JP2015125112A - 変位センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】変位センサ1は、投光素子2と、受光レンズ4と、この受光レンズ4を通過した光を反射する反射板5と、反射板5によって反射された光を受ける受光面6aを有し、前記受光面6aにおける光の位置に応じた信号を出力する受光素子6と、これら光学部品を収容するものであり、投光素子2から出射する光を透過しかつ検出物で反射した光を透過する検出面1xを有するケースとを備え、反射板5は、受光レンズ4の受光軸φbに沿う光を投光素子2側かつ検出面1x側に向けて反射する。
【選択図】図2
Description
この変位センサは、検出物に対して光を照射する投光素子と、検出物で反射した光を集光する受光レンズと、集光した光を受光する受光素子とを有する。また、投光側の投光軸と受光側の受光軸とが所定角度で交差する。
この変位センサ300は、投光素子310と、投光レンズ320と、受光レンズ330と、受光素子340と、これらを収容するケース350とを備える。なお、図12では、受光レンズ330と受光素子340は2点鎖線で示す。
例えば、焦点距離の長い受光レンズ330を用いる場合は、受光素子340と受光レンズ330間の距離が大きくなる。受光レンズ330は、検出面350a(ケース350の前面)に対して斜めに配置されることから、その焦点距離が長くなると、受光素子340は、検出面350aから遠方にかつ投光素子310から離れるように配置される。このため、ケース350内における光路を長く設定するほどケース350の縦幅WYaが大きくなる。
この変位センサ200は、投光素子210と、投光レンズ220と、ケース250内に入射する光を反射する反射板260と、反射した光を集光する受光レンズ230と、受光素子240と、これらを収容するケース250とを備える。なお、従来の変位センサ300のケース350とこの提案に係る変位センサ200のケース250について、その大きさを比較するため、投光素子210と投光レンズ220とは、上記に示した変位センサ300の投光素子310と投光レンズ320と同じ位置にあるものとする。
一方、工場や研究室の室内には、電気配線、空調用ダクト、製造設備、空調設備等、様々な物が設置され、また、室内において作業者の作業用空間も十分に確保する必要があることから、変位センサ200,300を配置するための空間を確保することが困難な場合もある。このため、変位センサ200,300の使い勝手の向上の観点から変位センサ200,300の奥行幅WZについてその縮小が要求されている。しかし、変位センサ200,300においてこのような要望に関する提案がなされていないのが実情である。
この構成によれば、受光素子の中間点(長手方向の両端から等距離にありかつ短手方向の両端から等距離にある点)が投光素子よりも後方に位置するように受光素子が配置されている変位センサに比べて、受光素子が検出面側に配置される。このため、ケースの奥行寸法が小さくなる。
図1〜図8を参照して、本実施形態に係る変位センサ1の一例を説明する。
図1に示すように、変位センサ1は、投光軸φaと受光軸φbとが所定角度θで交差するように構成されている。また、変位センサ1は、検出物を検出するために適した検出距離Lを有する。検出距離Lは、投光軸φaと受光軸φbの交点と変位センサ1の検出面1xとの間の距離である。なお、投光軸φaは、検出面1xに対して垂直に延びる。
変位センサ1は、検出物から検出距離Lだけ離れた箇所に設置される。また、変位センサ1は、検出面1xから検出距離Lだけ離れた位置を基準位置として、検出物の基準位置からの変位量を検出する。
受光レンズ4は、検出物で反射された光を集光する。受光レンズ4は、その受光軸φbが投光軸φaに対して交差するように、配置される。具体的には、受光レンズ4は検出面1xに対して斜めに配置される。
受光素子6は受光面6aにおける光の位置を検出する。受光素子6は、例えば、CMOSイメージセンサ(CMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor)image sensor)、CCDイメージセンサ(CCD(Charge Coupled Device)image sensor)、PSD(Position Sensitive Detector)等により構成される。
受光素子6は、変位センサ1の上下方向において、投光レンズ3と受光レンズ4との間に配置される。受光素子6の長手方向DLは変位センサ1の前後方向(奥行き方向)において検出面1xに対して傾けられている。また、受光素子6の中間点CXは、投光素子2の位置(発光点の位置)よりも検出面1x側に位置する。更に、受光素子6の中間点CXが反射板5の中心点CMよりも前方に位置することが好ましい。なお、受光素子6の中間点CXとは、長手方向DLの両端から等距離にありかつ短手方向の両端から等距離にある点として定義される。
