JP2015147286A - actuator and robot - Google Patents

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JP2015147286A
JP2015147286A JP2014023061A JP2014023061A JP2015147286A JP 2015147286 A JP2015147286 A JP 2015147286A JP 2014023061 A JP2014023061 A JP 2014023061A JP 2014023061 A JP2014023061 A JP 2014023061A JP 2015147286 A JP2015147286 A JP 2015147286A
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rotation
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rotated
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克仁 長井
Katsuhito Nagai
克仁 長井
光太 浜野
Kota Hamano
光太 浜野
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator capable of regulating rotation of a rod in a predetermined range of 360° or more with a simple constitution and capable of easily corresponding even to the change of a rotation amount, and to provide a robot using the actuator.SOLUTION: When a rod is rotated in one direction, a rod side stopper is brought into contact with a rotation member side stopper, a rotation member is also rotated in one direction, the rotation member side stopper is brought into contact with a first rotation regulation part of a rotation range regulation part, thereby, a rotation amount to one direction of the rod is regulated via the rotation member. When the rod is rotated in the other direction, the rod side stopper is brought into contact with the opposite side of the rotation member side stopper, the rotation member is also rotated in the other direction, the rotation member side stopper is brought into contact with a second rotation regulation part of the rotation range regulation part and, thereby, the rotation amount to the other direction of the rod is regulated via the rotation member.

Description

本発明は、アクチュエータとロボットに係り、特に、軸方向に移動されるとともに回転・駆動されるロッドの回転を、簡単な構成で３６０°以上の所定の範囲で規制することができ、また、回転量の変更に対しても容易に対応することができるように工夫したものに関する。   The present invention relates to an actuator and a robot. In particular, the rotation of a rod that is moved in the axial direction and rotated and driven can be regulated within a predetermined range of 360 ° or more with a simple configuration. The present invention relates to a device devised so that it can easily cope with a change in quantity.

ロッドの回転を３６０°以上の所定の範囲で規制する構成を開示するものとして、例えば、特許文献１がある。
この特許文献１に開示された「回転軸部の機械式ストッパ装置」は、概略次のような構成になっている。まず、相対的に回転可能な２つの部材がある。これら２つの部材のうちの一方の部材には第１の機械的ストッパが突出・形成されている。また、上記２つの部材のうちの他方の部材には、第２の機械的ストッパが、滑り杆を介して摺動可能に設置されている。上記滑り杆の両端には、それぞれ、固定端が設置されており、上記第２の機械的ストッパが上記固定端に当接されることで、上記第２の機械的ストッパが上記滑り杆から脱落しないようにしている。 For example, Patent Document 1 discloses a configuration that regulates the rotation of the rod within a predetermined range of 360 ° or more.
The “mechanical stopper device of the rotating shaft portion” disclosed in Patent Document 1 is generally configured as follows. First, there are two members that are relatively rotatable. A first mechanical stopper projects and is formed on one of these two members. A second mechanical stopper is slidably installed on the other member of the two members via a sliding rod. Fixed ends are respectively installed at both ends of the sliding rod, and the second mechanical stopper comes off the sliding rod when the second mechanical stopper comes into contact with the fixed end. I try not to.

上記一方の部材が上記他方の部材に対して相対的に回転されると、上記第１の機械的ストッパが上記第２の機械的ストッパに当接し、さらに上記一方の部材が同じ方向に回転されると、上記第２の機械的ストッパが上記滑り杆上を移動する。そして、上記第２の機械的ストッパがどちらかの固定端に当接されることで、上記他方の部材に対する上記一方の部材の回転が規制される。
また、上記第２の機械的ストッパが上記滑り杆上を移動できるようになっているため、上記一方の部材は上記他方の部材に対して、３６０°以上の所定の範囲で相対的に回転することができる。 When the one member is rotated relative to the other member, the first mechanical stopper contacts the second mechanical stopper, and the one member is rotated in the same direction. Then, the second mechanical stopper moves on the sliding rod. Then, the rotation of the one member relative to the other member is restricted by the second mechanical stopper coming into contact with one of the fixed ends.
In addition, since the second mechanical stopper can move on the sliding rod, the one member rotates relative to the other member within a predetermined range of 360 ° or more. be able to.

特開平７−１３６９７２号公報JP 7-136972 A

しかし、上記従来の構成では、次のような問題があった。
まず、特許文献１に記載された「回転軸部の機械式ストッパ装置」は、第２の機械的ストッパが２つの部材のうちの他方の部材に滑り杆を介して摺動可能に設置されているため、その構成が複雑なものとなってしまうという問題があった。
また、上記一方の部材の上記他方の部材に対する相対回転量を変更したい場合にも容易に対応することができないという問題があった。 However, the conventional configuration has the following problems.
First, in the “mechanical stopper device of the rotating shaft” described in Patent Document 1, the second mechanical stopper is slidably installed on the other member of the two members via a sliding rod. Therefore, there is a problem that the configuration becomes complicated.
Further, there is a problem that it is not possible to easily cope with the case where it is desired to change the relative rotation amount of the one member relative to the other member.

本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、軸方向に移動されるとともに回転・駆動されるロッドの回転を、簡単な構成で３６０°以上の所定の範囲で規制することができ、また、回転量の変更に対しても容易に対応することが可能なアクチュエータとそのようなアクチュエータを使用したロボットを提供することにある。   The present invention has been made on the basis of the above points. The object of the present invention is to rotate the rod that is moved and rotated in the axial direction within a predetermined range of 360 ° or more with a simple configuration. An object of the present invention is to provide an actuator that can be regulated and can easily cope with a change in the amount of rotation, and a robot using such an actuator.

上記課題を解決するべく請求項１に記載されたアクチュエータは、軸方向に移動されるとともに回転・駆動されるロッドと、上記ロッドに設置されたロッド側ストッパと、上記ロッドと同軸に設置され回転可能な回転部材と、上記回転部材に設置された回転部材側ストッパと、第１回転規制部と第２回転規制部を備えた回転範囲規制部と、を具備し、上記ロッドが一方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側ストッパに当接されて上記回転部材も上記一方向に回転され、上記回転部材側ストッパが上記回転範囲規制部の第１回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの一方向への回転量が規制され、上記ロッドが他方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側ストッパの反対側に当接されて上記回転部材も上記他方向に回転され、上記回転部材側ストッパが上記回転範囲規制部の第２回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの他方向への回転量が規制されることを特徴とするものである。
また、請求項２に記載されたアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記回転部材側ストッパは回転部材側第１ストッパと回転部材側第２ストッパとから構成されていて、上記ロッドが一方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側第１ストッパに当接されて上記回転部材も上記一方向に回転され、上記回転部材側第２ストッパが上記回転範囲規制部の第１回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの一方向への回転量が規制され、上記ロッドが他方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側第１ストッパの反対側に当接されて上記回転部材も上記他方向に回転され、上記回転部材側第２ストッパの反対側が上記回転範囲規制部の第２回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの他方向への回転量が規制されることを特徴とするものである。
また、請求項３に記載されたアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記回転部材側ストッパは単一部材であり、上記ロッドが一方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側ストッパの所定部位に当接されて上記回転部材も上記一方向に回転され、上記回転部材側ストッパの別の所定部位が上記回転範囲規制部の第１回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの一方向への回転量が規制され、上記ロッドが他方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側ストッパの上記所定部位の反対側に当接されて上記回転部材も上記他方向に回転され、上記回転部材側ストッパの上記別の所定部位の反対側が上記回転範囲規制部の第２回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの他方向への回転量が規制されることを特徴とするものである。
また、請求項４に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記回転範囲規制部は単一部材から構成されていて、該単一部材の一端が上記第１回転規制部であり他端が上記第２回転規制部であることを特徴とするものである。
また、請求項５に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記回転範囲規制部は上記第１回転規制部である第１回転規制部材と上記第２回転規制部である第２回転規制部材とから構成されていることを特徴とするものである。
また、請求項６に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記回転範囲規制部は着脱可能に設置されていることを特徴とするものである。
また、請求項７に記載されたアクチュエータは、請求項４記載のアクチュエータにおいて、上記第１回転規制部と第２回転規制部の間隔が異なる複数種類の回転範囲規制部材の中から任意の回転範囲規制部材を取り付けるようにしたことを特徴とするものである。
また、請求項８に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項７の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド側ストッパ及び又は上記回転部材側ストッパは着脱可能に設置されていることを特徴とするものである。
また、請求項９に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項８の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド側ストッパ及び又は上記回転部材側ストッパには当接時の衝撃を緩衝する緩衝材が設置されていることを特徴とするものである。
また、請求項１０に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記回転部材側ストッパ及び又は上記回転規制部の第１回転規制部及び第２回転規制部には当接時の衝撃を緩衝する緩衝材が設置されていることを特徴とするものである。
また、請求項１１に記載されたアクチュエータは、請求項１〜請求項１０の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドを回転・駆動するロッド用モータが設置されていて、上記ロッドはスプラインシャフトであり、このスプラインシャフトにはスプラインナットが噛合・配置されていて、上記ロッド用モータにより上記スプラインナットを回転させることにより上記ロッドを回転・駆動するようにしたことを特徴とするものである。
また、請求項１２に記載されたロボットは、請求項１〜請求項１１の何れかに記載のアクチュエータを用いたことを特徴とするものである。
また、請求項１３に記載されたロボットは、請求項１２記載のロボットにおいて、テーブルトップ型の直交ロボットであり、請求項１〜請求項１１の何れかに記載したアクチュエータをＺ−Ｒ軸アクチュエータとして用いることを特徴とするものである。
また、請求項１４に記載されたロボットは、請求項１２記載のロボットにおいて、水平又は垂直の多関節ロボットであり、請求項１〜請求項１１の何れかに記載したアクチュエータをＺ−Ｒ軸アクチュエータとして用いることを特徴とするものである。 In order to solve the above-mentioned problem, the actuator according to claim 1 is a rod that is moved in the axial direction and rotated and driven, a rod-side stopper that is installed on the rod, and a shaft that is installed coaxially with the rod and rotates. A rotatable member, a rotating member-side stopper installed on the rotating member, and a rotation range restricting portion including a first rotation restricting portion and a second rotation restricting portion, and the rod rotates in one direction. Then, the rod side stopper is brought into contact with the rotating member side stopper, the rotating member is also rotated in the one direction, and the rotating member side stopper is brought into contact with the first rotation restricting portion of the rotation range restricting portion. As a result, the amount of rotation of the rod in one direction is regulated via the rotating member, and when the rod is rotated in the other direction, the rod-side stopper contacts the opposite side of the rotating member-side stopper. The rotating member is also rotated in the other direction, and the rotating member side stopper is brought into contact with the second rotation restricting portion of the rotation range restricting portion, whereby the rod is rotated in the other direction via the rotating member. The amount is regulated.
According to a second aspect of the present invention, in the actuator according to the first aspect, the rotating member-side stopper includes a rotating member-side first stopper and a rotating member-side second stopper, and the rod is a single member. The rod-side stopper is brought into contact with the rotating member-side first stopper and the rotating member is also rotated in the one direction, and the rotating member-side second stopper is the first of the rotation range restricting portion. The amount of rotation of the rod in one direction is regulated through the rotating member by contacting the rotation restricting portion, and when the rod is rotated in the other direction, the rod side stopper is the rotating member side first. The rotating member is also rotated in the other direction by contacting the opposite side of the stopper, and the opposite side of the rotating member side second stopper is brought into contact with the second rotation restricting portion of the rotation range restricting portion. Via the serial rotary member is characterized in that the amount of rotation of the other direction of the rod is restricted.
The actuator according to claim 3 is the actuator according to claim 1, wherein the rotating member-side stopper is a single member, and when the rod is rotated in one direction, the rod-side stopper becomes the rotating member. The rotating member is also rotated in the one direction by contacting with a predetermined portion of the side stopper, and another predetermined portion of the rotating member side stopper is in contact with the first rotation restricting portion of the rotation range restricting portion. When the amount of rotation of the rod in one direction is restricted via the rotating member and the rod is rotated in the other direction, the rod-side stopper is brought into contact with the opposite side of the predetermined portion of the rotating member-side stopper. The rotating member is also rotated in the other direction, and the rotating member side stopper is brought into contact with the second rotation restricting portion of the rotation range restricting portion so that the rotating member side stopper is in contact with the second rotation restricting portion. It is characterized in that the amount of rotation of the other direction of the rod is regulated via.
An actuator according to claim 4 is the actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein the rotation range restricting portion is formed of a single member, and one end of the single member is The first rotation restricting portion and the other end is the second rotation restricting portion.
The actuator according to claim 5 is the actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein the rotation range restricting portion is the first rotation restricting member which is the first rotation restricting portion. It is comprised from the 2nd rotation control member which is a 2 rotation control part.
According to a sixth aspect of the present invention, in the actuator according to any one of the first to fifth aspects, the rotation range restricting portion is detachably installed.
According to a seventh aspect of the present invention, in the actuator according to the fourth aspect of the present invention, an arbitrary rotation range is selected from a plurality of types of rotation range restriction members having different intervals between the first rotation restriction portion and the second rotation restriction portion. The restriction member is attached.
An actuator according to claim 8 is the actuator according to any one of claims 1 to 7, wherein the rod side stopper and / or the rotating member side stopper are detachably installed. It is what.
The actuator according to claim 9 is the actuator according to any one of claims 1 to 8, wherein the rod side stopper and / or the rotating member side stopper is a buffer that cushions an impact at the time of contact. The material is installed.
An actuator according to a tenth aspect is the actuator according to any one of the first to ninth aspects, wherein the rotation member side stopper and / or the first rotation restriction portion and the second rotation restriction of the rotation restriction portion. The part is provided with a shock absorbing material for buffering an impact at the time of contact.
The actuator described in claim 11 is the actuator according to any one of claims 1 to 10, wherein a rod motor for rotating and driving the rod is installed, and the rod is a spline shaft. In addition, a spline nut is engaged and disposed on the spline shaft, and the rod is rotated and driven by rotating the spline nut by the rod motor.
A robot according to a twelfth aspect uses the actuator according to any one of the first to eleventh aspects.
A robot described in claim 13 is a robot according to claim 12, which is a table top type orthogonal robot, and the actuator according to any one of claims 1 to 11 is used as a Z-R axis actuator. It is characterized by using.
The robot described in claim 14 is a horizontal or vertical articulated robot in the robot according to claim 12, and the actuator according to any one of claims 1 to 11 is a Z-R axis actuator. It is characterized by using as.

以上述べたように、請求項１記載のアクチュエータによると、軸方向に移動されるとともに回転・駆動されるロッドと、上記ロッドに設置されたロッド側ストッパと、上記ロッドと同軸に設置され回転可能な回転部材と、上記回転部材に設置された回転部材側ストッパと、第１回転規制部と第２回転規制部を備えた回転範囲規制部と、を具備し、上記ロッドが一方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側ストッパに当接されて上記回転部材も上記一方向に回転され、上記回転部材側ストッパが上記回転範囲規制部の第１回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの一方向への回転量が規制され、上記ロッドが他方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側ストッパの反対側に当接されて上記回転部材も上記他方向に回転され、上記回転部材側ストッパが上記回転範囲規制部の第２回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの他方向への回転量が規制される構成になっているので、簡易な構成によりロッドの回転を３６０°以上の所定の範囲で規制することができ、また、回転量の変更に対しても容易に対応することができる。
また、請求項２記載のアクチュエータによると、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記回転部材側ストッパは回転部材側第１ストッパと回転部材側第２ストッパとから構成されていて、上記ロッドが一方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側第１ストッパに当接されて上記回転部材も上記一方向に回転され、上記回転部材側第２ストッパが上記回転範囲規制部の第１回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの一方向への回転量が規制され、上記ロッドが他方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側第１ストッパの反対側に当接されて上記回転部材も上記他方向に回転され、上記回転部材側第２ストッパの反対側が上記回転範囲規制部の第２回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの他方向への回転量が規制される構成になっているので、簡単な構成により上記効果を確実に得ることができる。
また、請求項３記載のアクチュエータによると、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記回転部材側ストッパは単一部材であり、上記ロッドが一方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側ストッパの所定部位に当接されて上記回転部材も上記一方向に回転され、上記回転部材側ストッパの別の所定部位が上記回転範囲規制部の第１回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの一方向への回転量が規制され、上記ロッドが他方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側ストッパの上記所定部位の反対側に当接されて上記回転部材も上記他方向に回転され、上記回転部材側ストッパの上記別の所定部位の反対側が上記回転範囲規制部の第２回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの他方向への回転量が規制される構成になっているので、同様に、簡単な構成により上記効果を確実に得ることができ、特に、回転部材側ストッパが単一部材であるので、より簡単な構成とすることができる。
また、請求項４に記載されたアクチュエータによると、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記回転範囲規制部は単一部材から構成されていて、該単一部材の一端が上記第１回転規制部であり他端が上記第２回転規制部である構成になっているため、上記回転範囲規制部を単一部材とすることにより、より簡単な構成とすることができる。
また、請求項５に記載されたアクチュエータによると、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記回転範囲規制部は上記第１回転規制部である第１回転規制部材と上記第２回転規制部である第２回転規制部材とから構成されているため、例えば、小さな部材を第１回転規制部材や第２回転規制部材とすることでこれらの部材の設置の容易化やコストの低減を図ることができる。
また、請求項６に記載されたアクチュエータによると、請求項１〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記回転範囲規制部は着脱可能に設置されているため、上記回転範囲規制部の交換により、上記ロッドの回転可能範囲を３６０°以上の所定の範囲を任意に、且つ、容易に設定することができる。
また、請求項７に記載されたアクチュエータによると、請求項４記載のアクチュエータにおいて、上記第１回転規制部と第２回転規制部の間隔が異なる複数種類の回転範囲規制部材の中から任意の回転範囲規制部材を取り付けるようにしたので、単一の部材の交換により、上記ロッドの回転可能範囲を３６０°以上の所定の範囲を任意に、且つ、容易に設定することができる。
また、請求項８に記載されたアクチュエータによると、請求項１〜請求項７の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド側ストッパ及び又は上記回転部材側ストッパは着脱可能に設置されているので、上記ロッドの回転可能範囲が規制される状態と上記ロッドの回転可能範囲が規制されない状態とを、容易に切り替えることができる。
また、請求項９に記載されたアクチュエータによると、請求項１〜請求項８の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッド側ストッパ及び又は上記回転部材側ストッパには当接時の衝撃を緩衝する緩衝材が設置されているので、上記ロッド側ストッパや回転部材側ストッパが当接する際の衝撃や音を低減させることができる。
また、請求項１０に記載されたアクチュエータによると、請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記回転部材側ストッパ及び又は上記回転規制部の第１回転規制部及び第２回転規制部には当接時の衝撃を緩衝する緩衝材が設置されているため、上記回転部材側ストッパや第１回転規制部、第２回転規制部が当接する際の衝撃や音を低減させることができる。
また、請求項１１に記載されたアクチュエータによると、請求項１〜請求項１０の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ロッドを回転・駆動するロッド用モータが設置されていて、上記ロッドはスプラインシャフトであり、このスプラインシャフトにはスプラインナットが噛合・配置されていて、上記ロッド用モータにより上記スプラインナットを回転させることにより上記ロッドを回転・駆動するようにしたので、簡単な構成で軸方向の移動と回転の両方を実現することかできる。
また、請求項１２に記載されたロボットによると、請求項１〜請求項１１の何れかに記載のアクチュエータを用いるので、構成の簡略化と小型化を図ることができる。
また、請求項１３に記載されたロボットによると、請求項１２記載のロボットにおいて、テーブルトップ型の直交ロボットであり、請求項１〜請求項１１の何れかに記載したアクチュエータをＺ−Ｒ軸アクチュエータとして用いるので、構成の簡略化と小型化を図ることができる。
また、請求項１４に記載されたロボットによると、請求項１２記載のロボットにおいて、水平又は垂直の多関節ロボットであり、請求項１〜請求項１１の何れかに記載したアクチュエータをＺ−Ｒ軸アクチュエータとして用いるので、構成の簡略化と小型化を図ることができる。 As described above, according to the actuator of the first aspect, the rod that is moved in the axial direction and rotated and driven, the rod-side stopper that is installed on the rod, and the coaxial that is installed on the rod and rotatable. A rotating member, a rotating member side stopper installed on the rotating member, and a rotation range restricting portion including a first rotation restricting portion and a second rotation restricting portion, and the rod is rotated in one direction. Then, the rod side stopper is brought into contact with the rotating member side stopper, the rotating member is also rotated in the one direction, and the rotating member side stopper is brought into contact with the first rotation restricting portion of the rotation range restricting portion. Thus, the amount of rotation of the rod in one direction is regulated via the rotating member, and when the rod is rotated in the other direction, the rod side stopper is brought into contact with the opposite side of the rotating member side stopper. The rotating member is also rotated in the other direction, and the rotating member side stopper is brought into contact with the second rotation restricting portion of the rotation range restricting portion, whereby the rotation amount of the rod in the other direction via the rotating member. Therefore, the rotation of the rod can be regulated within a predetermined range of 360 ° or more with a simple configuration, and the change of the rotation amount can be easily dealt with. .
According to the actuator of claim 2, in the actuator of claim 1, the rotating member side stopper is composed of a rotating member side first stopper and a rotating member side second stopper, and the rod is unidirectional. The rod-side stopper is brought into contact with the rotating member-side first stopper, the rotating member is also rotated in the one direction, and the rotating member-side second stopper is rotated in the first rotation of the rotation range restricting portion. The amount of rotation of the rod in one direction is regulated through the rotating member by coming into contact with the regulating portion, and when the rod is rotated in the other direction, the rod side stopper is the rotating member side first stopper. The rotating member is rotated in the other direction, and the opposite side of the rotating member side second stopper is in contact with the second rotation restricting portion of the rotation range restricting portion. Since the rotation amount in the other direction of the rod through the serial rotary member has a configuration which is regulated, it is possible to reliably obtain the above effects with a simple structure.
Further, according to the actuator according to claim 3, in the actuator according to claim 1, the rotating member side stopper is a single member, and when the rod is rotated in one direction, the rod side stopper is moved to the rotating member side. The rotating member is also rotated in the one direction by contacting with a predetermined portion of the stopper, and another predetermined portion of the rotating member side stopper is in contact with the first rotation restricting portion of the rotation range restricting portion. When the amount of rotation of the rod in one direction is restricted via the rotating member, and the rod is rotated in the other direction, the rod side stopper is brought into contact with the opposite side of the predetermined portion of the rotating member side stopper. The rotating member is also rotated in the other direction, and the rotating member side stopper is brought into contact with the second rotation restricting portion of the rotation range restricting portion so that the rotating member side stopper is in contact with the second rotation restricting portion. Since the amount of rotation of the rod in the other direction is regulated through the configuration, similarly, the above effect can be reliably obtained with a simple configuration, and in particular, the rotating member side stopper is a single member. Since there is, it can be set as a simpler structure.
According to the actuator described in claim 4, in the actuator according to any one of claims 1 to 3, the rotation range restricting portion is composed of a single member, and one end of the single member. Is the first rotation restricting portion and the other end is the second rotation restricting portion. Therefore, by using the rotation range restricting portion as a single member, a simpler structure can be obtained. .
According to the actuator described in claim 5, in the actuator according to any one of claims 1 to 3, the rotation range restricting portion includes the first rotation restricting member that is the first rotation restricting portion and the above-described rotation restricting portion. Since the second rotation restriction member is a second rotation restriction member, for example, a small member is used as the first rotation restriction member or the second rotation restriction member, thereby facilitating the installation and cost of these members. Can be reduced.
Moreover, according to the actuator described in claim 6, in the actuator according to any one of claims 1 to 5, the rotation range restricting portion is detachably installed. By exchanging, the rotatable range of the rod can be set arbitrarily and easily within a predetermined range of 360 ° or more.
According to the actuator described in claim 7, in the actuator according to claim 4, an arbitrary rotation is selected from a plurality of types of rotation range restricting members having different intervals between the first rotation restricting portion and the second rotation restricting portion. Since the range restricting member is attached, the predetermined range of 360 ° or more can be arbitrarily set easily and easily by exchanging a single member.
Further, according to the actuator described in claim 8, in the actuator according to any one of claims 1 to 7, the rod side stopper and or the rotating member side stopper are detachably installed. It is possible to easily switch between a state where the rotatable range of the rod is restricted and a state where the rotatable range of the rod is not restricted.
According to the actuator described in claim 9, in the actuator according to any one of claims 1 to 8, the rod-side stopper and / or the rotating member-side stopper buffers an impact at the time of contact. Since the cushioning material is installed, it is possible to reduce impact and sound when the rod side stopper and the rotating member side stopper come into contact.
According to the actuator described in claim 10, in the actuator according to any one of claims 1 to 9, the rotation member side stopper and / or the first rotation restricting portion and the second rotation of the rotation restricting portion. Since the cushioning material that cushions the impact at the time of contact is installed in the restricting portion, the impact and sound when the rotating member side stopper, the first rotation restricting portion, and the second rotation restricting portion come into contact are reduced. Can do.
According to the actuator described in claim 11, in the actuator according to any one of claims 1 to 10, a rod motor for rotating and driving the rod is installed, and the rod is a spline shaft. Since the spline nut is meshed and disposed on the spline shaft, and the rod is rotated and driven by rotating the spline nut by the rod motor, the axial direction can be achieved with a simple configuration. Both movement and rotation can be realized.
According to the robot described in claim 12, since the actuator according to any of claims 1 to 11 is used, the configuration can be simplified and the size can be reduced.
According to a robot described in claim 13, the robot according to claim 12 is a table top type orthogonal robot, and the actuator according to any one of claims 1 to 11 is a Z-R axis actuator. Therefore, the structure can be simplified and downsized.
Further, according to the robot described in claim 14, the robot according to claim 12, which is a horizontal or vertical articulated robot, the actuator according to any one of claims 1 to 11 is mounted on a Z-R axis. Since it is used as an actuator, the configuration can be simplified and downsized.

