JP2015141096A - 検査装置、検査方法及びガラス基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査対象物に存在する欠陥、異物等を、誤検出することなく高精度に検出可能な検査装置を提供すること。【解決手段】搬送されている検査対象物の検査を行う検査装置であって、前記検査対象物の表面に投影像が形成される投影物と、前記投影像の少なくとも一部を含む撮像領域の画像を取得する撮像手段と、前記画像の輝度に基づいて、前記検査対象物を検査する検査手段とを有する検査装置。【選択図】図１

Description

本発明は、検査装置、検査方法及びガラス基板の製造方法に関する。

例えばガラス基板の切断、研磨、洗浄といった製造工程において、ガラス基板に割れ、欠け、孔等の様々な欠陥が生じる場合がある。また、各製造工程内又は製造工程間でガラス基板を支持搬送するテーブルに、ガラス基板が破損して出来たガラス片等の異物が残り、次に搬送するガラス基板がテーブルの異物の上に載置され、上記した様な欠陥が発生する場合がある。

そこで、ガラス基板に光を照射し、反射光を検出、もしくは光の照射箇所を撮像することで、ガラス基板の欠陥や、ガラス基板上に残存する微小ガラス片等を検出する検査装置が知られている（例えば、特許文献１又は２参照）。

図１５に、従来技術に係る検査装置１の構成を例示する。図１５に示す検査装置１では、搬送されているガラス基板１０の表面に照明２０が光を照射し、撮像装置３０がガラス基板１０表面の光照射領域を撮像する。撮像装置３０は、照明２０の照射光のガラス基板１０による正反射光が入射しない位置に設けられている。

この様な構成において、ガラス基板１０に欠陥等が存在しない部分では、照明２０からの光が撮像装置３０に入射しないため、撮像画像における輝度は低くなる。また、ガラス基板１０に欠陥が存在する部分では、欠陥の端部等で拡散する光が撮像装置３０に入射することで、撮像画像における欠陥端部に対応する部分の輝度が高くなる。検査装置１は、この様に欠陥の有無等に起因して生じる撮像画像における輝度差に基づいて、欠陥等を検出できる。

また、検査装置１を用いて、ガラス基板を搬送するテーブル表面に光を照射し、同様に撮像された画像における輝度差に基づいて、テーブルに残存するガラス片等を検出することもできる。

特開平１０−４８１４４号公報 特開２０１１−１５８４５３号公報

しかしながら、上記した検査装置１において、欠陥等の検出感度を向上させるために、撮像画像において欠陥等として検出する輝度の閾値を小さくすると、ガラス基板１０の表面に存在して光を拡散する塵等も欠陥として誤検出してしまう場合がある。また、ガラス基板を搬送するテーブル表面に存在して同様に光を拡散する汚れや傷等を欠陥として誤検出する可能性もある。

本発明は上記に鑑みてなされたものであって、検査対象物に存在する欠陥、異物等を、誤検出することなく高精度に検出可能な検査装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様によれば、搬送されている検査対象物の検査を行う検査装置であって、前記検査対象物の表面に投影像が形成される投影物と、前記投影像の少なくとも一部を含む撮像領域の画像を取得する撮像手段と、前記画像の輝度に基づいて、前記検査対象物を検査する検査手段とを有する。

本発明の実施形態によれば、検査対象物に存在する欠陥、異物等を、誤検出することなく高精度に検出可能な検査装置を提供できる。

第１の実施形態に係る検査装置の概略構成を例示する図である。 第１の実施形態に係る検査装置における光源とカメラとの位置関係を説明する図である。 検査装置により撮像された画像を例示する図である。 検査装置による検査画像を例示する図である。 検査装置による検査画像を例示する図である。 第２の実施形態に係る検査装置の構成を例示する概略図である。 検査装置による検査画像を例示する図である。 検査装置による検査画像を例示する図である。 検査装置による検査画像を例示する図である。 検査装置による検査画像を例示する図である。 検査装置による検査画像を例示する図である。 検査装置による検査画像を例示する図である。 第２の実施形態に係る検査装置の他の構成を例示する概略図である。 第２の実施形態に係る検査装置の他の構成を例示する概略図である。 従来技術に係るガラス基板の検査装置の構成を例示する図である。

