JP2015117586A - 流量制御弁 - Google Patents

Abstract

【課題】 比較例１のＥＧＲ制御弁は、ＥＧＲガスの高流量域において、ポペットバルブのバルブリフト量の変化量に対して流量の変化量を精度良く制御したい場合、ＥＧＲガスの低流量域での流量を十分に確保することができないという課題があった。【解決手段】 ＥＧＲ制御弁は、外開き弁方式のポペットバルブを備え、ハウジング５の第１流路壁７５とバルブ本体１の外周との間に形成される円筒状の隙間流路７６の周方向の一部に、第１流路壁７５とバルブ本体１の外周との間の距離を狭くした流路絞り７７を設けている。また、バルブ本体１の中心軸線とインレットポート２１、流路孔２２、２４および弁孔２３の中心軸線とが、第１流路壁７５の円周方向の一部側にオフセット配置されている。これにより、ＥＧＲガスの低流量域では、比較例１のＥＧＲ制御弁と同じ流量を確保でき、且つＥＧＲガスの高流量域では、精度良く流量を制御することができる。【選択図】 図５

Description

本発明は、バルブシートよりも流体の流れ方向の上流側へ向かって弁体（バルブ本体）が外開き（リフト）して弁孔を開放する外開き弁方式のポペットバルブを備えた流量制御弁に関するもので、特に内燃機関の排気装置に使用される外開き弁方式のポペットバルブを備えた排気流量制御弁に係わる。

［従来の技術］
従来より、ディーゼルエンジン等の内燃機関（エンジン）においては、エンジンの気筒より排出される排出ガス（排気）中に含まれる窒素酸化物（ＮＯｘ）を低減する排気循環装置（ＥＧＲシステム）が搭載されている。
ＥＧＲシステムは、エンジンの気筒から排出される排気の一部をＥＧＲガスとして吸気管内の吸気通路へ再循環（還流）させ、エアクリーナを通過した吸入空気（新気）に混入させて燃焼温度を下げることによってＮＯｘの発生を抑制している。

ここで、ＥＧＲガスを吸気通路に還流させると、エンジンの気筒内での混合気の着火性が低下して、エンジン出力の低下を招くので、エンジンの気筒へ導入されるＥＧＲガスの流量をエンジンの運転状況に応じて調整する必要がある。
そこで、ＥＧＲシステムにおいては、排気管の分岐部と吸気管の合流部とを接続する排気流路管（ＥＧＲガスパイプ）の途中に外開き弁方式のＥＧＲガス流量制御弁（以下ＥＧＲ制御弁）を設置し、ＥＧＲ制御弁の弁体であるポペットバルブの開度を調整することで、エンジンの気筒へ導入されるＥＧＲガスの流量を制御している。

ＥＧＲシステムには、ＥＧＲガスパイプ内のＥＧＲガス流路を流れるＥＧＲガスの流量を可変制御する外開き弁方式のＥＧＲ制御弁が設置されている（例えば、特許文献１参照）。
このＥＧＲ制御弁は、モータシャフトおよびピニオンギアを有する電動モータと、ピニオンギアと噛み合って回転する中間ギアを有する中間シャフトと、中間ギアと噛み合って回転する出力ギアおよびエキセンを有するエキセンシャフトと、ポペットバルブと、バルブステムと、エキセンが噛み合っている連結リンクとを備えている。
そして、中間シャフトは、エキセンと連結リンクとが電動モータ近傍に配置されるように側方で、エキセンシャフト近傍に配置されている。

［従来の技術の不具合］
ところが、従来の外開き弁方式のＥＧＲ制御弁においては、出力ギアとエキセンとの間にハウジング壁が存在しておらず、エキセンシャフトをその回転方向に摺動可能に支持する軸受（ベアリング）を配置することが困難であった。これにより、エキセンシャフトが軸振れするため、中間ギアと出力ギアとの噛み合いが悪く、電動モータの動力が効率良くエキセンおよびポペットバルブに伝わらないという問題があった。
そこで、エキセンシャフトを支持する軸受の配置を容易とすることで、電動モータの動力を効率良くスコッチヨークおよびポペットバルブに伝達するという目的で、本発明者等が図１２ないし図１６に示したＥＧＲ制御弁（比較例１）を試作した（周知技術ではない）。