本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータを用いたテーブルトップ型直交タイプの作業ロボットを示す斜視図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the tabletop type orthogonal type work robot using an actuator. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの駆動部カバを取り外した状態の斜視図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a perspective view of the state which removed the drive part cover of the actuator. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの駆動部カバを取り外した状態の正面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a front view of the state which removed the drive part cover of the actuator. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの駆動部カバを取り外した状態の左側面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is the left view of the state which removed the drive part cover of the actuator. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの駆動部カバを取り外した状態の底面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a bottom view of the state which removed the drive part cover of the actuator. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図３におけるＶＩ−ＶＩ断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is VI-VI sectional drawing in FIG. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図４におけるＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is VII-VII sectional drawing in FIG. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図８は図６におけるＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。FIG. 8 is a diagram showing a first embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a sectional view taken along line VIII-VIII in FIG. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図９（ａ）は図７におけるＩＸａ−ＩＸａ断面図、図９（ｂ）は図９（ａ）のｂ部の拡大図である。9A and 9B are diagrams showing a first embodiment of the present invention, in which FIG. 9A is a cross-sectional view taken along the line IXa-IXa in FIG. 7, and FIG. 9B is an enlarged view of a portion b in FIG. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、駆動部カバ、スプラインナット、及び、取付部を撤去し、中空ロッド側タイミングプーリをフランジ部の基部で破断した状態でのアクチュエータの先端部の部分斜視図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a first embodiment of the present invention, in which a drive part cover, a spline nut, and an attachment part are removed, and a hollow rod side timing pulley is broken at a base part of a flange part; It is a fragmentary perspective view. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図１１（ａ）は中空ロッドの回転部材に対する回転可能範囲を示す模式図、図１１（ｂ）は中空ロッドの回転とともに回転部材が回転されて回転部材側第２ストッパが回転範囲規制部材の第１回転規制部に当接された状態を示す模式図、図１１（ｃ）は中空ロッドの回転とともに回転部材が回転されて回転部材側第２ストッパが回転範囲規制部材の第２回転規制部に当接された状態を示す模式図である。FIG. 11A is a diagram illustrating a first embodiment of the present invention, FIG. 11A is a schematic diagram illustrating a rotatable range of a hollow rod with respect to a rotating member, and FIG. 11B is a rotating member rotated with the rotation of the hollow rod. FIG. 11C is a schematic diagram showing a state where the second stopper on the rotating member side is in contact with the first rotation restricting portion of the rotation range restricting member, and FIG. It is a schematic diagram which shows the state which 2 stopper contact | abutted to the 2nd rotation control part of the rotation range control member. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、水平多関節型の作業ロボットを示す斜視図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows a horizontal articulated type work robot. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、駆動部カバを取り外した状態の作業ロボットの斜視図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is a perspective view of the working robot of the state which removed the drive part cover. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、図１２のＸＩＶ−ＸＩＶ断面図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is XIV-XIV sectional drawing of FIG. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、図１４のＸＶ部の拡大図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is an enlarged view of the XV part of FIG. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、図１４のＸＶＩ−ＸＶＩ矢視図であり、ロッド、スプラインナット、タイミングプーリ等を抽出したものである。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is a XVI-XVI arrow line view of FIG. 14, and extracts a rod, a spline nut, a timing pulley, etc. FIG. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、図１７（ａ）はロッド、スプラインナット、タイミングプーリ等を抽出した斜視図、図１７（ｂ）は図１７（ａ）の回転部材側ストッパの取付構造を分解した分解斜視図である。FIGS. 17A and 17B are views showing a second embodiment of the present invention, FIG. 17A is a perspective view in which rods, spline nuts, timing pulleys, and the like are extracted, and FIG. 17B is a rotating member side stopper of FIG. It is the disassembled perspective view which decomposed | disassembled the attachment structure. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、図１７（ａ）におけるＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩ断面図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is XVIII-XVIII sectional drawing in Fig.17 (a). 本発明の第２の実施の形態を示す図で、図１９（ａ）はロッドの回転部材に対する回転可能範囲を示す模式図、図１９（ｂ）はロッドの回転とともに回転部材が回転されて回転部材側ストッパが一方の回転範囲規制部材に当接された状態を示す模式図、図１９（ｃ）はロッドの回転とともに回転部材が回転されて回転部材側ストッパが他方の回転範囲規制部材に当接された状態を示す模式図である。FIGS. 19A and 19B are diagrams showing a second embodiment of the present invention, FIG. 19A is a schematic diagram showing a rotatable range of the rod with respect to the rotating member, and FIG. 19B is a rotation of the rotating member as the rod rotates. FIG. 19C is a schematic diagram showing a state in which the member-side stopper is in contact with one rotation range restricting member. FIG. It is a schematic diagram which shows the state contact | connected.

以下、図１乃至図１１を参照して、本発明の第１の実施の形態について説明する。
図１は、テーブルトップ型直交タイプの作業ロボット１の全体構成を示す斜視図である。上記作業ロボット１にはテーブル５が設けられている。このテーブル５は中空の箱であり、その内部には図示しない制御用の基板や電源装置等が設置されている。また、上記テーブル５の正面（図１中左下側の面）には、コネクタ７、９、１１や押釦スイッチ１３、１５、非常停止用押釦スイッチ１７が設置されている。 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is a perspective view showing the overall configuration of a work robot 1 of a table top type orthogonal type. The work robot 1 is provided with a table 5. The table 5 is a hollow box, in which a control board, a power supply device, and the like (not shown) are installed. Further, on the front surface of the table 5 (surface on the lower left side in FIG. 1), connectors 7, 9, 11, push button switches 13, 15, and an emergency stop push button switch 17 are installed.

また、上記テーブル５には、Ｘ軸アクチュエータ１９が設置されている。このＸ軸アクチュエータ１９の下側部分（図１中下側部分）は上記テーブル５内に収容・配置されており、上側部分（図１中上側部分）は上記テーブル５の上方（図１中上側）に露出・配置されている。   The table 5 is provided with an X-axis actuator 19. The lower part (lower part in FIG. 1) of the X-axis actuator 19 is housed and arranged in the table 5, and the upper part (upper part in FIG. 1) is above the table 5 (upper part in FIG. 1). ) Is exposed and placed.

上記Ｘ軸アクチュエータ１９は、ハウジング２１を備えていて、このハウジング２１は、略Ｕ字型の断面形状を成し、上記テーブル５の長手方向（図１中左下から右上に向かう方向、Ｘ軸方向）に延長されている。上記ハウジング２１の上端部（図１中上側端部）の幅方向（図１中左下から右上に向かう方向）両側は、外側に向けて突出・形成され、板状の覆い部２３、２３となっている。   The X-axis actuator 19 includes a housing 21, which has a substantially U-shaped cross-sectional shape, and the longitudinal direction of the table 5 (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 1, the X-axis direction) ). Both sides of the upper end of the housing 21 (upper end in FIG. 1) in the width direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 1) are projected and formed outward to form plate-like covers 23 and 23. ing.

上記ハウジング２１内には、図示しないＸ軸モータと、このＸ軸モータによって回転される図示しないＸ軸ボールネジと、このＸ軸ボールネジに螺合されるＸ軸ボールナット（図示せず）が備えられている。そして、上記Ｘ軸ボールナットには図示しないＸ軸スライダが固着されている。この図示しないＸ軸スライダの上側部分（図１中上側部分）は外部に露出・配置されており、ここに様々な対象物が設置される。この第１の実施の形態の場合は、上記図示しないＸ軸スライダにパレット２５が設置されている。このパレット２５上には、複数（この第１の実施の形態の場合は、５×５＝２５枚）の基板２６が載置されている。   The housing 21 includes an X-axis motor (not shown), an X-axis ball screw (not shown) rotated by the X-axis motor, and an X-axis ball nut (not shown) screwed to the X-axis ball screw. ing. An X-axis slider (not shown) is fixed to the X-axis ball nut. An upper portion (upper portion in FIG. 1) of the X-axis slider (not shown) is exposed and arranged outside, and various objects are placed here. In the case of the first embodiment, the pallet 25 is installed on the X-axis slider (not shown). On the pallet 25, a plurality of substrates 26 (5 × 5 = 25 in the case of the first embodiment) are placed.

また、上記ハウジング２１内には、上記図示しないＸ軸スライダをガイドする図示しないガイド部材が設置されている。このガイド部材によって、上記Ｘ軸ボールナット（図示せず）ひいては上記図示しないＸ軸スライダが、上記図示しないＸ軸ボールネジの軸方向（図１中左下から右上に向かう方向、Ｘ軸方向）にガイドされる構成になっている。そして、上記図示しないＸ軸ボールネジの回転によって、上記Ｘ軸ボールナットと図示しないＸ軸スライダが、上記Ｘ軸ボールネジの軸方向（図１中左下から右上に向かう方向、Ｘ軸方向）にガイドされながら移動される。   In the housing 21, a guide member (not shown) for guiding the X-axis slider (not shown) is installed. The guide member guides the X-axis ball nut (not shown) and the X-axis slider (not shown) in the axial direction of the X-axis ball screw (not shown) from the lower left to the upper right in FIG. It is configured to be. Then, the rotation of the X-axis ball screw (not shown) guides the X-axis ball nut and the X-axis slider (not shown) in the axial direction of the X-axis ball screw (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 1, the X-axis direction). It is moved while.

また、上記ハウジング２１の上方（図１中上側）には上部カバ２７が設置されている。この上部カバ２７は、上記ハウジング２１の図示しない上側（図１中上側）の開口部を閉塞するように配置されている。また、上記図示しないＸ軸スライダは上記上部カバ２７を跨ぐように配置されている。   An upper cover 27 is installed above the housing 21 (upper side in FIG. 1). The upper cover 27 is disposed so as to close an upper opening (upper side in FIG. 1) of the housing 21 (not shown). The X-axis slider (not shown) is disposed so as to straddle the upper cover 27.

上記テーブル５には、図１に示すように、柱体２９が立設されている。そして、この柱体２９には、Ｙ軸アクチュエータ３１が設置されている。   As shown in FIG. 1, a column body 29 is erected on the table 5. A Y-axis actuator 31 is installed on the column body 29.

このＹ軸アクチュエータ３１は、ハウジング３３を備えていて、このハウジング３３内には図示しないＹ軸ボールネジと、このＹ軸ボールネジに螺合されるＹ軸ボールナット（図示せず）が備えられている。また、上記図示しないＹ軸ボールナットにはＹ軸スライダ３５が固着されている。   The Y-axis actuator 31 includes a housing 33. The housing 33 includes a Y-axis ball screw (not shown) and a Y-axis ball nut (not shown) screwed into the Y-axis ball screw. . A Y-axis slider 35 is fixed to the Y-axis ball nut (not shown).

また、上記Ｙ軸アクチュエータ３１には駆動部カバ３７が設置されている。この駆動部カバ３７内には、図示しないＹ軸モータ、このＹ軸モータの出力軸に固着されたＹ軸モータ側タイミングプーリ（図示せず）、上記図示しないＹ軸ボールネジの端部に固着されたＹ軸ボールネジ側タイミングプーリ（図示せず）、及び、上記Ｙ軸モータ側タイミングプーリやＹ軸ボールネジ側タイミングプーリ間に巻回された図示しないタイミングベルト、等が備えられている。上記Ｙ軸モータが回転することにより、上記Ｙ軸モータ側タイミングプーリ、タイミングベルト、Ｙ軸ボールネジ側タイミングプーリを介して、上記Ｙ軸ボールネジが回転されることになる。   The Y-axis actuator 31 is provided with a drive unit cover 37. In the drive unit cover 37, a Y-axis motor (not shown), a Y-axis motor side timing pulley (not shown) fixed to the output shaft of the Y-axis motor, and an end of the Y-axis ball screw (not shown) are fixed. And a Y-axis ball screw side timing pulley (not shown), a Y-axis motor side timing pulley, a timing belt (not shown) wound around the Y-axis ball screw side timing pulley, and the like. When the Y-axis motor rotates, the Y-axis ball screw is rotated via the Y-axis motor side timing pulley, the timing belt, and the Y-axis ball screw side timing pulley.

また、上記ハウジング３３内には、上記Ｙ軸スライダ３５をガイドする図示しないガイド部材が設置されている。このガイド部材によって、上記Ｙ軸スライダ３５、ひいては、Ｙ軸ボールナット（図示せず）が、上記Ｙ軸ボールネジの軸方向（図１中左上から右下に向かう方向、Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向）にガイドされながら移動されるようになっている。   A guide member (not shown) that guides the Y-axis slider 35 is installed in the housing 33. With this guide member, the Y-axis slider 35, and hence the Y-axis ball nut (not shown), is in the axial direction of the Y-axis ball screw (the direction from the upper left to the lower right in FIG. 1, Y orthogonal to the X-axis direction). It is moved while being guided in the axial direction.

また、上記ハウジング３３にはカバ３９が設置されている。このカバ３９は、上記ハウジング３３の開口部４１を閉塞するように配置されている。上記Ｙ軸スライダ３５はこのカバ３９を跨ぐように設置されている。   A cover 39 is installed in the housing 33. The cover 39 is disposed so as to close the opening 41 of the housing 33. The Y-axis slider 35 is installed so as to straddle the cover 39.

上記Ｙ軸スライダ３５には、Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６が設置されている。このＺ−Ｒ軸アクチュエータ３６は、次のような構成を成している。   The Y-axis slider 35 is provided with a Z-R axis actuator 36. The Z-R axis actuator 36 has the following configuration.

上記Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６にはハウジング４３が備えられている。このハウジング４３は、ガイド部４５とカバ部４７とから構成されている。
上記ガイド部４５は略Ｕ字形の断面形状を成しており、図２、図６、図７に示すように、その内側の幅方向（図６中紙面垂直方向）両側にはガイドレール４９、４９が設置されている。このガイドレール４９には長さ方向（図６中上下方向）に延長された凹部５１が形成されている。
また、上記ガイド部４５の長さ方向（図６中上下方向）両端側底部にはストッパ５３、５３が設置されている。上記ストッパ５３は、上記ストッパ５３を貫通されるボルト５５を上記ガイド部４５の底部に螺合することによって固定されている。 The Z-R axis actuator 36 is provided with a housing 43. The housing 43 includes a guide part 45 and a cover part 47.
The guide portion 45 has a substantially U-shaped cross section. As shown in FIGS. 2, 6, and 7, guide rails 49 are provided on both sides of the inner width direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 6). 49 is installed. The guide rail 49 has a recess 51 extending in the length direction (vertical direction in FIG. 6).
Further, stoppers 53 are provided at the bottoms on both ends of the guide portion 45 in the length direction (vertical direction in FIG. 6). The stopper 53 is fixed by screwing a bolt 55 penetrating the stopper 53 into the bottom of the guide portion 45.

また、上記カバ部４７は、図８に示すように、略Ｕ字形の断面形状を成しており、図２、図３に示すように、開口部としての２つのスリット５６、５６が形成されている。   Further, the cover portion 47 has a substantially U-shaped cross section as shown in FIG. 8, and two slits 56 and 56 as openings are formed as shown in FIGS. ing.

上記ハウジング４３の後端側（図６中上側）には、ベアリングケース５７が設置されている。上記ベアリングケース５７には貫通孔５９が形成されており、この貫通孔５９内には軸受６１、６１が内装されている。上記軸受６１は、外輪６３と、この外輪６３の内側に配置された内輪６５と、上記外輪６３と内輪６５との間に転動可能に設置された複数の鋼球６７と、これら鋼球６７を保持するリテイナ６９とから構成されている。
また、上記軸受６１、６１は、軸受押え７０によって押えられている。 A bearing case 57 is installed on the rear end side (upper side in FIG. 6) of the housing 43. A through hole 59 is formed in the bearing case 57, and bearings 61 and 61 are housed in the through hole 59. The bearing 61 includes an outer ring 63, an inner ring 65 disposed inside the outer ring 63, a plurality of steel balls 67 installed so as to roll between the outer ring 63 and the inner ring 65, and these steel balls 67. It is comprised from the retainer 69 which hold | maintains.
The bearings 61 and 61 are pressed by a bearing presser 70.

また、上記ハウジング４３の前端側（図６中下側）には、ベアリングケース７１が設置されている。上記ベアリングケース７１には貫通孔７３が形成されており、この貫通孔７３内には軸受７５、７５が内装されている。この軸受７５も、前述した軸受６１と同様に、外輪７７、内輪７９、複数の鋼球８１、リテイナ８３とから構成されている。
また、上記軸受７５、７５は軸受押え８４によって押えられている。 A bearing case 71 is provided on the front end side (lower side in FIG. 6) of the housing 43. A through hole 73 is formed in the bearing case 71, and bearings 75 and 75 are housed in the through hole 73. The bearing 75 is also composed of an outer ring 77, an inner ring 79, a plurality of steel balls 81, and a retainer 83, similarly to the bearing 61 described above.
The bearings 75 and 75 are pressed by a bearing press 84.

また、上記ハウジング４３内にはＺ軸ボールネジ８５が回転可能に設置されている。上記Ｚ軸ボールネジ８５の後端側は上記軸受６１、６１によって回転可能に支持されている。また、上記Ｚ軸ボールネジ８５の外周面には螺旋状の雄ネジ部８７が形成されている。   In the housing 43, a Z-axis ball screw 85 is rotatably installed. The rear end side of the Z-axis ball screw 85 is rotatably supported by the bearings 61 and 61. A spiral male screw portion 87 is formed on the outer peripheral surface of the Z-axis ball screw 85.

上記Ｚ軸ボールネジ８５にはＺ軸ボールナット８９が螺合・配置されている。このＺ軸ボールナット８９の内周面には螺旋状の雌ネジ部９１が形成されている。また、上記Ｚ軸ボールナット８９内には図示しない無負荷循環路が形成されている。また、上記Ｚ軸ボールナット８９の前後両端（図６中上下方向両端）にはエンドキャップ９３、９３が設置されており、このエンドキャップ９３、９３にはそれぞれ図示しないリターン路が形成されている。そして、上記Ｚ軸ボールナット８９の雌ネジ部９１と上記Ｚ軸ボールネジ８５の雄ネジ部８７との間の空間（転動路）、上記無負荷循環路、及び、上記リターン路内には、複数の鋼球９５が転動・循環している。この鋼球９５によって、上記Ｚ軸ボールナット８９の移動が円滑なものとされる。   A Z-axis ball nut 89 is screwed and arranged on the Z-axis ball screw 85. A spiral female thread portion 91 is formed on the inner peripheral surface of the Z-axis ball nut 89. Further, a no-load circulation path (not shown) is formed in the Z-axis ball nut 89. Further, end caps 93 and 93 are provided at both front and rear ends (upper and lower ends in FIG. 6) of the Z-axis ball nut 89, and return paths (not shown) are formed in the end caps 93 and 93, respectively. . And in the space (rolling path) between the female threaded portion 91 of the Z-axis ball nut 89 and the male threaded portion 87 of the Z-axis ball screw 85, the unloaded circulation path, and the return path, A plurality of steel balls 95 are rolling and circulating. The steel ball 95 makes the Z-axis ball nut 89 move smoothly.

また、上記Ｚ軸ボールナット８９にはＺ軸スライダ９７が固着されている。このＺ軸スライダ９７には貫通孔９９が形成されており、この貫通孔９９の後端側（図６中上側）に上記Ｚ軸ボールナット８９が固着されている。   A Z-axis slider 97 is fixed to the Z-axis ball nut 89. A through-hole 99 is formed in the Z-axis slider 97, and the Z-axis ball nut 89 is fixed to the rear end side (upper side in FIG. 6) of the through-hole 99.

また、上記Ｚ軸スライダ９７の前後両端（図６中上下方向両端）の図６中紙面垂直方向奥側にはエンドキャップ１０１、１０１が設置されている。また、上記Ｚ軸スライダ９７の前後両端（図６中上下方向両端）の図６中紙面垂直方向手前側にも、図７に示すように、それぞれエンドキャップ１０１、１０１が設置されている。これらエンドキャップ１０１、１０１、１０１、１０１内にはそれぞれ図示しないリターン路が形成されている。   Further, end caps 101 and 101 are installed on the back side in the vertical direction in FIG. 6 of the front and rear ends of the Z-axis slider 97 (both ends in the vertical direction in FIG. 6). Further, as shown in FIG. 7, end caps 101 and 101 are also installed on the front side in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. Return paths (not shown) are formed in the end caps 101, 101, 101, 101, respectively.

また、上記Ｚ軸スライダ９７の幅方向両側（図６中紙面垂直方向両側）には凹部が形成された図示しないガイドレールが備えられている。また、上記Ｚ軸スライダ９７内には図６中紙面垂直方向奥側と図６中紙面垂直方向手前側それぞれに図示しない無負荷循環路が形成されている。   Further, guide rails (not shown) having recesses are provided on both sides in the width direction of Z-axis slider 97 (both sides in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 6). Further, in the Z-axis slider 97, unloaded circulation paths (not shown) are formed on the rear side in the vertical direction of the paper surface in FIG. 6 and on the front side in the vertical direction of the paper surface in FIG.

そして、図６中紙面垂直方向奥側において、上記Ｚ軸スライダ９７内の図示しない無負荷循環路と上記エンドキャップ１０１、１０１内のリターン路、及び、上記Ｚ軸ガイドレール４９の凹部５１と上記Ｚ軸スライダ９７の図示しないガイドレールの凹部との間の空間（転動路）内には、図示しない複数の鋼球が循環している。また、図６中紙面垂直方向手前側においても同様に、上記Ｚ軸スライダ９７内の図示しない無負荷循環路と上記エンドキャップ１０１、１０１内のリターン路、及び、上記Ｚ軸ガイドレール４９の凹部５１と上記Ｚ軸スライダ９７の図示しないガイドレールの凹部との間の空間（転動路）内に、図示しない複数の鋼球が循環している。   6, a no-load circulation path (not shown) in the Z-axis slider 97, a return path in the end caps 101, 101, a recess 51 in the Z-axis guide rail 49, and the above-mentioned A plurality of steel balls (not shown) circulate in the space (rolling path) between the Z-axis slider 97 and the recess of the guide rail (not shown). Similarly, on the front side in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 6, similarly, a no-load circulation path (not shown) in the Z-axis slider 97, a return path in the end caps 101 and 101, and a recess in the Z-axis guide rail 49. A plurality of steel balls (not shown) circulate in a space (rolling path) between 51 and the recess of the guide rail (not shown) of the Z-axis slider 97.