以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。

[第１の実施形態]
図１は、第１の実施形態に係る検査装置１００の概略構成を例示する図である。

検査装置１００は、図１に示す様に、投影物１０１、撮像手段としてのカメラ１０５、検査手段１１０を有し、テーブル１２０及び吸着シート１２１の表面に残存するガラス片等の検査を行う。

テーブル１２０及び吸着シート１２１は、ガラス基板の製造工程において、載置されるガラス基板を支持して搬送する基板支持手段の一例である。テーブル１２０の上面には、ガラス基板を吸着して支持する２枚の吸着シート１２１が設けられている。吸着シート１２１は、例えば自己吸着性のある多孔質樹脂製の発泡シートである。テーブル１２０は、吸着シート１２１の上に載置されるガラス基板を、搬送経路に沿って搬送する。テーブル１２０は、後段の製造工程にガラス基板を受け渡し、次のガラス基板が載置される前に、検査装置１００によって、テーブル１２０及び吸着シート１２１表面のガラス片等の異物の有無が検査される。

なお、本実施形態では、基板支持手段としてテーブル１２０及び吸着シート１２１が、ガラス基板を支持して搬送する様に構成されているが、テーブル１２０が単体でガラス基板を支持搬送する構成であってもよい。

投影物１０１は、内部に光源を有し、テーブル１２０及び吸着シート１２１の上面に対向する様に光源からの光を受けて発光する発光面１０２が設けられている。発光面１０２は、テーブル１２０の搬送方向（図１における矢印方向）に略直交する方向（以下、「幅方向」という）に長い矩形状に設けられている。投影物１０１は、カメラ１０５から見てテーブル１２０及び吸着シート１２１の表面に発光面１０２の投影像１０４が形成される。なお、投影物１０１が有する光源は、例えば蛍光灯、ＬＥＤ照明等であるが、これらに限定されるものではない。

投影物１０１の発光面１０２の大きさは、特に限定されないが、幅方向の大きさがテーブル１２０の幅以上であり、搬送方向の大きさが３０ｍｍ以上であることが好ましい。また、投影物１０１の発光面１０２とテーブル１２０及び吸着シート１２１の表面との距離は特に限定されないが、カメラ１０５とテーブル１２０及び吸着シート１２１の表面との距離よりも小さく、３０ｍｍ以下であることが好ましい。

また、投影物１０１は、発光面１０２の搬送方向の大きさが３０ｍｍ以上であり、且つ、発光面１０２とテーブル１２０及び吸着シート１２１の表面との距離が３０ｍｍ以下に設けられることが好ましい。この様な構成により、搬送方向に十分な大きさの投影像１０４が形成され、ガラス基板を搬送するテーブル１２０が上下に振動しても、固定されているカメラ１０５の撮像領域１０６が投影像１０４の領域内に収まり、テーブル１２０及び吸着シート１２１に存在する異物等を検出できる。

なお、投影物１０１としては、テーブル１２０及び吸着シート１２１に投影像１０４が形成される物であれば、光源を備えなくてもよく、例えば幅方向に延びる白色部材等であってもよい。

カメラ１０５は、例えばテーブル１２０及び吸着シート１２１の幅方向に延びる矩形ライン状の画像を撮像するラインスキャンカメラである。カメラ１０５は、投影物１０１の投影像１０４の少なくとも一部を含むライン状の撮像領域１０６の画像を撮像する。なお、カメラ１０５の撮像領域１０６は、ライン状ではなく、搬送方向に幅を有する領域であってもよい。

なお、第１の実施形態では、テーブル１２０の搬送方向において投影物１０１よりも上流側にカメラ１０５が配置されているが、カメラ１０５が投影物１０１の投影像１０４を撮影可能であれば、投影物１０１の下流側にカメラ１０５が配置されてもよい。

ここで、検査装置１００における投影物１０１とカメラ１０５との位置関係について、図２に基づいて説明する。図２は、テーブル１２０の搬送方向に平行且つテーブル１２０及び吸着シート１２１の表面に直交する断面における検査装置１００の概略構成を例示する図である。