ケース本体51は、前部53と、板状の上部54と、板状の下部55と、後部56と、側部57と、下部55と後部56との間をつなぐテーパ部58とを有する。
また、上部54は平坦に構成されることが好ましい。ここで平坦とは、側辺54aを含む平面Pよりも上に突出する突起のない構造を示す。例えば、この平坦には、平面構造、凹曲面構造、平面Pよりも低い部分が設けられている平面構造等が含まれる。この構造により、2個の変位センサ1の配列において、上部54の側辺54a同士を接触させるように両変位センサ1を配置することが可能となる。
カバー嵌合部59の底部59cには、投光素子2が出射する光をケース50外に出光させるための投光開口部59aと、検出物で反射した光をケース50内に入光させるための受光開口部59bとが設けられている。
側部57の内面には、ホルダ10を締結するための2個のねじ孔(以下、「第1ねじ孔57a」及び「第2ねじ孔57b」という。)が設けられている。第1ねじ孔57aは受光側に、第2ねじ孔57bは投光側に配置されている。
テーパ部58にはケーブル9(図2参照)が取り付けられる。すなわち、ケーブル9は、受光素子6側に配置されている。
内部構造体70は、光学部品が取り付けられたホルダ10と、回路基板7とを備える。
回路基板7は、投光素子2の駆動回路、表示装置60の制御回路、表示装置60に入力される設定情報を処理する処理回路、受光素子6の出力信号を処理する信号処理回路等を有する。
回路基板7と投光素子2とは、接続基板8を介して互いに接続される。
投光素子2は、投光素子アダプタ20に装着され、この投光素子アダプタ20を介してホルダ10に保持される。
投光レンズアダプタ30の側面には凹部31が設けられている。また、投光レンズアダプタ30の後部には、投光レンズ3が嵌るレンズ嵌合部32が設けられている。
ホルダ10は、基部11と、投光素子アダプタ20を保持する第1保持部12と、投光レンズアダプタ30を保持する第2保持部13と、環部14とを有する。
第2貫通孔11bは、基部11において環部14の外側に設けられている。
ホルダ10は、第1貫通孔11aを挿通しケース50の第1ねじ孔57aにねじ入れられるねじ、及び第2貫通孔11bを挿通しケース50の第2ねじ孔57bにねじ入れられるねじによって、ケース50に締結される。
第1保持部12は、投光素子アダプタ20を投光軸φa方向に移動可能に保持する。投光素子アダプタ20は、第1保持部12に取り付けられた状態で、投光軸φa方向にアライメントされて、この調整の完了後に接着剤で固定される。
前面カバー40は、投光開口部59aと受光開口部59bを覆う透明なカバー本体41と、投光開口部59aに対応して突出する凸部42とを有する。カバー本体41と凸部42とは透明樹脂により一体成形される。
図8(a)に、本実施形態に係る変位センサ1について、その光学部品の配置構造を示す。図8(b)に、比較に係る変位センサ100について、その光学部品の配置構造を示す。
次に、変位センサ1の共通構造について説明する。
検出物に対する変位センサ1の配置位置は様々な事情により制限される。例えば、工場ラインにおいて、工場配線または配管等の設置状態により、変位センサ1の設置位置が制限される。また、工場ラインのコンパクト化の要請等から変位センサ1の設置位置が制限される場合もある。また、外乱光や電磁波の影響等の考慮から、変位センサ1の設置位置が制限される場合もある。このような事情を考慮して、変位センサ1について、検出距離Lが異なる機種が用意されている。共通の構造を有して検出距離Lが異なる機種の全てを一つのグループ(以下、「製品群」という。)を構成する。
また、これらの製品群では、ホルダ10に光学部品を取り付けた後に、光学的特性の最適化のため、投光レンズ3においてアライメントを行っている。アライメントは、投光軸φa方向(アライメントの説明において「Z軸方向」という。)、投光軸φaに垂直なX軸方向、Y軸方向において行われる。なお、X軸とY軸とは互いに直交するものとする。
X軸方向及びY軸方向のアライメントはその位置調整幅が小さいためマイクロメータ等によって調整が可能であるが、Z軸方向のアライメントは位置調整幅が大きいためマイクロメータによる調整では作業時間が長くなる。このため、アライメント作業時間を短縮したいという要望がある。
このような課題を解決するため、上記変位センサ1は、フレキシブル基板を必要とせず、X軸及びY軸方向のアライメントについては投光レンズ3で行うこと、及びZ軸方向のアライメントについては投光レンズ3で行うことができる内部構造を有する。以下、このような内部構造を有する内部構造体70について説明する。
