JP2015126158A - 有芯構造はんだバンプ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
そして、この要請に応えるべく、ファインピッチ化を実現するためのはんだバンプあるいはその製造法について、従来からいくつかの提案がなされている。
例えば、特許文献1、2記載の技術においては、ウエハや有機基板の電極上に、電気メッキ法を用いて、小径のピラーを形成し、その上にメッキ法を用いてはんだ金属を形成し、リフロー処理を施すことではんだバンプを形成し、バンプの高さをある程度にまで高く形成している。しかし、メッキ法にてピラー形成、はんだ金属形成しているために、プロセススループットが悪く、また、溶融時のはんだ金属の自重および表面張力によって、バンプが扁平になりバンプ高さが制限されるため、はんだバンプ径に比して、それほど高いアスペクト比のものを得ることはできず、仮に、はんだ金属の載置量を増やしたとしても、隣接する他のはんだバンプに接触してショートを引き起こすおそれが生じるという問題がある。
また、特許文献3記載の技術においても、一次はんだバンプ表面のはんだペーストに対して、下向きにしてリフローすることによって、比較的、アスペクト比の高いバンプは形成されるが、アッセンブリ時など、再溶融時に、はんだ金属の自重および表面張力によって自ずとアスペクト比は制約を受け、隣接する溶融はんだ金属バンプと接触することで、電気的導通不良の原因となる恐れがある。
したがって、半導体の高密度実装を実現するためには、ファインピッチ化が可能となる高アスペクト比のはんだバンプおよびその簡易な製造法が望まれる。
そして、この有芯構造のはんだバンプは、バンプの自重による扁平化が生じにくいため、バンプ高さの高い高アスペクト比のはんだバンプとなること、また、焼結芯の材質を適切に選択することにより、はんだ金属との密着性が向上し、これに伴い、バンプと半導体基板との密着性も向上すること、さらに、この高アスペクト比の有芯構造はんだバンプは、従来バンプに比し遜色のない導電性を備えることを見出したのである。
即ち、まず、第一工程として、半導体基板の所定位置(例えば、半導体パッケージ用有機基板上に形成されたパッド電極表面あるいは半導体パッケージ用ウエハ上に形成されたUBM(アンダーバンプメタル))に、パッド電極あるいはUBMが僅かに露出する程度の開口を有するマスクを取付け、焼結芯となる芯用ペーストをパッド電極あるいはUBMの中央部分に印刷し、次いで、マスクを取り外し、パッド電極あるいはUBMに塗布された芯用ペーストを、はんだペーストのリフロー温度近傍またはそれ以下で焼結して、パッド電極あるいはUBMのほほ中央部分に所定の高さを有する焼結芯を作製し、次いで、第二工程として、パッド電極あるいはUBMの径よりも大きな径の開口を有するマスクを、ほぼ中央部に焼結芯が形成されたパッド電極あるいはUBMが露出するように取付け、パッド電極あるいはUBM及び焼結芯全体を覆うようにはんだペーストを塗布し、次いで、マスクを取り外し、パッド電極あるいはUBM及び焼結芯全体を覆うように塗布印刷されたはんだペーストを、はんだペーストのリフロー温度でリフロー処理することにより、有芯構造のはんだバンプを簡易な工程で製造し得ることを見出したのである。
(1)半導体基板上に形成された有芯構造はんだバンプであって、該はんだバンプは、はんだバンプの内部に形成され、かつ、半導体基板に垂直な方向に延びる焼結芯と、該焼結芯の周囲に被着されたはんだ金属との有芯構造からなり、前記焼結芯は、はんだペーストのリフロー処理温度近傍またはそれ以下の温度で焼結された焼結体からなることを特徴とする有芯構造はんだバンプ、
(2)前記焼結芯は、第一群粉末と第二群粉末との粉末焼結体、合金焼結体またはこれらの混合焼結体からなり、前記第一群粉末は、第一A群粉末及び第一B群粉末の少なくともいずれかを含有し、前記第一A群粉末は、Cu、Ag、Au、Pt、Pd、Ti、Ni、Fe、Coの内から選ばれた一種又は二種以上の金属粉末からなり、また、前記第一B群粉末は、液相温度が450℃以上のろう合金粉末及び液相温度が280℃以上の高温はんだ合金粉末の内から選ばれた一種又は二種以上の合金粉末からなることを特徴とする前記(1)に記載の有芯構造はんだバンプ、
(3)前記焼結芯は、第一群粉末と第二群粉末との粉末焼結体、合金焼結体またはこれらの混合焼結体からなり、前記第二群粉末は、第二A群粉末及び第二B群粉末の少なくともいずれかを含有し、前記第二A群粉末は、Sn,In,Bi,Gaの内から選ばれた一種又は二種以上の金属粉末からなり、また、前記第二B群粉末は、液相温度が240℃以下のはんだ合金の合金粉末からなることを特徴とする前記(1)に記載の有芯構造はんだバンプ、