比較例１のＥＧＲ制御弁は、電動モータおよび減速機構を有する電動アクチュエータと、減速機構の出力軸である出力シャフト３９と一体回転可能に連結した出力レバー４１と、この出力レバー４１の先端（出力シャフト３９の回転中心から偏芯した位置）に取り付けられるフォロア４３と、このフォロア４３が係合するヨーク溝４７を有するスコッチヨーク３と、このスコッチヨーク３に連結するポペットバルブと、このポペットバルブのバルブ本体（弁体）１およびシャフト（弁軸）２を閉弁方向に付勢するリターンスプリング４と、バルブ本体１、バルブシャフト２、スコッチヨーク３、リターンスプリング４および電動アクチュエータを収容するハウジングとを備えている。

ハウジングには、バルブ本体１、バルブシャフト２、スコッチヨーク３およびリターンスプリング４等を移動可能に収容するバルブボディ１１が一体的に設けられている。このＥＧＲ制御弁では、バルブボディ１１の上流端で開口したインレットポート２１から流路孔２２を経由して弁孔２３に流れ込むように構成されている。また、弁孔２３から流路孔２４を経由して流路孔２５に流れ込むように構成されている。また、流路孔２５から、バルブボディ１１の下流端で開口したアウトレットポート２６を経由して吸気管側へ流出するように構成されている。
また、バルブボディ１１は、ＥＧＲガス流方向の上流側に位置する流路孔２２とＥＧＲガス流方向の下流側に位置する流路孔２４、２５とを区画する円環状の隔壁（仕切り部）１４に円環状のバルブシート１５を備えている。このバルブシート１５の内部には、流路孔２２と流路孔２４とを連通する弁孔（ＥＧＲ制御弁の弁孔）２３が形成されている。

ここで、ポペットバルブのバルブ本体１の外周には、バルブシート１５のシートエッジに着座可能な円錐台形状のバルブシール面（円錐面）７９が設けられている。また、バルブボディ１１には、バルブシャフト２をその軸線方向に往復摺動可能に支持するメタルベアリング２７の外周を保持するベアリングホルダ２８が一体的に形成されている。
ところで、比較例１のＥＧＲ制御弁は、図１２ないし図１４に示したように、バルブシャフト２の軸線方向の先端部が、軸受孔３１の開口から流路孔２４、２５内へ突出し、且つ流路孔２４、２５から弁孔２３を通り抜けて流路孔２２内へ突出するように構成されている。そして、バルブシャフト２の軸線方向の先端外周にバルブ本体１が固定されている。

すなわち、比較例１のＥＧＲ制御弁は、バルブ本体１がバルブシート１５に着座して閉弁（全閉）した状態から、電動モータを通電することによりスコッチヨーク３、バルブシャフト２を介して電動アクチュエータの動力（開弁力）がバルブ本体１に加わることにより、バルブ本体１およびバルブシャフト２が、インレットポート２１からＥＧＲガスが流れ込む流路孔２２側に外開き（リフト）して弁孔２３を開放する外開き弁方式のポペットバルブが採用されている（図１４（ａ）、（ｂ）参照）。
なお、図１４（ａ）は、ポペットバルブのバルブ本体１がバルブシート１５に着座して弁孔２３を閉鎖する閉弁（全閉）状態を示す。また、図１４（ｂ）は、ポペットバルブのバルブ本体１がバルブシート１５から所定のバルブリフト量分だけ流路孔２２側に向かって外開き（リフト）して弁孔２３を開放する開弁状態を示す。