図２において、テーブル１２０又は吸着シート１２１の表面における任意の位置をＰ、位置Ｐと投影物１０１の発光面１０２の任意の点とを結ぶ直線がテーブル１２０の表面となす角度をθ_Ｌとする。また、位置Ｐとカメラ１０５とを結ぶ直線がテーブル１２０の表面となす角度をθ_Ｃとする。このとき、投影物１０１及びカメラ１０５は、撮像領域１０６が、角度θ_Ｌと角度θ_Ｃとが略等しくなる位置Ｐを含む様に配設される。また、投影物１０１の発光面１０２は、ガラス片等による正反射光がカメラ１０５に入射しない様に、撮像領域１０６に光を照射しない様に設けられている。

上記した構成により、例えばテーブル１２０又は吸着シート１２１の表面に残存するガラス片がカメラ１０５の撮像領域１０６に入ると、表面に投影物１０１の発光面１０２の投影像１０４が映るガラス片がカメラ１０５に撮像される。したがって、この場合にカメラ１０５によって撮像される画像では、ガラス片が存在する部分は投影物１０１の発光面１０２の投影像１０４がガラス片の表面に投影されて輝度が高く（白く）なる。また、ガラス片が存在しない部分では、投影物１０１の発光面１０２の光がカメラ１０５に届かないため輝度が低く（黒く）なる。

この様に、カメラ１０５により撮像される画像は、ガラス片が存在する部分だけが明るく、輝度が高くなるため、カメラ１０５により撮像される画像の輝度に基づいて、テーブル１２０及び吸着シート１２１の表面に残存するガラス片を高精度に検出することが可能になる。

検査装置１００は、図１に示す様に、カメラ１０５に接続される検査手段１１０を有し、検査手段１１０が、カメラ１０５によって撮像された画像を取得し、テーブル１２０又は吸着シート１２１の表面に残存するガラス片等の異物を検出する。検査手段１１０は、例えばＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を有し、ＣＰＵ及びＲＡＭが協働してＲＯＭに記憶されたプログラムを実行することで、その機能が実現される。また、検査手段１１０は、検査結果を表示する表示手段として、例えば液晶ディスプレイ等を有してもよい。

検査手段１１０は、搬送されているテーブル１２０を連続して撮像するカメラ１０５から連続する複数の画像を取得し、テーブル１２０及び吸着シート１２１全体の検査画像を生成する。図３から図５に、検査手段１１０によって生成されたテーブル１２０及び吸着シート１２１全体の検査画像を例示する。図３から図５に示す矢印は、テーブル１２０の搬送方向である。

図３は、ガラス片等の異物が存在しない検査画像の例である。ガラス片等が存在しない場合には、カメラ１０５の撮像領域１０６を、投影物１０１の発光面１０２の投影像１０４を映す物体が通過せず、投影像１０４の発光面１０２がカメラ１０５に写らないため、図３に示す様に、テーブル１２０及び吸着シート１２１は全体的に黒く（輝度が低く）なる。

これに対して、図４及び図５は、吸着シート１２１の表面にガラス片が存在する検査画像の例であり、表面に投影物１０１の発光面１０２の投影像１０４が形成されるガラス片が存在する箇所（図中破線で示す部分内）が白く（輝度が高く）なっている。

検査手段１１０は、例えば、取得した画像の画素毎に０（黒）から２５５（白）までの２５６階調の輝度を取得し、予め設定された閾値以上となる画素領域をガラス片として検出する。検査手段１１０は、輝度が閾値以上となる画素に基づいて、テーブル１２０の表面に残存するガラス片のテーブル１２０における位置、形状、サイズまで正確に把握することができる。

また、検査手段１１０は、テーブル１２０及び吸着シート１２１よりも光反射率が高く、投影物１０１の投影像１０４が映る物であれば、ガラス片以外の異物も検出できる。さらに、テーブル１２０及び吸着シート１２１の表面に汚れや傷等があったとしても、汚れや傷には投影物１０１の投影像１０４は形成されないため、これらを異物として誤検出することがない。

以上で説明した様に、第１の実施形態に係る検査装置１００によれば、テーブル１２０及び吸着シート１２１表面の汚れや傷等を誤検出することなく、テーブル１２０及び吸着シート１２１の表面に残存するガラス片等の異物を高精度に検出できる。したがって、ガラス片等の異物が存在するテーブル１２０及び吸着シート１２１の表面にガラス基板を載せるのを未然に防ぎ、ガラス基板に傷や割れが発生するのを防止できる。