に特徴を有するものである。
(4)半導体基板上に形成された有芯構造はんだバンプの製造方法であって、半導体基板上に形成されたパッド電極あるいはアンダーバンプメタルの表面に芯用ペーストを印刷塗布し、はんだペーストのリフロー処理温度近傍またはそれ以下の温度で芯用ペーストを焼結して、パッド電極あるいはアンダーバンプメタルの表面のほぼ中央部分に焼結芯を形成し、次いで、パッド電極あるいはアンダーバンプメタルのほぼ中央部に形成された焼結芯全体を覆うようにはんだペーストを印刷塗布し、はんだペーストのリフロー処理温度でリフロー処理することにより、パッド電極表面上あるいはアンダーバンプメタルの表面上に有芯構造はんだバンプを形成することを特徴とする有芯構造はんだバンプの製造方法、
に特徴を有するものである。
図2に、本発明の有芯構造はんだバンプの製造工程の概略説明図を示し、図3に、本発明の製造法により得られた有芯構造はんだバンプの断面概略模式図を示す。
第一工程は、以下のとおりである。
まず、パッド電極が形成されている半導体基板の表面(半導体パッケージ用ウエハ上にUBMが設けられている場合も当然に含むが、以下、UBMについての説明は省略する。)に、パッド電極のほぼ中央部の表面が露出する程度の開口を有するメタルマスクを取付け(図2(a)参照)、メタルマスクの開口からパッド電極のほぼ中央部の表面にスキージを用いて芯用ペーストを印刷する(図2(b)参照)。
次いで、メタルマスクを取り外し(図2(c)参照)、芯用ペーストの種類に応じた温度(はんだペーストのリフロー温度近傍またはそれ以下の温度)で焼結し、パッド電極のほぼ中央部に、半導体基板に垂直な方向に延び、かつ、最終的に形成されるはんだバンプの高さよりも低い高さの焼結芯を形成する。
図4に、焼結芯の一例として、芯用ペーストE(表2参照)を用いて、焼結温度240℃で形成された9個の焼結芯のSEM画像を示す。
なお、図2では、パッド電極表面に形成されるUBMの図示を省略しているが、パッド電極上にUBMが設けられている場合も、本発明の範囲に含まれることは勿論である。
また、前記焼結芯は、前記第一群粉末と前記第二群粉末を構成する構成成分元素を含有する合金焼結体として構成することができ、或いは、前記粉末焼結体と合金焼結体の混合焼結体として構成してもよい。
ここで、第一群粉末は、第一A群粉末及び第一B群粉末の少なくともいずれかを含有する粉末であり、そして、第一A群粉末としては、Cu、Ag、Au、Pt、Pd、Ti、Ni、Fe、Coの内から選ばれた一種又は二種以上の金属粉末を用いることができ、また、第一B群粉末としては、液相温度が450℃以上のろう合金粉末及び液相温度が280℃以上の高温はんだ合金粉末の内から選ばれた一種又は二種以上の合金粉末を用いることができる。
また、第二群粉末は、第二A群粉末及び第二B群粉末の少なくともいずれかを含有する粉末であり、そして、第二A群粉末としては、Sn,In,Bi,Gaの内から選ばれた一種又は二種以上の金属粉末を用いることができ、また、第二B群粉末としては、液相温度が240℃以下のはんだ合金の合金粉末を用いることができる。
焼結芯を形成するための焼結温度は、第二工程で焼結芯の周囲に印刷塗布されるはんだペーストをリフローする温度近傍またはそれ以下の温度でなければならない。これは、はんだペーストリフロー処理時にも、焼結芯が軟化・溶融せず、焼結芯としてのそのままの形状を維持し、焼結芯の周囲にはんだ金属を付着させる必要があるからであって、これによって、高アスペクト比のはんだバンプが形成され、また、焼結芯が、はんだ金属と広い接触面積を有することによって、はんだバンプが自重によって扁平化することを防止すると同時に、はんだ金属と焼結芯の密着性を高め、ひいては、バンプとパッド電極、半導体基板との密着性を高めるという作用を発揮させるために必要であるという理由による。
一方、第一群粉末の含有量が90質量%を超えると、リフロー時に溶融する第二群粉末が少なすぎて焼結が進まず、第二工程であるはんだ金属ペースト印刷時に形状が崩れてしまうため、本発明では、混合粉末中における第一群粉末の含有量を10〜90質量%とすることが望ましく、30〜80質量%とすることがより望ましい。
また、はんだ金属の種類と焼結芯を構成する材質の組合せによっては、はんだ金属と焼結芯の界面で拡散反応が生じ、はんだ金属と焼結芯との密着性が向上し、より一層、密着性にすぐれた高アスペクト比のはんだバンプが形成される。
本発明の焼結芯としては、焼結芯の形成し易さの観点、即ち、はんだペーストのリフロー処理温度近傍またはそれ以下の比較的低温度で焼結可能であるという焼結性の観点、さらに、はんだ金属との濡れ性、密着性に優れるとのいう観点を考慮すれば、焼結芯を構成する第一A群の金属粉末としては、Cu,Ag,Auの内から選ばれた一種又は二種以上の金属粉末を用いることが望ましく、また、第二A群の金属粉末としては、Sn,In,Biの内から選ばれた一種又は二種以上の金属粉末を用いることが望ましい。