そして、比較例１のＥＧＲ制御弁は、上記のような外開き弁方式のポペットバルブを採用しているので、バルブ本体１の中心軸線と流路孔２２の中心軸線とが同軸であり、バルブ本体１の外径面と流路孔２２の流路壁面との距離（隙間寸法）は、バルブ本体１の周方向全体（全周）において均一となっている。
したがって、比較例１のＥＧＲ制御弁は、バルブ本体１の中心と流路孔２２の中心とが同軸であるため、インレットポート２１から流路孔２２内に流入したＥＧＲガスは、バルブ本体１の周方向全体（全周）と流路孔２２の周囲を円周方向に取り囲む円筒状の流路壁（バルブボディ１１の内壁）との間に形成される円筒状の隙間流路７６を通って、バルブシャフト２の周方向全体（全周）と弁孔２３の周囲を円周方向に取り囲む円筒状の流路壁（バルブシート１５の内壁）との間に形成される円筒状の隙間流路８０へ向かって均等に逆円錐（漏斗）形状に流れ込む（図１４参照）。

ところで、ポペットバルブのバルブリフト量とＥＧＲガスの流量との関係（流量カーブ）は、図１５のグラフに示すようになる。
そして、ポペットバルブの高リフト域（高流量域）で、ＥＧＲガスの流量を細かく精度良く制御したい場合、すなわち、バルブリフト量の変化量（ΔＳｔ）に対してＥＧＲガスの流量の変化量（ΔＱ）を細かく制御したい場合、つまりΔＱ／ΔＳｔを小さくしたい場合には、例えばポペットバルブの全開時におけるＥＧＲガスの流量（全開流量）を図１５に示した実線の特性線から破線の特性線（Ａ）まで下げる方法が考えられる。

ところが、その場合、ポペットバルブの低リフト域（低流量域）における、ＥＧＲガスの流量を十分に確保することができないという問題が生じる。
また、ポペットバルブのバルブストローク（バルブリフト量）を、図１５に示した実線の特性線から破線の特性線（Ｂ）のように延長することも考えられる。
ところが、比較例１のＥＧＲ制御弁では、バルブストロークを伸ばすことは構造的に実現不可能である。あるいは大がかりな設計変更を伴うため、コストアップとなるという問題が生じる。

国際公開第２０１２／１２６８７６号

本発明の目的は、流体の低流量域では、比較例１と同じ流量を確保することができ、且つ流体の高流量域では、ポペットバルブのバルブストロークの変化量に対する流体の流量の変化量を減らすことができるので、ポペットバルブの高リフト域において、流体の流量を細かく精度良く制御することのできる流量制御弁を提供することにある。

請求項１に記載の発明（流量制御弁）によれば、ハウジングまたはポペットバルブに、弁体が第１流路側へ外開き（リフト）して弁孔を開放した際に、第１流路壁と弁体の外周との間に形成される筒状の隙間流路の周方向の一部に、第１流路壁と弁体の外周との間の距離を狭くした流路絞りを設けたことにより、外開き弁方式のポペットバルブの弁体とハウジングの第１流路壁との間の距離を隙間流路の周方向において一部狭くすることができる。すなわち、第１流路壁と弁体の外周との間に形成される筒状の隙間流路の周方向の一部に、第１流路壁と弁体の外周との間の距離を狭くした流路絞りを形成することができるため、隙間流路の周方向の他部よりも狭い流路絞りを通り抜ける流体の圧力損失が大きくなる。

そして、流体の低流量域では、流体の圧力損失が低いため、流量低下が少ないが、流体の流量が多くなると、流体の圧力損失が大きくなるため、ポペットバルブのストローク範囲が同一でも、ポペットバルブのストロークの変化量に対して流体の流量の変化量を減らすことができる。
これによって、ポペットバルブの低ストローク域および流体の低流量域では、比較例１と同じ流量を確保することができ、且つポペットバルブの高ストローク域および流体の高流量域では、ポペットバルブのバルブストロークの変化量に対する流体の流量の変化量を減らすことができるので、ポペットバルブの高ストローク域および流体の高流量域において、流体の流量を細かく精度良く制御することができる。

