ることができる。すなわち、上記ネジと、このネジとは別に回転される中空ロッドを同軸上に配置することで構成の簡略化と小型化を図ることができる。また、上記ネジと上記中空ロッドとはそれぞれ別々に回転可能となっている。そのため、例えば、上記中空ロッドを回転させた場合に上記ネジまでもが回転されて上記中空ロッドの位置がずれてしまうことはなく、上記中空ロッドの位置を調整するための複雑な制御は不要である。また、上記中空ロッドには上記ネジが収容される中空部が備えられており、上記中空ロッドが上記ネジの軸方向に移動する際に互いに干渉しないようにすることができる。
また、請求項３記載のアクチュエータによると、請求項１又は請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドを回転・駆動するロッド用モータが設置されていて、上記ロッドはスプラインシャフトであり、このスプラインシャフトにはスプラインナットが噛合・配置されていて、上記ロッド用モータにより上記スプラインナットを回転させることにより上記ロッドを回転・駆動するようにしたので、上記中空ロッドの軸方向への移動と、軸心周りでの回転を円滑に行うことができる。
また、請求項４記載のアクチュエータによると、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ネジを回転・駆動するネジ用モータは上記ネジと同軸上に配置されているので、上記ネジの側方の構成を簡略化させてスペースの有効利用を図ることができる。
また、請求項５に記載されたロボットは、請求項１〜請求項４の何れかに記載のアクチュエータを用いるため、構成の簡略化と小型化を図ることができる。
また、請求項６に記載されたロボットは、テーブルトップ型のロボットであり、請求項１〜請求項４の何れかに記載したアクチュエータをＺ−Ｒ軸アクチュエータとして用いるため、構成の簡略化と小型化を図ることができる。
また、請求項７に記載されたロボットは、多関節ロボットであり、請求項１〜請求項４の何れかに記載したアクチュエータをＺ−Ｒ軸アクチュエータとして用いるため、構成の簡略化と小型化を図ることができる。 As described above, according to the actuator of the first aspect, the housing, the screw that is installed in the housing and is rotated and driven upward, and the screw that is installed in the housing and screwed to the screw are installed. A nut that is moved in the axial direction by the rotation of the screw, a slider that is attached to the nut and moved in the axial direction together with the nut by the rotation of the screw, and is moved and rotated and driven together with the nut by the rotation of the screw. And a rod to which an object to be attached is attached, and an opening is provided in the housing, and a part of the slider is exposed and arranged outside through the opening to be attached separately from the object to be attached Since the object can be mounted, it is possible to install and move different attachment objects at the same time without using a separate actuator. Come, it can be simplified and miniaturization of the structure, cost reduction achieved. Further, since the different attachment objects move automatically and synchronously, complicated control is not forced.
In the actuator according to claim 2, in the actuator according to claim 1, the rod has a hollow portion, and the screw is accommodated and arranged coaxially in the hollow portion, so that complicated control is performed. The configuration can be simplified and the apparatus can be downsized without being required. That is, by arranging the screw and the hollow rod rotated separately from the screw on the same axis, the configuration can be simplified and downsized. Further, the screw and the hollow rod can be rotated separately. Therefore, for example, when the hollow rod is rotated, even the screw is not rotated and the position of the hollow rod is not shifted, and complicated control for adjusting the position of the hollow rod is unnecessary. is there. Further, the hollow rod is provided with a hollow portion in which the screw is accommodated, and the hollow rod can be prevented from interfering with each other when moving in the axial direction of the screw.
According to the actuator of claim 3, in the actuator of claim 1 or 2, a rod motor for rotating and driving the rod is installed, and the rod is a spline shaft. Since the spline nut is meshed and arranged, and the rod motor is rotated and driven by rotating the spline nut by the rod motor, the axial movement of the hollow rod The rotation around can be performed smoothly.
According to the actuator according to claim 4, in the actuator according to any one of claims 1 to 3, the screw motor for rotating and driving the screw is disposed coaxially with the screw. The side configuration of the screw can be simplified to effectively use the space.
Further, since the robot described in claim 5 uses the actuator described in any one of claims 1 to 4, the configuration can be simplified and miniaturized.
In addition, the robot described in claim 6 is a table top type robot, and the actuator described in any one of claims 1 to 4 is used as a Z-R axis actuator. Can be achieved.
In addition, the robot described in claim 7 is an articulated robot, and the actuator described in any one of claims 1 to 4 is used as a Z-R axis actuator. Can be planned.

本発明の一実施の形態を示す図で、アクチュエータを用いたテーブルトップタイプの作業ロボットを示す斜視図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the table top type working robot using an actuator. 本発明の一実施の形態を示す図で、アクチュエータの駆動部カバを取り外した状態での斜視図である。It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is a perspective view in the state which removed the drive part cover of the actuator. 本発明の一実施の形態を示す図で、アクチュエータの駆動部カバを取り外した状態での正面図である。It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is a front view in the state which removed the drive part cover of the actuator. 本発明の一実施の形態を示す図で、アクチュエータの駆動部カバを取り外した状態での左側面図である。It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is a left view in the state which removed the drive part cover of the actuator. 本発明の一実施の形態を示す図で、アクチュエータの駆動部カバを取り外した状態での底面図である。It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is a bottom view in the state which removed the drive part cover of the actuator. 本発明の一実施の形態を示す図で、図３におけるＶＩ−ＶＩ断面図である。It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is VI-VI sectional drawing in FIG. 本発明の一実施の形態を示す図で、図４におけるＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。It is a figure which shows one embodiment of this invention, and is VII-VII sectional drawing in FIG. 本発明の一実施の形態を示す図で、図８は図６におけるＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。FIG. 8 shows an embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line VIII-VIII in FIG. 本発明の一実施の形態を示す図で、図９（ａ）は図７におけるＩＸａ−ＩＸａ断面図、図９（ｂ）は図９（ａ）のｂ部の拡大図である。FIG. 9A is a cross-sectional view taken along the line IXa-IXa in FIG. 7, and FIG. 9B is an enlarged view of a portion b in FIG. 9A. 本発明の一実施の形態を示す図で、駆動部カバ、スプラインナット、及び、取付部を撤去し、中空ロッド側タイミングプーリをフランジ部の基部で破断した状態でのアクチュエータの先端部の部分斜視図である。1 is a diagram showing an embodiment of the present invention, in which a drive unit cover, a spline nut, and a mounting unit are removed, and a partial perspective view of a distal end portion of an actuator in a state where a hollow rod side timing pulley is broken at a base portion of a flange portion; FIG. 本発明の一実施の形態を示す図で、図１１（ａ）は中空ロッドの回転部材に対する回転可能範囲を示す模式図、図１１（ｂ）は中空ロッドの回転とともに回転部材が回転されて回転部材側第２ストッパが回転範囲規制部材の第１規制部に当接された状態を示す模式図、図１１（ｃ）は、中空ロッドの回転とともに回転部材が回転されて回転部材側第２ストッパが回転範囲規制部材の第２規制部に当接された状態を示す模式図である。FIGS. 11A and 11B are diagrams showing an embodiment of the present invention. FIG. 11A is a schematic diagram showing a rotatable range of the hollow rod relative to the rotating member, and FIG. FIG. 11C is a schematic diagram showing a state in which the member-side second stopper is in contact with the first restricting portion of the rotation range restricting member. FIG. 11C shows the rotating member-side second stopper as the rotating member is rotated along with the rotation of the hollow rod. It is a schematic diagram which shows the state contact | abutted by the 2nd control part of the rotation range control member.

以下、図１乃至図１１を参照して、本発明の一実施の形態について説明する。
図１は、テーブルトップ型直交タイプの作業ロボット１の全体構成を示す斜視図である。上記作業ロボット１にはテーブル５が設けられている。このテーブル５は中空の箱であり、その内部には図示しない制御用の基板や電源装置等が設置されている。また、上記テーブル５の正面（図１中左下側の面）には、コネクタ７、９、１１や押釦スイッチ１３、１５、非常停止用押釦スイッチ１７が設置されている。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is a perspective view showing the overall configuration of a work robot 1 of a table top type orthogonal type. The work robot 1 is provided with a table 5. The table 5 is a hollow box, in which a control board, a power supply device, and the like (not shown) are installed. Further, on the front surface of the table 5 (surface on the lower left side in FIG. 1), connectors 7, 9, 11, push button switches 13, 15, and an emergency stop push button switch 17 are installed.

また、上記テーブル５には、Ｘ軸アクチュエータ１９が設置されている。このＸ軸アクチュエータ１９の下側部分（図１中下側部分）は上記テーブル５内に収容・配置されており、上側部分（図１中上側部分）は上記テーブル５の上方（図１中上側）に露出・配置されている。   The table 5 is provided with an X-axis actuator 19. The lower part (lower part in FIG. 1) of the X-axis actuator 19 is housed and arranged in the table 5, and the upper part (upper part in FIG. 1) is above the table 5 (upper part in FIG. 1). ) Is exposed and placed.

上記Ｘ軸アクチュエータ１９は、ハウジング２１を備えていて、このハウジング２１は、略Ｕ字型の断面形状を成し、上記テーブル５の長手方向（図１中左下から右上に向かう方向、Ｘ軸方向）に延長されている。上記ハウジング２１の上端部（図１中上側端部）の幅方向（図１中左下から右上に向かう方向）両側は、外側に向けて突出・形成され、板状の覆い部２３、２３となっている。   The X-axis actuator 19 includes a housing 21, which has a substantially U-shaped cross-sectional shape, and the longitudinal direction of the table 5 (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 1, the X-axis direction) ). Both sides of the upper end of the housing 21 (upper end in FIG. 1) in the width direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 1) are projected and formed outward to form plate-like covers 23 and 23. ing.

上記ハウジング２１内には、図示しないＸ軸モータと、このＸ軸モータによって回転される図示しないＸ軸ボールネジと、このＸ軸ボールネジに螺合されるＸ軸ボールナット（図示せず）が備えられている。そして、上記Ｘ軸ボールナットには図示しないＸ軸スライダが固着されている。この図示しないＸ軸スライダの上側部分（図１中上側部分）は外部に露出・配置されており、ここに様々な対象物が設置される。この一実施の形態の場合は、上記図示しないＸ軸スライダにパレット２５が設置されている。このパレット２５上には、複数（この一実施の形態の場合は、５×５＝２５枚）の基板２６が載置されている。   The housing 21 includes an X-axis motor (not shown), an X-axis ball screw (not shown) rotated by the X-axis motor, and an X-axis ball nut (not shown) screwed to the X-axis ball screw. ing. An X-axis slider (not shown) is fixed to the X-axis ball nut. An upper portion (upper portion in FIG. 1) of the X-axis slider (not shown) is exposed and arranged outside, and various objects are placed here. In the case of this embodiment, the pallet 25 is installed on the X-axis slider (not shown). On the pallet 25, a plurality of substrates 26 (5 × 5 = 25 in the case of this embodiment) are placed.

また、上記ハウジング２１内には、上記図示しないＸ軸スライダをガイドする図示しないガイド部材が設置されている。このガイド部材によって、上記Ｘ軸ボールナット（図示せず）ひいては上記図示しないＸ軸スライダが、上記図示しないＸ軸ボールネジの軸方向（図１中左下から右上に向かう方向、Ｘ軸方向）にガイドされる構成になっている。そして、上記図示しないＸ軸ボールネジの回転によって、上記Ｘ軸ボールナットと図示しないＸ軸スライダが、上記Ｘ軸ボールネジの軸方向（図１中左下から右上に向かう方向、Ｘ軸方向）にガイドされながら移動されるようになっている。   In the housing 21, a guide member (not shown) for guiding the X-axis slider (not shown) is installed. The guide member guides the X-axis ball nut (not shown) and the X-axis slider (not shown) in the axial direction of the X-axis ball screw (not shown) from the lower left to the upper right in FIG. It is configured to be. Then, the rotation of the X-axis ball screw (not shown) guides the X-axis ball nut and the X-axis slider (not shown) in the axial direction of the X-axis ball screw (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 1, the X-axis direction). While being moved.