この図示しない複数の鋼球によって上記Ｚ軸スライダ９７の移動が円滑にされる。また、上記図示しない複数の鋼球とガイド部４５のＺ軸ガイドレール４９や上記Ｚ軸スライダ９７の図６中紙面垂直方向奥側の図示しないガイドレールとの相互作用、及び、上記図示しない複数の鋼球とガイド部４５の図示しないガイドレールや上記Ｚ軸スライダ９７の図６中紙面垂直方向手前側の図示しないガイドレールとの相互作用により、上記Ｚ軸スライダ９７、ひいては、上記Ｚ軸ボールナット８９のＺ軸ボールネジ８５軸心周りの回転が防止されている。また、このことにより、上記Ｚ軸ボールネジ８５の回転によって、上記Ｚ軸ボールナット８９やＺ軸スライダ９７が前後方向（図６中上下方向、Ｘ軸及びＹ軸に直交するＺ軸方向）に移動される。   The Z-axis slider 97 is smoothly moved by the plurality of steel balls (not shown). Further, the interaction between the plurality of steel balls (not shown) and the Z-axis guide rail 49 of the guide portion 45 and the guide rail (not shown) on the back side of the Z-axis slider 97 in the vertical direction in FIG. The Z-axis slider 97 and thus the Z-axis ball are caused by the interaction between the steel ball and the guide rail (not shown) of the guide portion 45 and the guide rail (not shown) on the front side of the Z-axis slider 97 in FIG. The rotation of the nut 89 around the Z-axis ball screw 85 axis is prevented. Further, as a result of the rotation of the Z-axis ball screw 85, the Z-axis ball nut 89 and the Z-axis slider 97 are moved in the front-rear direction (vertical direction in FIG. 6, the Z-axis direction orthogonal to the X-axis and Y-axis). Is done.

また、例えば、図８に示すように、上記Ｚ軸スライダ９７の反ガイド部４５側（図８中左側）には、取付対象物固定部１０２、１０２が突出・形成されている。これら取付対象物固定部１０２、１０２は、カバ部４７のスリット２６、２６を貫通して、ハウジング４３外部へと突出・配置されている。すなわち、上記Ｚ軸スライダ９７の一部が、上記スリット２６、２６を貫通して、上記ハウジング４３の外部に露出されている。
また、図２に示すように、上記取付対象物固定部１０２、１０２には、複数（この第１の実施の形態の場合には、１つの上記取付対象物固定部１０２につき２つ）の位置決め用穴１０２ａ、１０２ａと、複数（この第１の実施の形態の場合には、１つの上記取付対象物固定部１０２につき３つ）の雌ネジ部１０２ｂ、１０２ｂ、１０２ｂが形成されている。 For example, as shown in FIG. 8, attachment object fixing portions 102, 102 protrude and are formed on the side of the Z-axis slider 97 opposite to the guide portion 45 (left side in FIG. 8). These attachment target fixing parts 102 and 102 pass through the slits 26 and 26 of the cover part 47 and project and be arranged outside the housing 43. That is, a part of the Z-axis slider 97 passes through the slits 26 and 26 and is exposed to the outside of the housing 43.
In addition, as shown in FIG. 2, there are a plurality (two in the case of the first embodiment, two for each of the mounting object fixing portions 102) in the mounting object fixing portions 102 and 102. A plurality of holes 102a, 102a and a plurality of female screw portions 102b, 102b, 102b (three in the case of the first embodiment, three for each of the attachment object fixing portions 102) are formed.

また、上記Ｚ軸スライダ９７の貫通孔９９の前端側（図６中下側）には、軸受１０３、１０３が内装されている。これら軸受１０３、１０３も、前述した軸受６１と同様に、外輪１０５、内輪１０７、複数の鋼球１０９、リテイナ１１１とから構成されている。
また、上記軸受１０３は軸受押え１１２によって押えられている。 In addition, bearings 103 are provided on the front end side (the lower side in FIG. 6) of the through hole 99 of the Z-axis slider 97. These bearings 103 and 103 are also composed of an outer ring 105, an inner ring 107, a plurality of steel balls 109, and a retainer 111, similarly to the bearing 61 described above.
Further, the bearing 103 is pressed by a bearing presser 112.

上記Ｚ軸スライダ９７には、中空ロッド１１３が回転可能に設置されている。この中空ロッド１１３は、その後端側（図６中上側）を上記Ｚ軸スライダ９７の軸受１０３、１０３によって回転可能に支持されている。上記中空ロッド１１３の内側には中空部１１５が形成されており、この中空部１１５内部に上記Ｚ軸ボールネジ８５が収容・配置されている。
また、この中空ロッド１１３は、いわゆる、スプラインシャフトでもあり、外周側には、図３、図８に示すように、長さ方向（図３中上下方向）に延長された、４本のスプライン溝１１７、１１７、１１７、１１７が形成されている。 A hollow rod 113 is rotatably installed on the Z-axis slider 97. The hollow rod 113 is rotatably supported at its rear end side (upper side in FIG. 6) by the bearings 103 and 103 of the Z-axis slider 97. A hollow portion 115 is formed inside the hollow rod 113, and the Z-axis ball screw 85 is accommodated and disposed in the hollow portion 115.
The hollow rod 113 is also a so-called spline shaft. On the outer peripheral side, as shown in FIGS. 3 and 8, four spline grooves extended in the length direction (vertical direction in FIG. 3). 117, 117, 117, 117 are formed.

また、図６に示すように、上記中空ロッド１１３の外周面にはスプラインナット１１９が設置されていて、これら中空ロッド１１３とスプラインナット１１９は、軸方向に対しては相互に移動可能な状態にあり、回転方向に対しては相互に拘束された状態にある。このスプラインナット１１９はフランジ付の円筒形状を成しており、図９に示すように、内周面には長さ方向（図９中紙面垂直方向）に延長された４本のスプライン溝１２１、１２１、１２１、１２１が形成されている。   Further, as shown in FIG. 6, a spline nut 119 is installed on the outer peripheral surface of the hollow rod 113, and the hollow rod 113 and the spline nut 119 are movable relative to each other in the axial direction. Yes, the rotational directions are mutually constrained. This spline nut 119 has a cylindrical shape with a flange, and as shown in FIG. 9, four spline grooves 121 extending in the length direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 9) are formed on the inner peripheral surface. 121, 121, 121 are formed.

また、上記スプラインナット１１９の内部には、図９に示すように、上記スプライン溝１２１、１２１の前端側（図９中紙面垂直方向手前側）と後端側（図９中紙面垂直方向奥側）に連通された無負荷循環路１２３、１２３が形成されている。また、上記中空ロッド１１３のスプライン溝１１７と上記スプラインナット１１９の内周面のスプライン溝１２１との間の空間（転動路）と上記スプラインナット１１９の無負荷循環路１２３の前端側（図９中紙面垂直方向手前側）と後端側（図９中紙面垂直方向奥側）は、それぞれ図示しないリターン路によって連通されている。   Further, as shown in FIG. 9, the spline nuts 119 have a front end side (front side in the vertical direction in FIG. 9) and a rear end side (rear side in the vertical direction in FIG. 9). No-load circulation paths 123 and 123 communicated with each other) are formed. Further, a space (rolling path) between the spline groove 117 of the hollow rod 113 and the spline groove 121 on the inner peripheral surface of the spline nut 119 and the front end side of the unloaded circulation path 123 of the spline nut 119 (FIG. 9). The front side in the vertical direction in the middle sheet surface) and the rear end side (the rear side in the vertical direction in the middle sheet in FIG. 9) are communicated with each other by a return path (not shown).

この第１の実施の形態の場合には、上記無負荷循環路と上記リターン路が設けられた図示しない保持部材が上記スプラインナット１１９に４つ内装されている構成になっている。
なお、リターン路を備えたリターンキャップを両端に設置して、上記中空ロッド１１３のスプライン溝１１７と上記スプラインナット１１９の内周面のスプライン溝１２１との間の空間（転動路）と上記無負荷循環路１２３とを連通させる構成であってもよい。 In the case of the first embodiment, four holding members (not shown) provided with the no-load circulation path and the return path are built in the spline nut 119.
Return caps having return paths are installed at both ends, and the space (rolling path) between the spline groove 117 of the hollow rod 113 and the spline groove 121 on the inner peripheral surface of the spline nut 119 and the above-mentioned non-return path. The structure which connects the load circuit 123 may be sufficient.

また、上記中空ロッド１１３のスプライン溝１１７と上記スプラインナット１１９の内周面のスプライン溝１２１との間の空間（転動路）、上記リターン路、及び、上記スプラインナット１１９の無負荷循環路１２３内には複数の鋼球１２５が転動・循環している。この複数の鋼球１２５の転動・循環により、上記中空ロッド１１３の上記スプライン溝１１７に沿った移動、すなわち、Ｚ軸方向への円滑な移動が保障される。   Further, the space (rolling path) between the spline groove 117 of the hollow rod 113 and the spline groove 121 on the inner peripheral surface of the spline nut 119, the return path, and the no-load circulation path 123 of the spline nut 119. A plurality of steel balls 125 roll and circulate inside. The rolling and circulation of the plurality of steel balls 125 ensures the movement of the hollow rod 113 along the spline groove 117, that is, smooth movement in the Z-axis direction.

また、上記中空ロッド１１３の先端（図６中下端）には、取付部１２７が設置されている。この取付部１２７には取付対象物が取り付けられる。この第１の実施の形態では、後述するように、上記取付部１２７に、取付用フレーム３４ａを介して、半田ごて３４ｂが取り付けられる。
また、この取付部１２７には、その他にも、工具等の各種作業具が取り付けられる場合が考えられる。 A mounting portion 127 is installed at the tip (lower end in FIG. 6) of the hollow rod 113. An attachment object is attached to the attachment portion 127. In the first embodiment, as will be described later, a soldering iron 34b is attached to the attachment portion 127 via an attachment frame 34a.
In addition to this, it is conceivable that various working tools such as tools can be attached to the attachment portion 127.

また、上記ハウジング４３の後端側（図６中上側）には、上記Ｚ軸ボールネジ８５を回転・駆動するためのＺ軸モータユニット１２９がブラケット１３１を介して設置されている。
上記Ｚ軸モータユニット１２９には、まず、Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３が備えられている。このＺ軸ボールネジ用モータ１３３は、モータハウジング１３５と、このモータハウジング１３５の内周面側に設置されたステータ１３７と、このステータ１３７の内側に回転可能に配置されたロータ１３９と、上記モータハウジング１３５の前後側に突出されると共に上記ロータ１３９が固着され、上記モータハウジング１３５内に回転可能に設けられた出力軸１４１とから構成されている。 A Z-axis motor unit 129 for rotating and driving the Z-axis ball screw 85 is installed on the rear end side of the housing 43 (upper side in FIG. 6) via a bracket 131.
First, the Z-axis motor unit 129 is provided with a Z-axis ball screw motor 133. The Z-axis ball screw motor 133 includes a motor housing 135, a stator 137 installed on the inner peripheral surface side of the motor housing 135, a rotor 139 rotatably disposed inside the stator 137, and the motor housing. The rotor 139 is fixed to the front and rear sides of the motor housing 135, and an output shaft 141 is rotatably provided in the motor housing 135.

また、上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の後端側（図６中下側）には、エンコーダ１４３が設置されている。このエンコーダ１４３には、上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の出力軸１４１の後端側（図６中下側）に固着されるとともに図示しないスケールが設けられたエンコーダホイール１４５と、このエンコーダホイール１４５の後方側（図６中下側）に設置されるとともに上記エンコーダホイール１４５に光を照射する図示しない発光部や上記エンコーダホイール１４５による反射光を検出する図示しないセンサ等の電子部品が実装された基板１４７が備えられている。また、上記エンコーダホイール１４５や上記基板１４７は、上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の後端側（図６中後側）に取り付けられたエンコーダカバ１４９によって覆われている。   An encoder 143 is installed on the rear end side (lower side in FIG. 6) of the Z-axis ball screw motor 133. The encoder 143 has an encoder wheel 145 fixed to the rear end side (lower side in FIG. 6) of the output shaft 141 of the Z-axis ball screw motor 133 and provided with a scale (not shown), and the encoder wheel 145 A board mounted on the rear side (lower side in FIG. 6) and mounted with electronic components such as a light emitting unit (not shown) that irradiates light to the encoder wheel 145 and a sensor (not shown) that detects reflected light from the encoder wheel 145 147 is provided. The encoder wheel 145 and the substrate 147 are covered with an encoder cover 149 attached to the rear end side (rear side in FIG. 6) of the Z-axis ball screw motor 133.

上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の出力軸１４１が回転されると、上記基板１４７上の図示しないセンサによって検出される上記エンコーダホイール１４５による反射光の強度が変化し、これにより上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の回転を検出する。   When the output shaft 141 of the Z-axis ball screw motor 133 is rotated, the intensity of the reflected light from the encoder wheel 145 detected by a sensor (not shown) on the substrate 147 changes, whereby the Z-axis ball screw motor is changed. 133 rotation is detected.

また、上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の前端側（図６中上側）には、ベアリングケース１５１が備えられている。このベアリングケース１５１は、上部ケース１５３と下部ケース１５５とから構成されている。   A bearing case 151 is provided on the front end side (upper side in FIG. 6) of the Z-axis ball screw motor 133. The bearing case 151 includes an upper case 153 and a lower case 155.

上記上部ケース１５３には貫通孔１５７が形成されている。この貫通孔１５７の前端側（図６中上側）には軸受１５９、１５９が内装されている。この軸受１５９も、前述した軸受６１と同様に、外輪１６１、内輪１６３、複数の鋼球１６５、リテイナ１６７とから構成されている。
また、上記軸受１５９、１５９は軸受押え１６８によって押えられている。 A through hole 157 is formed in the upper case 153. Bearings 159 and 159 are provided on the front end side (upper side in FIG. 6) of the through hole 157. This bearing 159 also includes an outer ring 161, an inner ring 163, a plurality of steel balls 165, and a retainer 167, similarly to the bearing 61 described above.
Further, the bearings 159 and 159 are pressed by a bearing presser 168.

また、上記貫通孔１５７の後端側（図６中下側）には電磁ブレーキ１６９が内装されている。この電磁ブレーキ１６９には、本体１７１と、この本体１７１を貫通するとともに上記軸受１５９によって回転可能に支持された電磁ブレーキ回転軸１７３が備えられている。そして、この電磁ブレーキ回転軸１７３には略円板状のブレーキ板１７５が固着されている。   Further, an electromagnetic brake 169 is built in the rear end side (the lower side in FIG. 6) of the through hole 157. The electromagnetic brake 169 includes a main body 171 and an electromagnetic brake rotating shaft 173 that penetrates the main body 171 and is rotatably supported by the bearing 159. A substantially disc-shaped brake plate 175 is fixed to the electromagnetic brake rotating shaft 173.

上記本体１７１内には電磁石１７７が内装されている。また、上記本体１７１には複数（本実施の形態の場合には３本）のネジ１７９が立設されており、このネジ１７９と上記電磁ブレーキ回転軸１７３を貫通するアーマチュア１８１とサイドプレート１８３が設置されている。上記ブレーキ板１７５は上記アーマチュア１８１と上記サイドプレート１８３との間に配置されている。   An electromagnet 177 is housed inside the main body 171. The main body 171 is provided with a plurality of (three in this embodiment) screws 179, and an armature 181 and a side plate 183 penetrating the screws 179, the electromagnetic brake rotating shaft 173, and the like. is set up. The brake plate 175 is disposed between the armature 181 and the side plate 183.

また、上記本体１７１内には上記電磁ブレーキ回転軸１７３に貫通されたコイルバネ１８５が設置されている。また、上記本体１７１の先端側（図６中上側）にはバネ押え１８４が設置されており、上記コイルバネ１８５は上記バネ押え１８４と上記アーマチュア１８１との間に介挿されている。   A coil spring 185 penetrating the electromagnetic brake rotating shaft 173 is installed in the main body 171. Further, a spring retainer 184 is installed on the distal end side (upper side in FIG. 6) of the main body 171, and the coil spring 185 is interposed between the spring retainer 184 and the armature 181.

上記アーマチュア１８１は、常時は上記コイルバネ１８５の弾性力によって図６中下側に付勢されている。このときは、上記アーマチュア１８１は上記ブレーキ板１７５に押し付けられており、上記電磁ブレーキ回転軸１７３の回転が規制されている。しかし、上記電磁石１７７に通電を行うと、上記コイルバネ１８５の弾性力に抗して上記アーマチュア１８１が図６中上側に移動し、上記アーマチュア１８１と上記ブレーキ板１７５との接触が解除される。これにより、上記電磁ブレーキ回転軸１７３の回転の規制が解除される。   The armature 181 is normally urged downward in FIG. 6 by the elastic force of the coil spring 185. At this time, the armature 181 is pressed against the brake plate 175, and the rotation of the electromagnetic brake rotating shaft 173 is restricted. However, when the electromagnet 177 is energized, the armature 181 moves upward in FIG. 6 against the elastic force of the coil spring 185, and the contact between the armature 181 and the brake plate 175 is released. Thereby, the restriction | limiting of the rotation of the said electromagnetic brake rotating shaft 173 is cancelled | released.

また、上記下部ケース１５５には貫通孔１８７が形成されている。この貫通孔１８７内には上記電磁ブレーキ回転軸１７３の後端部（図６中下側部分）が配置されている。
上記電磁ブレーキ回転軸１７３と上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の出力軸１７１とは、上記下部ケース１５５の貫通孔１８７内において、カップリング１８８によって連結されている。 The lower case 155 is formed with a through hole 187. A rear end portion (lower portion in FIG. 6) of the electromagnetic brake rotating shaft 173 is disposed in the through hole 187.
The electromagnetic brake rotating shaft 173 and the output shaft 171 of the Z-axis ball screw motor 133 are connected by a coupling 188 in the through hole 187 of the lower case 155.

また、上記電磁ブレーキ回転軸１７３の前端側（図６上側部分）には、Ｚ軸モータ側タイミングプーリ１８９が固着されているとともに、Ｚ軸ボールネジ８５の後端側（図６中上側）にはＺ軸ボールネジ側タイミングタイミングプーリ１９１が固着されている。このＺ軸モータ側タイミングタイミングプーリ１８９とＺ軸ボールネジ側タイミングプーリ１９１との間にはタイミングベルト１９３が巻回され、上記Ｚ軸ボールネジ用モータ１３３の出力軸１４１の回転が上記Ｚ軸ボールネジ８５へと伝達される。   Further, a Z-axis motor side timing pulley 189 is fixed to the front end side (upper part in FIG. 6) of the electromagnetic brake rotating shaft 173, and on the rear end side (upper side in FIG. 6) of the Z-axis ball screw 85. A Z-axis ball screw side timing timing pulley 191 is fixed. A timing belt 193 is wound between the Z-axis motor side timing timing pulley 189 and the Z-axis ball screw side timing pulley 191, and the rotation of the output shaft 141 of the Z-axis ball screw motor 133 is transferred to the Z-axis ball screw 85. Communicated.

また、上記下部ケース１５５は、下部ケース１５５を貫通し、上記上部ケース１５３に螺合されるボルト１９５、１９５、１９５、１９５によって固定されている。
なお、図１に示すように、上記Ｚ軸モータユニット１２９、Ｚ軸モータ側タイミングプーリ１８９、及び、Ｚ軸ボールネジ側タイミングプーリ１９１は駆動部カバ１９７によって覆われている。 The lower case 155 passes through the lower case 155 and is fixed by bolts 195, 195, 195, and 195 that are screwed into the upper case 153.
As shown in FIG. 1, the Z-axis motor unit 129, the Z-axis motor side timing pulley 189, and the Z-axis ball screw side timing pulley 191 are covered with a drive unit cover 197.

また、ハウジング４３の前端側（図６中下側）のベアリングケース７１には、ブラケット１９９を介して、中空ロッド用モータユニット２０１が設置されている。
まず、この中空ロッド用モータユニット２０１には、中空ロッド用モータ２０３が備えられている。
この中空ロッド用モータ２０３は、モータハウジング２０５と、このモータハウジング２０５の内周面側に設置されたステータ２０７と、このステータ２０７の内側に配置されたロータ２０９と、上記モータハウジング２０５の前後側に突出されると共に上記ロータ２０９が固着され、上記モータハウジング２０５内に回転可能に設けられた出力軸２１１とから構成されている。 A hollow rod motor unit 201 is installed in a bearing case 71 on the front end side (lower side in FIG. 6) of the housing 43 via a bracket 199.
First, the hollow rod motor unit 201 is provided with a hollow rod motor 203.
The hollow rod motor 203 includes a motor housing 205, a stator 207 installed on the inner peripheral surface side of the motor housing 205, a rotor 209 disposed inside the stator 207, and the front and rear sides of the motor housing 205. The rotor 209 is fixed and the output shaft 211 is rotatably provided in the motor housing 205.

また、上記中空ロッド用モータ２０３の後端側（図６中上側）には、エンコーダ２１３が設置されている。このエンコーダ２１３には、上記中空ロッド用モータ２０３の出力軸２１１の後端側（図６中上側）に固着されるとともに図示しないスケールが設けられたエンコーダホイール２１５と、このエンコーダホイール２１５の後方側（図６中上側）に設置されるとともに上記エンコーダホイール２１５に光を照射する図示しない発光部や上記エンコーダホイール２１５による反射光を検出する図示しないセンサ等の電子部品が実装された基板２１７が備えられている。また、上記エンコーダホイール２１５や上記基板２１７は、上記中空ロッド用モータ２０３の後端側（図６中上側）に取り付けられたエンコーダカバ２１９によって覆われている。
なお、この第１の実施の形態の場合は、上記エンコーダ２１３として、インクリメンタル方式のエンコーダが用いられている。 An encoder 213 is installed on the rear end side (upper side in FIG. 6) of the hollow rod motor 203. The encoder 213 is fixed to the rear end side (upper side in FIG. 6) of the output shaft 211 of the hollow rod motor 203 and is provided with a scale (not shown), and the rear side of the encoder wheel 215. (A top side in FIG. 6) and a substrate 217 on which electronic components such as a light emitting unit (not shown) for irradiating light to the encoder wheel 215 and a sensor (not shown) for detecting reflected light from the encoder wheel 215 are mounted. It has been. The encoder wheel 215 and the substrate 217 are covered with an encoder cover 219 attached to the rear end side (upper side in FIG. 6) of the hollow rod motor 203.
In the case of the first embodiment, an incremental encoder is used as the encoder 213.

上記中空ロッド用モータユニット２０１の前端側（図６中下側）には、ベアリングケース２２１が備えられている。このベアリングケース２２１には貫通孔２２３が形成されており、この貫通孔２２３内には軸受２２５、２２５が内装されている。この軸受２２５も、前述した軸受６１と同様に、外輪２２７、内輪２２９、複数の鋼球２３１、リテイナ２３３とから構成されている。
また、上記軸受２２５、２２５は軸受押え２３４によって押えられている。 A bearing case 221 is provided on the front end side (lower side in FIG. 6) of the hollow rod motor unit 201. A through hole 223 is formed in the bearing case 221, and bearings 225 and 225 are housed in the through hole 223. This bearing 225 is also composed of an outer ring 227, an inner ring 229, a plurality of steel balls 231, and a retainer 233, similarly to the bearing 61 described above.
The bearings 225 and 225 are pressed by a bearing presser 234.

上記中空ロッド用モータ２０３の出力軸２１１にはタイミングプーリ取付軸２３５が連結されている。このタイミングプーリ取付軸２３５は上記軸受２２５、２２５に回転可能に支持されている。
また、上記タイミングプーリ取付軸２３５の前端側（図６中下側）には中空ロッド用モータ側タイミングプーリ２３７が固着されている。 A timing pulley mounting shaft 235 is connected to the output shaft 211 of the hollow rod motor 203. The timing pulley mounting shaft 235 is rotatably supported by the bearings 225 and 225.
A hollow rod motor side timing pulley 237 is fixed to the front end side (lower side in FIG. 6) of the timing pulley mounting shaft 235.

また、スプラインナット１１９には、中空ロッド側タイミングプーリ２３９が固着されている。この中空ロッド側タイミングプーリ２３９と上記中空ロッド用モータ側タイミングプーリ２３７にはタイミングベルト２４１が巻回されており、上記中空ロッド用モータ２０３の出力軸２１１の回転が中空ロッド１１３に伝達されるようになっている。上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９は、上記スプラインナット１１９のフランジ部２４３を貫通し上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９に螺合されるボルト２４５、２４５、２４５、２４５によって固定されている。   A hollow rod side timing pulley 239 is fixed to the spline nut 119. A timing belt 241 is wound around the hollow rod side timing pulley 239 and the hollow rod motor side timing pulley 237 so that the rotation of the output shaft 211 of the hollow rod motor 203 is transmitted to the hollow rod 113. It has become. The hollow rod side timing pulley 239 is fixed by bolts 245, 245, 245, 245 that pass through the flange portion 243 of the spline nut 119 and are screwed into the hollow rod side timing pulley 239.

