JP2015141945A - コイル部品 - Google Patents
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 165
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 63
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 63
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 27
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 15
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 6
- 230000006872 improvement Effects 0.000 abstract description 6
- 230000009467 reduction Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000013464 silicone adhesive Substances 0.000 description 1
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- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
Abstract
Description
(1)樹脂からなる絶縁体と、前記絶縁体内に設けられたコイル状の内部導体と、前記内部導体と電気的に接続されている外部電極と、を備えるコイル部品であって、樹脂層からなる第1層と、第1層の上に、樹脂層と少なくとも1つの帯状導体とからなる第2層と、第2層の上に、樹脂層と少なくとも2つのビア状導体とからなる第3層と、第3層の上に、樹脂層と少なくとも1つの帯状導体と少なくとも2つのビア状導体とからなる第4層と、第4層の上に、樹脂層と少なくとも2つの柱状導体とからなる第5層と、第5層の上に、外部電極とを有し、前記第1〜5層の樹脂層が一体となって絶縁体を構成し、前記第2〜5層の帯状導体及び柱状導体がコイル状の内部導体を構成し、第4層の柱状導体が前記外部電極に接続している、コイル部品。
(2)第4層の帯状導体の面積は第4層のビア状導体の面積より大きい(1)のコイル部品。
(3)前記第4層のビア状導体の面積は50μm2〜320μm2である(1)コイル部品。
(4)前記第4層の帯状導体のうち最大の面積は第4のビア状導体のうち最小の面積の1倍より大きく100倍以下である(3)のコイル部品。
(5)前記第4層のビア状導体の面積は20μm2〜80μm2である(1)のコイル部品。
(6)前記第4層の帯状導体のうち最大の面積は第4層のビア状導体のうち最小の面積の1倍より大きく50倍以下である(5)のコイル部品。
(7)前記第2層及び第4層の帯状導体、第5層の柱状導体、第3層及び第4層のビア状導体、及び外部電極はフォトリソグラフィを用いて形成されたものである(1)〜(6)のコイル部品。
(8)外部電極は第5層の上にシード層を形成し、シード層の上にめっきにより形成される(1)または(7)のコイル部品。
(9)前記絶縁体は、長さL、幅W、高さHの直方体状であり、前記L、W、HについてはL>H≧Wなる関係が成立し、前記Lは0.2〜0.4mmであり、前記Wは0.1〜0.2mmであり、前記Hは0.1〜0.35mmである(4)、(6)または(7)のコイル部品。
10:絶縁体
11〜15:樹脂層
21、22:帯状導体
30、41、42:ビア状導体
40:導体
43:柱状導体
51、52:外部電極
Claims (9)
- 樹脂からなる絶縁体と、前記絶縁体内に設けられたコイル状の内部導体と、前記内部導体と電気的に接続されている外部電極と、を備えるコイル部品であって、
樹脂層からなる第1層と、
第1層の上に、樹脂層と少なくとも1つの帯状導体とからなる第2層と、
第2層の上に、樹脂層と少なくとも2つのビア状導体とからなる第3層と、
第3層の上に、樹脂層と少なくとも1つの帯状導体と少なくとも2つのビア状導体とからなる第4層と、
第4層の上に、樹脂層と少なくとも2つの柱状導体とからなる第5層と、
第5層の上に、外部電極と、を有し、
前記第1〜5層の樹脂層が一体となって絶縁体を構成し、前記第2〜5層の帯状導体及び柱状導体がコイル状の内部導体を構成し、
第4層の柱状導体が前記外部電極に接続している、
コイル部品。 - 第4層の帯状導体の面積は第4層のビア状導体の面積より大きい請求項1記載のコイル部品。
- 前記第4層のビア状導体の面積は50μm2〜320μm2である請求項1記載のコイル部品。
- 前記第4層の帯状導体のうち最大の面積は第4のビア状導体のうち最小の面積の1倍より大きく100倍以下である請求項3記載のコイル部品。
- 前記第4層のビア状導体の面積は20μm2〜80μm2である請求項1記載のコイル部品。
- 前記第4層の帯状導体のうち最大の面積は第4層のビア状導体のうち最小の面積の1倍より大きく50倍以下である請求項5記載のコイル部品。
- 前記第2層及び第4層の帯状導体、第5層の柱状導体、第3層及び第4層のビア状導体、及び外部電極はフォトリソグラフィを用いて形成されたものである請求項1〜6のいずれか1項記載のコイル部品。
- 外部電極は第5層の上にシード層を形成し、シード層の上にめっきにより形成される請求項1または7記載のコイル部品。
- 前記絶縁体は、長さL、幅W、高さHの直方体状であり、前記L、W、HについてはL>H≧Wなる関係が成立し、前記Lは0.2〜0.4mmであり、前記Wは0.1〜0.2mmであり、前記Hは0.1〜0.35mmである請求項4、6または7記載のコイル部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014012753A JP6526382B2 (ja) | 2014-01-27 | 2014-01-27 | コイル部品 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014012753A JP6526382B2 (ja) | 2014-01-27 | 2014-01-27 | コイル部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015141945A true JP2015141945A (ja) | 2015-08-03 |
JP6526382B2 JP6526382B2 (ja) | 2019-06-05 |
Family
ID=53772142
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014012753A Active JP6526382B2 (ja) | 2014-01-27 | 2014-01-27 | コイル部品 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6526382B2 (ja) |
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