また、第１の実施形態に係る検査装置１００は、ガラス基板を支持搬送する基板支持手段の表面に残る異物を検査する検査工程を実行する装置として、ガラス基板の製造方法に好ましく用いることができる。検査装置１００は、例えばガラス基板を搬送するテーブル１２０の搬送路の１箇所又は複数箇所に設けられてもよい。この様なガラス板の製造方法によれば、上記した様に基板支持手段の表面に存在する異物等が検出され、ガラス基板の傷や割れが防止されるため、生産性を落とすことなくガラス基板を製造できる。

[第２の実施形態]
次に、第２の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、既に説明した実施形態と同一構成部分についての説明は省略する。

図６は、第２の実施形態に係る検査装置２００の構成を例示する概略図である。

第２の実施形態に係る検査装置２００は、ガラス基板Ｇの製造工程において、ベルトコンベア２２０に載せられて搬送されているガラス基板Ｇの欠陥や不具合等の検査を行う。ベルトコンベア２２０は、ガラス基板Ｇの搬送手段であり、例えば回転駆動する複数のローラに掛け渡され、ローラに従動して回転する無端状ベルトでガラス基板Ｇを搬送する。

検査装置２００は、図６に示す様に、投影物２０１、撮像手段としてのカメラ２０５、検査手段２１０、固定脚２１５、ブリッジ２１６、エアブロー２５０を有する。

投影物２０１は、内部に光源を有し、ベルトコンベア２２０の上面に対向する様に発光面が設けられている。投影物２０１の発光面は、ベルトコンベア２２０によるガラス基板Ｇの搬送方向（図６における矢印方向）に略直交する方向（以下、「幅方向」という）に延びる矩形状に設けられている。投影物２０１は、カメラ２０５から見てガラス基板Ｇの表面に発光面の投影像２０４が形成される。なお、投影物２０１が有する光源は、例えば蛍光灯、ＬＥＤ照明等であるが、これらに限定されるものではない。

投影物２０１の発光面の大きさは特に限定されないが、幅方向の大きさがベルトコンベア２２０の幅以上であり、搬送方向の大きさが３０ｍｍ以上であることが好ましい。また、投影物２０１の発光面とベルトコンベア２２０の表面との距離は特に限定されないが、カメラ２０５とベルトコンベア２２０の表面との距離よりも小さく、３０ｍｍ以下であることが好ましい。

また、投影物２０１は、発光面の搬送方向の大きさが３０ｍｍ以上であり、且つ、発光面とベルトコンベア２２０の表面との距離が３０ｍｍ以下であることが好ましい。この様な構成により、搬送方向に十分な長さの投影像２０４が形成され、ガラス基板を搬送するベルトコンベア２２０が上下に振動しても、固定されているカメラ２０５の撮像領域２０６が投影像２０４の領域内に収まり、ガラス基板Ｇに存在する欠陥等を検出できる。

なお、投影物２０１としては、ガラス基板Ｇに投影像２０４が形成される物であれば、光源を備えなくてもよく、例えば幅方向に延びる白色部材等であってもよい。

カメラ２０５は、例えばガラス基板Ｇの幅方向に延びるライン状の画像を撮像するラインスキャンカメラである。カメラ２０５は、ベルトコンベア２２０を跨ぐ様に構成されているブリッジ２１６に固定されている固定脚２１５の雲台に取り付けられている。カメラ２０５は、投影物２０１の投影像２０４の少なくとも一部を含むライン状の撮像領域２０６の画像を撮像する。なお、カメラ２０５の撮像領域２０６は、ライン状ではなく、搬送方向に幅を有する領域であってもよい。

投影物２０１とカメラ２０５との位置関係は、第１の実施形態と同様であり、投影物２０１及びカメラ２０５は、カメラ２０５の撮像領域２０６が、ガラス基板Ｇの表面に投影される投影物２０１の投影像２０４の少なくとも一部を含む様に構成されている。

なお、第２の実施形態では、ガラス基板Ｇの搬送方向において投影物２０１よりも下流側にカメラ２０５が配置されているが、カメラ２０５が投影物２０１の投影像２０４を撮影可能であれば、投影物２０１の上流側にカメラ１０５が配置されてもよい。