外開き弁方式のＥＧＲ制御弁の外観を示した正面図である（実施例１）。 図１のＩＩ−ＩＩ断面図である（実施例１）。 電動アクチュエータおよびポペットバルブを示した斜視図である（実施例１）。 電動アクチュエータおよびポペットバルブを示した斜視図である（実施例１）。 ポペットバルブのバルブストロークが７ｍｍ時の圧力分布図である（実施例１）。 ポペットバルブのバルブストロークとＥＧＲガスの流量との関係を示したグラフである（実施例１）。 外開き弁方式のＥＧＲ制御弁を示した断面図である（比較例２）。 外開き弁方式のＥＧＲ制御弁を示した断面図である（比較例３）。 外開き弁方式のＥＧＲ制御弁を示した断面図である（実施例１）。 （ａ）は外開き弁方式のＥＧＲ制御弁の外観を示した正面図で、（ｂ）は図１０（ａ）のＸ（ｂ）−Ｘ（ｂ）断面図で、（ｃ）は図１０（ａ）のＸ（ｃ）−Ｘ（ｃ）断面図である（実施例２）。 （ａ）は外開き弁方式のＥＧＲ制御弁の外観を示した正面図で、（ｂ）は図１１（ａ）のＸＩ（ｂ）−ＸＩ（ｂ）断面図で、（ｃ）は図１１（ａ）のＸＩ（ｃ）−ＸＩ（ｃ）断面図である（実施例３）。 外開き弁方式のＥＧＲ制御弁の外観を示した正面図である（比較例１）。 図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ断面図である（比較例１）。 （ａ）はバルブシートおよびポペットバルブの周辺構造を示した断面図で、（ｂ）はポペットバルブの周辺のＥＧＲガスの流れ方を示した説明図である（比較例１）。 ポペットバルブのバルブリフト量とＥＧＲガスの流量との関係を示したグラフである（比較例１）。 ポペットバルブのバルブストロークが７ｍｍ時の圧力分布図である（比較例１）。

以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。

［実施例１の構成］
図１ないし図９は、本発明を適用したＥＧＲシステムに使用されるＥＧＲ制御弁（実施例１）を示したものである。

本実施例の内燃機関の排気装置（排気システム）は、例えば自動車等の車両走行用の内燃機関（ディーゼルエンジン：以下エンジン）の排気管から吸気管へ排出ガス（排気）の一部であるＥＧＲガスを還流させる排気循環装置（ＥＧＲシステム）を備えている。
ＥＧＲシステムは、エキゾーストマニホールドまたは排気管内の排気通路からインテークマニホールドまたは吸気管内の吸気通路へＥＧＲガスを還流させるＥＧＲガスパイプを備えている。このＥＧＲガスパイプ内には、排気通路から吸気通路へＥＧＲガスを流入させるＥＧＲガス流路が形成されている。
ＥＧＲガスパイプには、ＥＧＲガス流路を流れるＥＧＲガスの流量を可変制御する外開き弁方式のＥＧＲ制御弁が設置されている。

ここで、ＥＧＲシステムは、エンジンの運転状況に基づいてＥＧＲ制御弁のポペットバルブ（ポペット型ＥＧＲバルブ）を開閉制御するＥＧＲバルブ制御装置（内燃機関のＥＧＲ制御装置）として使用される。このＥＧＲバルブ制御装置は、ポペットバルブの弁体（バルブヘッド）であるバルブ本体１およびポペットバルブの弁軸（バルブステム）であるバルブシャフト２を、そのバルブシャフト２の軸線方向（軸方向）に往復駆動する電動アクチュエータに組み込まれる電動モータ（直流モータ：以下モータ）Ｍを他のシステム（例えば吸気システム、過給圧制御システム等）と連動して制御するエンジン制御ユニット（電子制御装置：以下ＥＣＵ）を備えている。

ＥＧＲ制御弁は、ＥＧＲガス流路を流れるＥＧＲガスの流量を調量するポペットバルブと、このポペットバルブのバルブシャフト２をその往復方向に駆動する電動アクチュエータと、ポペットバルブ、電動アクチュエータ、断面コの字状（または断面矩形状）のスコッチヨーク３およびリターンスプリング４を収容（内蔵）するハウジング５とを備えている。
ここで、バルブ本体１、バルブシャフト２、スコッチヨーク３およびリターンスプリング４は、予め組み立てられてバルブサブアッセンブリの状態で、ハウジング５に組み付けられる。