また、スプラインナット１１９は中空ロッド側タイミングプーリ２３９を介して軸受７５、７５によって回転可能に支持されるとともに、上記中空ロッド１１３に鋼球１２５を介して回転方向に対して相互に拘束された状態で取り付けられている。そのため、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９の回転により上記中空ロッド１１３はＺ軸心周りに回転される。   The spline nut 119 is rotatably supported by the bearings 75 and 75 via the hollow rod side timing pulley 239 and is also constrained by the hollow rod 113 with respect to the rotational direction via the steel ball 125. It is attached with. Therefore, the hollow rod 113 is rotated around the Z axis by the rotation of the hollow rod side timing pulley 239.

また、上記スプラインナット１１９の近傍にはセンサ２４９が配置されている。このセンサ２４９は、例えば、上記中空ロッド１１３をＺ軸心周りの回転について原点復帰動作を行った際、上記中空ロッド１１３の回転角度が原点に戻っているか否かを確認するためのものである。   A sensor 249 is disposed in the vicinity of the spline nut 119. This sensor 249 is for confirming, for example, whether or not the rotation angle of the hollow rod 113 has returned to the origin when the hollow rod 113 is returned to the origin with respect to the rotation about the Z axis. .

また、上記中空ロッド１１３の取付部１２７には、円盤状の半田ごて用取付フレーム２６１が固着されている。また、この半田ごて用取付フレーム２６１の外周部には、Ｚ軸方向下側（図１中下側）にＺ軸（図１中上下方向の軸、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する軸）に対して傾斜された状態で、半田ごて２６３が設置されている。この半田ごて２６３は、上記中空ロッド１１３の移動によりＺ軸方向（図１中上下方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向）へ移動されるとともに、上記中空ロッド１１３の回転によりその向きが適宜変更される。また、この半田ごて２６３によって、パレット２５上の基板２６に対して半田付けを行う。   A disk-shaped soldering iron mounting frame 261 is fixed to the mounting portion 127 of the hollow rod 113. Further, on the outer periphery of the soldering iron mounting frame 261, the Z axis (the vertical axis in FIG. 1, the X axis direction, and the Y axis direction is orthogonal to the Z axis direction lower side (lower side in FIG. 1). A soldering iron 263 is installed in an inclined state with respect to the axis. The soldering iron 263 is moved in the Z-axis direction (the vertical direction in FIG. 1, the direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction) by the movement of the hollow rod 113, and the rotation of the hollow rod 113 The direction is changed as appropriate. Further, the soldering iron 263 is used to solder the substrate 26 on the pallet 25.

また、前述したようにＺ軸スライダ９７の取付対象物固定部１０２、１０２は、カバ部４７のスリット２６、２６を貫通して、ハウジング４３外部へと突出・配置されているが、上記取付対象物固定部１０２、１０２には、カメラ用取付フレーム２６５を介してカメラ２６７が設置されている。上記取付対象物固定部１０２の位置決め用穴１０２ａは、上記カメラ用取付フレーム２６５に形成された図示しないボスが挿入され、上記Ｚ軸スライダ９７に対する上記カメラ用取付フレーム２６５の位置決めが行われる。また、図示しない固定ねじを上記カメラ用取付フレーム２６５の図示しない貫通孔を貫通させて上記雌ネジ部１０２ｂに螺合させ、それによって、上記カメラ用取付フレーム２６５を上記Ｚ軸スライダ９７に対して固定する。また、上記カメラ２６７によって、上記半田ごて２６３による半田付け作業が終了した基板２６を撮像し、半田付け作業が適切に行われているか否かを確認する。   Further, as described above, the attachment target fixing portions 102 and 102 of the Z-axis slider 97 pass through the slits 26 and 26 of the cover portion 47 and protrude and be arranged outside the housing 43. A camera 267 is installed on the object fixing portions 102 and 102 via a camera mounting frame 265. A boss (not shown) formed in the camera mounting frame 265 is inserted into the positioning hole 102 a of the mounting object fixing portion 102, and the camera mounting frame 265 is positioned with respect to the Z-axis slider 97. Further, a fixing screw (not shown) passes through a through hole (not shown) of the camera mounting frame 265 and is screwed into the female screw portion 102b, whereby the camera mounting frame 265 is attached to the Z-axis slider 97. Fix it. Further, the camera 267 takes an image of the board 26 on which the soldering work by the soldering iron 263 is completed, and confirms whether or not the soldering work is properly performed.

また、図７、図１０に示すように、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９の外周面には、ロッド側ストッパ２７１が設置されている。このロッド側ストッパ２７１の基端側（図７中右側）には、雄ネジ部２７３が形成されているとともに、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９には、雌ネジ部２７５が形成されており、上記ロッド側ストッパ２７１の雄ネジ部２７３が上記雌ネジ部２７５に螺合されることにより、上記ロッド側ストッパ２７１が上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９に着脱可能に取り付けられている。
また、図１０に示すように、上記ロッド側ストッパ２７１には、弾性材料からなる緩衝材２７１ａが被冠されている。 Further, as shown in FIGS. 7 and 10, a rod-side stopper 271 is installed on the outer peripheral surface of the hollow rod-side timing pulley 239. A male screw part 273 is formed on the base end side (right side in FIG. 7) of the rod side stopper 271, and a female screw part 275 is formed on the hollow rod side timing pulley 239. The rod-side stopper 271 is detachably attached to the hollow rod-side timing pulley 239 by screwing the male screw portion 273 of the rod-side stopper 271 into the female screw portion 275.
As shown in FIG. 10, the rod side stopper 271 is covered with a cushioning material 271a made of an elastic material.

また、前述したように、上記ロッド側ストッパ２７１が設置されている上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９はスプラインナット１１９に固着されており、上記中空ロッド１１３は上記スプラインナット１１９に対して軸方向に移動可能な状態にあるが、回転方向に対しては相互に拘束された状態にある。そのため、上記ロッド側ストッパ２７１は、上記中空ロッド１１３のＺ軸心周りの回転に伴う上記スプラインナット１１９と上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９のＺ軸心周りの回転により、上記中空ロッド１１３の外周側の円形の軌道上を移動することになる。   As described above, the hollow rod side timing pulley 239 provided with the rod side stopper 271 is fixed to the spline nut 119, and the hollow rod 113 moves in the axial direction with respect to the spline nut 119. Although it is in a possible state, it is in a state where it is constrained with respect to the rotational direction. Therefore, the rod-side stopper 271 is formed on the outer peripheral side of the hollow rod 113 by the rotation of the spline nut 119 and the hollow rod-side timing pulley 239 around the Z-axis along with the rotation of the hollow rod 113 around the Z-axis. It moves on the circular orbit.

また、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９の外周側であって、上記ロッド側ストッパ２７１より図７中上側には、樹脂製の滑り軸受け部材２７６を介して回転部材２７７が設置されている。この回転部材２７７は、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９に対して回転可能となっている。
図１０に示すように、上記回転部材２７７の上記ロッド側ストッパ２７１側（図１０中紙面垂直方向手前側）には、回転部材側第１ストッパ２７９が設置されている。この回転部材側第１ストッパ２７９の基端側（図１０中紙面垂直方向奥側）には図示しない雄ネジ部が形成されているとともに、上記回転部材２７７には図示しない雌ネジ部が形成されている。上記回転部材側第１ストッパ２７９の雄ネジ部を上記回転部材２７７の図示しない雌ネジ部に螺合することにより、上記回転部材側第１ストッパ２７９が上記回転部材２７７に対して着脱可能に取り付けられる。
また、図１０に示すように、上記回転部材側第１ストッパ２７９にも、弾性部材からなる緩衝材２７９ａが被冠されている。 Further, a rotating member 277 is installed on the outer peripheral side of the hollow rod side timing pulley 239 and above the rod side stopper 271 in FIG. 7 via a resin-made sliding bearing member 276. The rotating member 277 is rotatable with respect to the hollow rod side timing pulley 239.
As shown in FIG. 10, a rotating member side first stopper 279 is provided on the rotating member 277 on the rod side stopper 271 side (front side in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 10). A male screw portion (not shown) is formed on the base end side (the rear side in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 10) of the rotating member side first stopper 279, and a female screw portion (not shown) is formed on the rotating member 277. ing. The rotary member side first stopper 279 is detachably attached to the rotary member 277 by screwing the male screw portion of the rotary member side first stopper 279 with a female screw portion (not shown) of the rotary member 277. It is done.
Further, as shown in FIG. 10, the rotating member side first stopper 279 is also crowned with a cushioning material 279a made of an elastic member.

また、図７、図１０に示すように、上記回転部材２７７の反ロッド側ストッパ２７１側（図７中上側、図１０中紙面垂直方向奥側）であって、上記回転部材側第１ストッパ２７９に対して１８０°隔たった位置には、回転部材側第２ストッパ２８１が設置されている。この回転部材側第２ストッパ２８１の基端側（図７中下側、図１０中紙面垂直方向手前側）には雄ネジ部２８３が形成されているとともに、上記回転部材２７７には雌ネジ部２８５が形成されていて、上記回転部材側第２ストッパ２８１の雄ネジ部２８３を上記雌ネジ部２８５に螺合させることにより、上記回転部材側第２ストッパ２８１が上記回転部材２７７に対して着脱可能に取り付けられている。
また、上記回転部材側第２ストッパ２８１にも、弾性材料からなる緩衝材２８１ａが被冠されている。 Further, as shown in FIGS. 7 and 10, the rotating member 277 is located on the side opposite to the rod side stopper 271 (the upper side in FIG. 7 and the rear side in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 10). The rotary member side second stopper 281 is installed at a position 180 ° away from the rotary member side. A male screw portion 283 is formed on the base end side of the rotating member side second stopper 281 (the lower side in FIG. 7, the front side in the direction perpendicular to the paper in FIG. 10), and the rotating member 277 has a female screw portion. 285 is formed, and the rotating member side second stopper 281 is attached to and detached from the rotating member 277 by screwing the male screw part 283 of the rotating member side second stopper 281 with the female screw part 285. It is attached as possible.
The rotating member side second stopper 281 is also crowned with a cushioning material 281a made of an elastic material.

上記回転部材２７７は、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９が回転され、上記ロッド側ストッパ２７１が上記回転部材側第１ストッパ２７９に当接されると、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９によって付勢され、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９の回転方向と同方向に回転される。
また、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９の回転方向によって、上記回転部材側第１ストッパ２７９は、図１１（ａ）に示すように、２つの方向（図１１（ａ）中上側及び下側）から、上記ロッド側ストッパ２７１により当接される。 The rotating member 277 is urged by the hollow rod side timing pulley 239 when the hollow rod side timing pulley 239 is rotated and the rod side stopper 271 is brought into contact with the rotating member side first stopper 279. The hollow pulley side timing pulley 239 is rotated in the same direction as the rotation direction.
Further, depending on the direction of rotation of the hollow rod side timing pulley 239, the rotating member side first stopper 279 is moved from two directions (upper side and lower side in FIG. 11 (a)) as shown in FIG. 11 (a). The rod side stopper 271 makes contact.

このような構成により、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９、ひいては、上記中空ロッド１１３は、上記回転部材２７７に対して、ロッド側ストッパ２７１が上記回転部材２７７の回転部材側第１ストッパ２７９に当接するまで回転することができる。本実施の形態の場合は、図１１（ａ）に示すように、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９（中空ロッド１１３）は、上記回転部材２７７に対して３４０°回転できるようになっている。
なお、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９（中空ロッド１１３）の上記回転部材２７７に対する回転可能な角度は、例えば、上記回転部材側第１ストッパ２７９の大きさによって設定される。 With such a configuration, in the hollow rod side timing pulley 239 and thus in the hollow rod 113, the rod side stopper 271 contacts the rotating member side first stopper 279 of the rotating member 277 with respect to the rotating member 277. Can rotate up to. In the case of the present embodiment, as shown in FIG. 11A, the hollow rod side timing pulley 239 (hollow rod 113) can be rotated 340 ° with respect to the rotating member 277.
The rotatable angle of the hollow rod side timing pulley 239 (hollow rod 113) with respect to the rotating member 277 is set by the size of the rotating member side first stopper 279, for example.

また、図７、図１０に示すように、ベアリングケース７１の先端側の面（図７中下側の面、図１０中紙面垂直方向手前側の面）には、回転範囲規制部材２８７が着脱可能に設置されている。この回転範囲規制部材２８７は、略コの字型の形状を成しており、その両端には第１回転規制部２８８、第２回転規制部２９０がそれぞれ設けられている。上記回転部材側第２ストッパ２８１は、上記回転範囲規制部材２８７の内側に配置されている。すなわち、上記回転範囲規制部材２８７の上記第１回転規制部２８８、第２回転規制部２９０は、上記回転部材側第２ストッパ２８１の軌道上に位置している。そのため、上記回転部材２７７は、上記回転部材側第２ストッパ２８１が上記回転範囲規制部材２８７の第１回転規制部２８８（図１１（ｂ）中上側）又は上記回転範囲規制部材２８７の第２回転規制部２９０（図１１（ｃ）中下側）に当接される範囲内で回転可能に構成されている。この第１の実施の形態の場合は、図１１（ｂ）及び図１１（ｃ）に示すように、上記回転部材２７７は、４０°回転できるようになっている。
なお、この上記回転部材２７７の回転可能な角度は、例えば、上記回転範囲規制部材２８７の内側部分の寸法によって設定される。 Further, as shown in FIGS. 7 and 10, the rotation range regulating member 287 is attached to and detached from the surface on the front end side of the bearing case 71 (the lower surface in FIG. 7 and the front surface in the vertical direction in FIG. 10). It is installed as possible. The rotation range restricting member 287 has a substantially U shape, and a first rotation restricting portion 288 and a second rotation restricting portion 290 are provided at both ends thereof. The rotating member side second stopper 281 is disposed inside the rotation range regulating member 287. That is, the first rotation restricting portion 288 and the second rotation restricting portion 290 of the rotation range restricting member 287 are located on the track of the rotating member side second stopper 281. Therefore, in the rotating member 277, the rotating member side second stopper 281 is the first rotation restricting portion 288 (upper side in FIG. 11B) of the rotation range restricting member 287 or the second rotation of the rotation range restricting member 287. It is configured to be rotatable within a range in contact with the restricting portion 290 (lower side in FIG. 11C). In the case of the first embodiment, as shown in FIGS. 11B and 11C, the rotating member 277 can be rotated by 40 °.
The rotatable angle of the rotating member 277 is set, for example, by the dimension of the inner portion of the rotation range regulating member 287.

既に説明したように、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９（中空ロッド１１３）は、上記回転部材２７７に対して３４０°回転できるようになっている。そして、上記回転部材２７７は、上記したように、４０°回転できるようになっているので、結局、上記中空ロッド１１３は、３４０°＋４０°＝３８０°回転できることになる。   As described above, the hollow rod side timing pulley 239 (hollow rod 113) can rotate 340 ° with respect to the rotating member 277. Since the rotating member 277 can rotate 40 ° as described above, the hollow rod 113 can eventually rotate 340 ° + 40 ° = 380 °.

また、上記中空ロッド１１３が回転可能範囲の何れかの端まで回転されたときに、エンコーダ２１３をリセットすることで、上記中空ロッド１１３の回転位置の原点が設定される。   When the hollow rod 113 is rotated to any end of the rotatable range, the encoder 213 is reset to set the origin of the rotational position of the hollow rod 113.

また、図１に示すように、上記中空ロッド用モータユニット２０１、中空ロッド用モータ側タイミングプーリ２３７、及び、中空ロッド側タイミングプーリ２３９は駆動部カバ２９１によって覆われている。   Further, as shown in FIG. 1, the hollow rod motor unit 201, the hollow rod motor side timing pulley 237, and the hollow rod side timing pulley 239 are covered with a drive portion cover 291.

次に、この第１の実施の形態による作用について説明する。
上記作業ロボット１は、Ｘ軸アクチュエータ１９の図示しないＸ軸モータを駆動させて図示しないＸ軸スライダをＸ軸方向（図１中左下から右上に向かう方向）に移動させる。これにより、上記図示しないＸ軸スライダ上に固着されたパレット２５、及び、このパレット２５上に載置された複数（この第１の実施の形態の場合は、５×５＝２５枚）の基板２６をＸ軸方向（図１中左下から右上に向かう方向）に移動させる。 Next, the operation of the first embodiment will be described.
The work robot 1 drives an X-axis motor (not shown) of the X-axis actuator 19 to move an X-axis slider (not shown) in the X-axis direction (a direction from the lower left to the upper right in FIG. 1). Thus, the pallet 25 fixed on the X-axis slider (not shown) and a plurality of (5 × 5 = 25 in the case of the first embodiment) substrates placed on the pallet 25. 26 is moved in the X-axis direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 1).

また、上記作業ロボット１は、Ｙ軸アクチュエータ３１の図示しないＹ軸モータを駆動させてＹ軸スライダ３５をＹ軸方向（図１中左上から右下に向かう方向）に移動させる。これにより、Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６をＹ軸方向（図１中左上から右下に向かう方向）に移動させる。   The work robot 1 drives a Y-axis motor (not shown) of the Y-axis actuator 31 to move the Y-axis slider 35 in the Y-axis direction (the direction from the upper left to the lower right in FIG. 1). As a result, the Z-R axis actuator 36 is moved in the Y-axis direction (the direction from the upper left to the lower right in FIG. 1).

そして、上記作業ロボット１は、上記Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６のＺ軸ボールネジ用モータ１３３を駆動させることにより、Ｚ軸スライダ９７ひいては中空ロッド１１３をＺ軸方向（図１中上下方向）に移動させる。これにより、上記中空ロッド１１３に半田ごて用取付フレーム２６１を介して取り付けられた半田ごて２６３と、上記Ｚ軸スライダ９７にカメラ用取付フレーム２６５を介して取り付けられたカメラ２６７がＺ軸方向（図１中上下方向）に移動される。   Then, the work robot 1 drives the Z-axis ball screw motor 133 of the Z-R axis actuator 36 to move the Z-axis slider 97 and thus the hollow rod 113 in the Z-axis direction (vertical direction in FIG. 1). . Accordingly, the soldering iron 263 attached to the hollow rod 113 via the soldering iron mounting frame 261 and the camera 267 attached to the Z-axis slider 97 via the camera mounting frame 265 are arranged in the Z-axis direction. (Up and down direction in FIG. 1).

また、上記Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６の中空ロッド用モータ２０３を駆動させることにより、スプラインナット１１９ひいては上記中空ロッド１１３を、Ｚ軸心周り（図５中時計回り方向又は反時計回り方向、Ｒ方向）に回転させる。これにより、上記中空ロッド１１３に半田ごて用取付フレーム２６１を介して取り付けられた半田ごて２６３がＺ軸心周り（図５中時計回り方向又は反時計回り方向、Ｒ方向）に回転される。また、上記半田ごて２６３は、Ｚ軸（図１中上下方向の軸、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する軸）に対して傾斜された状態で設置されているため、上記中空ロッド１１３のＺ軸心周り（図５中時計回り方向又は反時計回り方向、Ｒ方向）の回転により、上記半田ごて２６３の向きを変えることができる。   Further, by driving the hollow rod motor 203 of the Z-R axis actuator 36, the spline nut 119 and thus the hollow rod 113 are moved around the Z axis (clockwise direction or counterclockwise direction in FIG. 5, R direction). ) To rotate. As a result, the soldering iron 263 attached to the hollow rod 113 via the soldering iron attachment frame 261 is rotated around the Z axis (clockwise or counterclockwise in FIG. 5, R direction). . Further, since the soldering iron 263 is installed in a state of being inclined with respect to the Z axis (the vertical axis in FIG. 1, the axis orthogonal to the X axis direction and the Y axis direction), the hollow rod 113 is provided. The direction of the soldering iron 263 can be changed by rotating around the Z axis (clockwise direction or counterclockwise direction in FIG. 5, R direction).

また、上記中空ロッド１１３の回転可能な角度は、回転部材側第１ストッパ２７９と回転部材側第２ストッパ２８１が設置された回転部材２７７を介して、回転範囲規制部材２８７によって規制されている。
例えば、図１１（ａ）に実線で示すように、上記中空ロッド１１３が一方向（図１１（ａ）中時計方向）に回転されると、中空ロッド側タイミングプーリ２３９も回転されるが、このとき上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９に設置されたロッド側ストッパ２７１が上記回転部材２７７の回転部材側第１ストッパ２７９に当接され、上記回転部材２７７も付勢されて回転される。そして、図１１（ｂ）に示すように、上記回転部材２７７の回転部材側第２ストッパ２８１が上記回転範囲規制部材２８７の第１回転規制部２８８に当接され、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９ひいては上記中空ロッド１１３の一方向への回転量が規制されることになる。 The rotatable angle of the hollow rod 113 is regulated by the rotation range regulating member 287 through the rotating member 277 in which the rotating member side first stopper 279 and the rotating member side second stopper 281 are installed.
For example, as shown by a solid line in FIG. 11A, when the hollow rod 113 is rotated in one direction (clockwise in FIG. 11A), the hollow rod side timing pulley 239 is also rotated. The rod-side stopper 271 installed on the hollow rod-side timing pulley 239 comes into contact with the rotating member-side first stopper 279 of the rotating member 277, and the rotating member 277 is also urged and rotated. 11B, the rotating member side second stopper 281 of the rotating member 277 is brought into contact with the first rotation restricting portion 288 of the rotation range restricting member 287, and the hollow rod side timing pulley 239 is contacted. As a result, the amount of rotation of the hollow rod 113 in one direction is restricted.

また、図１１（ａ）中仮想線で示すように、上記中空ロッド１１３が他方向（図１１（ａ）中反時計方向）に回転されると、中空ロッド側タイミングプーリ２３９も回転されるが、このとき上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９に設置されたロッド側ストッパ２７１が上記回転部材２７７の回転部材側第１ストッパ２７９に反対側から当接され、上記回転部材２７７も付勢されて回転される。そして、図１１（ｃ）に示すように、上記回転部材２７７の回転部材側第２ストッパ２８１が上記回転範囲規制部材２８７の第２回転規制部２９０に当接され、上記中空ロッド側タイミングプーリ２３９ひいては上記中空ロッド１１３の他方向への回転量が規制されることになる。   11A, when the hollow rod 113 is rotated in the other direction (counterclockwise in FIG. 11A), the hollow rod side timing pulley 239 is also rotated. At this time, the rod-side stopper 271 installed on the hollow rod-side timing pulley 239 comes into contact with the rotating member-side first stopper 279 of the rotating member 277 from the opposite side, and the rotating member 277 is also urged and rotated. The 11C, the rotating member side second stopper 281 of the rotating member 277 is brought into contact with the second rotation restricting portion 290 of the rotation range restricting member 287, and the hollow rod side timing pulley 239 is contacted. As a result, the amount of rotation of the hollow rod 113 in the other direction is restricted.

なお、上記中空ロッド１１３の回転量は、上記回転部材２７７の回転部材側第２ストッパ２８１が上記回転範囲規制部材２８７の第１回転規制部２８８、第２回転規制部２９０に当接される手前の範囲でソフト的手法により制御されるように構成されている。すなわち、上記中空ロッド１１３の回転角度は、エンコーダ２１３によって検出され、それに基づいて、上記制御、すなわち、上記回転部材２７７の回転部材側第２ストッパ２８１が上記回転範囲規制部材２８７の第１回転規制部２８８、第２回転規制部２９０に当接される手前の範囲で規制される制御が行われるように構成されている。   Note that the amount of rotation of the hollow rod 113 is just before the rotation member side second stopper 281 of the rotation member 277 comes into contact with the first rotation restriction portion 288 and the second rotation restriction portion 290 of the rotation range restriction member 287. In such a range, it is configured to be controlled by a soft method. That is, the rotation angle of the hollow rod 113 is detected by the encoder 213, and based on this, the above control, that is, the rotation member side second stopper 281 of the rotation member 277 is controlled by the rotation range restriction member 287. It is configured such that control is performed within a range just before contacting the portion 288 and the second rotation restricting portion 290.