検査手段２１０は、接続されるカメラ２０５によって撮像された画像を取得し、ガラス基板Ｇにおける欠陥等の検査を行う。検査手段２１０は、例えばＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を有し、ＣＰＵ及びＲＡＭが協働してＲＯＭに記憶されたプログラムを実行することで、その機能が実現される。また、検査手段２１０は、検査結果を表示する表示手段として、例えば液晶ディスプレイ等を有してもよい。

検査手段２１０は、搬送されるガラス基板Ｇの表面を連続して撮像するカメラ２０５から画像を取得し、複数の画像を連結してガラス基板Ｇ全体を含む検査画像を生成する。次に、検査手段２１０は、ガラス基板Ｇ全体を含む検査画像の各画素から、例えば０（黒）から２５５（白）までの２５６階調の輝度を取得する。検査手段２１０は、検査画像の画素毎に取得した輝度に基づいて、ガラス基板Ｇの欠陥や不具合等の検査を行う。

エアブロー２５０は、流体噴射手段の一例であり、流体として空気２５１をガラス基板Ｇの表面に噴射し、切断、研磨等の工程においてガラス基板Ｇの表面に付着する水を除去する。エアブロー２５０は、ガラス基板Ｇの搬送方向においてカメラ２０５の撮像領域よりも上流側に空気２５１を噴射する様に設けられている。

ガラス基板Ｇに付着する水は、ガラス基板Ｇの表面とは投影物２０１からの光の反射角が異なり、カメラ２０５によって撮像される画像にガラス基板Ｇには無い陰影を形成し、検査手段２１０が水の付着部分を欠陥等と誤検出する可能性がある。しかし、本実施形態ではエアブロー２５０がガラス基板Ｇに付着する水を除去することで、検査手段２１０におけるこの様な誤検出が防止される。なお、エアブロー２５０は、ガラス基板Ｇに付着する水を除去できればよく、ガラス基板Ｇの表面が乾燥するまで空気２５１を噴射しなくてもよい。

次に、検査装置２００によるガラス基板Ｇの検査結果について説明する。

図７から図１２は、カメラ２０５がガラス基板Ｇを撮像した画像から生成され、検査手段２１０による検査に用いられたガラス基板Ｇの検査画像例である。

カメラ２０５によって撮像される画像は、ガラス基板Ｇが存在して投影物２０１の投影像２０４が映る部分は白く（輝度が高く）表示される。また、ガラス基板Ｇが存在せず投影物２０１の投影像２０４が映らない部分は黒く（輝度が低く）表示される。

ガラス基板Ｇに割れ、欠け、孔等の欠陥が無い場合には、検査手段２１０によって生成される画像には、矩形状のガラス基板Ｇ全体が所定の位置に白く表示される。これに対して、ガラス基板Ｇに割れ、欠け、孔等の欠陥が存在する場合には、投影物２０１の投影像２０４が形成されない欠陥部分が黒く表示される。

図７は、ガラス基板Ｇの亀裂が検出された例である。図７に例示する画像では、白く表示されるガラス基板Ｇの右上部から中央付近まで不規則に縦に伸びる亀裂が、黒線状部分として表れている。検査手段２１０は、亀裂部分ではガラス基板Ｇの他の部分に比べて輝度が低くなることから、ガラス基板Ｇにおける亀裂の存在を検出できる。

図８は、ガラス基板Ｇが吸着パッドを有する移載機等によって搬送された際に形成された吸着パッド孔が検出された例である。図８に例示する画像では、白く表示されるガラス基板Ｇの右下部に存在する２つの吸着パッド孔が、黒い孔として表れている。また、吸着パッド孔からガラス基板Ｇの下端部に達する亀裂が、黒線状に表示されている。検査手段２１０は、この様な吸着パッド孔や亀裂部分ではガラス基板Ｇの他の部分に比べて輝度が低くなることから、ガラス基板Ｇにおける孔及び亀裂の存在を検出できる。