ポペットバルブは、ハウジング５内のＥＧＲガス流路を開閉（開口面積を変更）する円環状のバルブ本体１、およびこのバルブ本体１を支持固定するバルブシャフト２を備えている。このバルブシャフト２の軸線方向の基端部には、スコッチヨーク３を介して、電動アクチュエータからモータＭの回転動力が伝達される入力部が設けられている。
スコッチヨーク３は、バルブシャフト２の入力部の外周（図２において図示上端外周）にバルブシャフト２と一体移動可能となるように圧入（連結）固定されている。あるいは例えばレーザー溶接等の結合手段を用いてバルブシャフト２と一体移動可能に連結固定されている。

ハウジング５は、ＥＧＲ制御弁のバルブ開度（バルブリフト量またはバルブストローク量）を検出する回転角度センサ（図示せず）を搭載するセンサカバー７との間に、電動アクチュエータを収容する凹部を備えている。このハウジング５には、ポペットバルブを収容するバルブボディ１１、モータＭを収容するモータケース１２、および減速機構を収容するギアケース１３等が一体的に設けられている。
これらのうちバルブボディ１１の隔壁１４の内周には、バルブ本体１が着座可能な円環状のバルブシート１５が圧入固定されている。

ここで、バルブ本体１は、ハウジング５のバルブシート１５に接離してＥＧＲガス流路（インレットポート２１→流路孔２２〜２５→アウトレットポート２６）を閉鎖、開放するバルブヘッド（弁体）である。
バルブシャフト２は、出力部材の回転変位に連動してポペットバルブの中心軸線方向に往復移動するバルブステム（弁軸）である。このバルブシャフト２の軸線方向の基端部には、スコッチヨーク３から電動アクチュエータの動力を受ける入力部が設けられている。

また、バルブシャフト２の軸線方向の先端部には、ポペットバルブへ電動アクチュエータの動力を出力する出力部が設けられている。
また、バルブシャフト２の軸線方向の中間部分は、メタルベアリング２７を介して、ハウジング５のベアリングホルダ２８に摺動自在に支持されている。また、バルブシャフト２の中間部分の外周には、バルブシャフト２とメタルベアリング２７との摺動部を潤滑する潤滑グリースや潤滑オイル油の流出を防止するためのオイルシール２９が装着されている。

ところで、ポペットバルブは、燃焼残滓やカーボン等の排気微粒子（ＰＭ）が含まれているＥＧＲガスが流れるバルブボディ１１の内部に開閉自在に収容されている。このため、エンジンの運転中に、ＥＧＲガス中に含まれるＰＭが、バルブ本体１の表面、バルブシャフト２の外周面、バルブボディ１１の流路壁面に付着し堆積してデポジットを形成する可能性がある。
そこで、本実施例のＥＧＲ制御弁は、ハウジング５のベアリングホルダ２８内に形成される軸受孔３１内に保持されて、軸受孔３１の開口３２から流路孔２５内に突出するように配置される異物除去パイプ３３を備えることで、ＥＧＲガス中に含まれるＰＭにより形成されるデポジット（異物）が、ハウジング５のベアリングホルダ２８内に形成される軸受孔３１内へ侵入するのを抑制するように構成されている。

電動アクチュエータは、回転軸であるモータ軸（以下モータシャフト）３４を有するモータＭと、このモータＭのモータシャフト３４の回転を２段減速する減速機構と、この減速機構とスコッチヨーク３とを駆動連結する変換機構（リンク機構）と、減速機構および変換機構の一部を含んで構成されて、モータＭの回転動力をヨーク側に出力する出力部材と、この出力部材の回転角度を検出する回転角度検出装置とを備えている。
モータＭは、その回転軸方向に延びるモータシャフト３４を有するインナロータ（電機子）と、この電機子の周囲を円周方向に取り囲む筒状のステータと、このステータに対して固定されたブラシホルダに収容保持された一対の給電ブラシ（第１、第２ブラシ）とを備えている。