次に、この第１の実施の形態による効果について説明する。
まず、中空ロッド１１３の回転可能な角度は、回転部材側第１ストッパ２７９と回転部材側第２ストッパ２８１が設置された回転部材２７７を介して、回転範囲規制部材２８７によって規制されているため、簡単な構成により、上記中空ロッド１１３の回転を３６０°以上の所定の範囲で規制することができる。
なお、上記中空ロッド１１３の回転を３６０°以上の所定の範囲で規制することができるのは、上記中空ロッド１１３のロッド側ストッパ２７１が上記回転部材２７７回転部材側第１ストッパ２７９に当接しても、上記回転部材２７７の回転部材側第２ストッパ２８１が上記回転範囲規制部材２８７に当接するまでは、更に回転できることによる。 Next, the effect of the first embodiment will be described.
First, since the rotatable angle of the hollow rod 113 is regulated by the rotation range regulating member 287 via the rotating member 277 in which the rotating member side first stopper 279 and the rotating member side second stopper 281 are installed, With a simple configuration, the rotation of the hollow rod 113 can be regulated within a predetermined range of 360 ° or more.
Note that the rotation of the hollow rod 113 can be restricted within a predetermined range of 360 ° or more because the rod-side stopper 271 of the hollow rod 113 is in contact with the rotating member 277 rotating member-side first stopper 279. This is because the rotating member side second stopper 281 of the rotating member 277 can further rotate until it comes into contact with the rotation range regulating member 287.

また、上記中空ロッド１１３の回転を３６０°以上の所定の範囲で規制しているので、上記中空ロッド１１３の過剰な回転が防止され、例えば、取付部１２７に設置された半田ごて２６３の図示しない電源コードが上記Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６等に絡まって断線してしまうこと等を防止することができる。
また、上記中空ロッド１１３の回転を、上記回転範囲規制部材２８７が設置された機械的な構成によって規制しているため、上記中空ロッド１１３の回転可能範囲の一方の端をエンコーダ２１３の原点位置として利用することができる。このように、機械的な構成によって上記エンコーダ２１３の原点を設定できるため、上記エンコーダ２１３はインクリメンタル方式のエンコーダでよく、コストを低減させることができる。 Further, since the rotation of the hollow rod 113 is restricted within a predetermined range of 360 ° or more, excessive rotation of the hollow rod 113 is prevented. For example, the soldering iron 263 installed in the mounting portion 127 is illustrated. It is possible to prevent the power cord that is not connected from being entangled with the Z-R axis actuator 36 and the like.
Further, since the rotation of the hollow rod 113 is regulated by a mechanical configuration in which the rotation range regulating member 287 is installed, one end of the rotatable range of the hollow rod 113 is set as the origin position of the encoder 213. Can be used. In this way, since the origin of the encoder 213 can be set by a mechanical configuration, the encoder 213 may be an incremental encoder, and the cost can be reduced.

また、上記回転範囲規制部材２８７は着脱可能に設置されているため、予め、第１回転規制部２８８と第２回転規制部２９０の間隔が異なる複数種類の回転範囲規制部材２８７を用意しておき、回転範囲規制部材２８７を適宜交換することにより、上記中空ロッド１１３の回転可能な角度範囲の変更を行うことができる。
また、上記ロッド側ストッパ２７１、上記回転部材側第１ストッパ２７９、上記回転部材側第２ストッパ２８１は、着脱可能に設置されているため、上記中空ロッド１１３の回転可能範囲が規制される状態と、上記中空ロッド１１３の回転可能範囲が規制されない状態とを容易に切り替えることができる。 Since the rotation range restriction member 287 is detachably installed, a plurality of types of rotation range restriction members 287 having different intervals between the first rotation restriction portion 288 and the second rotation restriction portion 290 are prepared in advance. By changing the rotation range regulating member 287 as appropriate, the angular range in which the hollow rod 113 can be rotated can be changed.
In addition, since the rod-side stopper 271, the rotating member-side first stopper 279, and the rotating member-side second stopper 281 are detachably installed, the rotatable range of the hollow rod 113 is restricted. The state in which the rotatable range of the hollow rod 113 is not restricted can be easily switched.

また、上記ロッド側ストッパ２７１、上記回転部材側第１ストッパ２７９、上記回転部材側第２ストッパ２８１には、弾性材料からなる緩衝材２７１ａ、２７９ａ、２８１ａが被冠されているため、上記ロッド側ストッパ２７１と上記回転部材側第１ストッパ２７９、及び、上記回転部材側第２ストッパ２８１と上記回転範囲規制部材２８７の第１回転規制部２８８、第２回転規制部２９０が当接された際の衝撃や音を低減させることができる。   The rod side stopper 271, the rotating member side first stopper 279, and the rotating member side second stopper 281 are covered with cushioning materials 271 a, 279 a, 281 a made of an elastic material, so that the rod side The stopper 271 and the rotating member side first stopper 279, and the rotating member side second stopper 281 and the first rotation restricting portion 288 and the second rotation restricting portion 290 of the rotation range restricting member 287 are brought into contact with each other. Impact and sound can be reduced.

また、ハウジング４３のカバ部４７にスリット２６、２６を形成するとともに、Ｚ軸スライダ９７に取付対象物固定部１０２、１０２を形成し、上記Ｚ軸スライダ９７の取付対象物固定部１０２、１０２が上記スリット２６、２６を貫通して上記ハウジング４３の外部に露出されているので、中空ロッド１１３の取付部１２７に取付対象物を取付けるだけでなく、上記Ｚ軸スライダ９７にも、取付対象物固定部１０２、１０２を介して取付対象物を取付けることができる。
この第１の実施の形態の場合には、上記中空ロッド１１３に半田ごて３４ｂを設置し、上記Ｚ軸スライダ９７にカメラ３４ｄを設置しており、半田付け作業と確認作業の両方を同時に行わせることができる。
よって、中空ロッド１１３に取り付けられる取付対象物とは別の取付対象物を取り付けるために別のアクチュエータを設置する必要はなく、構成を簡略化・小型化させ、コストの低減を図ることができる。 In addition, the slits 26 and 26 are formed in the cover portion 47 of the housing 43, and the attachment target fixing portions 102 and 102 are formed in the Z-axis slider 97. Since it passes through the slits 26 and 26 and is exposed to the outside of the housing 43, not only the attachment object is attached to the attachment portion 127 of the hollow rod 113 but also the Z-axis slider 97 is fixed to the attachment object. An attachment object can be attached via the parts 102 and 102.
In the case of the first embodiment, a soldering iron 34b is installed on the hollow rod 113 and a camera 34d is installed on the Z-axis slider 97, so that both the soldering operation and the checking operation are performed simultaneously. Can be made.
Therefore, it is not necessary to install another actuator to attach an attachment object different from the attachment object attached to the hollow rod 113, and the configuration can be simplified and miniaturized, and the cost can be reduced.

また、例えば、上記中空ロッド１１３の取付部１２７に機器を取付け、この機器の付属物やケーブルを上記Ｚ軸スライダ９７に取り付けることもできる。この場合、上記機器の付属物やケーブルを上記Ｚ軸スライダ９７に取り付けることにより、上記機器と上記付属物やケーブル等の干渉等を防止して作業空間の有効利用を図ることができ、上記ケーブルの撓みや断線を防止することもできる。
また、上記中空ロッド１１３は上記Ｚ軸スライダ９７に設置されているため、上記中空ロッド１１３と上記Ｚ軸スライダ９７のＺ軸（図１中上下方向の軸、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する軸）方向の移動は同期されており、よって、同期のための新たな構成は不要であり、また、同期を実現するための煩雑な制御も不要であり、構成の簡略化、制御の容易化を図ることができる。 In addition, for example, a device can be attached to the attachment portion 127 of the hollow rod 113, and an accessory or cable of this device can be attached to the Z-axis slider 97. In this case, by attaching the accessory and cable of the device to the Z-axis slider 97, it is possible to prevent interference between the device and the accessory and cable, and to effectively use the work space. Can be prevented from being bent or disconnected.
Further, since the hollow rod 113 is installed on the Z-axis slider 97, the hollow rod 113 and the Z-axis of the Z-axis slider 97 (vertical axis in FIG. 1, orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction). The movement in the direction) is synchronized. Therefore, a new configuration for synchronization is unnecessary, and complicated control for realizing the synchronization is not required. The configuration is simplified and the control is easy. Can be achieved.

また、この第１の実施の形態によると、煩雑な制御を要することなく、構成の簡略化、装置の小型化を図ることができる。
すなわち、Ｚ軸ボールネジ８５と、このＺ軸ボールネジ８５とは別に回転される中空ロッド１１３が同軸上に配置されていて、且つ、中空ロッド１１３には中空部１１５が形成されており、この中空部内に上記Ｚ軸ボールネジ８５が収容されるようになっているので、上記Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６の小型化と構成の簡略化を図ることができる。 In addition, according to the first embodiment, it is possible to simplify the configuration and reduce the size of the apparatus without requiring complicated control.
That is, a Z-axis ball screw 85 and a hollow rod 113 that is rotated separately from the Z-axis ball screw 85 are arranged on the same axis, and the hollow rod 113 has a hollow portion 115 formed therein. Since the Z-axis ball screw 85 is accommodated in the Z-axis actuator 36, the Z-R axis actuator 36 can be miniaturized and the configuration can be simplified.

また、上記Ｚ軸ボールネジ８５はＺ軸ボールネジ用モータ１３３によって回転され、上記中空ロッド１１３は中空ロッド用モータ２０３によって回転される。すなわち、上記Ｚ軸ボールネジ８５と上記中空ロッド１１３とは、それぞれ別々に回転可能となっている。そのため、例えば、上記中空ロッド１１３を回転させた場合に上記Ｚ軸ボールネジ８５までもが回転されて上記中空ロッド１１３の位置がずれてしまうことはなく、上記中空ロッド１１３の位置を調整するための複雑な制御を不要とすることができる。   The Z-axis ball screw 85 is rotated by a Z-axis ball screw motor 133, and the hollow rod 113 is rotated by a hollow rod motor 203. That is, the Z-axis ball screw 85 and the hollow rod 113 can be rotated separately. Therefore, for example, when the hollow rod 113 is rotated, even the Z-axis ball screw 85 is not rotated and the position of the hollow rod 113 is not shifted, and the position of the hollow rod 113 is adjusted. Complex control can be eliminated.

ちなみに、上記したように、中空ロッド１１３には中空部１１５が形成されており、この内部に上記Ｚ軸ボールネジ８５が収容されるようになっているので、上記中空ロッド１１３がＺ軸方向に移動しても、上記中空ロッド１１３と同軸上に配置された上記Ｚ軸ボールネジ８５とが互いに干渉することはない。   Incidentally, as described above, the hollow rod 113 is formed with the hollow portion 115, and the Z-axis ball screw 85 is accommodated therein, so that the hollow rod 113 moves in the Z-axis direction. Even so, the hollow rod 113 and the Z-axis ball screw 85 arranged coaxially do not interfere with each other.

次に、図１２乃至図１９を参照して、本発明の第２の実施の形態について説明する。
この第２の実施の形態による作業ロボット５０１は、図１２及び図１３に示すように、水平多関節型の作業ロボット（スカラーロボット）であり、基部５０３に対してＸ・Ｙ二次元平面内で回転可能に設置された第１アーム５０５と、この第１アーム５０５に対してＸ・Ｙ二次元平面内で回転可能に設置された第２アーム５０７と、この第２アーム５０７に対してＺ軸方向（図１２中上下方向）に移動可能且つＺ軸心周りに回転可能なロッド５０９とから構成されている。このロッド５０９の先端側（図１２中下側）の取付部５１０には図示しない治具を介して図示しない取付対象物が取り付けられる。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
The work robot 501 according to the second embodiment is a horizontal articulated work robot (scalar robot) as shown in FIGS. 12 and 13, and is in an XY two-dimensional plane with respect to the base 503. A first arm 505 that is rotatably installed, a second arm 507 that is rotatably mounted in an XY two-dimensional plane with respect to the first arm 505, and a Z-axis with respect to the second arm 507 The rod 509 is movable in the direction (vertical direction in FIG. 12) and is rotatable around the Z axis. A mounting object (not shown) is attached to a mounting portion 510 on the tip side (lower side in FIG. 12) of the rod 509 via a jig (not shown).

上記基部５０３には、図１４に示すように、筒状の基部ハウジング５１１があり、この基部ハウジング５１１内部に、第１モータ５１３が設置されている。この第１モータ５１３は、第１モータケース５１５と、この第１モータケース５１５の内周側に固着されたステータ５１７と、このステータ５１７の内周側には回転可能に内装された永久磁石からなるロータ５１９と、このロータ５１９の中心位置に固着された第１モータ側出力軸５２１とから構成されている。   As shown in FIG. 14, the base 503 has a cylindrical base housing 511, and a first motor 513 is installed inside the base housing 511. The first motor 513 includes a first motor case 515, a stator 517 fixed to the inner peripheral side of the first motor case 515, and a permanent magnet rotatably mounted on the inner peripheral side of the stator 517. And a first motor side output shaft 521 fixed to the center position of the rotor 519.

また、上記第１モータ５１３の図１４中上側には取付部材５２３が固着されている。また、上記第１モータ５１３の図１４中下側には、エンコーダ５２５が設置されている。このエンコーダ５２５には、上記第１モータケース５１５の図１４中下側に設置されたエンコーダケース５２７があり、このエンコーダケース５２７内に上記第１モータ側出力軸５２１の図１４中下端側が突出されている。上記第１モータ側出力軸５２１の図１４中下端側にはエンコーダホイール５２９が固着されており、このエンコーダホイール５２９には図示しないエンコーダスケールが表示されている。また、上記エンコーダケース５２７内であって上記エンコーダホイール５２９の図１４中下側には基板５３０が設置されている。この基板５３０には、図示しない光源とセンサが設置されており、上記光源からの光を上記エンコーダホイール５２９に反射させ、上記センサによって反射された光を検出する。上記第１モータ５１３が駆動され、上記第１モータ側出力軸５２１が回転されると上記エンコーダホイール５２９も回転されるため、上記センサによって検出される光の強弱が上記エンコーダホイール５２９の図示しないエンコーダスケールによって変化し、これによって上記第１モータ側出力軸５２１の回転を検出する。
なお、この第２の実施の形態の場合は、上記エンコーダ５２５は、インクリメンタルタイプのエンコーダである。 A mounting member 523 is fixed to the upper side of the first motor 513 in FIG. Also, an encoder 525 is installed on the lower side of the first motor 513 in FIG. The encoder 525 has an encoder case 527 installed on the lower side of the first motor case 515 in FIG. 14, and the lower end side of the first motor side output shaft 521 in FIG. 14 protrudes into the encoder case 527. ing. An encoder wheel 529 is fixed to the lower end side of the first motor side output shaft 521 in FIG. 14, and an encoder scale (not shown) is displayed on the encoder wheel 529. A substrate 530 is installed in the encoder case 527 and below the encoder wheel 529 in FIG. The substrate 530 is provided with a light source and a sensor (not shown). The light from the light source is reflected on the encoder wheel 529, and the light reflected by the sensor is detected. When the first motor 513 is driven and the first motor-side output shaft 521 is rotated, the encoder wheel 529 is also rotated. Therefore, the intensity of light detected by the sensor is determined by an encoder (not shown) of the encoder wheel 529. Depending on the scale, the rotation of the first motor side output shaft 521 is detected.
In the second embodiment, the encoder 525 is an incremental type encoder.

上記第１モータ５１３の図１４中上側には上記取付部材５２３を介して第１減速機５３１が設置されている。この第１減速機５３１は、遊星歯車機構による減速機である。上記第１減速機５３１には、第１減速機ケース５３３があり、この第１減速機ケース５３３の内部には、上記第１モータ側出力軸５２１が連結された太陽歯車５３５が回転可能に設置されている。この太陽歯車５３５には、複数の遊星歯車５３７が歯合されている。これら複数の遊星歯車５３７は、上記第１減速機ケース５３３の内周面に固着された環状の内歯車５３９にも歯合されている。
また、上記第１減速機５３１には、第１減速機側出力軸５４１が回転可能に設置されており、この第１減速機側出力軸５４１の図１４中下端側には、遊星キャリア部５４３が形成されている。この遊星キャリア部５４３には、図１４中下側に向けて上記遊星歯車５３７が回転可能に設置される遊星歯車用回転軸５４５が突出・形成されている。 A first speed reducer 531 is installed on the upper side of the first motor 513 in FIG. 14 via the mounting member 523. The first reduction gear 531 is a reduction gear using a planetary gear mechanism. The first reduction gear 531 has a first reduction gear case 533, and a sun gear 535 connected to the first motor-side output shaft 521 is rotatably installed in the first reduction gear case 533. Has been. A plurality of planetary gears 537 are engaged with the sun gear 535. The plurality of planetary gears 537 are also meshed with an annular internal gear 539 fixed to the inner peripheral surface of the first reduction gear case 533.
The first reducer 531 is rotatably provided with a first reducer-side output shaft 541, and the planetary carrier portion 543 is disposed on the lower end side in FIG. 14 of the first reducer-side output shaft 541. Is formed. A planetary gear rotating shaft 545 on which the planetary gear 537 is rotatably installed is projected and formed on the planetary carrier portion 543 toward the lower side in FIG.

このような構成により、上記第１モータ側出力軸５２１の回転により上記太陽歯車５３５が回転されると、複数の上記遊星歯車５３７が自転するとともに、上記太陽歯車５３５の周りを公転する。これら上記遊星歯車５３７の公転により、上記遊星キャリア部５４３を介して、上記第１減速機側出力軸５４１が回転されることとなる。また、上記太陽歯車５３５、遊星歯車５３７、内歯車５３９の歯数は、上記第１減速機５３１の減速比によって適宜設定される。
なお、取付部材５２３は、図１４に示すように、上記取付部材５２３の貫通孔に複数のボルト４７を通して、上記第１減速機ケース５３３に螺合することによって、上記第１減速機ケース５３３に固定されている。また、上記取付部材５２３は、上記取付部材５２３を貫通し、上記第１モータケース５１５に螺合される複数のボルト４７によって、上記第１モータケース５１５に固定されている。 With such a configuration, when the sun gear 535 is rotated by the rotation of the first motor side output shaft 521, the plurality of planetary gears 537 rotate and revolve around the sun gear 535. By the revolution of the planetary gear 537, the first reduction gear side output shaft 541 is rotated via the planetary carrier portion 543. Further, the number of teeth of the sun gear 535, the planetary gear 537, and the internal gear 539 is appropriately set according to the reduction ratio of the first reduction gear 531.
As shown in FIG. 14, the attachment member 523 is screwed into the first reduction gear case 533 by passing a plurality of bolts 47 through the through holes of the attachment member 523, thereby fitting into the first reduction gear case 533. It is fixed. The mounting member 523 is fixed to the first motor case 515 by a plurality of bolts 47 that pass through the mounting member 523 and are screwed into the first motor case 515.

また、上記基部ハウジング５１１の図１４中下端には、基盤５５１が固着されている。この基盤５５１は、図１２及び図１３に示すように、４隅に貫通孔５５３、５５３、５５３、５５３（これら４つの貫通孔５５３のうちの一つは図示せず）が穿孔されており、これら４つの貫通孔５５３に図示しないボルトを通して、図示しない設置場所に螺合することによって、上記基部５０３ひいてはロボット５０１が設置される。上記基盤５５１は、図１４に示すように、位置決め用ピン５５５、５５５によって、上記基部ハウジング５１１に対して位置決めされているとともに、上記基盤５５１の図示しない貫通孔にボルト（図示せず）を通し、上記基部ハウジング５１１に螺合することにより、上記基部ハウジング５１１に固着されている。   A base 551 is fixed to the lower end of the base housing 511 in FIG. As shown in FIGS. 12 and 13, the base 551 has through holes 553, 553, 553, and 553 (one of these four through holes 553 is not shown) drilled at four corners. The base 503 and thus the robot 501 are installed by screwing these four through holes 553 through bolts (not shown) to installation locations (not shown). As shown in FIG. 14, the base 551 is positioned with respect to the base housing 511 by positioning pins 555 and 555, and a bolt (not shown) is passed through a through hole (not shown) of the base 551. The base housing 511 is fixed to the base housing 511 by screwing.

また、上記基部ハウジング５１１の図１４中上端には、ベアリングケース５６１が固着されている。このベアリングケース５６１には、まず、ベアリングケース本体５６３がある。このベアリングケース本体５６３は、図１４に示すように、位置決めピン５６５やその他の図示しない位置決めピンによって、上記基部ハウジング５１１に対して位置決めされるとともに、図１２及び図１３に示すように、上記ベアリングケース本体５６３の図示しない貫通孔にボルト５６７を通し、上記基部ハウジング５１１に螺合することにより、基部ハウジング５１１に固着されている。
また、図１４に示すように、上記ベアリングケース本体５６３の中央には、図１４中上下方向に延長された貫通孔５６９が形成されており、この貫通孔５６９の図１４中下側に、上記第１減速機５３１の図１４中上端側が挿入・固定されている。 A bearing case 561 is fixed to the upper end of the base housing 511 in FIG. The bearing case 561 has a bearing case body 563 first. As shown in FIG. 14, the bearing case main body 563 is positioned with respect to the base housing 511 by positioning pins 565 and other positioning pins (not shown), and as shown in FIGS. A bolt 567 is passed through a through hole (not shown) of the case main body 563 and screwed into the base housing 511 to be fixed to the base housing 511.
Further, as shown in FIG. 14, a through hole 569 extending in the vertical direction in FIG. 14 is formed at the center of the bearing case body 563, and the lower side of the through hole 569 in FIG. The upper end side in FIG. 14 of the first reduction gear 531 is inserted and fixed.

また、上記ベアリングケース本体５６３の図１４中上端には、軸受５７１が設置されている。この軸受５７１は、外輪５７３と、この外輪５７３の内側に回転可能に設置された内輪５７５と、上記外輪５７３と内輪５７５との間に転動可能に設置された複数のローラ５７７とから構成されている。なお、上記複数のローラ５７７は、その向きが交互には設置されており、上記軸受５７１は、クロスローラタイプの軸受となっている。   A bearing 571 is installed at the upper end of the bearing case body 563 in FIG. The bearing 571 includes an outer ring 573, an inner ring 575 that is rotatably installed inside the outer ring 573, and a plurality of rollers 577 that are rotatably installed between the outer ring 573 and the inner ring 575. ing. The plurality of rollers 577 are alternately arranged in direction, and the bearing 571 is a cross roller type bearing.

また、上記ベアリングケース本体５６３の上側には外輪押え５７９が設置されており、上記軸受５７１の外輪５７３は上記外輪押え５７９と上記ベアリングケース本体５６３との間に介挿・固定されている。上記外輪押え５７９は、図１２及び図１３に示すように、上記外輪押え５７９の図示しない貫通孔に複数のボルト５８１を通して、上記ベアリングケース本体５６３に螺合することにより、上記ベアリングケース本体５６３に固定されている。   Further, an outer ring presser 579 is installed on the upper side of the bearing case main body 563, and the outer ring 573 of the bearing 571 is interposed and fixed between the outer ring presser 579 and the bearing case main body 563. As shown in FIGS. 12 and 13, the outer ring retainer 579 is screwed into the bearing case main body 563 through a plurality of bolts 581 through a through hole (not shown) of the outer ring retainer 579. It is fixed.

また、上記軸受５７１の内輪５７５には、第１アーム用回転軸５８３が固定されている。この第１アーム用回転軸５８３には、図１４中上下方向に延長された貫通孔５８５が形成されており、この貫通孔５８５内に、第１減速機側出力軸５４１が挿入・連結されている。また、上記第１アーム用回転軸５８３の貫通孔５８５の内周面にはキー溝５８７が形成されているとともに、上記第１減速機側出力軸５４１にもキー溝５８９が形成されており、これらキー溝５８７、５８９にキー５９１が挿入・係合されることで、このキー５９１を介して上記第１アーム用回転軸５８３と上記第１減速機側出力軸５４１とが連結されている。また、上記キー５９１は、上記第１アーム用回転軸５８３の貫通孔５８５に直交する方向に形成された雌ネジ部５９３に螺合されたセットスクリュ５９５によって押圧・固定されている。
また、上記第１アーム用回転軸５８３の図１４中上側にはフランジ部５９７が形成されており、上記第１アーム用回転軸５８３の図１４中下側には内輪押え５９９が設置されている。上記軸受５７１の内輪５７５は、上記第１アーム用回転軸５８３のフランジ部５９７と上記内輪押え５９９との間に介挿されることで固定されている。 A first arm rotating shaft 583 is fixed to the inner ring 575 of the bearing 571. A through hole 585 extending in the vertical direction in FIG. 14 is formed in the first arm rotating shaft 583, and the first reduction gear side output shaft 541 is inserted into and connected to the through hole 585. Yes. Further, a key groove 587 is formed on the inner peripheral surface of the through hole 585 of the first arm rotating shaft 583, and a key groove 589 is also formed on the first reduction gear side output shaft 541. By inserting and engaging the key 591 in these key grooves 587 and 589, the first arm rotating shaft 583 and the first reduction gear side output shaft 541 are connected via the key 591. The key 591 is pressed and fixed by a set screw 595 screwed into a female screw portion 593 formed in a direction orthogonal to the through hole 585 of the first arm rotating shaft 583.
Further, a flange portion 597 is formed on the upper side of the first arm rotating shaft 583 in FIG. 14, and an inner ring presser 599 is installed on the lower side of the first arm rotating shaft 583 in FIG. . The inner ring 575 of the bearing 571 is fixed by being interposed between the flange portion 597 of the first arm rotating shaft 583 and the inner ring presser 599.