また、上記ハウジング２１の上方（図１中上側）には上部カバ２７が設置されている。この上部カバ２７は、上記ハウジング２１の図示しない上側（図１中上側）の開口部を閉塞するように配置されている。また、上記図示しないＸ軸スライダは上記上部カバ２７を跨ぐように配置されている。   An upper cover 27 is installed above the housing 21 (upper side in FIG. 1). The upper cover 27 is disposed so as to close an upper opening (upper side in FIG. 1) of the housing 21 (not shown). The X-axis slider (not shown) is disposed so as to straddle the upper cover 27.

上記テーブル５には、図１に示すように、柱体２９が立設されている。そして、この柱体２９には、Ｙ軸アクチュエータ３１が設置されている。   As shown in FIG. 1, a column body 29 is erected on the table 5. A Y-axis actuator 31 is installed on the column body 29.

このＹ軸アクチュエータ３１は、ハウジング３３を備えていて、このハウジング３３内には図示しないＹ軸ボールネジと、このＹ軸ボールネジに螺合されるＹ軸ボールナット（図示せず）が備えられている。また、上記図示しないＹ軸ボールナットにはＹ軸スライダ３５が固着されている。   The Y-axis actuator 31 includes a housing 33. The housing 33 includes a Y-axis ball screw (not shown) and a Y-axis ball nut (not shown) screwed into the Y-axis ball screw. . A Y-axis slider 35 is fixed to the Y-axis ball nut (not shown).

また、上記Ｙ軸アクチュエータ３１には駆動部カバ３７が設置されている。この駆動部カバ３７内には、図示しないＹ軸モータや、このＹ軸モータの出力軸に固着されたＹ軸モータ側タイミングプーリ（図示せず）や、上記図示しないＹ軸ボールネジの端部に固着されたＹ軸ボールネジ側タイミングプーリ（図示せず）、及び、上記Ｙ軸モータ側タイミングプーリやＹ軸ボールネジ側タイミングプーリ間に巻回された図示しないタイミングベルト等が備えられている。上記Ｙ軸モータが回転することにより、上記Ｙ軸モータ側タイミングプーリ、タイミングベルト、Ｙ軸ボールネジ側タイミングプーリを介して、上記Ｙ軸ボールネジが回転されることになる。   The Y-axis actuator 31 is provided with a drive unit cover 37. In the drive unit cover 37, a Y-axis motor (not shown), a Y-axis motor side timing pulley (not shown) fixed to the output shaft of the Y-axis motor, and an end of the Y-axis ball screw (not shown) are provided. A fixed Y-axis ball screw side timing pulley (not shown), a timing belt (not shown) wound between the Y-axis motor side timing pulley and the Y-axis ball screw side timing pulley, and the like are provided. When the Y-axis motor rotates, the Y-axis ball screw is rotated via the Y-axis motor side timing pulley, the timing belt, and the Y-axis ball screw side timing pulley.

また、上記ハウジング３３内には、上記Ｙ軸スライダ３５をガイドする図示しないガイド部材が設置されている。このガイド部材によって、上記Ｙ軸スライダ３５ひいてはＹ軸ボールナット（図示せず）が、上記Ｙ軸ボールネジの軸方向（図１中左上から右下に向かう方向、Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向）にガイドされながら移動されるようになっている。   A guide member (not shown) that guides the Y-axis slider 35 is installed in the housing 33. By this guide member, the Y-axis slider 35 and the Y-axis ball nut (not shown) are moved in the axial direction of the Y-axis ball screw (the direction from the upper left to the lower right in FIG. 1, the Y axis direction orthogonal to the X axis direction). ) To be moved while being guided.

また、上記ハウジング３３にはカバ３９が設置されている。このカバ３９は、上記ハウジング３３の開口部４１を閉塞するように配置されている。上記Ｙ軸スライダ３５はこのカバ３９を跨ぐように設置されている。   A cover 39 is installed in the housing 33. The cover 39 is disposed so as to close the opening 41 of the housing 33. The Y-axis slider 35 is installed so as to straddle the cover 39.

上記Ｙ軸スライダ３５には、Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６が設置されている。このＺ−Ｒ軸アクチュエータ３６は、次のような構成を成している。   The Y-axis slider 35 is provided with a Z-R axis actuator 36. The Z-R axis actuator 36 has the following configuration.

上記Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６にはハウジング４３が備えられている。このハウジング４３は、ガイド部４５とカバ部４７とから構成されている。
上記ガイド部４５は略Ｕ字形の断面形状を成しており、図２、図６、図７に示すように、その内側の幅方向（図６中紙面垂直方向）両側にはガイドレール４９、４９が設置されている。このガイドレール４９には長さ方向（図６中上下方向）に延長された凹部５１が形成されている。
また、上記ガイド部４５の長さ方向（図６中上下方向）両端側底部にはストッパ５３、５３が設置されている。上記ストッパ５３は、上記ストッパ５３を貫通されるボルト５５を上記ガイド部４５の底部に螺合することによって固定されている。 The Z-R axis actuator 36 is provided with a housing 43. The housing 43 includes a guide part 45 and a cover part 47.
The guide portion 45 has a substantially U-shaped cross section. As shown in FIGS. 2, 6, and 7, guide rails 49 are provided on both sides of the inner width direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 6). 49 is installed. The guide rail 49 has a recess 51 extending in the length direction (vertical direction in FIG. 6).
Further, stoppers 53 are provided at the bottoms on both ends of the guide portion 45 in the length direction (vertical direction in FIG. 6). The stopper 53 is fixed by screwing a bolt 55 penetrating the stopper 53 into the bottom of the guide portion 45.

また、上記カバ部４７は、図８に示すように、略Ｕ字形の断面形状を成しており、図２、図３に示すように、開口部としての２つのスリット５６、５６が形成されている。   Further, the cover portion 47 has a substantially U-shaped cross section as shown in FIG. 8, and two slits 56 and 56 as openings are formed as shown in FIGS. ing.

上記ハウジング４３の後端側（図６中上側）には、ベアリングケース５７が設置されている。上記ベアリングケース５７には貫通孔５９が形成されており、この貫通孔５９内には軸受６１、６１が内装されている。上記軸受６１は、外輪６３と、この外輪６３の内側に配置された内輪６５と、上記外輪６３と内輪６５との間に転動可能に設置された複数の鋼球６７と、これら鋼球６７を保持するリテイナ６９とから構成されている。
また、上記軸受６１、６１は、軸受押え７０によって押えられている。 A bearing case 57 is installed on the rear end side (upper side in FIG. 6) of the housing 43. A through hole 59 is formed in the bearing case 57, and bearings 61 and 61 are housed in the through hole 59. The bearing 61 includes an outer ring 63, an inner ring 65 disposed inside the outer ring 63, a plurality of steel balls 67 installed so as to roll between the outer ring 63 and the inner ring 65, and these steel balls 67. It is comprised from the retainer 69 which hold | maintains.
The bearings 61 and 61 are pressed by a bearing presser 70.

また、上記ハウジング４３の前端側（図６中下側）には、ベアリングケース７１が設置されている。上記ベアリングケース７１には貫通孔７３が形成されており、この貫通孔７３内には軸受７５、７５が内装されている。この軸受７５も、前述した軸受６１と同様に、外輪７７、内輪７９、複数の鋼球８１、リテイナ８３とから構成されている。
また、上記軸受７５、７５は軸受押え８４によって押えられている。 A bearing case 71 is provided on the front end side (lower side in FIG. 6) of the housing 43. A through hole 73 is formed in the bearing case 71, and bearings 75 and 75 are housed in the through hole 73. The bearing 75 is also composed of an outer ring 77, an inner ring 79, a plurality of steel balls 81, and a retainer 83, similarly to the bearing 61 described above.
The bearings 75 and 75 are pressed by a bearing press 84.

また、上記ハウジング４３内にはＺ軸ボールネジ８５が回転可能に設置されている。上記Ｚ軸ボールネジ８５の後端側は上記軸受６１、６１によって回転可能に支持されている。また、上記Ｚ軸ボールネジ８５の外周面には螺旋状の雄ネジ部８７が形成されている。   In the housing 43, a Z-axis ball screw 85 is rotatably installed. The rear end side of the Z-axis ball screw 85 is rotatably supported by the bearings 61 and 61. A spiral male screw portion 87 is formed on the outer peripheral surface of the Z-axis ball screw 85.

上記Ｚ軸ボールネジ８５にはＺ軸ボールナット８９が螺合・配置されている。このＺ軸ボールナット８９の内周面には螺旋状の雌ネジ部９１が形成されている。また、上記Ｚ軸ボールナット８９内には図示しない無負荷循環路が形成されている。また、上記Ｚ軸ボールナット８９の前後両端（図６中上下方向両端）にはエンドキャップ９３、９３が設置されており、これらエンドキャップ９３、９３にはそれぞれ図示しないリターン路が形成されている。そして、上記Ｚ軸ボールナット８９の雌ネジ部９１と上記Ｚ軸ボールネジ８５の雄ネジ部８７との間の空間（転動路）、上記無負荷循環路、及び、上記リターン路内には、複数の鋼球９５が転動・循環している。この鋼球９５によって、上記Ｚ軸ボールナット８９の移動が円滑なものとされる。   A Z-axis ball nut 89 is screwed and arranged on the Z-axis ball screw 85. A spiral female thread portion 91 is formed on the inner peripheral surface of the Z-axis ball nut 89. Further, a no-load circulation path (not shown) is formed in the Z-axis ball nut 89. Further, end caps 93 and 93 are provided at both front and rear ends (upper and lower ends in FIG. 6) of the Z-axis ball nut 89, and return paths (not shown) are formed in the end caps 93 and 93, respectively. . And in the space (rolling path) between the female threaded portion 91 of the Z-axis ball nut 89 and the male threaded portion 87 of the Z-axis ball screw 85, the unloaded circulation path, and the return path, A plurality of steel balls 95 are rolling and circulating. The steel ball 95 makes the Z-axis ball nut 89 move smoothly.

また、上記Ｚ軸ボールナット８９にはＺ軸スライダ９７が固着されている。このＺ軸スライダ９７には貫通孔９９が形成されており、この貫通孔９９の後端側（図６中上側）に上記Ｚ軸ボールナット８９が固着されている。   A Z-axis slider 97 is fixed to the Z-axis ball nut 89. A through-hole 99 is formed in the Z-axis slider 97, and the Z-axis ball nut 89 is fixed to the rear end side (upper side in FIG. 6) of the through-hole 99.

また、上記Ｚ軸スライダ９７の前後両端（図６中上下方向両端）の図６中紙面垂直方向奥側にはエンドキャップ１０１、１０１が設置されている。また、上記Ｚ軸スライダ９７の前後両端（図６中上下方向両端）の図６中紙面垂直方向手前側にも、図７に示すように、それぞれエンドキャップ１０１、１０１が設置されている。これらエンドキャップ１０１、１０１、１０１、１０１内にはそれぞれ図示しないリターン路が形成されている。   Further, end caps 101 and 101 are installed on the back side in the vertical direction in FIG. 6 of the front and rear ends of the Z-axis slider 97 (both ends in the vertical direction in FIG. 6). Further, as shown in FIG. 7, end caps 101 and 101 are also installed on the front side in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. Return paths (not shown) are formed in the end caps 101, 101, 101, 101, respectively.

また、上記Ｚ軸スライダ９７の幅方向両側（図６中紙面垂直方向両側）には凹部が形成された図示しないガイドレールが備えられている。また、上記Ｚ軸スライダ９７内には図６中紙面垂直方向奥側と図６中紙面垂直方向手前側それぞれに図示しない無負荷循環路が形成されている。   Further, guide rails (not shown) having recesses are provided on both sides in the width direction of Z-axis slider 97 (both sides in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 6). Further, in the Z-axis slider 97, unloaded circulation paths (not shown) are formed on the rear side in the vertical direction of the paper surface in FIG. 6 and on the front side in the vertical direction of the paper surface in FIG.