モータＭのステータは、電機子のモータシャフト３４を回転可能に収容するモータケース（モータヨーク等）、およびこのモータヨークの内周面において円周方向に等間隔で接着剤等により固着された複数の界磁マグネット等を有している。
モータＭの電機子は、モータシャフト３４と一体回転可能に連結した電機子鉄心（電機子コア）、この電機子コアに巻装される電機子巻線（電機子コイル）、および一対の第１、第２ブラシに押圧接触される整流子（コンミテータ）等を有している。

減速機構は、モータＭのモータシャフト３４の先端外周に固定されたピニオンギア（入力ギア、モータギア）３５、このピニオンギア３５と噛み合って回転する中間ギア３６、およびこの中間ギア３６と噛み合って回転する出力ギア（バルブギア）３７、モータシャフト３４と並列配置された中間シャフト３８、モータシャフト３４と中間シャフト３８に並列配置された出力シャフト３９等によって構成されている。
出力部材は、モータＭの回転動力をバルブシャフト２を介してバルブ本体１に伝えるものである。この出力部材は、モータＭの回転動力を受けて回転する出力ギア３７と、この出力ギア３７の回転中心軸上に設置されて、出力ギア３７と一体回転可能に連結した出力シャフト３９とを備えている。
これらの出力ギア３７および出力シャフト３９は、減速機構の一部を構成し、また、出力シャフト３９は、減速機構の出力軸を構成している。

出力部材は、出力シャフト３９と一体回転可能に連結した出力レバー４１と、この出力レバー４１の突出端部に保持される偏芯ピン（以下ピボットピン）４２と、このピボットピン４２の外周に回転自在に支持されるボールベアリング（以下フォロア）４３とを備えている。これらの出力レバー４１、ピボットピン４２およびフォロア４３は、変換機構の一部を構成している。
また、出力部材は、出力シャフト３９をその回転方向に摺動可能に支持する２連ボールベアリング４５と、これらの２連ボールベアリング４５の外周に圧入固定される円筒カラー４６とを備えている。

出力部材を構成する出力ギア３７、出力シャフト３９、出力レバー４１、ピボットピン４２、フォロア４３、２連ボールベアリング４５および円筒カラー４６は、予め組み立てられて出力ギアサブアッセンブリの状態で、ハウジング５に組み付けられる。このとき、ピボットピン４２およびフォロア４３は、スコッチヨーク３のヨーク溝４７内に組み込まれる。
ここで、変換機構は、スコッチヨーク３、出力レバー４１、ピボットピン４２およびフォロア４３等を有している。

ＥＧＲ制御弁は、バルブシャフト２に対して、ポペットバルブを閉じる側（バルブ全閉側）に付勢するリターンスプリング４を備えている。このリターンスプリング４は、バルブシャフト２に対して、ポペットバルブを閉弁（全閉）方向に付勢する弾性力を発生するコイル状のコンプレッションスプリングである。
リターンスプリング４は、バルブシャフト２の図示上端側の周囲、およびベアリングホルダ２８の周囲を渦巻き状（螺旋状）に取り囲むように設置されている。このリターンスプリング４は、バルブシャフト２の上端側の段差（円環状の段差）に係止される円環状のスプリングシート４８のスプリング座部とハウジング５の底部（ベアリングホルダ２８の外周側の円筒凹溝４９の底部）のスプリング座部との間に渦巻き状に巻装されたコイル部を有している。なお、ベアリングホルダ２８の外周部は、リターンスプリング４のコイル内径をガイド（保持）するスプリング内周ガイドとしての機能を有している。

ハウジング５には、ポペットバルブ（バルブ本体１、バルブシャフト２）、スコッチヨーク３およびリターンスプリング４等を移動可能に収容するバルブボディ１１が一体的に形成されている。
バルブボディ１１の上流側端面には、排気管の分岐部またはＥＧＲガスパイプの結合フランジの結合端面に複数のスクリューを用いて螺子締結により結合される鍔状の結合フランジ５１が設けられている。この結合フランジ５１には、例えば締結ボルト等のスクリューが貫通する挿通孔が形成されている。この挿通孔の内部には、スクリューが挿通可能な補強用の金属カラーが嵌め込まれている。