図9(a)は、変位センサ1の製品群のうちで検出距離Lが短い機種の平面図を示す。図9(b)は、変位センサ1の製品群のうちで検出距離Lが中間の長さを有する機種Bの平面図を示す。図9(c)は、変位センサ1の製品群のうちで検出距離Lが長い機種Cの平面図を示す。
第1保持部12は、図9(a)〜図9(c)に示すように機種のレンズ−素子間距離に応じて、基部11に対する位置が異なっている。
投光レンズ3を保持する投光レンズアダプタ30は、第2保持部13の2個の突起13a,13bにより挟むように保持されるため、X軸及びY軸方向(または傾き)で投光レンズ3の位置をアライメントすることができる。
変位センサ1の設定状態を変更する操作としてスイッチ63の「長押し操作」がある。
例えば、意図しない操作によって変位センサ1の設定内容が変更されることを抑制するため、変位センサ1に「ロックモード」機能を備えさせることがある。「ロックモード」は、通常のスイッチ操作(例えば、1秒以内の押し操作)によっても変位センサ1に設定されている設定内容が変更されないようにするモードである。上記に挙げた「長押し操作」は、このような「ロックモード」の設定操作に対して用いられる。
図10(a)は、変位センサ1が通常動作しているときの表示部161の画面を示す。
通常動作とは、変位センサ1において設定操作されていないときであって検出物の検出を実行しているときの動作を示す。このとき、表示部161の画面には、検出物の変位量等の情報(通常動作時の情報)が示される。この例では、左側の4桁7セグメント表示器161aによって第1情報が表示され、右側の4桁7セグメント表示器161bによって第2情報が表示されている。
図10(c)は、所定時間以上にわたってスイッチ63を押し続けたときの表示部161の画面を示す。この画面は、「長押し操作」によるモード設定が完了したことを示す。この画面により、作業者はモード設定が完了したことを認識することができる。
この画面により、作業者は変位センサ1が通常動作に復帰したことを認識することができる。
しかし、このような表示態様では、作業者は、「長押し操作」中に「長押し操作」が正しく実行されているか否かについて、この画面から認識することができない。
そこで、本実施形態に係る変位センサ1では、「長押し操作」中、表示部61の画面に、「長押し操作」に対応するモード、及びそのモードの設定状態を示す。
図11に、本実施形態に係る変位センサ1について、「長押し操作」による表示部61の表示変化態様を示す。
図11(a)は、変位センサ1が通常動作しているときの表示部61の画面を示す。
このとき、表示部61の画面には、左側の4桁7セグメント表示器61aによってモード情報が表示され、右側の4桁7セグメント表示器61bによってモード設定状態が表示される。また、モード情報は、3桁により示され、全ての桁が点滅状態となる。なお、図10(b)に示される「loc」は「ロックモード」を示し、「off」は「ロックモード」が設定されていないことを示す。
このときの表示部61の画面に示される情報は、「長押し操作」の開始時と同様である。ただし、モード情報の表示態様が変化する。モード情報の下1桁目のセグメントの点滅状態が解消される。すなわち、モード情報の上2桁目のセグメントが点滅する。これにより、表示部61は、設定完了までの時間が減少していることを表示する。
このとき、モード情報の下2桁目のセグメントの点滅状態が解消される。すなわち、モード情報の上1桁目のセグメントが点滅する。これにより、表示部61は、設定完了までの時間が更に減少していることを表示する。
このとき、表示部61の画面には、左側の4桁7セグメント表示器61aによってモード情報が表示され、右側の4桁7セグメント表示器61bによってモード設定状態が表示される。図11(e)に示す「on」は「ロックモード」が設定されたことを示す。また、このとき、モード情報を構成する全ての桁の点滅が解消されている。
この画面により、作業者は変位センサ1が通常動作に復帰したことを認識することができる。
この表示部61は、「長押し操作」のとき、通常動作時と異なる情報を示す。このため、作業者は、「長押し操作」を変位センサ1が受け付けていることをこの表示により認識することができる。
(1)上記実施形態では、反射板5は、受光レンズ4の受光軸φbに沿う光を投光素子2側かつ検出面1x側に向けて反射する。
この構成によれば、受光素子6の中間点CXが投光素子2よりも後方に位置するように受光素子6が配置されている変位センサに比べて、受光素子6が検出面1x側に配置される。このため、ケース50の奥行寸法が小さくなる。