そして、図６中紙面垂直方向奥側において、上記Ｚ軸スライダ９７内の図示しない無負荷循環路と上記エンドキャップ１０１、１０１内のリターン路、及び、上記Ｚ軸ガイドレール４９の凹部５１と上記Ｚ軸スライダ９７の図示しないガイドレールの凹部との間の空間（転動路）内には、図示しない複数の鋼球が循環している。また、図６中紙面垂直方向手前側においても同様に、上記Ｚ軸スライダ９７内の図示しない無負荷循環路と上記エンドキャップ１０１、１０１内のリターン路、及び、上記Ｚ軸ガイドレール４９の凹部５１と上記Ｚ軸スライダ９７の図示しないガイドレールの凹部との間の空間（転動路）内に、図示しない複数の鋼球が循環している。   6, a no-load circulation path (not shown) in the Z-axis slider 97, a return path in the end caps 101, 101, a recess 51 in the Z-axis guide rail 49, and the above-mentioned A plurality of steel balls (not shown) circulate in the space (rolling path) between the Z-axis slider 97 and the recess of the guide rail (not shown). Similarly, on the front side in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 6, similarly, a no-load circulation path (not shown) in the Z-axis slider 97, a return path in the end caps 101 and 101, and a recess in the Z-axis guide rail 49. A plurality of steel balls (not shown) circulate in a space (rolling path) between 51 and the recess of the guide rail (not shown) of the Z-axis slider 97.

この図示しない複数の鋼球によって上記Ｚ軸スライダ９７の移動が円滑なものとなる。また、上記図示しない複数の鋼球とガイド部４５のＺ軸ガイドレール４９や上記Ｚ軸スライダ９７の図６中紙面垂直方向奥側の図示しないガイドレールとの相互作用、及び、上記図示しない複数の鋼球とガイド部４５の図示しないガイドレールや上記Ｚ軸スライダ９７の図６中紙面垂直方向手前側の図示しないガイドレールとの相互作用により、上記Ｚ軸スライダ９７ひいては上記Ｚ軸ボールナット８９のＺ軸ボールネジ８５軸心周りの回転が防止されている。そして、上記Ｚ軸ボールネジ８５の回転によって、上記Ｚ軸ボールナット８９やＺ軸スライダ９７が前後方向（図６中上下方向、Ｘ軸及びＹ軸に直交するＺ軸方向）に移動される。   The movement of the Z-axis slider 97 is smoothed by the plurality of steel balls (not shown). Further, the interaction between the plurality of steel balls (not shown) and the Z-axis guide rail 49 of the guide portion 45 and the guide rail (not shown) on the back side of the Z-axis slider 97 in the vertical direction in FIG. Due to the interaction between the steel ball and the guide rail (not shown) of the guide portion 45 and the guide rail (not shown) on the front side of the Z-axis slider 97 in the vertical direction in FIG. The rotation about the axis of the Z-axis ball screw 85 is prevented. Then, by the rotation of the Z-axis ball screw 85, the Z-axis ball nut 89 and the Z-axis slider 97 are moved in the front-rear direction (the vertical direction in FIG. 6, the Z-axis direction orthogonal to the X-axis and the Y-axis).

また、例えば、図８に示すように、上記Ｚ軸スライダ９７の反ガイド部４５側（図８中左側）には、取付対象物固定部１０２、１０２が突出・形成されている。これら取付対象物固定部１０２、１０２は、カバ部４７のスリット２６、２６を貫通して、ハウジング４３外部へと突出・配置されている。すなわち、上記Ｚ軸スライダ９７の一部が、上記スリット２６、２６を貫通して、上記ハウジング４３の外部に露出されている。
また、図２に示すように、上記取付対象物固定部１０２、１０２には、複数（この一実施の形態の場合には、１つの上記取付対象物固定部１０２につき２つ）の位置決め用穴１０２ａ、１０２ａと、複数（この一実施の形態の場合には、１つの上記取付対象物固定部１０２につき３つ）の雌ネジ部１０２ｂ、１０２ｂ、１０２ｂが形成されている。 For example, as shown in FIG. 8, attachment object fixing portions 102, 102 protrude and are formed on the side of the Z-axis slider 97 opposite to the guide portion 45 (left side in FIG. 8). These attachment target fixing parts 102 and 102 pass through the slits 26 and 26 of the cover part 47 and project and be arranged outside the housing 43. That is, a part of the Z-axis slider 97 passes through the slits 26 and 26 and is exposed to the outside of the housing 43.
Further, as shown in FIG. 2, the mounting object fixing portions 102, 102 include a plurality of positioning holes (two in the case of this embodiment, one per mounting object fixing portion 102). A plurality of female screw portions 102b, 102b, 102b (in the case of this embodiment, three per one attachment target fixing portion 102) are formed.

また、上記Ｚ軸スライダ９７の貫通孔９９の前端側（図６中下側）には、軸受１０３、１０３が内装されている。これら軸受１０３、１０３も、前述した軸受６１と同様に、外輪１０５、内輪１０７、複数の鋼球１０９、リテイナ１１１とから構成されている。
また、上記軸受１０３、１０３は軸受押え１１２によって押えられている。 In addition, bearings 103 are provided on the front end side (the lower side in FIG. 6) of the through hole 99 of the Z-axis slider 97. These bearings 103 and 103 are also composed of an outer ring 105, an inner ring 107, a plurality of steel balls 109, and a retainer 111, similarly to the bearing 61 described above.
The bearings 103 and 103 are pressed by a bearing press 112.

上記Ｚ軸スライダ９７には、中空ロッド１１３が回転可能に設置されている。この中空ロッド１１３は、その後端側（図６中上側）を上記Ｚ軸スライダ９７の軸受１０３、１０３によって回転可能に支持されている。上記中空ロッド１１３の内側には中空部１１５が形成されており、この中空部１１５内部に上記Ｚ軸ボールネジ８５が収容・配置されている。
また、この中空ロッド１１３は、いわゆる、スプラインシャフトでもあり、外周側には、図３、図８に示すように、長さ方向（図３中上下方向）に延長された、４本のスプライン溝１１７、１１７、１１７、１１７が形成されている。 A hollow rod 113 is rotatably installed on the Z-axis slider 97. The hollow rod 113 is rotatably supported at its rear end side (upper side in FIG. 6) by the bearings 103 and 103 of the Z-axis slider 97. A hollow portion 115 is formed inside the hollow rod 113, and the Z-axis ball screw 85 is accommodated and disposed in the hollow portion 115.
The hollow rod 113 is also a so-called spline shaft. On the outer peripheral side, as shown in FIGS. 3 and 8, four spline grooves extended in the length direction (vertical direction in FIG. 3). 117, 117, 117, 117 are formed.

また、図６に示すように、上記中空ロッド１１３の外周面にはスプラインナット１１９が設置されていて、これら中空ロッド１１３とスプラインナット１１９は、軸方向に対しては相互に移動可能な状態にあり、回転方向に対しては相互に拘束された状態にある。このスプラインナット１１９はフランジ付の円筒形状を成しており、図９に示すように、内周面には長さ方向（図９中紙面垂直方向）に延長された４本のスプライン溝１２１、１２１、１２１、１２１が形成されている。   Further, as shown in FIG. 6, a spline nut 119 is installed on the outer peripheral surface of the hollow rod 113, and the hollow rod 113 and the spline nut 119 are movable relative to each other in the axial direction. Yes, the rotational directions are mutually constrained. This spline nut 119 has a cylindrical shape with a flange, and as shown in FIG. 9, four spline grooves 121 extending in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 9) are formed on the inner peripheral surface. 121, 121, 121 are formed.

また、上記スプラインナット１１９の内部には、図９に示すように、上記スプライン溝１２１、１２１の前端側（図９中紙面垂直方向手前側）と後端側（図９中紙面垂直方向奥側）に連通された無負荷循環路１２３、１２３が形成されている。また、上記中空ロッド１１３のスプライン溝１１７と上記スプラインナット１１９の内周面のスプライン溝１２１との間の空間（転動路）と上記スプラインナット１１９の無負荷循環路１２３の前端側（図９中紙面垂直方向手前側）と後端側（図９中紙面垂直方向奥側）は、それぞれ図示しないリターン路によって連通されている。   Further, as shown in FIG. 9, the spline nuts 119 have a front end side (front side in the vertical direction in FIG. 9) and a rear end side (rear side in the vertical direction in FIG. 9). No-load circulation paths 123 and 123 communicated with each other) are formed. Further, a space (rolling path) between the spline groove 117 of the hollow rod 113 and the spline groove 121 on the inner peripheral surface of the spline nut 119 and the front end side of the unloaded circulation path 123 of the spline nut 119 (FIG. 9). The front side in the vertical direction in the middle sheet surface) and the rear end side (the rear side in the vertical direction in the middle sheet in FIG. 9) are communicated with each other by a return path (not shown).

この一実施の形態の場合には、上記無負荷循環路と上記リターン路が設けられた図示しない保持部材が上記スプラインナット１１９に４つ内装されている構成になっている。
なお、リターン路を備えたリターンキャップを両端に設置して、上記中空ロッド１１３のスプライン溝１１７と上記スプラインナット１１９の内周面のスプライン溝１２１との間の空間（転動路）と上記無負荷循環路１２３とを連通させる構成であってもよい。 In the case of this embodiment, the spline nut 119 has four holding members (not shown) provided with the no-load circulation path and the return path.
Return caps having return paths are installed at both ends, and the space (rolling path) between the spline groove 117 of the hollow rod 113 and the spline groove 121 on the inner peripheral surface of the spline nut 119 and the above-mentioned non-return path. The structure which connects the load circuit 123 may be sufficient.

また、上記中空ロッド１１３のスプライン溝１１７と上記スプラインナット１１９の内周面のスプライン溝１２１との間の空間（転動路）、上記リターン路、及び、上記スプラインナット１１９の無負荷循環路１２３内には複数の鋼球１２５が転動・循環している。この複数の鋼球１２５の転動・循環により、上記中空ロッド１１３の上記スプライン溝１１７に沿った移動、すなわち、Ｚ軸方向への円滑な移動が保障される。   Further, the space (rolling path) between the spline groove 117 of the hollow rod 113 and the spline groove 121 on the inner peripheral surface of the spline nut 119, the return path, and the no-load circulation path 123 of the spline nut 119. A plurality of steel balls 125 roll and circulate inside. The rolling and circulation of the plurality of steel balls 125 ensures the movement of the hollow rod 113 along the spline groove 117, that is, smooth movement in the Z-axis direction.

また、上記中空ロッド１１３の先端（図６中下端）には、取付部１２７が設置されている。この取付部１２７には取付対象物が取り付けられる。この一実施の形態では、後述するように、上記取付部１２７に、取付用フレーム３４ａを介して、半田ごて３４ｂが取り付けられる。
また、この取付部１２７には、その他にも、工具等の各種作業具が取り付けられる場合が考えられる。 A mounting portion 127 is installed at the tip (lower end in FIG. 6) of the hollow rod 113. An attachment object is attached to the attachment portion 127. In this embodiment, as will be described later, a soldering iron 34b is attached to the attachment portion 127 via an attachment frame 34a.
In addition to this, it is conceivable that various working tools such as tools can be attached to the attachment portion 127.