また、バルブボディ１１の下流側端面には、吸気管の合流部またはＥＧＲガスパイプの結合フランジの結合端面に複数のスクリューを用いて螺子締結により結合される鍔状の結合フランジ（図示せず）が設けられている。この結合フランジには、例えば締結ボルト等のスクリューが貫通する挿通孔が形成されている。この挿通孔の内部には、スクリューが挿通可能な補強用の金属カラーが嵌め込まれている。
これらの結合フランジ５１は、排気管の分岐部または吸気管の合流部等のエンジン側（車両側）の固定部材に取り付けられる結合端面を有している。これにより、ＥＧＲ制御弁がエンジン側（車両側）の固定部材に固定される。

ハウジング５には、モータＭを収容保持する有底円筒状のモータケース１２が一体的に形成されている。このモータケース１２は、モータＭを収容するモータ収容室、モータＭのモータヨークの周囲を円周方向に取り囲む円筒状の側壁部、およびこの側壁部の一端側で開口し、組み付け時にモータＭをモータ収容室内に挿入するための開口部（モータ挿入口）を有している。このモータ挿入口は、モータＭのフロントブラケット５２により塞がれている。このフロントブラケット５２は、モータケース１２のモータ挿入口の開口周縁にスクリュー等を用いて締結固定されている。これにより、モータＭがモータ収容室内に収容保持される。

ハウジング５には、減速機構を収容するギアケース１３が形成されている。このギアケース１３には、電動アクチュエータを収容するギア収容室、電動アクチュエータの周囲を取り囲む筒状の側壁部、この側壁部の一端側が開口し、組み付け時に電動アクチュエータをギア収容室内に挿入するための開口部、および側壁部の開口周縁の外周側に突出するように設けられて、合成樹脂製のセンサカバー７に螺子締結される鍔状の結合フランジ（第１結合部）５３を備えている。ギアケース１３の開口部は、合成樹脂製のセンサカバー７により塞がれている。

センサカバー７は、ギアケース１３の結合フランジ５３の結合端面に複数のスクリューを用いて螺子締結により結合される鍔状の結合フランジ（第２結合部）５４が設けられている。このセンサカバー７には、モータＭのフロントブラケット５２より突出する一対の第１、第２ブラシターミナル５５と一対の第１、第２モータターミナル（図示せず）との電気接続を行う内部接続用コネクタと、一対の第１、第２モータターミナルおよび回転角度センサの複数のセンサターミナルと外部回路（ＥＣＵやバッテリ）との電気接続を行う外部接続用コネクタが設けられている。

ギアケース１３には、２連ボールベアリング４５および円筒カラー４６の外環部を保持するベアリングホルダ（図示せず）が一体的に形成されている。このベアリングホルダは、２連ボールベアリング４５および円筒カラー４６の周囲を円周方向に取り囲むように配置されている。
ベアリングホルダは、円筒カラー４６の外環部を保持する円筒状の第１軸受ホルダである。このベアリングホルダの内部には、出力シャフト３９が回転可能に嵌挿される軸受孔（図示せず）が設けられている。この軸受孔は、円筒カラー４６の外環部が圧入固定される圧入孔を有している。

２連ボールベアリング４５は、ベアリングホルダの軸受収容孔内に収容されて、出力部材の出力シャフト３９をその回転方向に摺動可能に支持する第１軸受（ころがり軸受）である。
２連ボールベアリング４５は、出力シャフト３９の中間軸部の外周に圧入固定される内輪、円筒カラー４６の内周に圧入固定される外輪、および内輪と外輪との２つの軌道輪の間に滑動自在に収容される複数の鋼球を備えている。また、２連ボールベアリング４５は、２つの軌道輪の間で、且つ鋼球よりも回転軸方向の両端側にそれぞれ装着された２つのリップシール（シール材）、および複数の鋼球の脱落を防止するための２つのリテーナを備えている。