図１４に示すように、上記第１アーム５０５の一端側（図１４中右端側）は上記第１アーム用回転軸５８３に連結されている。また、上記第１アーム５０５は、図１２及び図１３に示すように、上記第１アーム５０５の図示しない貫通孔に複数（この第２の実施の形態では６本）のボルト６０１を通し、上記第１アーム用回転軸５８３に螺合することにより、上記第１アーム用回転軸５８３に固定されている。   As shown in FIG. 14, one end side (the right end side in FIG. 14) of the first arm 505 is connected to the first arm rotating shaft 583. Further, as shown in FIGS. 12 and 13, the first arm 505 passes a plurality of bolts 601 (six in this second embodiment) through a through hole (not shown) of the first arm 505, and The first arm rotating shaft 583 is fixed to the first arm rotating shaft 583 by screwing.

また、上記基部ハウジング５１１の図１４中右側には、制御基板収納部６１１が設置されている。この制御基板収納部６１１には、筒状の制御基板収納部本体６１３があり、この制御基板収納部本体６１３の内部に図示しない制御基板が内装されている。   Further, a control board housing portion 611 is installed on the right side of the base housing 511 in FIG. The control board storage unit 611 includes a cylindrical control board storage unit body 613, and a control board (not shown) is provided inside the control board storage unit body 613.

上記制御基板収納部本体６１３の図１４中下側端には、端部カバ６１５が設置されており、この端部カバ６１５にはケーブル貫通部材６１７が設置されている。上記端部カバ６１５は、上記端部カバ６１５の図示しない貫通孔に複数のネジ６１９を通し、上記制御基板収納部本体６１３に螺合することにより、上記制御基板収納部本体６１３に固定されている。
また、上記制御基板収納部本体６１３の図１４中上側端には、端部カバ６２１が設置されており、この端部カバ６２１には自立ケーブルカバ６２３の一端側（図１４中右端側）が係合・固定されている。上記端部カバ６２１は、上記端部カバ６２１の図示しない貫通孔に複数のネジ１２５を通し、上記制御基板収納部本体６１３に螺合することにより、上記制御基板収納部本体６１３に固定されている。上記自立ケーブルカバ６２３の一端側は上記端部カバ６２１ごと、上記制御基板収納部本体６１３から取り外すことができるようになっている。 An end cover 615 is installed at the lower end of the control board housing section 613 in FIG. 14, and a cable penetrating member 617 is installed in the end cover 615. The end cover 615 is fixed to the control board storage unit body 613 by passing a plurality of screws 619 through through holes (not shown) of the end cover 615 and screwing into the control board storage unit body 613. Yes.
Further, an end cover 621 is installed at the upper end in FIG. 14 of the control board storage unit main body 613, and one end side (right end side in FIG. 14) of the self-standing cable cover 623 is provided on the end cover 621. Engaged and fixed. The end cover 621 is fixed to the control board storage unit body 613 by passing a plurality of screws 125 through through holes (not shown) of the end cover 621 and screwing into the control board storage unit body 613. Yes. One end side of the self-supporting cable cover 623 can be detached from the control board storage unit body 613 together with the end cover 621.

また、上記第１アーム５０５の他端側（図１４中左端側）には、既に述べたように、第２アーム５０７が回転可能に連結されている。
この第２アーム５０７には、まず、第２アームハウジング６３１がある。この第２アームハウジング６３１は、図１３に示すように、略Ｕ字型の断面形状を成している。図１４に示すように、この第２アームハウジング６３１には、第２モータ６３３と、第２減速機６３５が設置されている。上記第２モータ６３３は、前述した第１モータ５１３と同様の構成であり、第２モータケース６３７、ステータ６３９、ロータ６４１、第２モータ側出力軸６４３とから構成されている。また、上記第２減速機６３５も、前述した第１減速機５３１と同様の構成であり、第２減速機ケース６４５、太陽歯車６４７、遊星歯車６４９、内歯車６５１、第２減速機側出力軸６５３とから構成されている。 Further, as described above, the second arm 507 is rotatably connected to the other end side (the left end side in FIG. 14) of the first arm 505.
The second arm 507 has a second arm housing 631 first. As shown in FIG. 13, the second arm housing 631 has a substantially U-shaped cross-sectional shape. As shown in FIG. 14, a second motor 633 and a second speed reducer 635 are installed in the second arm housing 631. The second motor 633 has the same configuration as the first motor 513 described above, and includes a second motor case 637, a stator 639, a rotor 641, and a second motor-side output shaft 643. The second speed reducer 635 has the same configuration as the first speed reducer 531 described above. The second speed reducer case 645, the sun gear 647, the planetary gear 649, the internal gear 651, and the second speed reducer side output shaft. 653.

また、上記第２減速機６３５が上記第２アームハウジング６３１に固着されており、上記第２モータ６３３は上記第２減速機６３５に取付部材６５５を介して固着されている。
また、上記第２減速機側出力軸６５３の図１４中下端側は、上記第１アーム５０５に固着されている。これにより、上記第２モータ６３３が駆動されると、上記第１アーム５０５に対して上記第２アーム５０７が回転・駆動される。
なお、上記取付部材６５５は、上記取付部材６５５の図示しない貫通孔にボルト６５７を通し、上記第２減速機ケース６４５に螺合することにより、上記第２減速機６３５に固定されている。また、上記取付部材６５５は、上記取付部材６５５の図示しない貫通孔に図示しないボルトを通し、上記第２モータケース６３７に螺合することにより、上記第２モータ６３３に固定されている。 The second speed reducer 635 is fixed to the second arm housing 631, and the second motor 633 is fixed to the second speed reducer 635 via an attachment member 655.
Further, the lower end side in FIG. 14 of the second reduction gear side output shaft 653 is fixed to the first arm 505. Accordingly, when the second motor 633 is driven, the second arm 507 is rotated and driven with respect to the first arm 505.
The mounting member 655 is fixed to the second speed reducer 635 by inserting a bolt 657 through a through hole (not shown) of the mounting member 655 and screwing it into the second speed reducer case 645. The mounting member 655 is fixed to the second motor 633 by passing a bolt (not shown) through a through hole (not shown) of the mounting member 655 and screwing it into the second motor case 637.

また、上記第２モータ６３３の図１４中上側には、エンコーダ６６１が設置されている。このエンコーダ６６１も、前述したエンコーダ５２５と同様の構成であり、エンコーダケース６６３、エンコーダホイール６６５、基板６６７等から構成され、上記第２モータ６３３の回転を検出するものである。   Further, an encoder 661 is installed on the upper side of the second motor 633 in FIG. The encoder 661 has the same configuration as the encoder 525 described above, and includes an encoder case 663, an encoder wheel 665, a substrate 667, and the like, and detects the rotation of the second motor 633.

また、上記第２アームハウジング６３１の図１４及び図１５中左側には、ボールナット６７１が回転可能に設置されている。このボールナット６７１には、図１５に示すように、まず、ボールナット本体６７３がある。このボールナット本体６７３は略筒状の形状を成しており、内周面には雌ネジ部６７５が形成されている。また、上記ボールナット本体６７３の内部には図示しない無負荷循環路が形成されている。また、上記ボールナット本体６７３の図１５中上側にはフランジ部６７７が形成されている。
上記ボールナット本体６７３の両端側にはエンドキャップ６７９、６８１が設置されている。これらエンドキャップ６７９、６８１の内部には図示しないリターン路が形成されている。 A ball nut 671 is rotatably installed on the left side of the second arm housing 631 in FIGS. 14 and 15. As shown in FIG. 15, the ball nut 671 first has a ball nut main body 673. The ball nut main body 673 has a substantially cylindrical shape, and an internal thread portion 675 is formed on the inner peripheral surface. In addition, a no-load circulation path (not shown) is formed inside the ball nut body 673. Further, a flange portion 677 is formed on the upper side of the ball nut main body 673 in FIG.
End caps 679 and 681 are installed on both ends of the ball nut body 673. A return path (not shown) is formed inside these end caps 679 and 681.

上記ボールナット本体６７３は、ボールナット保持部材６８３とボールナット保持部材６８５との間に介挿・保持されている。上記ボールナット本体６７３のフランジ部６７７は、上記ボールナット保持部材６８３、６８５によって挟持されており、上記ボールナット保持部材６８５と上記ボールナット本体６７３のフランジ部６７７の図示しない貫通孔にボルト６８７（図１３に示す）を通し、上記ボールナット保持部材６８３に螺合することにより、上記ボールナット保持部材６８３、６８５、及び、ボールナット本体６７３が一体となっている。   The ball nut main body 673 is interposed and held between the ball nut holding member 683 and the ball nut holding member 685. The flange portion 677 of the ball nut main body 673 is sandwiched between the ball nut holding members 683 and 685, and bolts 687 (not shown) are inserted into through holes (not shown) of the ball nut holding member 685 and the flange portion 677 of the ball nut main body 673. The ball nut holding members 683 and 685 and the ball nut main body 673 are integrated with each other by screwing into the ball nut holding member 683 through (shown in FIG. 13).

また、上記ボールナット保持部材６８５にはグリスニップル６８９が設置されており、上記ボールナット保持部材６８５のグリス供給路６９１、及び、上記ボールナット本体６７３のグリス供給路６９３を介して、上記ボールナット本体６７３内部にグリスを供給する。   The ball nut holding member 685 is provided with a grease nipple 689, and the ball nut is passed through the grease supply path 691 of the ball nut holding member 685 and the grease supply path 693 of the ball nut main body 673. Grease is supplied into the main body 673.

また、図１３、図１５に示すように、上記ボールナット保持部材６８５の外周側には歯部６９５が形成されている。   As shown in FIGS. 13 and 15, a tooth portion 695 is formed on the outer peripheral side of the ball nut holding member 685.

また、上記第２アームハウジング６３１の図１４及び図１５中左側の底面には、軸受７０１が設置されている。この軸受７０１も、クロスローラタイプの軸受で、前述した軸受５７１と同様の構成であり、外輪７０３と内輪７０５とローラ７０７とから構成されている。
上記ボールナット保持部材６８３の図１５中下端側は、上記軸受７０１の内輪７０５の内側に挿入されている。また、上記ボールナット保持部材６８３には段付部７０９が形成されているとともに、上記ボールナット保持部材６８３の下端側には内輪押え７１１が設置されている。上記軸受７０１の内輪７０５は、上記ボールナット保持部材６８３の段付部７０９と上記内輪押え７１１との間に介挿・固定されている。また、上記軸受７０１の外輪７０３も、上記第２アームハウジング６３１の底面と外輪押え７１３との間に介挿・固定されている。このような構成によって、上記ボールナット６７１が上記第２アームハウジング６３１に対して回転可能に設置されている。 A bearing 701 is installed on the bottom surface of the second arm housing 631 on the left side in FIGS. 14 and 15. This bearing 701 is also a cross-roller type bearing and has the same configuration as the above-described bearing 571, and includes an outer ring 703, an inner ring 705, and a roller 707.
The lower end side in FIG. 15 of the ball nut holding member 683 is inserted inside the inner ring 705 of the bearing 701. The ball nut holding member 683 has a stepped portion 709, and an inner ring presser 711 is installed on the lower end side of the ball nut holding member 683. The inner ring 705 of the bearing 701 is inserted and fixed between the stepped portion 709 of the ball nut holding member 683 and the inner ring presser 711. The outer ring 703 of the bearing 701 is also inserted and fixed between the bottom surface of the second arm housing 631 and the outer ring presser 713. With such a configuration, the ball nut 671 is rotatably installed with respect to the second arm housing 631.

また、上記ボールナット６７１にはボールネジ７２１が螺合されている。このボールネジ７２１の外周面には雄ネジ部７２３が形成されている。
上記ボールネジ７２１の雄ネジ部７２３と上記ボールナット本体６７３の雌ネジ部６７５との間の空間、上記エンドキャップ６７９の図示しないリターン路、上記ボールナット本体６７３の図示しない無負荷循環路、及び、上記エンドキャップ６８１の図示しないリターン路内には複数の鋼球７２５が循環している。 A ball screw 721 is screwed onto the ball nut 671. A male screw portion 723 is formed on the outer peripheral surface of the ball screw 721.
A space between the male screw portion 723 of the ball screw 721 and the female screw portion 675 of the ball nut body 673, a return path (not shown) of the end cap 679, a no-load circulation path (not shown) of the ball nut body 673, and A plurality of steel balls 725 circulate in a return path (not shown) of the end cap 681.

また、上記第２アームハウジング６３１には、モータハウジング７２９を介して、第３モータ７３１が設置されている。この第３モータ７３１は、前述した第１モータ５１３と同様の構成であり、第３モータケース７３３、ステータ７３５、ロータ７３７、第３モータ側出力軸７３９とから構成されている。
上記第３モータ側出力軸７３９の先端側（図１５中下側）には、タイミングプーリ７４１が固着されている。このタイミングプーリ７４１には歯部７４３が形成されている。 The second arm housing 631 is provided with a third motor 731 through a motor housing 729. The third motor 731 has the same configuration as the first motor 513 described above, and includes a third motor case 733, a stator 735, a rotor 737, and a third motor side output shaft 739.
A timing pulley 741 is fixed to the distal end side (lower side in FIG. 15) of the third motor side output shaft 739. A tooth portion 743 is formed on the timing pulley 741.

また、上記ボールナット６７１と上記タイミングプーリ７４１間には歯部を備えたタイミングベルト７４５が巻回されている。このタイミングベルト７４５は、上記ボールナット保持部材６８５の歯部６９５と上記タイミングプーリ７４１の歯部７４３に歯合されており、上記第３モータ側出力軸７３９の回転が上記ボールナット６７１に伝達されるようになっている。
なお、上記第３モータ７３１の図１５中上側にはエンコーダ７４７が設置されている。このエンコーダ７４７も、前述したエンコーダ５２５と同様の構成であり、エンコーダケース７４９、エンコーダホイール７５１、基板７５３等から構成され、上記第３モータ７３１の回転を検出するものである。
上記第３モータ７３１により上記タイミングベルト７４５を介して上記ボールナット６７１が回転されると上記ボールネジ７２１がＺ軸方向（図１５中上下方向）に移動される。 A timing belt 745 having a tooth portion is wound between the ball nut 671 and the timing pulley 741. The timing belt 745 is engaged with the teeth 695 of the ball nut holding member 685 and the teeth 743 of the timing pulley 741, and the rotation of the third motor side output shaft 739 is transmitted to the ball nut 671. It has become so.
Note that an encoder 747 is installed above the third motor 731 in FIG. The encoder 747 has the same configuration as the encoder 525 described above, and includes an encoder case 749, an encoder wheel 751, a substrate 753, and the like, and detects the rotation of the third motor 731.
When the ball nut 671 is rotated by the third motor 731 via the timing belt 745, the ball screw 721 is moved in the Z-axis direction (vertical direction in FIG. 15).

また、上記ボールネジ７２１の先端側（図１５中下端側）には、ロッド支持部材７６１が固着されている。このロッド支持部材７６１によって、ロッド５０９が回転可能に支持されている。
図１５に示すように、上記ロッド支持部材７６１には、ボールネジ取付用貫通孔７６３が形成されており、このボールネジ取付用貫通孔７６３内に上記ボールネジ７２１が挿入されている。上記ボールネジ７２１の先端側（図１５中下端側）には、ボールネジ固定用ブッシュ７６５が設置されている。このボールネジ固定用ブッシュ７６５にはテーパ状の貫通孔７６７が形成されていて、この貫通孔７６７に上記ボールネジ７２１の先端側（図１５中下端側）が挿入されている。 Further, a rod support member 761 is fixed to the tip side of the ball screw 721 (the lower end side in FIG. 15). A rod 509 is rotatably supported by the rod support member 761.
As shown in FIG. 15, the rod support member 761 is formed with a ball screw mounting through hole 763, and the ball screw 721 is inserted into the ball screw mounting through hole 763. A ball screw fixing bush 765 is provided on the tip side (the lower end side in FIG. 15) of the ball screw 721. A tapered through hole 767 is formed in the ball screw fixing bush 765, and the tip end side (the lower end side in FIG. 15) of the ball screw 721 is inserted into the through hole 767.

また、上記ボールネジ固定用ブッシュ７６５の貫通孔７６７には、押圧部材７６９が圧入されている。この押圧部材７６９の先端側（図１５中上側）は上記ボールネジ固定用ブッシュ７６５の貫通孔７６７の形状に対応したテーパ形状となっており、上記押圧部材７６９が図１５中上側に移動されると上記ボールネジ固定用ブッシュ７６５が拡径されて上記ロッド支持部材７６１のボールネジ取付用貫通孔７６３の内周面を押圧するとともに、上記押圧部材７６９の内周面が上記ボールネジ７２１の先端側（図１５中下端側）を押圧するようになる。これにより、上記ボールネジ７２１の先端側（図１５中下側）に上記ロッド支持部材７６１が固着される。
また、上記ボールネジ固定用ブッシュ７６５と押圧部材７６９は、上記ボールネジ固定用ブッシュ７６５と押圧部材７６９の図示しない貫通孔に複数のボルト７７１を通し、上記ロッド支持部材７６１に螺合することにより固定されている。 A pressing member 769 is press-fitted into the through hole 767 of the ball screw fixing bush 765. The tip side of the pressing member 769 (upper side in FIG. 15) has a tapered shape corresponding to the shape of the through hole 767 of the ball screw fixing bush 765, and when the pressing member 769 is moved upward in FIG. The diameter of the ball screw fixing bush 765 is increased to press the inner peripheral surface of the ball screw mounting through hole 763 of the rod support member 761, and the inner peripheral surface of the pressing member 769 is the tip side of the ball screw 721 (FIG. 15). Middle and lower end side). As a result, the rod support member 761 is fixed to the tip side (the lower side in FIG. 15) of the ball screw 721.
The ball screw fixing bush 765 and the pressing member 769 are fixed by passing a plurality of bolts 771 through through holes (not shown) of the ball screw fixing bush 765 and the pressing member 769 and screwing them into the rod support member 761. ing.

また、このような構成により、上記ボールネジ７２１と上記ロッド５０９とが上記ロッド支持部材７６１を介して連結されているので、上記ボールネジ７２１がＺ軸方向（図１５中上下方向）に移動されると、上記ロッド５０９もＺ軸方向（図１５中上下方向）に移動されるようになっている。   In addition, with such a configuration, the ball screw 721 and the rod 509 are coupled via the rod support member 761, so that when the ball screw 721 is moved in the Z-axis direction (vertical direction in FIG. 15). The rod 509 is also moved in the Z-axis direction (vertical direction in FIG. 15).

また、上記ロッド５０９は、上記ロッド支持部材７６１に形成された貫通孔７７２内に設置された軸受７７３、７７３によって、回転可能に支持されている。これら軸受７７３は、外輪７７５と、この外輪７７５の内側に設置された内輪７７７と、この内輪７７７と上記外輪７７５との間に設置されたリテイナ７７９と、このリテイナ７７９によって転動可能に保持された複数の鋼球７８１とによって構成されている。   The rod 509 is rotatably supported by bearings 773 and 773 installed in a through hole 772 formed in the rod support member 761. These bearings 773 are rotatably held by the outer ring 775, an inner ring 777 installed inside the outer ring 775, a retainer 779 installed between the inner ring 777 and the outer ring 775, and the retainer 779. And a plurality of steel balls 781.

また、上記軸受７７３、７７３の外輪７７５、７７５は、上記貫通孔７７２の図１５中下側に形成された段付部７８３と上記貫通孔７７２の図１５中上側に設置された軸受押え７８５によって介挿・固定されている。上記軸受押え７８５は、上記軸受押え７８５の図示しない貫通孔に複数のボルト７８７を通し、上記ロッド支持部材７６１に螺合することにより、固定されている。
また、上記軸受７７３、７７３の内輪７７７、７７７は、上記ロッド５０９に形成された段付き部７８９と、軸受押え７９１との間に介挿・固定されている。 Further, outer rings 775 and 775 of the bearings 773 and 773 are formed by a stepped portion 783 formed on the lower side of the through hole 772 in FIG. 15 and a bearing presser 785 installed on the upper side of the through hole 772 in FIG. It is inserted and fixed. The bearing retainer 785 is fixed by passing a plurality of bolts 787 through a through hole (not shown) of the bearing retainer 785 and screwing it into the rod support member 761.
Further, the inner rings 777 and 777 of the bearings 773 and 773 are inserted and fixed between a stepped portion 789 formed on the rod 509 and the bearing retainer 791.

また、上記第２アームハウジング６３１の図１４及び図１５中左端側には、スプラインナット８０１が設置されている。
上記スプラインナット８０１には、スプラインナット本体８０３がある。このスプラインナット本体８０３は、略筒状の形状を成しており、図１５中上下方向に延長された貫通孔８０５が形成されている。この貫通孔８０５の内周面には４本のスプライン溝８０７、８０７、８０７、８０７（これらの内、２本のスプライン溝８０７、８０７は図示せず）が図１５中上下方向に延長・形成されている。 A spline nut 801 is installed on the left end side of the second arm housing 631 in FIGS. 14 and 15.
The spline nut 801 includes a spline nut body 803. The spline nut main body 803 has a substantially cylindrical shape, and has a through hole 805 extending in the vertical direction in FIG. Four spline grooves 807, 807, 807, and 807 (of which two spline grooves 807 and 807 are not shown) extend and are formed in the vertical direction in FIG. 15 on the inner peripheral surface of the through hole 805. Has been.

上記ロッド５０９は、上記スプラインナット本体８０３の貫通孔８０５を貫通して設置されている。また、上記ロッド５０９は、上記４本のスプライン溝８０７、８０７、８０７、８０７に対応する４本のスプライン溝８０９、８０９、８０９、８０９が形成されており、スプラインシャフトとして構成されている。
また、上記スプラインナット本体８０３には、その内部に図示しない無負荷循環路が形成されているとともに、上記スプライン溝８０７と上記スプライン溝８０９との間の空間と上記無負荷循環路の両端側とを連通する図示しないリターン路が形成されている。上記図示しない無負荷循環路と、上記リターン路の内の一方のリターン路と、上記スプライン溝８０７と上記スプライン溝８０９との間の空間と、上記リターン路の内の他方のリターン路には、複数の鋼球８１３が転動している。これにより、上記ロッド５０９は上記スプラインナット８０１に噛合されており、上記ロッド５０９の上記スプラインナット８０１に対するＺ軸方向（図１５中上下方向）の移動が許容されているとともに、上記ロッド５０９が上記スプラインナット８０１の回転と共にＺ軸心周りに（図１５中上下方向の軸を中心に）回転できるように構成されている。 The rod 509 is installed through the through hole 805 of the spline nut body 803. The rod 509 is formed with four spline grooves 809, 809, 809, 809 corresponding to the four spline grooves 807, 807, 807, 807, and is configured as a spline shaft.
The spline nut body 803 has a no-load circulation path (not shown) formed therein, and a space between the spline groove 807 and the spline groove 809 and both end sides of the no-load circulation path. A return path (not shown) that communicates with each other is formed. The unloaded circulation path (not shown), one return path among the return paths, the space between the spline groove 807 and the spline groove 809, and the other return path among the return paths, A plurality of steel balls 813 are rolling. Thus, the rod 509 is engaged with the spline nut 801, and the rod 509 is allowed to move in the Z-axis direction (vertical direction in FIG. 15) relative to the spline nut 801, and the rod 509 is Along with the rotation of the spline nut 801, the spline nut 801 can be rotated around the Z axis (centering on the vertical axis in FIG. 15).