また、上記ハウジング４３の後端側（図６中上側）には、上記Ｚ軸ボールネジ８５を回転・駆動するためのＺ軸モータユニット１２９がブラケット１３１を介して設置されている。
上記Ｚ軸モータユニット１２９には、まず、Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３が備えられている。このＺ軸ボールネジ用モータ１３３は、モータハウジング１３５と、このモータハウジング１３５の内周面側に設置されたステータ１３７と、このステータ１３７の内側に回転可能に配置されたロータ１３９と、上記モータハウジング１３５の前後側に突出されると共に上記ロータ１３９が固着され、上記モータハウジング１３５内に回転可能に設けられた出力軸１４１とから構成されている。 A Z-axis motor unit 129 for rotating and driving the Z-axis ball screw 85 is installed on the rear end side of the housing 43 (upper side in FIG. 6) via a bracket 131.
First, the Z-axis motor unit 129 is provided with a Z-axis ball screw motor 133. The Z-axis ball screw motor 133 includes a motor housing 135, a stator 137 installed on the inner peripheral surface side of the motor housing 135, a rotor 139 rotatably disposed inside the stator 137, and the motor housing. The rotor 139 is fixed to the front and rear sides of the motor housing 135, and an output shaft 141 is rotatably provided in the motor housing 135.

また、上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の後端側（図６中下側）には、エンコーダ１４３が設置されている。このエンコーダ１４３には、上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の出力軸１４１の後端側（図６中下側）に固着されるとともに図示しないスケールが設けられたエンコーダホイール１４５と、このエンコーダホイール１４５の後方側（図６中下側）に設置されるとともに上記エンコーダホイール１４５に光を照射する図示しない発光部や上記エンコーダホイール１４５による反射光を検出する図示しないセンサ等の電子部品が実装された基板１４７が備えられている。また、上記エンコーダホイール１４５や上記基板１４７は、上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の後端側（図６中後側）に取り付けられたエンコーダカバ１４９によって覆われている。   An encoder 143 is installed on the rear end side (lower side in FIG. 6) of the Z-axis ball screw motor 133. The encoder 143 has an encoder wheel 145 fixed to the rear end side (lower side in FIG. 6) of the output shaft 141 of the Z-axis ball screw motor 133 and provided with a scale (not shown), and the encoder wheel 145 A board mounted on the rear side (lower side in FIG. 6) and mounted with electronic components such as a light emitting unit (not shown) that irradiates light to the encoder wheel 145 and a sensor (not shown) that detects reflected light from the encoder wheel 145 147 is provided. The encoder wheel 145 and the substrate 147 are covered with an encoder cover 149 attached to the rear end side (rear side in FIG. 6) of the Z-axis ball screw motor 133.

上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の出力軸１４１が回転されると、上記基板１４７上の図示しないセンサによって検出される上記エンコーダホイール１４５による反射光の強度が変化し、これにより上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の回転を検出する。   When the output shaft 141 of the Z-axis ball screw motor 133 is rotated, the intensity of the reflected light from the encoder wheel 145 detected by a sensor (not shown) on the substrate 147 changes, whereby the Z-axis ball screw motor is changed. 133 rotation is detected.

また、上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の前端側（図６中上側）には、ベアリングケース１５１が備えられている。このベアリングケース１５１は、上部ケース１５３と下部ケース１５５とから構成されている。   A bearing case 151 is provided on the front end side (upper side in FIG. 6) of the Z-axis ball screw motor 133. The bearing case 151 includes an upper case 153 and a lower case 155.

上記上部ケース１５３には貫通孔１５７が形成されている。この貫通孔１５７の前端側（図６中上側）には軸受１５９、１５９が内装されている。この軸受１５９も、前述した軸受６１と同様に、外輪１６１、内輪１６３、複数の鋼球１６５、リテイナ１６７とから構成されている。
また、上記軸受１５９、１５９は軸受押え１６８によって押えられている。 A through hole 157 is formed in the upper case 153. Bearings 159 and 159 are provided on the front end side (upper side in FIG. 6) of the through hole 157. This bearing 159 also includes an outer ring 161, an inner ring 163, a plurality of steel balls 165, and a retainer 167, similarly to the bearing 61 described above.
Further, the bearings 159 and 159 are pressed by a bearing presser 168.

また、上記貫通孔１５７の後端側（図６中下側）には電磁ブレーキ１６９が内装されている。この電磁ブレーキ１６９には、本体１７１と、この本体１７１を貫通するとともに上記軸受１５９によって回転可能に支持された電磁ブレーキ回転軸１７３が備えられている。そして、この電磁ブレーキ回転軸１７３には略円板状のブレーキ板１７５が固着されている。   Further, an electromagnetic brake 169 is built in the rear end side (the lower side in FIG. 6) of the through hole 157. The electromagnetic brake 169 includes a main body 171 and an electromagnetic brake rotating shaft 173 that penetrates the main body 171 and is rotatably supported by the bearing 159. A substantially disc-shaped brake plate 175 is fixed to the electromagnetic brake rotating shaft 173.

上記本体１７１内には電磁石１７７が内装されている。また、上記本体１７１には複数（本実施の形態の場合には３本）のネジ１７９が立設されており、このネジ１７９と上記電磁ブレーキ回転軸１７３を貫通するアーマチュア１８１とサイドプレート１８３が設置されている。上記ブレーキ板１７５は上記アーマチュア１８１と上記サイドプレート１８３との間に配置されている。   An electromagnet 177 is housed inside the main body 171. The main body 171 is provided with a plurality of (three in this embodiment) screws 179, and an armature 181 and a side plate 183 penetrating the screws 179, the electromagnetic brake rotating shaft 173, and the like. is set up. The brake plate 175 is disposed between the armature 181 and the side plate 183.

また、上記本体１７１内には上記電磁ブレーキ回転軸１７３に貫通されたコイルバネ１８５が設置されている。また、上記本体１７１の先端側（図６中上側）にはバネ押え１８４が設置されており、上記コイルバネ１８５は上記バネ押え１８４と上記アーマチュア１８１との間に介挿されている。   A coil spring 185 penetrating the electromagnetic brake rotating shaft 173 is installed in the main body 171. Further, a spring retainer 184 is installed on the distal end side (upper side in FIG. 6) of the main body 171, and the coil spring 185 is interposed between the spring retainer 184 and the armature 181.

上記アーマチュア１８１は、常時は上記コイルバネ１８５の弾性力によって図６中下側に付勢されている。このときは、上記アーマチュア１８１は上記ブレーキ板１７５に押し付けられており、上記電磁ブレーキ回転軸１７３の回転が規制されている。しかし、上記電磁石１７７に通電を行うと、上記コイルバネ１８５の弾性力に抗して上記アーマチュア１８１が図６中上側に移動し、上記アーマチュア１８１と上記ブレーキ板１７５との接触が解除される。これにより、上記電磁ブレーキ回転軸１７３の回転の規制が解除される。   The armature 181 is normally urged downward in FIG. 6 by the elastic force of the coil spring 185. At this time, the armature 181 is pressed against the brake plate 175, and the rotation of the electromagnetic brake rotating shaft 173 is restricted. However, when the electromagnet 177 is energized, the armature 181 moves upward in FIG. 6 against the elastic force of the coil spring 185, and the contact between the armature 181 and the brake plate 175 is released. Thereby, the restriction | limiting of the rotation of the said electromagnetic brake rotating shaft 173 is cancelled | released.

また、上記下部ケース１５５には貫通孔１８７が形成されている。この貫通孔１８７内には上記電磁ブレーキ回転軸１７３の後端部（図６中下側部分）が配置されている。
上記電磁ブレーキ回転軸１７３と上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の出力軸１７１とは、上記下部ケース１５５の貫通孔１８７内において、カップリング１８８によって連結されている。 The lower case 155 is formed with a through hole 187. A rear end portion (lower portion in FIG. 6) of the electromagnetic brake rotating shaft 173 is disposed in the through hole 187.
The electromagnetic brake rotating shaft 173 and the output shaft 171 of the Z-axis ball screw motor 133 are connected by a coupling 188 in the through hole 187 of the lower case 155.

また、上記電磁ブレーキ回転軸１７３の前端側（図６上側部分）には、Ｚ軸モータ側タイミングプーリ１８９が固着されているとともに、Ｚ軸ボールネジ８５の後端側（図６中上側）にはＺ軸ボールネジ側タイミングプーリ１９１が固着されている。このＺ軸モータ側タイミングプーリ１８９とＺ軸ボールネジ側タイミングプーリ１９１との間にはタイミングベルト１９３が巻回され、上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の出力軸１４１の回転が上記Ｚ軸ボールネジ８５へと伝達される。   Further, a Z-axis motor side timing pulley 189 is fixed to the front end side (upper part in FIG. 6) of the electromagnetic brake rotating shaft 173, and on the rear end side (upper side in FIG. 6) of the Z-axis ball screw 85. A Z-axis ball screw side timing pulley 191 is fixed. A timing belt 193 is wound between the Z-axis motor side timing pulley 189 and the Z-axis ball screw side timing pulley 191, and the rotation of the output shaft 141 of the Z-axis ball screw motor 133 is transferred to the Z-axis ball screw 85. Communicated.

また、上記下部ケース１５５は、下部ケース１５５を貫通し、上記上部ケース１５３に螺合されるボルト１９５、１９５、１９５、１９５によって固定されている。
なお、図１に示すように、上記Ｚ軸モータユニット１２９、Ｚ軸モータ側タイミングプーリ１８９、及び、Ｚ軸ボールネジ側タイミングプーリ１９１は駆動部カバ１９７によって覆われている。 The lower case 155 passes through the lower case 155 and is fixed by bolts 195, 195, 195, and 195 that are screwed into the upper case 153.
As shown in FIG. 1, the Z-axis motor unit 129, the Z-axis motor side timing pulley 189, and the Z-axis ball screw side timing pulley 191 are covered with a drive unit cover 197.

また、ハウジング４３の前端側（図６中下側）のベアリングケース７１には、ブラケット１９９を介して、中空ロッド用モータユニット２０１が設置されている。
まず、この中空ロッド用モータユニット２０１には、中空ロッド用モータ２０３が備えられている。
この中空ロッド用モータ２０３は、モータハウジング２０５と、このモータハウジング２０５の内周面側に設置されたステータ２０７と、このステータ２０７の内側に配置されたロータ２０９と、上記モータハウジング２０５の前後側に突出されると共に上記ロータ２０９が固着され、上記モータハウジング２０５内に回転可能に設けられた出力軸２１１とから構成されている。 A hollow rod motor unit 201 is installed in a bearing case 71 on the front end side (lower side in FIG. 6) of the housing 43 via a bracket 199.
First, the hollow rod motor unit 201 is provided with a hollow rod motor 203.
The hollow rod motor 203 includes a motor housing 205, a stator 207 installed on the inner peripheral surface side of the motor housing 205, a rotor 209 disposed inside the stator 207, and the front and rear sides of the motor housing 205. The rotor 209 is fixed and the output shaft 211 is rotatably provided in the motor housing 205.

また、上記中空ロッド用モータ２０３の後端側（図６中上側）には、エンコーダ２１３が設置されている。このエンコーダ２１３には、上記中空ロッド用モータ２０３の出力軸２１１の後端側（図６中上側）に固着されるとともに図示しないスケールが設けられたエンコーダホイール２１５と、このエンコーダホイール２１５の後方側（図６中上側）に設置されるとともに上記エンコーダホイール２１５に光を照射する図示しない発光部や上記エンコーダホイール２１５による反射光を検出する図示しないセンサ等の電子部品が実装された基板２１７が備えられている。また、上記エンコーダホイール２１５や上記基板２１７は、上記中空ロッド用モータ２０３の後端側（図６中上側）に取り付けられたエンコーダカバ２１９によって覆われている。
なお、この一実施の形態の場合は、上記エンコーダ２１３として、インクリメンタル方式のエンコーダが用いられている。 An encoder 213 is installed on the rear end side (upper side in FIG. 6) of the hollow rod motor 203. The encoder 213 is fixed to the rear end side (upper side in FIG. 6) of the output shaft 211 of the hollow rod motor 203 and is provided with a scale (not shown), and the rear side of the encoder wheel 215. (A top side in FIG. 6) and a substrate 217 on which electronic components such as a light emitting unit (not shown) for irradiating light to the encoder wheel 215 and a sensor (not shown) for detecting reflected light from the encoder wheel 215 are mounted. It has been. The encoder wheel 215 and the substrate 217 are covered with an encoder cover 219 attached to the rear end side (upper side in FIG. 6) of the hollow rod motor 203.
In the case of this embodiment, an incremental encoder is used as the encoder 213.

