JP2015143628A - 電子部品検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(S)上記顕微鏡部の対物レンズと撮像部位との距離Lを変えながら画像を撮像し、その画像データにもとづいて、上記情報処理手段において最適焦点距離の絞り込みを行い、最適焦点距離が決定するまで上記距離Lの変更および撮像を繰り返すことによって、ピント合わせが行われるようになっており、初回、上記距離Lが予め設定された所定距離に設定され、最適焦点距離が決定するまでその距離の変更と撮像を繰り返し、決定された最適焦点距離が上記情報処理手段に記憶され、次回以降、上記情報処理手段において、前回以前に記憶された最適焦点距離のばらつきから一定の傾向を抽出し、そのばらつきに対応した補正を加えて予測最適焦点距離を導出し、上記対物レンズと撮像部位との距離Lを、まず、上記予測最適焦点距離に設定し、最適焦点距離が決定するまでその距離Lの変更と撮像を繰り返すことによって行われるとともに、その決定された最適焦点距離が、上記情報処理手段に記憶されるようになっている画像基準フォーカス機構。
(1)ICチップとパネルパターンとの圧着状態・ずれ。
(2)FPCとパネルパターンとの圧着状態・ずれ。
(3)導電粒子層のカウント。
(4)圧痕のつぶれ具合。
(5)導電粒子の分布
(6)異物の混入・傷
41 本体部
42 顕微鏡部
43 対物レンズ
46 X方向位置決め手段
49 Z軸調整手段
51 ラインスキャンカメラ
Claims (3)
- 電子部品を載置するための移動ステージと、上記移動ステージ上に載置された電子部品の所定部位を撮像するための撮像手段と、上記撮像手段を上記移動ステージ面に対し平行に移動させ、撮像のための適正位置に位置決めするための位置決め手段と、上記撮像手段によって得られた画像データにもとづいて、その撮像部位の良否を検査するよう設定された情報処理手段とを備えた電子部品検査装置であって、
上記撮像手段が、上記位置決め手段に取り付け固定される本体部と、この本体部に、撮像部位に向かって進退自在に取り付けられる顕微鏡部とを備え、
上記顕微鏡部には、撮像部位の拡大画像を得るための対物レンズが内蔵されており、
上記本体部には、上記対物レンズが撮像部位に対し最適焦点距離となるよう顕微鏡部を進退させてピント合わせを行う顕微鏡部進退手段と、上記顕微鏡部によって得られる拡大画像を取り込んで上記情報処理手段に出力するラインスキャンカメラとが設けられていることを特徴とする電子部品検査装置。 - 上記本体部に、同軸型レーザ変位センサが内蔵されたオートフォーカス部が設けられており、このオートフォーカス部からの指示によって、上記顕微鏡部進退手段によるピント合わせが行われるようになっている請求項1記載の電子部品検査装置。
- 上記情報処理手段に、画像データから最適焦点距離を求め、その値から上記顕微鏡部進退手段に指示を与えてピント合わせを行う下記の画像基準フォーカス機構Sが設けられており、上記オートフォーカス部によるピント合わせと、上記画像基準フォーカス機構Sによるピント合わせとが、スイッチにより選択できるようになっている請求項2記載の電子部品検査装置。
(S)上記顕微鏡部の対物レンズと撮像部位との距離Lを変えながら画像を撮像し、その画像データにもとづいて、上記情報処理手段において最適焦点距離の絞り込みを行い、最適焦点距離が決定するまで上記距離Lの変更および撮像を繰り返すことによって、ピント合わせが行われるようになっており、初回、上記距離Lが予め設定された所定距離に設定され、最適焦点距離が決定するまでその距離の変更と撮像を繰り返し、決定された最適焦点距離が上記情報処理手段に記憶され、次回以降、上記情報処理手段において、前回以前に記憶された最適焦点距離のばらつきから一定の傾向を抽出し、そのばらつきに対応した補正を加えて予測最適焦点距離を導出し、上記対物レンズと撮像部位との距離Lを、まず、上記予測最適焦点距離に設定し、最適焦点距離が決定するまでその距離Lの変更と撮像を繰り返すことによって行われるとともに、その決定された最適焦点距離が、上記情報処理手段に記憶されるようになっている画像基準フォーカス機構。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110445964A (zh) * | 2019-07-22 | 2019-11-12 | 广州供电局有限公司 | 摄像装置及电缆故障解剖*** |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20170108685A1 (en) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | Mikroscan Technologies, Inc. | Systems, media, methods, and apparatus for enhanced digital microscopy |
CN105259178B (zh) * | 2015-11-20 | 2019-03-15 | 云南卡索实业有限公司 | 一种剪切类线性痕迹激光检测*** |
TWI588469B (zh) * | 2016-04-26 | 2017-06-21 | 住華科技股份有限公司 | 自動檢測系統及應用其自動檢測方法 |
CN108872251A (zh) * | 2018-08-02 | 2018-11-23 | 北京兆维科技开发有限公司 | 一种显示屏的图像采集机构和*** |
CN108897153A (zh) * | 2018-08-10 | 2018-11-27 | 宁波舜宇仪器有限公司 | 液晶面板导电粒子自动视觉检测装置 |