また、上記スプラインナット本体８０３は、軸受８１５を介して、上記第２アームハウジング６３１に対してＺ軸心周りに（図１５中上下方向の軸を中心に）回転可能に設置されている。この軸受８１５も、クロスローラタイプの軸受で、前述した軸受５７１と同様の構成であり、外輪８１７と内輪８１９とローラ８２１とから構成されている。
上記外輪８１７は、外輪押え８１８によって、上記第２アームハウジング６３１に固定されている。また、上記内輪８１９は内輪押え８２０によって、上記スプラインナット本体８０３に固定されている。 Further, the spline nut main body 803 is installed to be rotatable around the Z axis (about the vertical axis in FIG. 15) with respect to the second arm housing 631 via a bearing 815. This bearing 815 is also a cross roller type bearing and has the same configuration as the above-described bearing 571, and includes an outer ring 817, an inner ring 819, and a roller 821.
The outer ring 817 is fixed to the second arm housing 631 by an outer ring presser 818. The inner ring 819 is fixed to the spline nut body 803 by an inner ring presser 820.

また、図１５乃至図１７に示すように、上記スプラインナット本体８０３にはロッド側ストッパ８２３が設置されている。このロッド側ストッパ８２３、その基端側（図１５中左側）を上記スプラインナット本体８０３の貫通孔８０５に直交する貫通孔８２５に挿入・固定されており、その先端側（図１５中右側）が上記スプラインナット８０１の外周側に突出されている。上記ロッド側ストッパ８２３は、上記貫通孔８２５の図１５中上側に直交して形成された雌ネジ部８２７と上記貫通孔８２５の図１５中下側に直交して形成された雌ネジ部８２９に螺合されるセットスクリュ８３１、８３３によって固定されている。
また、上記ロッド側ストッパ８２３の上記スプラインナット８０１の外周側に突出された側（図１５中右側）には、弾性部材からなる緩衝材８３４が被冠されている。 Further, as shown in FIGS. 15 to 17, a rod-side stopper 823 is installed on the spline nut main body 803. The rod side stopper 823 and its base end side (left side in FIG. 15) are inserted and fixed in a through hole 825 orthogonal to the through hole 805 of the spline nut body 803, and its distal end side (right side in FIG. 15) is fixed. The spline nut 801 protrudes to the outer peripheral side. The rod-side stopper 823 includes a female screw portion 827 formed orthogonal to the upper side of the through hole 825 in FIG. 15 and a female screw portion 829 formed orthogonal to the lower side of the through hole 825 in FIG. It is fixed by set screws 831 and 833 to be screwed together.
Further, a cushioning material 834 made of an elastic member is crowned on a side (right side in FIG. 15) of the rod side stopper 823 that protrudes to the outer peripheral side of the spline nut 801.

また、上記スプラインナット本体８０３の図１５中上側には、キャップ８３５が設置されている。このキャップ８３５は、その図１５中下側が上記スプラインナット本体８０３の貫通孔８０５内に挿入されるとともに上記ロッド５０９によって貫通され、上記スプラインナット本体８０３の上端側（図１５中上端側）を閉塞している。上記キャップ８３５は、上記キャップ８３５の図示しない貫通孔に４本のボルト８３９、８３９、８３９、８３９を通し、上記スプラインナット本体８０３の雌ネジ部８３７、上記雌ネジ部８２７、及び、図示しないその他２つの雌ネジ部にそれぞれ螺合することにより、固定されている。   A cap 835 is installed on the upper side of the spline nut body 803 in FIG. The lower side of the cap 835 in FIG. 15 is inserted into the through hole 805 of the spline nut body 803 and penetrated by the rod 509, and the upper end side (upper end side in FIG. 15) of the spline nut body 803 is closed. doing. The cap 835 passes four bolts 839, 839, 839, 839 through a through hole (not shown) of the cap 835, the female screw part 837 of the spline nut body 803, the female screw part 827, and other not shown. The two female screw portions are fixed by screwing each other.

また、図１７に示すように、上記スプラインナット本体８０３の外周面にはグリスニップル８４１が設置されている。このグリスニップル８４１から、図１５に示すように上記キャップ８３５の図１５中下側に形成されたグリス供給路８４３、８４３を介して、上記ロッド５０９と上記スプラインナット本体８０３の貫通孔８０５との間の空間にグリスを供給する。   As shown in FIG. 17, a grease nipple 841 is installed on the outer peripheral surface of the spline nut main body 803. From the grease nipple 841, as shown in FIG. 15, the rod 509 and the through-hole 805 of the spline nut main body 803 are passed through grease supply paths 843 and 843 formed on the lower side of the cap 835 in FIG. 15. Supply grease to the space between.

また、上記スプラインナット本体８０３の外周側には、回転部材８４５が回転可能に設置されている。この回転部材８４５は、内側に設置されたＬ字型の断面形状を成す摺動リング８４７とこの摺動リング８４７の外周側に固着されたストッパ設置用リング８４９とから構成される。
上記摺動リング８４７の内周面側と図１５中下側の面には、例えば、フッ素樹脂によるコーティングが施されており、上記回転部材８４５が円滑に回転できるようになっている。 A rotating member 845 is rotatably installed on the outer peripheral side of the spline nut main body 803. The rotating member 845 includes a sliding ring 847 having an L-shaped cross section installed on the inner side and a stopper installing ring 849 fixed to the outer peripheral side of the sliding ring 847.
The inner peripheral surface side of the sliding ring 847 and the lower surface in FIG. 15 are coated with, for example, fluororesin so that the rotating member 845 can rotate smoothly.

図１５乃至図１７に示すように、上記回転部材８４５には、回転部材側ストッパ８５１が着脱可能に設置されている。図１７（ｂ）に示すように、この回転部材側ストッパ８５１には位置決め用貫通孔８５３、８５３が穿孔されており、これら位置決め用貫通孔８５３、８５３と、上記回転部材８４５のストッパ設置用リング８４９に形成された位置決め用凹部８５５、８５５に、位置決め用ピン８５７、８５７を差し込むことにより、上記回転部材側ストッパ８５１の上記回転部材８４５に対する位置決めが行われる。
また、上記回転部材側ストッパ８５１の位置決め用貫通孔８５３、８５３間には上記ボルト用貫通孔８５９が形成されており、このボルト用貫通孔８５９にボルト８６３を通し、上記回転部材８４５のストッパ設置用リング８４９に形成された雌ネジ部８６１に螺合することによって、上記回転部材側ストッパ８５１が固定される。
なお、このボルト８６３は上記摺動リング８４７側まで貫通され、上記ボルト８６３によって上記ストッパ設置用リング８４９が上記摺動リング８４７に対して固定される。 As shown in FIGS. 15 to 17, a rotating member-side stopper 851 is detachably installed on the rotating member 845. As shown in FIG. 17B, the rotating member side stopper 851 is provided with positioning through holes 853 and 853, and the positioning through holes 853 and 853 and the stopper installation ring of the rotating member 845 are provided. By positioning positioning pins 857 and 857 into positioning recesses 855 and 855 formed in 849, positioning of the rotating member side stopper 851 with respect to the rotating member 845 is performed.
Further, the bolt through hole 859 is formed between the positioning through holes 853 and 853 of the rotating member side stopper 851, and the bolt 863 is passed through the bolt through hole 859 so that the stopper of the rotating member 845 is installed. The rotating member side stopper 851 is fixed by screwing into a female screw portion 861 formed on the ring 849 for use.
The bolt 863 is penetrated to the sliding ring 847 side, and the stopper installation ring 849 is fixed to the sliding ring 847 by the bolt 863.

上記回転部材側ストッパ８５１の大きさ・位置は、上記回転部材８４５に対して上記スプラインナット８０１が回転された際、ロッド側ストッパ８２３が上記回転部材側ストッパ８５１に当接されるように設定されている。
また、図１９（ａ）に示すように、上記スプラインナット８０１ひいてはロッド５０９は、上記回転部材８４５に対して、上記ロッド側ストッパ８２３が上記回転部材側ストッパ８５１に当接するまで回転することができる。 The size and position of the rotating member side stopper 851 are set so that the rod side stopper 823 contacts the rotating member side stopper 851 when the spline nut 801 is rotated with respect to the rotating member 845. ing.
Further, as shown in FIG. 19A, the spline nut 801 and thus the rod 509 can rotate with respect to the rotating member 845 until the rod-side stopper 823 contacts the rotating member-side stopper 851. .

また、上記スプラインナット８０１の回転方向により、上記回転部材側ストッパ８５１は、図１９（ａ）に示すように、２つの方向（図１９（ａ）中左側及び右側）から上記ロッド側ストッパ８２３によって当接される。この第２の実施の形態では、図１９（ａ）に示すように、上記スプラインナット８０１ひいてはロッド５０９は、上記回転部材８４５に対して、３１０°回転できるようになっている。
なお、上記スプラインナット８０１やロッド５０９が上記回転部材８４５に対して回転可能な角度は、上記回転部材側ストッパ８５１の大きさによって設定される。 Further, depending on the rotation direction of the spline nut 801, the rotating member side stopper 851 is moved by the rod side stopper 823 from two directions (left side and right side in FIG. 19A) as shown in FIG. 19A. Abutted. In the second embodiment, as shown in FIG. 19A, the spline nut 801 and thus the rod 509 can rotate 310 ° with respect to the rotating member 845.
The angle at which the spline nut 801 and the rod 509 can rotate with respect to the rotating member 845 is set by the size of the rotating member side stopper 851.

また、上記回転部材８４５は、上記スプラインナット８０１が回転されて上記ロッド側ストッパ８２３が上記回転部材側ストッパ８５１に当接されると、上記スプラインナット８０１によって付勢されることで上記スプラインナット８０１と同方向に回転される。   Further, the rotating member 845 is urged by the spline nut 801 when the spline nut 801 is rotated and the rod side stopper 823 is brought into contact with the rotating member side stopper 851, thereby the spline nut 801. In the same direction.

また、上記スプラインナット本体８０３の下側であって上記軸受８１５の上側には、タイミングプーリ８６５が固着されている。このタイミングプーリ８６５は歯部が形成されており、上記タイミングプーリ８６５の図示しない貫通孔に複数のボルト８６７を通し、上記スプラインナット本体８０３の雌ネジ部８２９、雌ネジ部８３７、及び、その他の図示しない雌ネジ部に螺合することにより、固定される。
また、上記第２アームハウジング６３１の、上記タイミングプーリ８６５の下方（図１５中下側）には、センサ８６９が設置されている。 A timing pulley 865 is fixed to the lower side of the spline nut body 803 and the upper side of the bearing 815. The timing pulley 865 has teeth, and a plurality of bolts 867 are passed through a through hole (not shown) of the timing pulley 865 so that the female threaded portion 829, the female threaded portion 837 of the spline nut body 803, and other It is fixed by screwing into a female screw portion (not shown).
Further, a sensor 869 is installed in the second arm housing 631 below the timing pulley 865 (lower side in FIG. 15).

また、上記第２アームハウジング６３１の第３モータ７３１の図１５中下側には、ロッド用モータとしての第４モータ８７１が設置されている。この第４モータ８７１は、前述した第１モータ５１３と同様の構成であり、第４モータケース８７３、ステータ８７５、ロータ８７７、第４モータ側出力軸８７９とから構成されている。
上記第４モータ側出力軸８７９の先端側（図１５中上側）には、タイミングプーリ８８１が固着されている。このタイミングプーリ８８１には歯部８８３が形成されている。 A fourth motor 871 as a rod motor is installed on the lower side of the third motor 731 of the second arm housing 631 in FIG. The fourth motor 871 has the same configuration as the first motor 513 described above, and includes a fourth motor case 873, a stator 875, a rotor 877, and a fourth motor side output shaft 879.
A timing pulley 881 is fixed to the distal end side (the upper side in FIG. 15) of the fourth motor side output shaft 879. A tooth portion 883 is formed on the timing pulley 881.

また、上記スプラインナット８０１と上記タイミングプーリ８８１間にはタイミングベルト８８５が巻回されている。このタイミングベルト８８５は、上記スプラインナット８０１側のタイミングプーリ８６５と上記タイミングプーリ８８１の歯部８８３に歯合されており、上記第４モータ側出力軸８７９の回転が上記スプラインナット８０１に伝達されるようになっている。
なお、上記第４モータ８７１の図１５中下側にはエンコーダ８８７が設置されている。このエンコーダ８８７も、前述したエンコーダ５２５と同様の構成であり、エンコーダケース８８９、エンコーダホイール８９１、基板８９３等から構成され、上記第４モータ８７１の回転を検出するものである。
上記第４モータ８７１により上記タイミングベルト８８５を介して上記スプラインナット８０１が回転されると、上記ロッド５０９がＺ軸心周りに（図１５中上下方向の軸を中心に）回転される。 A timing belt 885 is wound between the spline nut 801 and the timing pulley 881. The timing belt 885 is engaged with the timing pulley 865 on the spline nut 801 side and the tooth portion 883 of the timing pulley 881, and the rotation of the fourth motor side output shaft 879 is transmitted to the spline nut 801. It is like that.
An encoder 887 is installed on the lower side of the fourth motor 871 in FIG. The encoder 887 has the same configuration as the encoder 525 described above, and includes an encoder case 889, an encoder wheel 891, a substrate 893, and the like, and detects the rotation of the fourth motor 871.
When the spline nut 801 is rotated by the fourth motor 871 via the timing belt 885, the rod 509 is rotated around the Z axis (centering on the vertical axis in FIG. 15).

また、図１３、図１６に示すように、上記第２アームハウジング６３１の先端側（図１６中下側）には、第１回転規制部材９０１と第２回転規制部材９０３が設置されている。これら第１回転規制部材９０１と第２回転規制部材９０３の間に上記回転部材側ストッパ８５１が配置されており、上記回転部材８４５は上記第１回転規制部材９０１又は上記第２回転規制部材９０３に当接するまでの範囲で回転可能となっている。
この第２の実施の形態の場合は、図１９（ｂ）及び図１９（ｃ）に示すように、上記回転部材８４５は、２７°＋２７°＝５４°だけ回転可能となっている。
なお、この上記回転部材８４５の回転可能な角度は、上記第１回転規制部材９０１及び第２回転規制部材９０３の位置によって設定される。 As shown in FIGS. 13 and 16, a first rotation regulating member 901 and a second rotation regulating member 903 are installed on the distal end side (lower side in FIG. 16) of the second arm housing 631. The rotation member side stopper 851 is disposed between the first rotation restriction member 901 and the second rotation restriction member 903, and the rotation member 845 is attached to the first rotation restriction member 901 or the second rotation restriction member 903. It can rotate in the range until it abuts.
In the case of the second embodiment, as shown in FIGS. 19B and 19C, the rotating member 845 can rotate by 27 ° + 27 ° = 54 °.
The rotatable angle of the rotating member 845 is set by the positions of the first rotation restricting member 901 and the second rotation restricting member 903.

また、上記回転部材８４５は、上記スプラインナット８０１、ひいては、ロッド５０９に対して回転可能であるため、上記スプラインナット８０１及びロッド５０９は、図１９（ａ）中左側から上記ロッド側ストッパ８２３が上記回転部材側ストッパ８５１に当接した後であっても、図１９（ｂ）に示すように、上記回転部材側ストッパ８５１が上記第２回転規制部材９０３に当接するまで回転できる。
また、上記スプラインナット８０１及びロッド５０９は、図１９（ａ）中右側から上記ロッド側ストッパ８２３が上記回転部材側ストッパ８５１に当接した後であっても、図１９（ｃ）に示すように、上記回転部材側ストッパ８５１が上記第１回転規制部材９０１に当接するまで回転できる。 Further, since the rotating member 845 can rotate with respect to the spline nut 801 and thus the rod 509, the rod-side stopper 823 is connected to the spline nut 801 and the rod 509 from the left side in FIG. Even after contacting the rotating member side stopper 851, as shown in FIG. 19B, the rotating member side stopper 851 can rotate until it contacts the second rotation regulating member 903.
Further, the spline nut 801 and the rod 509 are arranged as shown in FIG. 19C even after the rod side stopper 823 comes into contact with the rotating member side stopper 851 from the right side in FIG. The rotating member side stopper 851 can rotate until it contacts the first rotation restricting member 901.

よって、前述したように、上記スプラインナット８０１、ひいては、ロッド５０９は、上記回転部材８４５に対して、３１０°回転可能であり、上記回転部材８４５は５４°回転可能であるため、結局、上記スプラインナット８０１ひいてはロッド５０９は、３１０°＋５４°＝３６４°だけ回転できることになる。   Therefore, as described above, the spline nut 801 and thus the rod 509 can be rotated by 310 ° relative to the rotating member 845, and the rotating member 845 can rotate by 54 °. The nut 801 and thus the rod 509 can be rotated by 310 ° + 54 ° = 364 °.

また、上記ロッド５０９が回転可能範囲の何れかの端まで回転された時に、エンコーダ８８７をリセットすることで、上記ロッド５０９の回転位置の原点が設定される。
また、上記第１回転規制部材９０１及び第２回転規制部材９０３は第２アームハウジング６３１に形成された図示しない穴に、圧入と接着により固定されている。また、上記第１回転規制部材９０１及び第２回転規制部材９０３の突出される側には、それぞれ弾性部材からなる緩衝材９０５、９０５が被冠されている。
また、前記したように、上記ロッド５０９がＺ軸方向（図１中上下方向）に移動されるとともにＺ軸心周りに回転（図１中上下方向の軸を中心に回転）される構成となっているので、ロボット５０１の第２アーム５０７の先端側（図１中左側）にＺ−Ｒ軸アクチュエータが設置されていることになる。 In addition, when the rod 509 is rotated to any end of the rotatable range, the encoder 887 is reset to set the origin of the rotational position of the rod 509.
The first rotation restricting member 901 and the second rotation restricting member 903 are fixed to a hole (not shown) formed in the second arm housing 631 by press fitting and adhesion. Further, cushioning materials 905 and 905 made of elastic members are respectively crowned on the protruding side of the first rotation restricting member 901 and the second rotation restricting member 903.
Further, as described above, the rod 509 is moved in the Z-axis direction (vertical direction in FIG. 1) and rotated around the Z-axis center (rotated around the vertical axis in FIG. 1). Therefore, the Z-R axis actuator is installed on the distal end side (left side in FIG. 1) of the second arm 507 of the robot 501.

また、図１３及び図１４に示すように、第２アームハウジング６３１の図１３及び図１４中右側には、カバ９１１が設置されており、このカバ９１１には自立ケーブルカバ６２３の他端側（図１３及び図１４中左側）が係合・固定されている。上記カバ９１１は、上記カバ９１１を貫通し、上記第２アームハウジング６３１に螺合される複数のネジ９１３によって固定されている。上記自立ケーブルカバ６２３の他端側は上記カバ９１１ごと、上記第２アームハウジング６３１から取り外すことができるようになっている。   Further, as shown in FIGS. 13 and 14, a cover 911 is installed on the right side of the second arm housing 631 in FIGS. 13 and 14, and the other end side of the self-standing cable cover 623 (on the cover 911 ( The left side in FIGS. 13 and 14 is engaged and fixed. The cover 911 passes through the cover 911 and is fixed by a plurality of screws 913 that are screwed into the second arm housing 631. The other end side of the self-supporting cable cover 623 can be detached from the second arm housing 631 together with the cover 911.

また、上記第２アームハウジング６３１の図１３及び図１４中左側の上側は、図１２に示すように、駆動部カバ９１５によって覆われている。また、上記第２アームハウジング６３１の先端（図１３及び図１４中左端）は、端部カバ９１７によって閉塞されている。また、上記第２アームハウジング６３１の図１４中下側に設置された第４モータ８７１は、モータカバー９１９によって覆われている。   Further, the upper side of the second arm housing 631 on the left side in FIGS. 13 and 14 is covered with a drive cover 915 as shown in FIG. Further, the tip of the second arm housing 631 (the left end in FIGS. 13 and 14) is closed by an end cover 917. Further, the fourth motor 871 installed on the lower side of the second arm housing 631 in FIG. 14 is covered with a motor cover 919.

次に、この第２の実施の形態の作用について説明する。
上記作業ロボット５０１は、第１モータ５１３を駆動することにより、第１アーム５０５を基部５０３に対してＺ軸心周りに（図１２中上下方向の軸を中心に）回転させる。これにより、上記ロボット５０１の第２アーム５０７側が、上記基部５０３を中心としてＸ・Ｙ二次元平面内において回転移動される。
また、上記ロボット５０１は、第２モータ６３３を駆動することにより、上記第２アーム５０７を上記第１アーム５０５に対してＺ軸心周りに（図１２中上下方向の軸を中心に）回転させる。これにより、上記第２アーム５０７の先端側（図１２中左側）に設置されたロッド５０９が、上記第１アーム５０５の先端側（図１２中左側）を中心としてＸ・Ｙ二次元平面内において回転移動される。
このような上記第１アーム５０５及び第２アーム５０７の移動によって、上記ロッド５０９の取付部５１０に取り付けられた図示しない取付対象物が、Ｘ・Ｙ二次元平面内の任意の位置に移動される。 Next, the operation of the second embodiment will be described.
The work robot 501 drives the first motor 513 to rotate the first arm 505 about the Z axis (about the vertical axis in FIG. 12) relative to the base 503. As a result, the second arm 507 side of the robot 501 is rotationally moved within the XY two-dimensional plane with the base 503 as the center.
Further, the robot 501 drives the second motor 633 to rotate the second arm 507 around the Z axis with respect to the first arm 505 (about the vertical axis in FIG. 12). . As a result, the rod 509 installed on the distal end side (left side in FIG. 12) of the second arm 507 is in the XY two-dimensional plane with the distal end side (left side in FIG. 12) of the first arm 505 as the center. It is rotated.
By such movement of the first arm 505 and the second arm 507, an attachment object (not shown) attached to the attachment portion 510 of the rod 509 is moved to an arbitrary position in the XY two-dimensional plane. .

また、上記ロボット５０１は、第３モータ７３１を駆動することにより、上記ロッド５０９ひいては上記取付部５１０に取り付けられた図示しない取付対象物をＺ軸方向（図１２中上下方向）に移動させる。   Further, the robot 501 drives the third motor 731 to move the attachment object (not shown) attached to the rod 509 and thus the attachment portion 510 in the Z-axis direction (vertical direction in FIG. 12).

また、上記ロボット５０１は、第４モータ８７１を駆動することにより、上記ロッド５０９ひいては上記取付部５１０に取り付けられた図示しない取付対象物をＺ軸心周りに（図１２中上下方向の軸を中心に）回転させる。
このとき、上記ロッド５０９の回転可能な角度は、回転部材側ストッパ８５１が設置された回転部材８４５を介して、第１回転規制部材９０１と第２回転規制部材９０３によって、３６０°以上の所定の範囲（この実施の形態の場合には３６４°）に規制されている。
例えば、図１９（ａ）中に実線で示すように、上記ロッド５０９が一方向（図１９（ａ）中反時計回り方向）に回転される場合、スプラインナット８０１も同方向に回転されるが、このとき上記スプラインナット８０１に設置されたロッド側ストッパ８２３が上記回転部材側ストッパ８５１に当接され、上記回転部材８４５も付勢されて回転される。そして、図１９（ｂ）に示すように、上記回転部材８４５が上記第２回転規制部材９０３に当接され、上記スプラインナット８０１ひいては上記ロッド５０９の一方向への回転量が規制されることになる。 Further, the robot 501 drives the fourth motor 871 so that the rod 509 and thus the mounting object (not shown) mounted on the mounting portion 510 is moved around the Z axis (centering on the vertical axis in FIG. 12). ) Rotate.
At this time, the angle at which the rod 509 can be rotated is a predetermined angle of 360 ° or more by the first rotation restricting member 901 and the second rotation restricting member 903 via the rotating member 845 provided with the rotating member side stopper 851. The range is regulated (364 ° in the case of this embodiment).
For example, as shown by the solid line in FIG. 19A, when the rod 509 is rotated in one direction (counterclockwise direction in FIG. 19A), the spline nut 801 is also rotated in the same direction. At this time, the rod-side stopper 823 installed on the spline nut 801 is brought into contact with the rotating member-side stopper 851, and the rotating member 845 is also urged and rotated. As shown in FIG. 19B, the rotating member 845 is brought into contact with the second rotation restricting member 903, and the amount of rotation of the spline nut 801 and the rod 509 in one direction is restricted. Become.