上記中空ロッド用モータユニット２０１の前端側（図６中下側）には、ベアリングケース２２１が備えられている。このベアリングケース２２１には貫通孔２２３が形成されており、この貫通孔２２３内には軸受２２５、２２５が内装されている。この軸受２２５も、前述した軸受６１と同様に、外輪２２７、内輪２２９、複数の鋼球２３１、リテイナ２３３とから構成されている。
また、上記軸受２２５、２２５は軸受押え２３４によって押えられている。 A bearing case 221 is provided on the front end side (lower side in FIG. 6) of the hollow rod motor unit 201. A through hole 223 is formed in the bearing case 221, and bearings 225 and 225 are housed in the through hole 223. This bearing 225 is also composed of an outer ring 227, an inner ring 229, a plurality of steel balls 231, and a retainer 233, similarly to the bearing 61 described above.
The bearings 225 and 225 are pressed by a bearing presser 234.

上記中空ロッド用モータ２０３の出力軸２１１にはタイミングプーリ取付軸２３５が連結されている。このタイミングプーリ取付軸２３５は上記軸受２２５、２２５に回転可能に支持されている。
また、上記タイミングプーリ取付軸２３５の前端側（図６中下側）には中空ロッド用モータ側タイミングプーリ２３７が固着されている。 A timing pulley mounting shaft 235 is connected to the output shaft 211 of the hollow rod motor 203. The timing pulley mounting shaft 235 is rotatably supported by the bearings 225 and 225.
A hollow rod motor side timing pulley 237 is fixed to the front end side (lower side in FIG. 6) of the timing pulley mounting shaft 235.

また、スプラインナット１１９には、中空ロッド側タイミングプーリ２３９が固着されている。この中空ロッド側タイミングプーリ２３９と上記中空ロッド用モータ側タイミングプーリ２３７にはタイミングベルト２４１が巻回されており、上記中空ロッド用モータ２０３の出力軸２１１の回転が中空ロッド１１３に伝達されるようになっている。上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９は、上記スプラインナット１１９のフランジ部２４３を貫通し上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９に螺合されるボルト２４５、２４５、２４５、２４５によって固定されている。   A hollow rod side timing pulley 239 is fixed to the spline nut 119. A timing belt 241 is wound around the hollow rod side timing pulley 239 and the hollow rod motor side timing pulley 237 so that the rotation of the output shaft 211 of the hollow rod motor 203 is transmitted to the hollow rod 113. It has become. The hollow rod side timing pulley 239 is fixed by bolts 245, 245, 245, 245 that pass through the flange portion 243 of the spline nut 119 and are screwed into the hollow rod side timing pulley 239.

また、スプラインナット１１９は中空ロッド側タイミングプーリ２３９を介して軸受７５、７５によって回転可能に支持されるとともに、上記中空ロッド１１３に鋼球１２５を介して回転方向に対して相互に拘束された状態で取り付けられている。そのため、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９の回転により上記中空ロッド１１３はＺ軸心周りに回転される。   The spline nut 119 is rotatably supported by the bearings 75 and 75 via the hollow rod side timing pulley 239 and is also constrained by the hollow rod 113 with respect to the rotational direction via the steel ball 125. It is attached with. Therefore, the hollow rod 113 is rotated around the Z axis by the rotation of the hollow rod side timing pulley 239.

また、上記スプラインナット１１９の近傍にはセンサ２４９が配置されている。このセンサ２４９は、例えば、上記中空ロッド１１３をＺ軸心周りの回転について原点復帰動作を行った際、上記中空ロッド１１３の回転角度が原点に戻っているか否かを確認するためのものである。   A sensor 249 is disposed in the vicinity of the spline nut 119. This sensor 249 is for confirming, for example, whether or not the rotation angle of the hollow rod 113 has returned to the origin when the hollow rod 113 is returned to the origin with respect to the rotation about the Z axis. .

また、上記中空ロッド１１３の取付部１２７には、円板状の半田ごて用取付フレーム２６１が固着されている。また、この半田ごて用取付フレーム２６１の外周部には、Ｚ軸方向下側（図１中下側）にＺ軸（図１中上下方向の軸、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する軸）に対して傾斜された状態で、半田ごて２６３が設置されている。この半田ごて２６３は、上記中空ロッド１１３の移動によりＺ軸方向（図１中上下方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向）へ移動されるとともに、上記中空ロッド１１３の回転によりその向きが適宜変更される。また、この半田ごて２６３によって、パレット２５上の基板２６に対して半田付けを行う。   A disk-shaped soldering iron mounting frame 261 is fixed to the mounting portion 127 of the hollow rod 113. Further, on the outer periphery of the soldering iron mounting frame 261, the Z axis (the vertical axis in FIG. 1, the X axis direction, and the Y axis direction is orthogonal to the Z axis direction lower side (lower side in FIG. 1). A soldering iron 263 is installed in an inclined state with respect to the axis. The soldering iron 263 is moved in the Z-axis direction (the vertical direction in FIG. 1, the direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction) by the movement of the hollow rod 113, and the rotation of the hollow rod 113 The direction is changed as appropriate. Further, the soldering iron 263 is used to solder the substrate 26 on the pallet 25.

また、前述したようにＺ軸スライダ９７の取付対象物固定部１０２、１０２は、カバ部４７のスリット２６、２６を貫通して、ハウジング４３外部へと突出・配置されているが、上記取付対象物固定部１０２、１０２には、カメラ用取付フレーム２６５を介してカメラ２６７が設置されている。上記取付対象物固定部１０２の位置決め用穴１０２ａは、上記カメラ用取付フレーム２６５に形成された図示しないボスが挿入され、上記Ｚ軸スライダ９７に対する上記カメラ用取付フレーム２６５の位置決めが行われる。また、図示しない固定ねじを上記カメラ用取付フレーム２６５の図示しない貫通孔を貫通させて上記雌ネジ部１０２ｂに螺合させ、それによって、上記カメラ用取付フレーム２６５を上記Ｚ軸スライダ９７に対して固定する。また、上記カメラ２６７によって、上記半田ごて２６３による半田付け作業が終了した基板２６を撮像し、半田付け作業が適切に行われているか否かを確認する。   Further, as described above, the attachment target fixing portions 102 and 102 of the Z-axis slider 97 pass through the slits 26 and 26 of the cover portion 47 and protrude and be arranged outside the housing 43. A camera 267 is installed on the object fixing portions 102 and 102 via a camera mounting frame 265. A boss (not shown) formed in the camera mounting frame 265 is inserted into the positioning hole 102 a of the mounting object fixing portion 102, and the camera mounting frame 265 is positioned with respect to the Z-axis slider 97. Further, a fixing screw (not shown) passes through a through hole (not shown) of the camera mounting frame 265 and is screwed into the female screw portion 102b, whereby the camera mounting frame 265 is attached to the Z-axis slider 97. Fix it. Further, the camera 267 takes an image of the board 26 on which the soldering work by the soldering iron 263 is completed, and confirms whether or not the soldering work is properly performed.

また、図７、図１０に示すように、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９の外周面には、ロッド側ストッパ２７１が設置されている。このロッド側ストッパ２７１の基端側（図７中右側）には、雄ネジ部２７３が形成されているとともに、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９には、雌ネジ部２７５が形成されており、上記ロッド側ストッパ２７１の雄ネジ部２７３が上記雌ネジ部２７５に螺合されることにより、上記ロッド側ストッパ２７１が上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９に着脱可能に取り付けられている。
また、図１０に示すように、上記ロッド側ストッパ２７１には、弾性材料からなる緩衝材２７１ａが被冠されている。 Further, as shown in FIGS. 7 and 10, a rod-side stopper 271 is installed on the outer peripheral surface of the hollow rod-side timing pulley 239. A male screw part 273 is formed on the base end side (right side in FIG. 7) of the rod side stopper 271, and a female screw part 275 is formed on the hollow rod side timing pulley 239. The rod-side stopper 271 is detachably attached to the hollow rod-side timing pulley 239 by screwing the male screw portion 273 of the rod-side stopper 271 into the female screw portion 275.
As shown in FIG. 10, the rod side stopper 271 is covered with a cushioning material 271a made of an elastic material.

また、前述したように、上記ロッド側ストッパ２７１が設置されている上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９はスプラインナット１１９に固着されており、上記中空ロッド１１３は上記スプラインナット１１９に対して軸方向に対しては相互に移動可能な状態にあるが、回転方向に対しては相互に拘束された状態にある。そのため、上記ロッド側ストッパ２７１は、上記中空ロッド１１３のＺ軸心周りの回転に伴う上記スプラインナット１１９と上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９のＺ軸心周りの回転により、上記中空ロッド１１３の外周側の円形の軌道上を移動することになる。   Further, as described above, the hollow rod side timing pulley 239 provided with the rod side stopper 271 is fixed to the spline nut 119, and the hollow rod 113 is in the axial direction with respect to the spline nut 119. Although they are movable with respect to each other, they are constrained with respect to the rotational direction. Therefore, the rod-side stopper 271 is formed on the outer peripheral side of the hollow rod 113 by the rotation of the spline nut 119 and the hollow rod-side timing pulley 239 around the Z-axis along with the rotation of the hollow rod 113 around the Z-axis. It moves on the circular orbit.

また、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９の外周側であって、上記ロッド側ストッパ２７１より図７中上側には、樹脂製の滑り軸受け部材２７６を介して回転部材２７７が設置されている。この回転部材２７７は、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９に対して回転可能となっている。
図１０に示すように、上記回転部材２７７の上記ロッド側ストッパ２７１側（図１０中紙面垂直方向手前側）には、回転部材側第１ストッパ２７９が設置されている。この回転部材側第１ストッパ２７９の基端側（図１０中紙面垂直方向奥側）には図示しない雄ネジ部が形成されているとともに、上記回転部材２７７には図示しない雌ネジ部が形成されている。上記回転部材側第１ストッパ２７９の雄ネジ部を上記回転部材２７７の図示しない雌ネジ部に螺合することにより、上記回転部材側第１ストッパ２７９が上記回転部材２７７に対して着脱可能に取り付けられる。
また、図１０に示すように、上記回転部材側第１ストッパ２７９には、弾性部材からなる緩衝材２７９ａが被冠されている。 Further, a rotating member 277 is installed on the outer peripheral side of the hollow rod side timing pulley 239 and above the rod side stopper 271 in FIG. 7 via a resin-made sliding bearing member 276. The rotating member 277 is rotatable with respect to the hollow rod side timing pulley 239.
As shown in FIG. 10, a rotating member side first stopper 279 is provided on the rotating member 277 on the rod side stopper 271 side (front side in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 10). A male screw portion (not shown) is formed on the base end side (the rear side in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 10) of the rotating member side first stopper 279, and a female screw portion (not shown) is formed on the rotating member 277. ing. The rotary member side first stopper 279 is detachably attached to the rotary member 277 by screwing the male screw portion of the rotary member side first stopper 279 with a female screw portion (not shown) of the rotary member 277. It is done.
Further, as shown in FIG. 10, the rotating member side first stopper 279 is covered with a cushioning material 279a made of an elastic member.