この環部14は、一つの環を構成する周壁14wと、周壁14wに設けられて受光レンズ4を保持する受光レンズ保持部14aと、周壁14wに設けられて反射板5を保持する反射板保持部14bと、周壁14wに設けられて受光素子6を保持する受光素子保持部14cとを有する。
なお、実施態様は上記に示した態様に限られるものではなく、これを例えば以下に示すように変更して実施することもできる。
実施形態及び他の実施形態には、上記に示した技術思想のほか、以下に示す技術思想が含まれる。
検出物に向けて光を出射する投光素子2と、前記検出物で反射された光を反射及び集光する反射板と、前記反射板によって反射された光を受ける受光面6aを有し、前記受光面6aにおける光の位置に応じた信号を出力する受光素子6と、前記投光素子2、前記反射板、及び前記受光素子6を収容するものであり、前記投光素子2から出射する光を透過しかつ前記検出物で反射した光を透過する検出面1xを有するケースとを備え、前記反射板は、受光軸φbに沿う光を前記投光素子2側かつ前記検出面1x側に向けて反射する変位センサ。
Claims (5)
- 検出物に向けて光を出射する投光素子と、
前記検出物で反射された光を集光する受光レンズと、
前記受光レンズを通過した光を反射する反射板と、
前記反射板によって反射された光を受ける受光面を有し、前記受光面における光の位置に応じた信号を出力する受光素子と、
前記投光素子、前記受光レンズ、前記反射板及び前記受光素子を収容するものであり、前記投光素子から出射する光を透過しかつ前記検出物で反射した光を透過する検出面を有するケースとを備え、
前記反射板は、前記受光レンズの受光軸に沿う光を前記投光素子側かつ前記検出面側に向けて反射する
変位センサ。 - 請求項1に記載の変位センサにおいて、
前記受光素子は直方体の外形を有し、
前記受光素子は長手方向が当該変位センサの奥行き方向において前記検出面に対して傾くように配置されている
変位センサ。 - 請求項1または請求項2に記載の変位センサにおいて、
前記受光素子の中間点が前記投光素子よりも検出面側に位置する
変位センサ。 - 請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の変位センサにおいて、
前記受光レンズと前記反射板と前記受光素子とを保持するホルダを更に備え、
前記ホルダは、基部と、前記基部に設けられる環部を有し、前記ケースに固定され、
前記環部は、一つの環を構成する周壁と、この周壁に設けられて前記受光レンズを保持する受光レンズ保持部と、前記周壁に設けられて前記反射板を保持する反射板保持部と、前記周壁に設けられて前記受光素子を保持する受光素子保持部とを有する
変位センサ。 - 請求項4に記載の変位センサにおいて、
前記ホルダには、前記ケースに固定するための締結部材が挿通する複数個の貫通孔が設けられ、
複数個の前記貫通孔のうちの少なくとも一つの前記貫通孔が前記環部の内側に設けられている
変位センサ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (2)
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---|---|---|---|---|
DE102017105997A1 (de) * | 2017-03-21 | 2018-09-27 | Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh | Sendeeinrichtung für eine optische Erfassungseinrichtung eines Kraftfahrzeugs mit einem spezifischen Vormontagemodul, optische Erfassungseinrichtung sowie Kraftfahrzeug |
JP6991462B2 (ja) * | 2018-03-15 | 2022-01-12 | オムロン株式会社 | 小型光電センサ |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62176709U (ja) * | 1986-04-28 | 1987-11-10 | ||
JPH09127406A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-16 | Olympus Optical Co Ltd | 測距装置 |
JPH11311504A (ja) * | 1998-03-16 | 1999-11-09 | Cyberoptics Corp | デジタルレンジセンサ―システム |