例えば、図１９（ａ）中に仮想線で示すように、上記ロッド５０９が他方向（図１９（ａ）中時計回り方向）に回転される場合、スプラインナット８０１も同方向に回転されるが、このとき上記スプラインナット８０１に設置されたロッド側ストッパ８２３が上記回転部材側ストッパ８５１に当接され、上記回転部材８４５も付勢されて回転される。そして、図１９（ｃ）に示すように、上記回転部材８４５が上記第１回転規制部材９０１に当接され、上記スプラインナット８０１ひいては上記ロッド５０９の他方向への回転量が規制されることになる。   For example, as shown by the phantom line in FIG. 19A, when the rod 509 is rotated in the other direction (clockwise direction in FIG. 19A), the spline nut 801 is also rotated in the same direction. At this time, the rod-side stopper 823 installed on the spline nut 801 is brought into contact with the rotating member-side stopper 851, and the rotating member 845 is also urged and rotated. As shown in FIG. 19C, the rotating member 845 is brought into contact with the first rotation restricting member 901, and the amount of rotation of the spline nut 801 and thus the rod 509 in the other direction is restricted. Become.

なお、上記ロッド５０９の回転量は、上記回転部材８４５の回転部材側ストッパ８５１が上記第１回転規制部材９０１又は第２回転規制部材９０３に当接される手前の範囲でソフト的手法により制御されるように構成されている。すなわち、上記ロッド５０９の回転角度はエンコーダ８８７によって検出され、それに基づいて、上記制御、すなわち、上記回転部材８４５の回転部材側ストッパ８５１が上記第１回転規制部材９０１又は第２回転規制部材９０３に当接される手前の範囲で上記ロッド５０９の回転量が規制される制御が行われるように構成されている。
また、上記ロッド５０９が回転可能範囲の何れかの端まで回転されたとき、すなわち、上記回転部材側ストッパ８５１が上記第１回転規制部材９０１又は上記第２回転規制部材９０３に当接されたときに上記エンコーダ８８７をリセットすることで、上記ロッド５０９の回転位置の原点が設定される。 Note that the amount of rotation of the rod 509 is controlled by a soft method within a range immediately before the rotation member-side stopper 851 of the rotation member 845 contacts the first rotation restriction member 901 or the second rotation restriction member 903. It is comprised so that. That is, the rotation angle of the rod 509 is detected by the encoder 887, and based on this, the control, that is, the rotation member side stopper 851 of the rotation member 845 is applied to the first rotation restriction member 901 or the second rotation restriction member 903. Control is performed so that the amount of rotation of the rod 509 is restricted within a range just before the contact.
Further, when the rod 509 is rotated to any end of the rotatable range, that is, when the rotating member side stopper 851 is in contact with the first rotation restricting member 901 or the second rotation restricting member 903. By resetting the encoder 887, the origin of the rotational position of the rod 509 is set.

次に、この第２の実施の形態による効果について説明する。
まず、ロッド５０９の回転可能な角度は、回転部材側ストッパ８５１が設置された回転部材８４５を介して、第１回転規制部材９０１及び第２回転規制部材９０３によって規制されているため、簡単な構成により、上記ロッド５０９の回転を３６０°以上の所定の範囲（この実施の形態の場合には３６４°）で規制することができる。
なお、上記ロッド５０９の回転を３６０°以上の所定の範囲で規制することができるのは、上記ロッド５０９は、上記ロッド側ストッパ８２３が上記回転部材側ストッパ８５１に当接した後であっても、上記回転部材側ストッパ８５１が上記第１回転規制部材９０１又は上記第２回転規制部材９０３に当接するまでは回転できることによる。 Next, the effect of the second embodiment will be described.
First, since the rotatable angle of the rod 509 is regulated by the first rotation regulating member 901 and the second rotation regulating member 903 via the rotating member 845 provided with the rotating member side stopper 851, a simple configuration is provided. Thus, the rotation of the rod 509 can be regulated within a predetermined range of 360 ° or more (in this embodiment, 364 °).
The rotation of the rod 509 can be restricted within a predetermined range of 360 ° or more even after the rod-side stopper 823 contacts the rotating member-side stopper 851. This is because the rotating member side stopper 851 can rotate until it comes into contact with the first rotation restricting member 901 or the second rotation restricting member 903.

また、上記ロッド５０９の回転を３６０°以上の所定の範囲で規制しているので、上記ロッド５０９の過剰な回転が防止され、例えば、取付部５１０に設置された図示しない取付対象物にケーブル等が接続されている場合、このケーブルが上記作業ロボット５０１等に絡まって断線してしまうこと等を防止できる。
また、上記ロッド５０９の回転を、上記第１回転規制部材９０１及び第２回転規制部材９０３が設置された機械的な構成によって規制しているため、上記ロッド５０９の回転可能範囲の一方の端をエンコーダ８８７の原点として利用することができる。
また、このような機械的な構成によって上記エンコーダ８８７の原点を設定できるため、上記エンコーダ８８７はインクリメンタル方式のエンコーダでよく、コストを低減させることができる。 Further, since the rotation of the rod 509 is restricted within a predetermined range of 360 ° or more, excessive rotation of the rod 509 is prevented, and for example, a cable or the like is attached to an attachment object (not shown) installed in the attachment portion 510. Can be prevented from being entangled with the work robot 501 or the like and disconnected.
Further, since the rotation of the rod 509 is restricted by a mechanical configuration in which the first rotation restricting member 901 and the second rotation restricting member 903 are installed, one end of the rotatable range of the rod 509 is restricted. It can be used as the origin of the encoder 887.
Further, since the origin of the encoder 887 can be set by such a mechanical configuration, the encoder 887 may be an incremental encoder, and the cost can be reduced.

また、上記回転部材側ストッパ８５１は、回転部材８４５に対して着脱可能に設置されているため、予め図１９（ａ）中左右方向の大きさが異なる複数種類の回転部材側ストッパ８５１を用意しておき、上記回転部材側ストッパ８５１を適宜交換することにより、上記ロッド５０９の回転可能角度を容易に変更することができる。
また、上記回転部材側ストッパ８５１を撤去することで、上記第１回転規制部材９０１及び第２回転規制部材９０３によって上記ロッド５０９の回転が規制されない状態へと容易に切り替えることができる。この場合は、センサ８６９によって、上記ロッド５０９の回転位置の原点を検出することができる。 Further, since the rotating member side stopper 851 is detachably installed on the rotating member 845, a plurality of types of rotating member side stoppers 851 having different sizes in the left-right direction in FIG. The rotation angle of the rod 509 can be easily changed by appropriately replacing the rotating member side stopper 851.
Further, by removing the rotation member side stopper 851, the first rotation restriction member 901 and the second rotation restriction member 903 can be easily switched to a state where the rotation of the rod 509 is not restricted. In this case, the sensor 869 can detect the origin of the rotational position of the rod 509.

また、上記ロッド側ストッパ８２３、上記第１回転規制部材９０１及び第２回転規制部材９０３には、弾性材料からなる緩衝材８３４、９０５、９０５が被冠されているため、上記ロッド側ストッパ８２３や上記第１回転規制部材９０１及び第２回転規制部材９０３が回転規制部材側ストッパ３５１と当接された際の衝撃や音を低減させることができる。   Further, since the rod side stopper 823, the first rotation restricting member 901, and the second rotation restricting member 903 are covered with cushioning materials 834, 905, 905 made of an elastic material, the rod side stopper 823, The impact and sound when the first rotation regulating member 901 and the second rotation regulating member 903 come into contact with the rotation regulating member side stopper 351 can be reduced.

また、上記ロッド５０９はスプライン溝８０９が形成されたスプラインシャフトであり、上記ロッド５０９にスプラインナット８０１が噛合・配置されているので、簡易な構成により上記ロッド５０９を回転・駆動させることができる。   The rod 509 is a spline shaft in which a spline groove 809 is formed. Since the spline nut 801 is meshed with the rod 509, the rod 509 can be rotated and driven with a simple configuration.

なお、本発明は、前記第１の実施の形態、第２の実施の形態に限定されない。
まず、前記第１の実施の形態では、中空ロッド１１３の回転可能範囲を３８０°に設定しており、前記第２の実施の形態ではロッド５０９の回転可能範囲を３６４°に設定しているが、これに限定されるものではなく、回転範囲規制部材２８７の位置、形状、大きさ等や、回転部材側ストッパ８５１の大きさ及び第１回転規制部材９０１、第２回転規制部材９０３の位置等を適宜変更することにより、３６０°以上の様々な所定の範囲を設定することができる。
また、前記第１の実施の形態の場合には、ロッド側ストッパ２７１、回転部材側第１ストッパ２７９、回転部材側第２ストッパ２８１に緩衝材を設けたが、
上記回転範囲規制部材２８７にも緩衝材を設置してもよい。
また、上記ロッド側ストッパ２７１と上記回転部材側第１ストッパ２７９の何れか一方に緩衝材を設けるようにしてもよい。
また、上記回転部材側第２ストッパ２８１と上記回転範囲規制部材２８７の何れか一方に緩衝材を設けるようにしてもよい。また、前記第２の実施の形態の場合には、ロッド側ストッパ８２３、第１回転規制部材９０１、第２回転規制部材９０３に緩衝材を設けたが、上記回転部材側ストッパ８５１に緩衝材を設置してもよい。
また、前記第１の実施の形態において、回転部材側第１ストッパ２７９のＺ軸心周りの位置に対する回転部材側第２ストッパ２８１の位置も、様々な場合が考えられる。
また、前記第１の実施の形態の場合には、二つのスリット５６、５６を設け、スライダ９７の取付対象物固定部１０２、１０２を露出・配置させるようにしたが、大きな一つの開口部を設け、スライダ９７の上面側を大きく露出・配置させるような構成でもよい。 The present invention is not limited to the first embodiment and the second embodiment.
First, in the first embodiment, the rotatable range of the hollow rod 113 is set to 380 °, and in the second embodiment, the rotatable range of the rod 509 is set to 364 °. The position, shape, size, etc. of the rotation range restricting member 287, the size of the rotating member side stopper 851, the positions of the first rotation restricting member 901, the second rotation restricting member 903, etc. are not limited thereto. By appropriately changing, various predetermined ranges of 360 ° or more can be set.
In the case of the first embodiment, the rod side stopper 271, the rotating member side first stopper 279, and the rotating member side second stopper 281 are provided with cushioning materials.
A cushioning material may also be installed on the rotation range regulating member 287.
Moreover, you may make it provide a buffer material in any one of the said rod side stopper 271 and the said rotation member side 1st stopper 279. FIG.
Moreover, you may make it provide a buffer material in any one of the said rotation member side 2nd stopper 281 and the said rotation range control member 287. FIG. In the case of the second embodiment, the rod side stopper 823, the first rotation restricting member 901, and the second rotation restricting member 903 are provided with cushioning material. However, the rotating member side stopper 851 is provided with cushioning material. May be installed.
In the first embodiment, the position of the rotating member side second stopper 281 relative to the position around the Z axis of the rotating member side first stopper 279 may be various.
Further, in the case of the first embodiment, the two slits 56 and 56 are provided to expose and arrange the attachment target fixing portions 102 and 102 of the slider 97, but one large opening portion is provided. There may be a configuration in which the upper surface side of the slider 97 is largely exposed and arranged.

また、Ｚ軸ボールネジ８５を回転・駆動させるＺ軸ボールネジ用モータ１３３を備えたＺ軸モータユニット１２９は上記Ｚ軸ボールネジ８５に平行に配置されているが、このＺ軸モータユニット１２９を上記Ｚ軸ボールネジ８５と同軸上に配置する場合も考えられる。この場合、Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ３６の上下方向（図６中上下方向）での大きさが増加してしまうものの、水平方向（図６中紙面に垂直な面に平行な方向）での小型化を図ることができる。
また、前記第１の実施の形態ではＺ軸ボールネジ８５とＺ軸ボールナット８９を用いたが、その他のネジ・ナット機構を用いてもよい。勿論、Ｘ軸ボールネジとＸ軸ボールナット、Ｙ軸ボールネジとＹ軸ボールナットについても同様である。 A Z-axis motor unit 129 having a Z-axis ball screw motor 133 for rotating and driving the Z-axis ball screw 85 is disposed in parallel to the Z-axis ball screw 85. The case where it arrange | positions coaxially with the ball screw 85 is also considered. In this case, the size of the Z-R axis actuator 36 in the vertical direction (vertical direction in FIG. 6) increases, but the size in the horizontal direction (direction parallel to the plane perpendicular to the paper surface in FIG. 6) is reduced. Can be achieved.
In the first embodiment, the Z-axis ball screw 85 and the Z-axis ball nut 89 are used. However, other screw / nut mechanisms may be used. Of course, the same applies to the X-axis ball screw and the X-axis ball nut, and the Y-axis ball screw and the Y-axis ball nut.

また、上記Ｚ軸モータユニット１２９には電磁ブレーキ１６９が備えられているが、中空ロッド用モータ２０３が備えられた中空ロッド用モータユニット２０１にも電磁ブレーキが備えられる構成も考えられる。
また、前記第１、第２の実施の形態の場合には、本願発明をテーブルトップ型直交ロボット、水平多関節型スカラーロボットに適用した例を挙げてそれぞれ説明したが、それに限定されるものではなく、垂直多関節型スカラーロボット、その他各種のロボットに適用可能である。
その他、本発明は、図示した構成に限定されず、様々な変形が考えられる。 The Z-axis motor unit 129 is provided with an electromagnetic brake 169, but a configuration in which the hollow rod motor unit 201 provided with the hollow rod motor 203 is also provided with an electromagnetic brake is also conceivable.
In the case of the first and second embodiments, the present invention has been described with reference to an example in which the present invention is applied to a tabletop orthogonal robot and a horizontal articulated scalar robot. However, the present invention is not limited thereto. It can be applied to vertical articulated scalar robots and other various robots.
In addition, the present invention is not limited to the illustrated configuration, and various modifications can be considered.

本発明は、アクチュエータとロボットに係り、特に、軸方向に移動されるとともに回転・駆動されるロッドの回転を、簡単な構成で３６０°以上の所定の範囲で規制することができ、また、回転量の変更に対しても容易に対応することができるように工夫したものに関し、例えば、テーブルトップタイプ、水平・垂直多関節の作業ロボットに好適である。   The present invention relates to an actuator and a robot. In particular, the rotation of a rod that is moved in the axial direction and rotated and driven can be regulated within a predetermined range of 360 ° or more with a simple configuration. For example, it is suitable for a table top type, horizontal / vertical multi-joint work robot.

１ 作業ロボット（ロボット）
３６ Ｚ−Ｒ軸アクチュエータ
１１３ 中空ロッド（ロッド）
１１９ スプラインナット
２７１ ロッド側ストッパ
２７７ 回転部材
２７９ 回転部材側第１ストッパ
２８１ 回転部材側第２ストッパ
２８７ 回転範囲規制部材（回転範囲規制部）
２８８ 第１回転規制部
２９０ 第２回転規制部
５０１ ロボット
５０９ ロッド（Ｚ−Ｒ軸アクチュエータの一部）
８０１ スプラインナット（Ｚ−Ｒ軸アクチュエータの一部）
８２３ ロッド側ストッパ（Ｚ−Ｒ軸アクチュエータの一部）
８４５ 回転部材（Ｚ−Ｒ軸アクチュエータの一部）
８５１ 回転部材側ストッパ（Ｚ−Ｒ軸アクチュエータの一部）
９０１ 第１回転規制部材（第１回転規制部）（Ｚ−Ｒ軸アクチュエータの一部）
９０３ 第２回転規制部材（第２回転規制部）（Ｚ−Ｒ軸アクチュエータの一部） 1 Working robot (robot)
36 Z-R axis actuator 113 Hollow rod (rod)
119 Spline nut 271 Rod side stopper 277 Rotating member 279 Rotating member side first stopper 281 Rotating member side second stopper 287 Rotation range restricting member (rotation range restricting portion)
288 First rotation restricting portion 290 Second rotation restricting portion 501 Robot 509 Rod (part of Z-R axis actuator)
801 Spline nut (part of Z-R axis actuator)
823 Rod side stopper (part of Z-R axis actuator)
845 Rotating member (part of Z-R axis actuator)
851 Rotating member side stopper (part of Z-R axis actuator)
901 First rotation restricting member (first rotation restricting portion) (part of Z-R axis actuator)
903 2nd rotation control member (2nd rotation control part) (a part of Z-R axis actuator)

Claims (14)

軸方向に移動されるとともに回転・駆動されるロッドと、
上記ロッドに設置されたロッド側ストッパと、
上記ロッドと同軸に設置され回転可能な回転部材と、
上記回転部材に設置された回転部材側ストッパと、
第１回転規制部と第２回転規制部を備えた回転範囲規制部と、
を具備し、
上記ロッドが一方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側ストッパに当接されて上記回転部材も上記一方向に回転され、上記回転部材側ストッパが上記回転範囲規制部の第１回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの一方向への回転量が規制され、
上記ロッドが他方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側ストッパの反対側に当接されて上記回転部材も上記他方向に回転され、上記回転部材側ストッパが上記回転範囲規制部の第２回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの他方向への回転量が規制されることを特徴とするアクチュエータ。 A rod that is axially moved and rotated and driven;
A rod-side stopper installed on the rod;
A rotatable member installed coaxially with the rod and rotatable;
A rotating member-side stopper installed on the rotating member;
A rotation range restricting portion including a first rotation restricting portion and a second rotation restricting portion;
Comprising
When the rod is rotated in one direction, the rod-side stopper is brought into contact with the rotating member-side stopper, the rotating member is also rotated in the one direction, and the rotating member-side stopper is the first of the rotation range restricting portion. The amount of rotation in one direction of the rod is regulated through the rotating member by being in contact with the rotation regulating unit,
When the rod is rotated in the other direction, the rod-side stopper is brought into contact with the opposite side of the rotating member-side stopper, the rotating member is also rotated in the other direction, and the rotating member-side stopper is rotated in the rotation range restricting portion. The actuator is characterized in that the amount of rotation of the rod in the other direction is restricted via the rotating member by being in contact with the second rotation restricting portion. 請求項１記載のアクチュエータにおいて、
上記回転部材側ストッパは回転部材側第１ストッパと回転部材側第２ストッパとから構成されていて、
上記ロッドが一方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側第１ストッパに当接されて上記回転部材も上記一方向に回転され、上記回転部材側第２ストッパが上記回転範囲規制部の第１回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの一方向への回転量が規制され、
上記ロッドが他方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側第１ストッパの反対側に当接されて上記回転部材も上記他方向に回転され、上記回転部材側第２ストッパの反対側が上記回転範囲規制部の第２回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの他方向への回転量が規制されることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 1, wherein
The rotating member side stopper is composed of a rotating member side first stopper and a rotating member side second stopper,
When the rod is rotated in one direction, the rod-side stopper is brought into contact with the rotating member-side first stopper, the rotating member is also rotated in the one direction, and the rotating member-side second stopper is controlled in the rotation range restriction. The amount of rotation in one direction of the rod is restricted via the rotating member by being in contact with the first rotation restricting portion of the portion,
When the rod is rotated in the other direction, the rod side stopper is brought into contact with the opposite side of the rotating member side first stopper, the rotating member is also rotated in the other direction, and is opposite to the rotating member side second stopper. The actuator is characterized in that the amount of rotation of the rod in the other direction is restricted via the rotating member by contacting the second rotation restricting part of the rotation range restricting part. 請求項１記載のアクチュエータにおいて、
上記回転部材側ストッパは単一部材であり、
上記ロッドが一方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側ストッパの所定部位に当接されて上記回転部材も上記一方向に回転され、上記回転部材側ストッパの別の所定部位が上記回転範囲規制部の第１回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの一方向への回転量が規制され、
上記ロッドが他方向に回転されると上記ロッド側ストッパが上記回転部材側ストッパの上記所定部位の反対側に当接されて上記回転部材も上記他方向に回転され、上記回転部材側ストッパの上記別の所定部位の反対側が上記回転範囲規制部の第２回転規制部に当接されることで上記回転部材を介して上記ロッドの他方向への回転量が規制されることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 1, wherein
The rotating member side stopper is a single member,
When the rod is rotated in one direction, the rod-side stopper is brought into contact with a predetermined portion of the rotating member-side stopper, the rotating member is also rotated in the one direction, and another predetermined portion of the rotating member-side stopper is The amount of rotation in one direction of the rod is regulated through the rotating member by being in contact with the first rotation regulating unit of the rotation range regulating unit,
When the rod is rotated in the other direction, the rod-side stopper is brought into contact with the opposite side of the predetermined portion of the rotating member-side stopper, and the rotating member is also rotated in the other direction. The actuator is characterized in that the amount of rotation of the rod in the other direction is regulated through the rotating member by abutting the opposite side of another predetermined part to the second rotation regulating unit of the rotation range regulating unit. . 請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記回転範囲規制部は単一部材から構成されていて、該単一部材の一端が上記第１回転規制部であり他端が上記第２回転規制部であることを特徴とするアクチュエータ。 In the actuator according to any one of claims 1 to 3,
The actuator is characterized in that the rotation range restricting portion is composed of a single member, and one end of the single member is the first rotation restricting portion and the other end is the second rotation restricting portion. 請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記回転範囲規制部は上記第１回転規制部である第１回転規制部材と上記第２回転規制部である第２回転規制部材とから構成されていることを特徴とするアクチュエータ。 In the actuator according to any one of claims 1 to 3,
The said rotation range control part is comprised from the 1st rotation control member which is said 1st rotation control part, and the 2nd rotation control member which is said 2nd rotation control part, The actuator characterized by the above-mentioned. 請求項１〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記回転範囲規制部は着脱可能に設置されていることを特徴とするアクチュエータ。 In the actuator according to any one of claims 1 to 5,
The actuator according to claim 1, wherein the rotation range restricting portion is detachably installed. 請求項４記載のアクチュエータにおいて、
上記第１回転規制部と第２回転規制部の間隔が異なる複数種類の回転範囲規制部材の中から任意の回転範囲規制部材を取り付けるようにしたことを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to claim 4, wherein
An actuator characterized in that an arbitrary rotation range restricting member is attached from a plurality of types of rotation range restricting members having different intervals between the first rotation restricting portion and the second rotation restricting portion. 請求項１〜請求項７の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記ロッド側ストッパ及び又は上記回転部材側ストッパは着脱可能に設置されていることを特徴とするアクチュエータ。 In the actuator according to any one of claims 1 to 7,
The rod-side stopper and / or the rotating member-side stopper are detachably installed. 請求項１〜請求項８の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記ロッド側ストッパ及び又は上記回転部材側ストッパには当接時の衝撃を緩衝する緩衝材が設置されていることを特徴とするアクチエータ。 The actuator according to any one of claims 1 to 8,
The actuator according to claim 1, wherein the rod side stopper and / or the rotating member side stopper is provided with a shock absorbing material for buffering an impact at the time of contact. 請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記回転部材側ストッパ及び又は上記回転規制部の第１回転規制部及び第２回転規制部には当接時の衝撃を緩衝する緩衝材が設置されていることを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to any one of claims 1 to 9,
The actuator according to claim 1, wherein a buffer material that cushions an impact at the time of contact is installed in the rotation member side stopper and / or the first rotation restriction portion and the second rotation restriction portion of the rotation restriction portion. 請求項１〜請求項１０の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記ロッドを回転・駆動するロッド用モータが設置されていて、
上記ロッドはスプラインシャフトであり、このスプラインシャフトにはスプラインナットが噛合・配置されていて、
上記ロッド用モータにより上記スプラインナットを回転させることにより上記ロッドを回転・駆動するようにしたことを特徴とするアクチュエータ。 The actuator according to any one of claims 1 to 10,
A rod motor that rotates and drives the rod is installed.
The rod is a spline shaft, and a spline nut is meshed with the spline shaft.
An actuator characterized in that the rod is rotated and driven by rotating the spline nut by the rod motor. 請求項１〜請求項１１の何れかに記載のアクチュエータを用いたことを特徴とするロボット。   A robot using the actuator according to any one of claims 1 to 11. 請求項１２記載のロボットにおいて、
テーブルトップ型の直交ロボットであり、
請求項１〜請求項１１の何れかに記載したアクチュエータをＺ−Ｒ軸アクチュエータとして用いることを特徴とするロボット。 The robot according to claim 12, wherein
It is a table top type orthogonal robot,
12. A robot using the actuator according to claim 1 as a Z-R axis actuator. 請求項１２記載のロボットにおいて、
水平又は垂直の多関節ロボットであり、
請求項１〜請求項１１の何れかに記載したアクチュエータをＺ−Ｒ軸アクチュエータとして用いることを特徴とするロボット。
The robot according to claim 12, wherein
A horizontal or vertical articulated robot,
12. A robot using the actuator according to claim 1 as a Z-R axis actuator.
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