また、図７、図１０に示すように、上記回転部材２７７の反ロッド側ストッパ２７１側（図７中上側、図１０中紙面垂直方向奥側）であって、上記回転部材側第１ストッパ２７９に対して１８０°隔たった位置には、回転部材側第２ストッパ２８１が設置されている。この回転部材側第２ストッパ２８１の基端側（図７中下側、図１０中紙面垂直方向手前側）には雄ネジ部２８３が形成されているとともに、上記回転部材２７７には雌ネジ部２８５が形成されていて、上記回転部材側第２ストッパ２８１の雄ネジ部２８３を上記雌ネジ部２８５に螺合させることにより、上記回転部材側第２ストッパ２８１が上記回転部材２７７に対して着脱可能に取り付けられている。
また、上記回転部材側第２ストッパ２８１にも、弾性材料からなる緩衝材２８１ａが被冠されている。 Further, as shown in FIGS. 7 and 10, the rotating member 277 is located on the side opposite to the rod side stopper 271 (the upper side in FIG. 7 and the rear side in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 10). The rotary member side second stopper 281 is installed at a position 180 ° away from the rotary member side. A male screw portion 283 is formed on the base end side of the rotating member side second stopper 281 (the lower side in FIG. 7, the front side in the direction perpendicular to the paper in FIG. 10), and the rotating member 277 has a female screw portion. 285 is formed, and the rotating member side second stopper 281 is attached to and detached from the rotating member 277 by screwing the male screw part 283 of the rotating member side second stopper 281 with the female screw part 285. It is attached as possible.
The rotating member side second stopper 281 is also crowned with a cushioning material 281a made of an elastic material.

上記回転部材２７７は、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９が回転され、上記ロッド側ストッパ２７１が上記回転部材側第１ストッパ２７９に当接されると、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９によって付勢され、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９の回転方向と同方向に回転される。また、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９の回転方向によって、上記回転部材側第１ストッパ２７９は、図１１（ａ）に示すように、２つの方向（図１１（ａ）中上側及び下側）から、上記ロッド側ストッパ２７１により当接される。   The rotating member 277 is urged by the hollow rod side timing pulley 239 when the hollow rod side timing pulley 239 is rotated and the rod side stopper 271 is brought into contact with the rotating member side first stopper 279. The hollow pulley side timing pulley 239 is rotated in the same direction as the rotation direction. Further, depending on the direction of rotation of the hollow rod side timing pulley 239, the rotating member side first stopper 279 is moved from two directions (upper side and lower side in FIG. 11 (a)) as shown in FIG. 11 (a). The rod side stopper 271 makes contact.

このような構成により、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９ひいては上記中空ロッド１１３は、上記回転部材２７７に対して、ロッド側ストッパ２７１が上記回転部材２７７の回転部材側第１ストッパ２７９に当接するまで回転することができる。本実施の形態の場合は、図１１（ａ）に示すように、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９（中空ロッド１１３）は、上記回転部材２７７に対して３４０°回転できるようになっている。
なお、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９（中空ロッド１１３）の上記回転部材２７７に対する回転可能な角度は、例えば、上記回転部材側第１ストッパ２７９の大きさによって設定される。 With this configuration, the hollow rod side timing pulley 239 and thus the hollow rod 113 rotate with respect to the rotating member 277 until the rod side stopper 271 contacts the rotating member side first stopper 279 of the rotating member 277. can do. In the case of the present embodiment, as shown in FIG. 11A, the hollow rod side timing pulley 239 (hollow rod 113) can be rotated 340 ° with respect to the rotating member 277.
The rotatable angle of the hollow rod side timing pulley 239 (hollow rod 113) with respect to the rotating member 277 is set by the size of the rotating member side first stopper 279, for example.

また、図７、図１０に示すように、ベアリングケース７１の先端側の面（図７中下側の面、図１０中紙面垂直方向手前側の面）には、回転範囲規制部材２８７が着脱可能に設置されている。この回転範囲規制部材２８７は、略コの字型の形状を成しており、その両端には第１回転規制部２８８、第２回転規制部２９０がそれぞれ設けられている。上記回転部材側第２ストッパ２８１は、上記回転範囲規制部材２８７の内側に配置されている。すなわち、上記回転範囲規制部材２８７の上記第１回転規制部２８８、第２回転規制部２９０は、上記回転部材側第２ストッパ２８１の軌道上に位置している。そのため、上記回転部材２７７は、上記回転部材側第２ストッパ２８１が上記回転範囲規制部材２８７の第１回転規制部２８８（図１１（ｂ）中上側）又は上記回転範囲規制部材２８７の第２回転規制部２９０（図１１（ｃ）中下側）に当接される範囲内で回転可能に構成されている。この一実施の形態の場合は、図１１（ｂ）及び図１１（ｃ）に示すように、上記回転部材２７７は、４０°回転できるようになっている。
なお、この上記回転部材２７７の回転可能な角度は、例えば、上記回転範囲規制部材２８７の内側部分の寸法によって設定される。 Further, as shown in FIGS. 7 and 10, the rotation range regulating member 287 is attached to and detached from the surface on the front end side of the bearing case 71 (the lower surface in FIG. 7 and the front surface in the vertical direction in FIG. 10). It is installed as possible. The rotation range restricting member 287 has a substantially U shape, and a first rotation restricting portion 288 and a second rotation restricting portion 290 are provided at both ends thereof. The rotating member side second stopper 281 is disposed inside the rotation range regulating member 287. That is, the first rotation restricting portion 288 and the second rotation restricting portion 290 of the rotation range restricting member 287 are located on the track of the rotating member side second stopper 281. Therefore, in the rotating member 277, the rotating member side second stopper 281 is the first rotation restricting portion 288 (upper side in FIG. 11B) of the rotation range restricting member 287 or the second rotation of the rotation range restricting member 287. It is configured to be rotatable within a range in contact with the restricting portion 290 (lower side in FIG. 11C). In the case of this embodiment, as shown in FIGS. 11B and 11C, the rotating member 277 can be rotated by 40 °.
The rotatable angle of the rotating member 277 is set, for example, by the dimension of the inner portion of the rotation range regulating member 287.

既に説明したように、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９（中空ロッド１１３）は、上記回転部材２７７に対して３４０°回転できるようになっている。
そして、上記回転部材２７７は、上記したように、４０°回転できるようになっているので、結局、上記中空ロッド１１３は、３４０°＋４０°＝３８０°回転できることになる。 As described above, the hollow rod side timing pulley 239 (hollow rod 113) can rotate 340 ° with respect to the rotating member 277.
Since the rotating member 277 can rotate 40 ° as described above, the hollow rod 113 can eventually rotate 340 ° + 40 ° = 380 °.

また、上記中空ロッド１１３が回転可能範囲の何れかの端まで回転されたときに、エンコーダ２１３をリセットすることで、上記中空ロッド１１３の回転位置の原点が設定される。   When the hollow rod 113 is rotated to any end of the rotatable range, the encoder 213 is reset to set the origin of the rotational position of the hollow rod 113.

また、図１に示すように、上記中空ロッド用モータユニット２０１、中空ロッド用モータ側タイミングプーリ２３７、及び、中空ロッド側タイミングプーリ２３９は駆動部カバ２９１によって覆われている。   Further, as shown in FIG. 1, the hollow rod motor unit 201, the hollow rod motor side timing pulley 237, and the hollow rod side timing pulley 239 are covered with a drive portion cover 291.

次に、この一実施の形態による作用について説明する。
上記作業ロボット１は、Ｘ軸アクチュエータ１９の図示しないＸ軸モータを駆動させて図示しないＸ軸スライダをＸ軸方向（図１中左下から右上に向かう方向）に移動させる。これにより、上記図示しないＸ軸スライダ上に固着されたパレット２５、及び、このパレット２５上に載置された複数（この一実施の形態の場合は、５×５＝２５枚）の基板２６をＸ軸方向（図１中左下から右上に向かう方向）に移動させる。 Next, the operation according to this embodiment will be described.
The work robot 1 drives an X-axis motor (not shown) of the X-axis actuator 19 to move an X-axis slider (not shown) in the X-axis direction (a direction from the lower left to the upper right in FIG. 1). As a result, the pallet 25 fixed on the X-axis slider (not shown) and a plurality of substrates 26 (5 × 5 = 25 in this embodiment) placed on the pallet 25 are provided. Move in the X-axis direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 1).

また、上記作業ロボット１は、Ｙ軸アクチュエータ３１の図示しないＹ軸モータを駆動させてＹ軸スライダ３５をＹ軸方向（図１中左下から右上に向かう方向）に移動させる。これにより、Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６をＹ軸方向（図１中左下から右上に向かう方向）に移動させる。   The work robot 1 drives a Y-axis motor (not shown) of the Y-axis actuator 31 to move the Y-axis slider 35 in the Y-axis direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 1). As a result, the Z-R axis actuator 36 is moved in the Y-axis direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 1).

そして、上記作業ロボット１は、上記Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６のＺ軸ボールネジ用モータ１３３を駆動させることにより、Ｚ軸スライダ９７ひいては中空ロッド１１３をＺ軸方向（図１中上下方向）に移動させる。これにより、上記中空ロッド１１３に半田ごて用取付フレーム２６１を介して取り付けられた半田ごて２６３と、上記Ｚ軸スライダ９７にカメラ用取付フレーム２６５を介して取り付けられたカメラ２６７がＺ軸方向（図１中上下方向）に移動される。   Then, the work robot 1 drives the Z-axis ball screw motor 133 of the Z-R axis actuator 36 to move the Z-axis slider 97 and thus the hollow rod 113 in the Z-axis direction (vertical direction in FIG. 1). . Accordingly, the soldering iron 263 attached to the hollow rod 113 via the soldering iron mounting frame 261 and the camera 267 attached to the Z-axis slider 97 via the camera mounting frame 265 are arranged in the Z-axis direction. (Up and down direction in FIG. 1).

また、上記Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６の中空ロッド用モータ２０３を駆動させることにより、スプラインナット１１９ひいては上記中空ロッド１１３を、Ｚ軸心周り（図５中時計回り方向又は反時計回り方向、Ｒ方向）に回転させる。これにより、上記中空ロッド１１３に半田ごて用取付フレーム２６１を介して取り付けられた半田ごて２６３がＺ軸心周り（図５中時計回り方向又は反時計回り方向、Ｒ方向）に回転される。また、上記半田ごて２６３は、Ｚ軸（図１中上下方向の軸、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する軸）に対して傾斜された状態で設置されているため、上記中空ロッド１１３のＺ軸心周り（図５中時計回り方向又は反時計回り方向、Ｒ方向）の回転により、上記半田ごて２６３の向きを変えることができる。   Further, by driving the hollow rod motor 203 of the Z-R axis actuator 36, the spline nut 119 and thus the hollow rod 113 are moved around the Z axis (clockwise direction or counterclockwise direction in FIG. 5, R direction). ) To rotate. As a result, the soldering iron 263 attached to the hollow rod 113 via the soldering iron attachment frame 261 is rotated around the Z axis (clockwise or counterclockwise in FIG. 5, R direction). . Further, since the soldering iron 263 is installed in a state of being inclined with respect to the Z axis (the vertical axis in FIG. 1, the axis orthogonal to the X axis direction and the Y axis direction), the hollow rod 113 is provided. The direction of the soldering iron 263 can be changed by rotating around the Z axis (clockwise direction or counterclockwise direction in FIG. 5, R direction).

また、上記中空ロッド１１３の回転可能な角度は、回転部材側第１ストッパ２７９と回転部材側第２ストッパ２８１が設置された回転部材２７７を介して、回転範囲規制部材２８７によって規制されている。
例えば、図１１（ａ）に実線で示すように、上記中空ロッド１１３が一方向（図１１（ａ）中時計方向）に回転されると、中空ロッド側タイミングプーリ２３９も回転されるが、このとき上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９に設置されたロッド側ストッパ２７１が上記回転部材２７７の回転部材側第１ストッパ２７９に当接され、上記回転部材２７７も付勢されて回転される。そして、図１１（ｂ）に示すように、上記回転部材２７７の回転部材側第２ストッパ２８１が上記回転範囲規制部材２８７の第１回転規制部２８８に当接され、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９ひいては上記中空ロッド１１３の一方向への回転量が規制されることになる。 The rotatable angle of the hollow rod 113 is regulated by the rotation range regulating member 287 through the rotating member 277 in which the rotating member side first stopper 279 and the rotating member side second stopper 281 are installed.
For example, as shown by a solid line in FIG. 11A, when the hollow rod 113 is rotated in one direction (clockwise in FIG. 11A), the hollow rod side timing pulley 239 is also rotated. The rod-side stopper 271 installed on the hollow rod-side timing pulley 239 comes into contact with the rotating member-side first stopper 279 of the rotating member 277, and the rotating member 277 is also urged and rotated. 11B, the rotating member side second stopper 281 of the rotating member 277 is brought into contact with the first rotation restricting portion 288 of the rotation range restricting member 287, and the hollow rod side timing pulley 239 is contacted. As a result, the amount of rotation of the hollow rod 113 in one direction is restricted.