芯用ペースト用原料粉末として、第一A群粉末及び第一B群粉末の少なくともいずれかを含有する第一群粉末と、第二A群粉末及び第二B群粉末の少なくともいずれかを含有する第二群粉末を用意する。
これらの粉末を、芯用ペースト用粉末の総重量を100質量%とした場合に、第一群粉末が10〜90質量%であり、また、残部は第二群粉末となるように配合して混合粉末を作製する。
この混合粉末を、V型混合機等の通常用いられる粉末混合機中で混合する。
次に、芯用ペーストの総重量を100質量%とした時に、好ましくは、フラックスを5〜40質量%、残りは前記混合粉末となるように配合し、この芯用ペーストを、機械混練機等の通常用いられる混練機中で混合することにより、本発明の焼結芯を形成するために使用される芯用ペーストが作製される。
また、芯用ペーストにおけるフラックス含有量が5質量%未満であると、ペースト状にならない。一方、フラックス含有量が40質量%を超えると芯用ペーストの粘度が低すぎて、印刷の際にダレが生じたり、リフロー時に芯が崩れてしまい芯柱状の焼結芯としての十分な高さが確保できないことから、芯用ペースト中のフラックス含有量を5〜40質量%とすることが望ましく、フラックス含有量を6〜15質量%とすることがさらに望ましい。
したがって、使用するはんだ金属の種類に応じて、芯用ペーストに含有される混合粉末の種類、配合割合を定めなければならない。
例えば、はんだ金属として、Pb−Sn系合金(リフロー処理温度は、約210℃)を用いる場合は、このリフロー温度で焼結する芯用ペーストを用いる必要があり、焼結芯を形成させた後、Pb−Sn系合金ペーストを印刷し、このリフロー温度でバンプを形成することになる。また、Sn、SnAg系合金、SnCu合金、SnAgCu系合金(リフロー処理温度は、約 240℃)を用いる場合は、このリフロー温度で焼結する芯用ペーストを用いる必要があり、焼結芯を形成させた後、Sn、SnAg系合金、SnCu合金、SnAgCu系合金ペーストを印刷し、このリフロー温度でバンプ形成することになる。
上記のとおり、本発明で用いる芯用ペーストは、これらのリフロー処理温度で焼結が進むように第一群粉末と第二群粉末の種類、配合割合を決定する必要がある。通常、焼結は第二群粉末が溶融することで、第一群粉末と反応することで進む。
なお、焼結芯(あるいは芯用ペーストの混合粉末)とはんだ金属とを、同じ成分系の材料を用いてはんだバンプを形成した場合には、焼結芯の界面におけるはんだ金属とのなじみ性が高いため、より一層密着性の高いはんだバンプを形成することができる。
即ち、焼結芯がほぼ中央部に形成されたパッド電極の径より大きな開口を有し、焼結芯の高さ以上の厚みを有するメタルマスクを取付け(図2(e)参照)、メタルマスクの開口からパッド電極の露出部分及び焼結芯全体を覆うようにスキージを用いてはんだペーストを印刷塗布する(図2(f)参照)。
次いで、メタルマスクを取り外し(図2(g)参照)、はんだペーストの種類に応じたリフロー処理温度でリフロー処理し、パッド電極の表面に、しかも、焼結芯をその内部に閉じ込めるようにしてはんだバンプを形成する(図2(h)参照)。
前記第一工程(図2(a)〜(d))及び第二工程(図2(e)〜(h))により、本発明の有芯構造はんだバンプが形成される。
図3に示されるように、本発明の有芯構造はんだバンプは、バンプ内部に焼結芯が内包され、該焼結芯の周囲にはんだ金属が被着することによって、謂わば、卵型形状であって、しかも、有芯構造のはんだバンプが構成される。
従来のはんだバンプでは、バンプ内部に焼結芯が形成されていないため、はんだバンプ自体の自重により、バンプが扁平化し、バンプ高さを高くすることができなかったが、本発明によれば、有芯構造を構成するはんだバンプ内部の焼結芯にはんだ金属が密着することにより、導電性の低下を招くこともなく、はんだバンプと焼結芯、ひいては、はんだバンプとパッド電極、半導体基板との密着力が向上する。
さらに、焼結芯が、半導体基板に垂直な方向に延び、この周囲にはんだ金属が付着してはんだバンプを構成していることから、はんだバンプの高さを高くとることができる。
その結果、従来技術におけるはんだバンプの高さをh、また、はんだバンプ径をdとした場合の従来のはんだバンプのアスペクト比h/dに比して、本発明の有芯構造のはんだバンプの高さHとはんだバンプの径Dの比H/Dの値(即ち、本発明のはんだバンプのアスペクト比)は大きな値(即ち、H/D>h/d)となり、高アスペクト比のはんだバンプが形成されるから、はんだバンプのファインピッチ化を実現することができる。