JP2003004416A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-08 | Omron Corp | 光学式変位センサ |
JP2006170724A (ja) * | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Omron Corp | 光学式変位センサのセンサヘッド |
US20090147239A1 (en) * | 2005-09-02 | 2009-06-11 | Neptec | Apparatus and method for tracking an object |
JP2010048575A (ja) * | 2008-08-19 | 2010-03-04 | Sharp Corp | 光学式測距センサおよびそれを搭載した機器 |
JP2011128048A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Keyence Corp | 光学式変位センサのセンサヘッド及びそのセンサヘッドを備える光学式変位センサ |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0071667A1 (en) * | 1981-08-11 | 1983-02-16 | Karl-Erik Morander | Device for determining the real or the virtual distance of a source of light from a measuring plane |
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DE3803818A1 (de) * | 1988-02-09 | 1989-08-17 | Bochumer Eisen Heintzmann | Geraet zur beruehrungslosen optischen entfernungsmessung nach dem statischen triangulationsverfahren |
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2016
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62176709U (ja) * | 1986-04-28 | 1987-11-10 | ||
JPH09127406A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-16 | Olympus Optical Co Ltd | 測距装置 |
JPH11311504A (ja) * | 1998-03-16 | 1999-11-09 | Cyberoptics Corp | デジタルレンジセンサ―システム |
JP2003004416A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-08 | Omron Corp | 光学式変位センサ |
JP2006170724A (ja) * | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Omron Corp | 光学式変位センサのセンサヘッド |
US20090147239A1 (en) * | 2005-09-02 | 2009-06-11 | Neptec | Apparatus and method for tracking an object |
JP2010048575A (ja) * | 2008-08-19 | 2010-03-04 | Sharp Corp | 光学式測距センサおよびそれを搭載した機器 |
JP2011128048A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Keyence Corp | 光学式変位センサのセンサヘッド及びそのセンサヘッドを備える光学式変位センサ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111077510A (zh) * | 2019-12-16 | 2020-04-28 | 上海禾赛光电科技有限公司 | 一种激光雷达的接收端和激光雷达 |
CN111077510B (zh) * | 2019-12-16 | 2022-12-02 | 上海禾赛科技有限公司 | 一种激光雷达的接收端和激光雷达 |
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