また、図１１（ａ）中仮想線で示すように、上記中空ロッド１１３が他方向（図１１（ａ）中反時計方向）に回転されると、中空ロッド側タイミングプーリ２３９も回転されるが、このとき上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９に設置されたロッド側ストッパ２７１が上記回転部材２７７の回転部材側第１ストッパ２７９に反対側から当接され、上記回転部材２７７も付勢されて回転される。そして、図１１（ｃ）に示すように、上記回転部材２７７の回転部材側第２ストッパ２８１が上記回転範囲規制部材２８７の第２回転規制部２９０に当接され、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９ひいては上記中空ロッド１１３の他方向への回転量が規制されることになる。   11A, when the hollow rod 113 is rotated in the other direction (counterclockwise in FIG. 11A), the hollow rod side timing pulley 239 is also rotated. At this time, the rod-side stopper 271 installed on the hollow rod-side timing pulley 239 comes into contact with the rotating member-side first stopper 279 of the rotating member 277 from the opposite side, and the rotating member 277 is also urged and rotated. The 11C, the rotating member side second stopper 281 of the rotating member 277 is brought into contact with the second rotation restricting portion 290 of the rotation range restricting member 287, and the hollow rod side timing pulley 239 is contacted. As a result, the amount of rotation of the hollow rod 113 in the other direction is restricted.

なお、上記中空ロッド１１３の回転量は、上記回転部材２７７の回転部材側第２ストッパ２８１が上記回転範囲規制部材２８７の第１回転規制部２８８、第２回転規制部２９０に当接される手前の範囲でソフト的手法により制御されるように構成されている。すなわち、上記中空ロッド１１３の回転角度は、エンコーダ２１３によって検出され、それに基づいて、上記制御、すなわち、上記回転部材２７７の回転部材側第２ストッパ２８１が上記回転範囲規制部材２８７の第１回転規制部２８８、第２回転規制部２９０に当接される手前の範囲で規制される制御が行われるように構成されている。   Note that the amount of rotation of the hollow rod 113 is just before the rotation member side second stopper 281 of the rotation member 277 comes into contact with the first rotation restriction portion 288 and the second rotation restriction portion 290 of the rotation range restriction member 287. In such a range, it is configured to be controlled by a soft method. That is, the rotation angle of the hollow rod 113 is detected by the encoder 213, and based on this, the above control, that is, the rotation member side second stopper 281 of the rotation member 277 is controlled by the rotation range restriction member 287. It is configured such that control is performed within a range just before contacting the portion 288 and the second rotation restricting portion 290.

次に、この一実施の形態による効果について説明する。
まず、ハウジング４３のカバ部４７にスリット２６、２６を形成するとともに、Ｚ軸スライダ９７に取付対象物固定部１０２、１０２を形成し、上記Ｚ軸スライダ９７の取付対象物固定部１０２、１０２が上記スリット２６、２６を貫通して上記ハウジング４３の外部に露出されているので、中空ロッド１１３の取付部１２７に取付対象物を取付けるだけでなく、上記Ｚ軸スライダ９７にも、取付対象物固定部１０２、１０２を介して取付対象物を取付けることができる。
この一実施の形態の場合には、上記中空ロッド１１３に半田ごて３４ｂを設置し、上記Ｚ軸スライダ９７にカメラ３４ｄを設置しており、半田付け作業と確認作業の両方を同時に行わせることができる。
よって、中空ロッド１１３に取り付けられる取付対象物とは別の取付対象物を取り付けるために別のアクチュエータを設置する必要はなく、構成を簡略化・小型化させ、コストの低減を図ることができる。 Next, the effect of this embodiment will be described.
First, the slits 26 and 26 are formed in the cover portion 47 of the housing 43, and the attachment target fixing portions 102 and 102 are formed in the Z-axis slider 97, and the attachment target fixing portions 102 and 102 of the Z-axis slider 97 are formed. Since it passes through the slits 26 and 26 and is exposed to the outside of the housing 43, not only the attachment object is attached to the attachment portion 127 of the hollow rod 113 but also the Z-axis slider 97 is fixed to the attachment object. An attachment object can be attached via the parts 102 and 102.
In the case of this embodiment, a soldering iron 34b is installed on the hollow rod 113, and a camera 34d is installed on the Z-axis slider 97, so that both the soldering operation and the confirmation operation can be performed simultaneously. Can do.
Therefore, it is not necessary to install another actuator to attach an attachment object different from the attachment object attached to the hollow rod 113, and the configuration can be simplified and miniaturized, and the cost can be reduced.

また、例えば、上記中空ロッド１１３の取付部１２７に機器を取付け、この機器の付属物やケーブルを上記Ｚ軸スライダ９７に取り付けることもできる。この場合、上記機器の付属物やケーブルを上記Ｚ軸スライダ９７に取り付けることにより、上記機器と上記付属物やケーブル等の干渉等を防止して作業空間の有効利用を図ることができ、上記ケーブルの撓みや断線を防止することもできる。
また、上記中空ロッド１１３は上記Ｚ軸スライダ９７に設置されているため、上記中空ロッド１１３と上記Ｚ軸スライダ９７のＺ軸（図１中上下方向の軸、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する軸）方向の移動は同期されており、よって、同期のための新たな構成は不要であり、また、同期を実現するための煩雑な制御も不要であり、構成の簡略化、制御の容易化を図ることができる。 In addition, for example, a device can be attached to the attachment portion 127 of the hollow rod 113, and an accessory or cable of this device can be attached to the Z-axis slider 97. In this case, by attaching the accessory and cable of the device to the Z-axis slider 97, it is possible to prevent interference between the device and the accessory and cable, and to effectively use the work space. Can be prevented from being bent or disconnected.
Further, since the hollow rod 113 is installed on the Z-axis slider 97, the hollow rod 113 and the Z-axis of the Z-axis slider 97 (vertical axis in FIG. 1, orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction). The movement in the direction) is synchronized. Therefore, a new configuration for synchronization is unnecessary, and complicated control for realizing the synchronization is not required. The configuration is simplified and the control is easy. Can be achieved.

また、中空ロッド１１３の回転可能な角度は、回転部材側第１ストッパ２７９と回転部材側第２ストッパ２８１が設置された回転部材２７７を介して、回転範囲規制部材２８７によって規制されているため、簡易な構成により、上記中空ロッド１１３の回転を３６０°以上の所定の範囲で規制することができる。
なお、上記中空ロッド１１３の回転を３６０°以上の所定の範囲で規制することができるのは、上記中空ロッド１１３のロッド側ストッパ２７１が上記回転部材２７７回転部材側第１ストッパ２７９に当接しても、上記回転部材２７７の回転部材側第２ストッパ２８１が上記回転範囲規制部材２８７に当接するまでは、更に回転できることによる。 Further, since the rotatable angle of the hollow rod 113 is regulated by the rotation range regulating member 287 via the rotating member 277 in which the rotating member side first stopper 279 and the rotating member side second stopper 281 are installed, With a simple configuration, the rotation of the hollow rod 113 can be regulated within a predetermined range of 360 ° or more.
Note that the rotation of the hollow rod 113 can be restricted within a predetermined range of 360 ° or more because the rod-side stopper 271 of the hollow rod 113 is in contact with the rotating member 277 rotating member-side first stopper 279. This is because the rotating member side second stopper 281 of the rotating member 277 can further rotate until it comes into contact with the rotation range regulating member 287.

また、上記中空ロッド１１３の回転を３６０°以上の所定の範囲で規制しているので、上記中空ロッド１１３の過剰な回転が防止され、例えば、取付部１２７に設置された半田ごて２６３の図示しない電源コードが上記Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６等に絡まって断線してしまうこと等を防止することができる。
また、上記中空ロッド１１３の回転を、上記回転範囲規制部材２８７が設置された機械的な構成によって規制しているため、上記中空ロッド１１３の回転可能範囲の一方の端をエンコーダ２１３の原点位置として利用することができる。このように、機械的な構成によって上記エンコーダ２１３の原点を設定できるため、上記エンコーダ２１３はインクリメンタル方式のエンコーダでよく、コストを低減させることができる。 Further, since the rotation of the hollow rod 113 is restricted within a predetermined range of 360 ° or more, excessive rotation of the hollow rod 113 is prevented. For example, the soldering iron 263 installed in the mounting portion 127 is illustrated. It is possible to prevent the power cord that is not connected from being entangled with the Z-R axis actuator 36 and the like.
Further, since the rotation of the hollow rod 113 is regulated by a mechanical configuration in which the rotation range regulating member 287 is installed, one end of the rotatable range of the hollow rod 113 is set as the origin position of the encoder 213. Can be used. In this way, since the origin of the encoder 213 can be set by a mechanical configuration, the encoder 213 may be an incremental encoder, and the cost can be reduced.

また、上記回転範囲規制部材２８７は着脱可能に設置されているため、予め、第１回転規制部２８８と第２回転規制部２９０の間隔が異なる複数種類の回転範囲規制部材２８７を用意しておき、回転範囲規制部材２８７を適宜交換することにより、上記中空ロッド１１３の回転可能な角度範囲の変更を行うことができる。
また、上記ロッド側ストッパ２７１、上記回転部材側第１ストッパ２７９、上記回転部材側第２ストッパ２８１は、着脱可能に設置されているため、上記中空ロッド１１３の回転可能範囲が規制される状態と、上記中空ロッド１１３の回転可能範囲が規制されない状態とを容易に切り替えることができる。 Since the rotation range restriction member 287 is detachably installed, a plurality of types of rotation range restriction members 287 having different intervals between the first rotation restriction portion 288 and the second rotation restriction portion 290 are prepared in advance. By changing the rotation range regulating member 287 as appropriate, the angular range in which the hollow rod 113 can be rotated can be changed.
In addition, since the rod-side stopper 271, the rotating member-side first stopper 279, and the rotating member-side second stopper 281 are detachably installed, the rotatable range of the hollow rod 113 is restricted. The state in which the rotatable range of the hollow rod 113 is not restricted can be easily switched.

また、上記ロッド側ストッパ２７１、上記回転部材側第１ストッパ２７９、上記回転部材側第２ストッパ２８１には、弾性材料からなる緩衝材２７１ａ、２７９ａ、２８１ａが被冠されているため、上記ロッド側ストッパ２７１と上記回転部材側第１ストッパ２７９、及び、上記回転部材側第２ストッパ２８１と上記回転範囲規制部材２８７の第１回転規制部２８８、第２回転規制部２９０が当接された際の衝撃や音を低減させることができる。   The rod side stopper 271, the rotating member side first stopper 279, and the rotating member side second stopper 281 are covered with cushioning materials 271 a, 279 a, 281 a made of an elastic material, so that the rod side The stopper 271 and the rotating member side first stopper 279, and the rotating member side second stopper 281 and the first rotation restricting portion 288 and the second rotation restricting portion 290 of the rotation range restricting member 287 are brought into contact with each other. Impact and sound can be reduced.

また、本実施の形態によると、煩雑な制御を要することなく、構成の簡略化、装置の小型化を図ることができる。
すなわち、Ｚ軸ボールネジ８５と、このＺ軸ボールネジ８５とは別に回転される中空ロッド１１３が同軸上に配置されていて、且つ、中空ロッド１１３には中空部１１５が形成されており、この中空部内に上記Ｚ軸ボールネジ８５が収容されるようになっているので、上記Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６の小型化と構成の簡略化を図ることができる。 Further, according to the present embodiment, the configuration can be simplified and the apparatus can be downsized without requiring complicated control.
That is, a Z-axis ball screw 85 and a hollow rod 113 that is rotated separately from the Z-axis ball screw 85 are arranged on the same axis, and the hollow rod 113 has a hollow portion 115 formed therein. Since the Z-axis ball screw 85 is accommodated in the Z-axis actuator 36, the Z-R axis actuator 36 can be miniaturized and the configuration can be simplified.