なお、図3でも、パッド電極表面に形成されるUBMの図示を省略しているが、パッド電極上にUBMが設けられている場合も、本発明の範囲に含まれることは勿論である。
また、本発明の有芯構造はんだバンプの製造方法によれば、印刷法により芯用ペーストを塗布した後、焼結により焼結芯を形成し、次いで、同じく印刷法によりはんだペーストを塗布してリフロー処理するという簡易な製造法によって、有芯構造はんだバンプを得られることから、はんだバンプの製造工程の簡易化、低コスト化を図ることができる。
表1に、本実施例1ではんだバンプを形成するために使用したはんだ金属として、5種類の合金粉末の成分組成を示す。
なお、このはんだ金属用合金粉末の粒径は、2〜12μmであり、平均粒径は、7μmである。
また、表2に、本実施例1で焼結芯を形成するために使用した芯用ペーストA〜Mに含有される粉末の種類、組合せ、配合割合、さらに、フラックスの種類とその含有割合を示す。
なお、芯用ペーストに含有される粉末については、その粒径は1〜5μmであり、平均粒径は、2.5μmである。
前記の第一工程及び第二工程により、パッド電極の表面に、焼結芯をその内部に閉じ込めた表3に示す有芯構造はんだバンプ1〜17(以下、「本発明バンプ1〜17」という)を作製した。
測定は、NEXIV VMR−3030(Nikon社製)を使用し、光学式画像解析により、バンプの頂点部から基板までの高さを測定することにより行い、200バンプについての測定値を平均して、バンプ高さとした。なお、本実施例では、パッド電極の直径及びメタルマスクの開口直径が一定であるため、バンプ高さが高いほどアスペスト比は高くなる。
表3に、本発明バンプ1〜17について求めたバンプ高さを示す。
比較のために、パッド電極(直径:85μm)が形成されている半導体基板の表面に、実施例1の第二工程で使用したと同じサイズのメタルマスク(開口直径:110μm、開口ピッチ:150μm、厚さ:30μm)を載置し、メタルマスクの開口からスキージを用いて、表1に示すはんだペーストを印刷塗布し、メタルマスクを取り外した後、窒素雰囲気のベルト炉で、はんだペーストの種類に応じて表4に示す温度でリフロー処理し、パッド電極の表面に、表4に示す比較例のはんだバンプ1〜5(以下、「比較例バンプ1〜5」という)を作製した。
即ち、比較例バンプ1〜5は、芯用ペーストを使用した焼結芯の形成を行っていない点で、本発明バンプ1〜17とは、はんだバンプの構造及び製造法が大きく異なっている。
表4に、比較例バンプ1〜5について求めたバンプ高さを示す。
実施例2として、第一群粉末あるいは第二群粉末の少なくとも一方を合金粉末とした表5に示す本発明芯用ペーストN〜Rを用いて、実施例1と同様にして、表6に示す有芯構造はんだバンプ18〜22(以下、「本発明バンプ18〜22」という)を作製した。
なお、このはんだ金属用合金粉末の粒径は、2〜12μmであり、平均粒径は、7μmであり、芯用ペーストに含有される金属粉末、合金粉末については、その粒径は1〜5μmであり、平均粒径は、2.5μmである。
表6に、本発明バンプ18〜22について求めたバンプ高さを示す。
Claims (4)
- 半導体基板上に形成された有芯構造はんだバンプであって、該はんだバンプは、はんだバンプの内部に形成され、かつ、半導体基板に垂直な方向に延びる焼結芯と、該焼結芯の周囲に被着されたはんだ金属との有芯構造からなり、前記焼結芯は、はんだペーストのリフロー処理温度近傍またはそれ以下の温度で焼結された焼結体からなることを特徴とする有芯構造はんだバンプ。
- 前記焼結芯は、第一群粉末と第二群粉末との粉末焼結体、合金焼結体またはこれらの混合焼結体からなり、前記第一群粉末は、第一A群粉末及び第一B群粉末の少なくともいずれかを含有し、前記第一A群粉末は、Cu、Ag、Au、Pt、Pd、Ti、Ni、Fe、Coの内から選ばれた一種又は二種以上の金属粉末からなり、また、前記第一B群粉末は、液相温度が450℃以上のろう合金粉末及び液相温度が280℃以上の高温はんだ合金粉末の内から選ばれた一種又は二種以上の合金粉末からなることを特徴とする請求項1に記載の有芯構造はんだバンプ。
- 前記焼結芯は、第一群粉末と第二群粉末との粉末焼結体、合金焼結体またはこれらの混合焼結体からなり、前記第二群粉末は、第二A群粉末及び第二B群粉末の少なくともいずれかを含有し、前記第二A群粉末は、Sn,In,Bi,Gaの内から選ばれた一種又は二種以上の金属粉末からなり、また、前記第二B群粉末は、液相温度が240℃以下のはんだ合金の合金粉末からなることを特徴とする請求項1に記載の有芯構造はんだバンプ