KR20210116777A (ko) * | 2020-03-13 | 2021-09-28 | (주)테크윙 | 전자부품 처리장비용 촬영장치 |
CN114324360A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-04-12 | 深圳鼎晶科技有限公司 | 一种aoi压痕检测***及方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63259521A (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-26 | Olympus Optical Co Ltd | 複合型合焦検出装置 |
JP2002277729A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-25 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡用オートフォーカス装置および方法 |
JP2011211035A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Lasertec Corp | 検査装置並びに欠陥分類方法及び欠陥検出方法 |
US20120038780A1 (en) * | 2010-08-11 | 2012-02-16 | Jeon Seung-Hwa | Apparatus and method for inspecting display device |
JP5038191B2 (ja) * | 2008-03-04 | 2012-10-03 | 有限会社共同設計企画 | 電子部品検査方法およびそれに用いられる装置 |
JP2013145123A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Seiwa Optical Co Ltd | 広角反射同軸照明付光学系 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000100883A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Seiko Epson Corp | 半導体検査装置 |
US20040086166A1 (en) * | 2002-11-01 | 2004-05-06 | Photon Dynamics, Inc. | Method and apparatus for flat patterned media inspection |
KR20090131000A (ko) * | 2008-06-17 | 2009-12-28 | 아주하이텍(주) | 플렉시블 인쇄회로기판의 통합 검사 시스템 및 그 방법 |
CN102338755A (zh) * | 2010-07-15 | 2012-02-01 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 电子元件接触点失效分析方法 |
KR20130051796A (ko) * | 2011-11-10 | 2013-05-21 | (주)쎄미시스코 | 기판 검사장치 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63259521A (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-26 | Olympus Optical Co Ltd | 複合型合焦検出装置 |
JP2002277729A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-25 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡用オートフォーカス装置および方法 |
JP5038191B2 (ja) * | 2008-03-04 | 2012-10-03 | 有限会社共同設計企画 | 電子部品検査方法およびそれに用いられる装置 |
JP2011211035A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Lasertec Corp | 検査装置並びに欠陥分類方法及び欠陥検出方法 |
US20120038780A1 (en) * | 2010-08-11 | 2012-02-16 | Jeon Seung-Hwa | Apparatus and method for inspecting display device |
JP2012037503A (ja) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Lg Display Co Ltd | 表示装置の検査装置及び検査方法 |
JP2013145123A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Seiwa Optical Co Ltd | 広角反射同軸照明付光学系 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110445964A (zh) * | 2019-07-22 | 2019-11-12 | 广州供电局有限公司 | 摄像装置及电缆故障解剖*** |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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