また、上記Ｚ軸ボールネジ８５はＺ軸ボールネジ用モータ１３３によって回転され、上記中空ロッド１１３は中空ロッド用モータ２０３によって回転される。すなわち、上記Ｚ軸ボールネジ８５と上記中空ロッド１１３とは、それぞれ別々に回転可能となっている。そのため、例えば、上記中空ロッド１１３を回転させた場合に上記Ｚ軸ボールネジ８５までもが回転されて上記中空ロッド１１３の位置がずれてしまうことはなく、上記中空ロッド１１３の位置を調整するための複雑な制御を不要とすることができる。   The Z-axis ball screw 85 is rotated by a Z-axis ball screw motor 133, and the hollow rod 113 is rotated by a hollow rod motor 203. That is, the Z-axis ball screw 85 and the hollow rod 113 can be rotated separately. Therefore, for example, when the hollow rod 113 is rotated, even the Z-axis ball screw 85 is not rotated and the position of the hollow rod 113 is not shifted, and the position of the hollow rod 113 is adjusted. Complex control can be eliminated.

ちなみに、上記したように、中空ロッド１１３には中空部１１５が形成されており、この内部に上記Ｚ軸ボールネジ８５が収容されるようになっているので、上記中空ロッド１１３がＺ軸方向に移動しても、上記中空ロッド１１３と同軸上に配置された上記Ｚ軸ボールネジ８５とが互いに干渉することはない。   Incidentally, as described above, the hollow rod 113 is formed with the hollow portion 115, and the Z-axis ball screw 85 is accommodated therein, so that the hollow rod 113 moves in the Z-axis direction. Even so, the hollow rod 113 and the Z-axis ball screw 85 arranged coaxially do not interfere with each other.

なお、本発明は、前記一実施の形態に限定されない。
まず、前記一実施の形態の場合には、二つのスリット５６、５６を設け、スライダ９７の取付対象物固定部１０２、１０２を露出・配置させるようにしたが、大きな一つの開口部を設け、スライダ９７の上面側を大きく露出・配置させるような構成でもよい。
また、前記一実施の形態では、上記中空ロッド１１３の回転可能範囲を３８０°に設定しているが、これに限定されるものではなく、回転範囲規制部材２８７の位置、形状、大きさなどを適宜変更することにより、様々な回転可能範囲を設定することができる。
また、上記中空ロッド１１３の回転可能範囲を設定するための構成としても様々なものが考えられ、例えば、回転範囲規制部材を２つの部材としてもよい。 The present invention is not limited to the one embodiment.
First, in the case of the above-described embodiment, the two slits 56 and 56 are provided, and the attachment object fixing portions 102 and 102 of the slider 97 are exposed and arranged, but a large one opening is provided, A configuration in which the upper surface side of the slider 97 is largely exposed and arranged may be employed.
In the embodiment, the rotatable range of the hollow rod 113 is set to 380 °. However, the present invention is not limited to this, and the position, shape, size, etc. of the rotation range regulating member 287 are not limited thereto. Various rotation ranges can be set by appropriately changing.
Various configurations for setting the rotatable range of the hollow rod 113 are conceivable. For example, the rotation range regulating member may be two members.

また、上記回転範囲規制部材２８７にも緩衝材を設置してもよい。
また、上記ロッド側ストッパ２７１と上記回転部材側第１ストッパ２７９の何れか一方に緩衝材を設けるようにしてもよい。
また、上記回転部材側第２ストッパ２８１と上記回転範囲規制部材２８７の何れか一方に緩衝材を設けるようにしてもよい。 Further, a cushioning material may also be installed on the rotation range regulating member 287.
Moreover, you may make it provide a buffer material in any one of the said rod side stopper 271 and the said rotation member side 1st stopper 279. FIG.
Moreover, you may make it provide a buffer material in any one of the said rotation member side 2nd stopper 281 and the said rotation range control member 287. FIG.

また、回転部材側第１ストッパ２７９のＺ軸心周りの位置に対する回転部材側第２ストッパ２８１の位置も、様々な場合が考えられる。
例えば、Ｚ軸ボールネジ８５を回転・駆動させるＺ軸ボールネジ用モータ１３３を備えたＺ軸モータユニット１２９は上記Ｚ軸ボールネジ８５に平行に配置されているが、このＺ軸モータユニット１２９を上記Ｚ軸ボールネジ８５と同軸上に配置する場合も考えられる。この場合、Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６の上下方向（図６中上下方向）での大きさが増加してしまうものの、水平方向（図６中紙面に垂直な面に平行な方向）での小型化を図ることができる。 There are various cases of the position of the rotating member side second stopper 281 with respect to the position around the Z axis of the rotating member side first stopper 279.
For example, a Z-axis motor unit 129 having a Z-axis ball screw motor 133 for rotating and driving the Z-axis ball screw 85 is arranged in parallel to the Z-axis ball screw 85. The case where it arrange | positions coaxially with the ball screw 85 is also considered. In this case, the size of the Z-R axis actuator 36 in the vertical direction (vertical direction in FIG. 6) increases, but the size in the horizontal direction (direction parallel to the plane perpendicular to the paper surface in FIG. 6) is reduced. Can be achieved.

また、前記一実施の形態ではＺ軸ボールネジ８５とＺ軸ボールナット８９を用いたが、その他のネジ・ナット機構を用いてもよい。勿論、Ｘ軸ボールネジとＸ軸ボールナット、Ｙ軸ボールネジとＹ軸ボールナットについても同様である。   In the embodiment, the Z-axis ball screw 85 and the Z-axis ball nut 89 are used. However, other screw / nut mechanisms may be used. Of course, the same applies to the X-axis ball screw and the X-axis ball nut, and the Y-axis ball screw and the Y-axis ball nut.

また、上記Ｚ軸モータユニット１２９には電磁ブレーキ１６９が備えられているが、中空ロッド用モータ２０３が備えられた中空ロッド用モータユニット２０１にも電磁ブレーキが備えられる構成も考えられる。
また、上記Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６は、水平、垂直多関節ロボット（スカラーロボット）のＺ−Ｒ軸アクチュエータ等、様々な種類のロボットの様々な用途のアクチュエータとして用いられることが考えられる。
その他、本発明は、図示した構成に限定されず、様々な変形が考えられる。 The Z-axis motor unit 129 is provided with an electromagnetic brake 169, but a configuration in which the hollow rod motor unit 201 provided with the hollow rod motor 203 is also provided with an electromagnetic brake is also conceivable.
The Z-R axis actuator 36 may be used as an actuator for various applications of various types of robots, such as a Z-R axis actuator of a horizontal and vertical articulated robot (scalar robot).
In addition, the present invention is not limited to the illustrated configuration, and various modifications can be considered.

本発明は、アクチュエータとロボットに係り、特に、ネジの回転によりナットを介してスライダとロッドを進退させるように構成したものにあって、ロッドの先端に取付対象物を取り付けるとともに別の取付対象物を配置させるための構成を簡略化・小型化させ、コストの低減を図ることができるように工夫したものに関し、例えば、テーブルトップタイプの作業ロボットに好適である。   The present invention relates to an actuator and a robot, and more particularly, to a configuration in which a slider and a rod are advanced and retracted via a nut by rotating a screw, and an attachment object is attached to the tip of the rod and another attachment object. For example, it is suitable for a table top type work robot, which is devised so that the configuration for arranging the components can be simplified and reduced in size and the cost can be reduced.

１ 作業ロボット（ロボット）
３６ Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ
４３ ハウジング
５６ スリット（開口部）
８５ Ｚ軸ボールネジ（ネジ）
８９ Ｚ軸ボールナット（ナット）
９７ Ｚ軸スライダ（スライダ）
１０２ 取付対象物固定部（スライダの一部）
１３３ Ｚ軸ボールネジ用モータ（ネジ用モータ）
１１３ 中空ロッド（ロッド）
１１５ 中空部
１１９ スプラインナット
２０３ 中空ロッド用モータ（ロッド用モータ） 1 Working robot (robot)
36 Z-R axis actuator 43 Housing 56 Slit (opening)
85 Z-axis ball screw (screw)
89 Z-axis ball nut (nut)
97 Z-axis slider (slider)
102 Mounting object fixing part (part of slider)
133 Z-axis ball screw motor (screw motor)
113 Hollow rod (rod)
115 Hollow portion 119 Spline nut 203 Hollow rod motor (rod motor)

Claims (7)

ハウジングと、
上記ハウジング内に設置され上回転・駆動されるネジと、
上記ハウジング内に上記ネジに螺合された状態で設置され上記ネジの回転によって軸方向に移動されるナットと、
上記ナットに取り付けられ上記ネジの回転によって上記ナットとともに軸方向に移動されるスライダと、
上記ネジの回転によって上記ナットとともに移動され回転・駆動可能であって取付対象物が取り付けられるロッドと、
を具備し、
上記ハウジングに開口部を設け、上記スライダの一部を上記開口部を介して外部に露出・配置させて上記取付対象物とは別の取付対象物を搭載可能にしたことを特徴とするアクチュエータ。 A housing;
A screw installed in the housing and rotated and driven on;
A nut installed in the housing and screwed into the screw and moved in the axial direction by the rotation of the screw;
A slider attached to the nut and moved axially together with the nut by rotation of the screw;
A rod which is moved together with the nut by rotation of the screw and can be rotated and driven, and an object to be attached is attached;
Comprising
An actuator characterized in that an opening is provided in the housing, and a part of the slider is exposed and arranged outside through the opening so that an attachment object different from the attachment object can be mounted. 請求項１記載のアクチュエータにおいて、
上記ロッドは中空部を備えていて該中空部内に上記ネジが同軸上に収容・配置されていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 1, wherein
The rod is provided with a hollow portion, and the screw is coaxially accommodated and disposed in the hollow portion. 請求項１又は請求項２記載のアクチュエータにおいて、
上記ロッドを回転・駆動するロッド用モータが設置されていて、
上記ロッドはスプラインシャフトであり、このスプラインシャフトにはスプラインナットが噛合・配置されていて、
上記ロッド用モータにより上記スプラインナットを回転させることにより上記ロッドを回転・駆動するようにしたことを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 1 or 2,
A rod motor that rotates and drives the rod is installed.
The rod is a spline shaft, and a spline nut is meshed with the spline shaft.
An actuator characterized in that the rod is rotated and driven by rotating the spline nut by the rod motor. 請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記ネジを回転・駆動するネジ用モータは上記ネジと同軸上に配置されていることを特徴とするアクチュエータ。 In the actuator according to any one of claims 1 to 3,
An actuator characterized in that a screw motor for rotating and driving the screw is arranged coaxially with the screw. 請求項１〜請求項４の何れかに記載のアクチュエータを用いたロボット。   A robot using the actuator according to any one of claims 1 to 4. 請求項５記載のロボットにおいて、
テーブルトップ型の直交ロボットであり、
請求項１〜請求項４の何れかに記載したアクチュエータをＺ−Ｒ軸アクチュエータとして用いることを特徴とするロボット。 The robot according to claim 5, wherein
It is a table top type orthogonal robot,
A robot using the actuator according to any one of claims 1 to 4 as a Z-R axis actuator. 請求項５記載のロボットにおいて、
水平又は垂直の多関節ロボットであり、
請求項１〜請求項４の何れかに記載したアクチュエータをＺ−Ｒ軸アクチュエータとして用いることを特徴とするロボット。
The robot according to claim 5, wherein
A horizontal or vertical articulated robot,
A robot using the actuator according to any one of claims 1 to 4 as a Z-R axis actuator.

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