- 半導体基板上に形成された有芯構造はんだバンプの製造方法であって、半導体基板上に形成されたパッド電極あるいはアンダーバンプメタルの表面に芯用ペーストを印刷塗布し、はんだペーストのリフロー処理温度近傍またはそれ以下の温度で芯用ペーストを焼結して、パッド電極あるいはアンダーバンプメタルの表面のほぼ中央部分に焼結芯を形成し、次いで、パッド電極あるいはアンダーバンプメタルのほぼ中央部に形成された焼結芯全体を覆うようにはんだペーストを印刷塗布し、はんだペーストのリフロー処理温度でリフロー処理することにより、パッド電極表面上あるいはアンダーバンプメタルの表面上に有芯構造はんだバンプを形成することを特徴とする有芯構造はんだバンプの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013270852A JP6226233B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 有芯構造はんだバンプ及びその製造方法 |
KR1020167004857A KR102122631B1 (ko) | 2013-12-27 | 2014-12-04 | 유심 구조 땜납 범프 및 그 제조 방법 |
CN201480053701.XA CN105593980B (zh) | 2013-12-27 | 2014-12-04 | 有芯结构焊料凸点及其制造方法 |
PCT/JP2014/082181 WO2015098460A1 (ja) | 2013-12-27 | 2014-12-04 | 有芯構造はんだバンプ及びその製造方法 |
TW103144325A TWI648835B (zh) | 2013-12-27 | 2014-12-18 | 有芯構造焊料凸塊及其製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013270852A JP6226233B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 有芯構造はんだバンプ及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015126158A true JP2015126158A (ja) | 2015-07-06 |
JP6226233B2 JP6226233B2 (ja) | 2017-11-08 |
Family
ID=53478326
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013270852A Active JP6226233B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 有芯構造はんだバンプ及びその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6226233B2 (ja) |
KR (1) | KR102122631B1 (ja) |
CN (1) | CN105593980B (ja) |
TW (1) | TWI648835B (ja) |
WO (1) | WO2015098460A1 (ja) |
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-
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- 2014-12-04 CN CN201480053701.XA patent/CN105593980B/zh active Active
- 2014-12-04 WO PCT/JP2014/082181 patent/WO2015098460A1/ja active Application Filing
- 2014-12-04 KR KR1020167004857A patent/KR102122631B1/ko active IP Right Grant
- 2014-12-18 TW TW103144325A patent/TWI648835B/zh active
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TW201541594A (zh) | 2015-11-01 |
CN105593980A (zh) | 2016-05-18 |
WO2015098460A1 (ja) | 2015-07-02 |
KR20160102150A (ko) | 2016-08-29 |
KR102122631B1 (ko) | 2020-06-12 |
CN105593980B (zh) | 2019-03-19 |
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