図９は、ガラス基板Ｇがベルトコンベア２２０に載せられた際に割れ、ベルトコンベア２２０上に割れ残ったガラス基板Ｇが検出された例である。図９に例示する画像では、ベルトコンベア２２０上に散乱するガラス基板Ｇの破片が不規則な形状で複数箇所に白く表示されている。検査手段２１０は、ガラス基板Ｇが存在する高輝度部が所定の形状とは異なる形状で複数存在することから、ベルトコンベア２２０上でガラス基板Ｇが割れて破片が散乱していることを検出できる。

図１０は、ベルトコンベア２２０におけるガラス基板Ｇの位置ずれが検出された例である。図１０に例示する画像では、白く表示されるガラス基板Ｇが所定の位置からずれて傾いた状態で表れている。検査手段２１０は、画像における高輝度部分からベルトコンベア２２０におけるガラス基板Ｇの位置を検出し、所定の搬送位置と比較することで、ガラス基板Ｇの所定の搬送位置からのずれを検出できる。

図１１は、ガラス基板Ｇの上に存在するガラス片が検出された例である。図１１に例示する画像では、ガラス基板Ｇ表面の破線で囲まれた部分にガラス片が存在し、投影物２０１の投影像２０４が形成されないガラス片の縁部が黒く表示されている。検査手段２１０は、ガラス基板Ｇの枠内に存在する低輝度部分から、ガラス基板Ｇの上にガラス片が存在していることを検出できる。

図１２は、ガラス基板Ｇの欠け、ガラス基板Ｇの上に存在する異物が検出された例である。図１２に例示する画像では、ガラス基板Ｇ左上部の欠けている部分及びガラス基板Ｇの表面の破線で囲まれた部分に異物が存在する部分が黒く表示されている。検査手段２１０は、ガラス基板Ｇが存在すべき所定の領域内に存在する低輝度部分から、ガラス基板Ｇの欠け及びガラス基板Ｇの上に存在する異物を検出できる。

この様に、検査手段２１０は、カメラ２０５によって撮像された画像に基づいて、ガラス基板Ｇを含む画像を生成して画素毎の輝度を取得し、ガラス基板Ｇが存在すべき領域において輝度が閾値よりも低くなっている部分から、亀裂、孔、割れ、欠け等の欠陥を検出する。同様に、輝度が閾値よりも低くなっている部分から、ガラス基板Ｇの上に存在するガラス片や異物の存在も検出できる。また、検査手段２１０は、輝度が閾値以下となる画素に基づいて、欠陥、ガラス片及び異物の大きさを求めることができる。

また、検査手段２１０は、画像の輝度に基づいてベルトコンベア２２０におけるガラス基板Ｇの位置を検出することで、ガラス基板Ｇの搬送位置のずれといった不具合も検出可能である。さらに、検査手段２１０は、ガラス基板Ｇの位置がずれている場合には、輝度が閾値以上となっている画素の位置と所定の搬送位置とを比較し、搬送位置のずれ量を求めることができる。

以上で説明した様に、第２の実施形態に係る検査装置２００によれば、基板の割れ、欠け、孔等の様々な欠陥、基板の搬送位置ずれや表面の異物等の存在といった不具合を検査することが可能である。

なお、ガラス基板Ｇを搬送する搬送手段としては、図１３に示す様に、回転駆動する複数のローラ２３１でガラス基板Ｇを搬送するローラコンベア２３０であってもよい。この場合において、投影物２０１及びカメラ２０５は、ガラス基板Ｇの表面に形成される投影物２０１の投影像２０４の少なくとも一部を含む撮像領域２０６が、複数のローラ２３１の間に位置する様に構成されることが好ましい。

この様な構成により、検査装置２００は、撮像領域２０６におけるガラス基板Ｇの下方が解放された空間となることで、ガラス基板Ｇの表面の反射のみに基づいて検査を行うことが可能になる。また、ガラス基板Ｇの有無による輝度差が大きくなることで、ガラス基板Ｇの欠陥等の検出精度が向上する。なお、ガラス基板Ｇの表面に形成される投影物２０１の投影像２０４は、ローラ２３１間の領域より大きくてもよい。

また、上記した例では、ガラス基板Ｇの上面から欠陥等の検査を行う構成について説明したが、ガラス基板Ｇの下面から欠陥等の検査を行う構成であってもよい。図１４は、ガラス基板Ｇの下面から欠陥等の検査を行う検査装置３００の構成を例示する概略図である。

検査装置３００は、図１４に示す様に、例えば複数の吸着パッド２４１を有する移載機２４０がガラス基板Ｇの上面を保持して図中矢印方向に搬送し、ガラス基板Ｇの下面側に設けられている投影物２０１、カメラ２０５等によってガラス基板Ｇの欠陥等を検査する。検査装置３００における投影物２０１、カメラ２０５、投影像２０４及び撮像領域２０６の構成は、上記した第２の実施形態に係る検査装置１００と同様である。また、検査装置３００には、エアブロー２５０が設けられてもよい。

第２の実施形態に係る検査装置２００，３００は、ガラス基板Ｇの欠陥や不具合等を検査する検査工程を実行する装置としてガラス基板Ｇの製造方法に好ましく用いることができる。検査装置２００，３００は、例えばガラス基板Ｇがベルトコンベア２２０、ローラコンベア２３０又は移載機２４０等によって搬送される搬送路の１箇所又は複数箇所に設けられてもよい。この様なガラス板の製造方法によれば、上記した様に様々な欠陥や不具合等が検出されるため、欠陥等を有するガラス基板Ｇを適宜除去等することで、生産性を落とすことなくガラス基板Ｇを製造できる。

以上、実施形態に係る検査装置、検査方法及びガラス基板の製造方法について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能である。

１００，２００，３００ 検査装置
１０１，２０１ 投影物
２０２ エアブロー（流体噴射手段）
１０２ 発光面
１０３ 光照射領域
１０４，２０４ 投影像
１０５，２０５ カメラ（撮像手段）
１０６，２０６ 撮像領域
１１０，２１０ 検査手段
１２０ テーブル（基板支持手段）
１２１ 吸着シート（基板支持手段）
２２０ ベルトコンベア
２３０ ローラコンベア（搬送手段）
２３１ ローラ
Ｇ ガラス基板（検査対象物）

Claims (10)

1. 搬送されている検査対象物の検査を行う検査装置であって、
   前記検査対象物の表面に投影像が形成される投影物と、
   前記投影像の少なくとも一部を含む撮像領域の画像を取得する撮像手段と、
   前記画像の輝度に基づいて、前記検査対象物を検査する検査手段とを有する
   ことを特徴とする検査装置。
2. 前記投影物は、光源及び前記光源からの光により発光する発光面を有し、
   前記投影像は、前記検査対象物の表面に映る前記発光面である
   ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 前記撮像領域は、前記検査対象物の搬送方向に直交するライン状の領域である
   ことを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
4. 前記検査対象物は、載置されるガラス基板を支持する基板支持手段であり、
   前記検査手段は、前記ガラス基板が載置されていない状態で、前記撮像手段により取得される前記基板支持手段の画像の輝度に基づいて、前記基板支持手段の表面に存在する異物を検査する
   ことを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の検査装置。
5. 前記検査対象物は、ガラス基板であり、
   前記検査手段は、前記撮像手段により取得される前記ガラス基板の画像の輝度に基づいて、前記ガラス基板に存在する欠陥を検査する
   ことを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の検査装置。
6. 前記ガラス基板の表面に流体を噴射する流体噴射手段を有し、
   前記流体噴射手段は、前記ガラス基板の搬送方向において、前記撮像領域よりも上流側に前記流体を噴射する
   ことを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
7. 搬送方向に配列され、それぞれ回転可能に設けられている複数のローラにより、前記ガラス基板を搬送する搬送手段を有し、
   前記撮像領域は、前記複数のローラの間に設けられている
   ことを特徴とする請求項５又は６に記載の検査装置。
8. 搬送されている検査対象物の検査を行う検査方法であって、
   前記検査対象物の表面に形成される投影物の投影像の少なくとも一部を含む撮像領域の画像を取得する撮像工程と、
   前記画像の輝度に基づいて、前記検査対象物を検査する検査工程とを有する
   ことを特徴とする検査方法。
9. 請求項８に記載されている検査方法を用いて、載置されるガラス基板を支持する基板支持手段の表面に存在する異物を検査する異物検査工程を有する
   ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
10. 請求項８に記載されている検査方法を用いて、ガラス基板に存在する欠陥を検査する欠陥検査工程を有する
    ことを特徴とするガラス基板の製造方法。