本実施例の円筒カラー４６は、金属または合成樹脂によって一体的に形成されている。この円筒カラー４６は、２連ボールベアリング４５の各外輪の外周とギアケース１３のベアリングホルダの内周との間に圧入固定される。
円筒カラー４６は、２連ボールベアリング４５の各外輪の外周とギアケース１３のベアリングホルダの内周との間に圧入されている。
円筒カラー４６の内部には、出力シャフト３９の周囲を円周方向に取り囲む軸受孔が形成されている。円筒カラー４６の内周には、ベアリングホルダの軸受孔と同一軸芯上に形成された２つの第１、第２圧入孔を有している。これらの第１、第２圧入孔には、２連ボールベアリング４５の外環部である各外輪が圧入固定される。

電動アクチュエータは、電力の供給を受けるとポペットバルブを往復駆動する回転動力（トルク）を発生するモータＭと、このモータＭのモータシャフト３４の回転を２段減速して出力シャフト３９に伝達する減速機構と、この減速機構の出力ギア３７の回転往復（回動）運動をポペットバルブの直線往復運動（ポペットバルブの軸線方向の往復運動）に変換する変換機構と、出力シャフト３９の回転角度を検出する回転角度検出装置とを備えている。

ここで、電動アクチュエータの動力源であるモータＭは、ＥＣＵによって電子制御されるモータ駆動回路を介して、外部電源（バッテリ）に電気的に接続されている。
ＥＣＵには、ＣＰＵ、メモリ（ＲＯＭ、ＲＡＭおよびＥＥＰＲＯＭ等）、入力回路（入力部）、出力回路（出力部）、電源回路、タイマー回路等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。
ＥＣＵは、イグニッションスイッチがオン（ＩＧ・ＯＮ）されると、マイクロコンピュータのメモリに格納された制御プログラムに基づいて、ＥＧＲ制御弁のモータＭを通電制御するように構成されている。

そして、センサカバー７のセンサ搭載部に設置された回転角度センサからのセンサ出力信号（アナログ電圧信号）や、各種センサからのセンサ出力信号（電気信号）は、Ａ／Ｄ変換回路によってＡ／Ｄ変換された後に、マイクロコンピュータに入力されるように構成されている。
ここで、マイクロコンピュータの入力部には、回転角度センサだけでなく、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、吸気温センサ、水温センサおよび空燃比センサや酸素濃度センサ等の排出ガス（排気）センサ等が接続されている。

回転角度検出装置は、出力ギア３７の円筒ボス５６に一体回転可能に設けられた円筒状の磁気回路部と、この磁気回路部の回転角度を測定してＥＧＲ制御弁のバルブ開度を検出する回転角度センサ（図示せず）とを備え、磁気回路部と回転角度センサとの相対回転角度の変化を回転角度センサに磁気回路部から与えられる磁気変化によって検出する。

磁気回路部は、円筒ボス５６の直径方向に２分割された一対の部分円筒状ヨーク５７と、このヨーク５７の分割部（対向部）に同一方向に磁極が向いて配置された一対のマグネット（永久磁石）５８とを備え、円筒ボス５６の内周に接着剤等により固定されている。なお、円筒ボス５６が合成樹脂の場合には、磁気回路部が円筒ボス５６にインサート成形されていても構わない。
回転角度センサは、半導体ホール素子の感磁面を鎖交する磁束密度に対応したセンサ出力信号（アナログ電圧信号）をＥＣＵへ向けて出力するホールＩＣを主体として構成されている。なお、ホールＩＣの代わりに、ホール素子単体、磁気抵抗素子等の非接触式の磁気検出素子を使用しても良い。

減速機構は、上述したように、ピニオンギア３５、中間ギア３６、出力ギア３７、中間シャフト３８および出力シャフト３９を備えている。
また、３つの減速ギアは、ギアケース１３の凹部とセンサカバー７の凹部との間に形成される内部空間であるギア収容室内に回転自在に収容されている。
ピニオンギア３５は、モータシャフト３４の先端外周に圧入嵌合等により固定される円筒部を有している。この円筒部の外周には、中間ギア３６と噛み合うピニオンギア歯６１が形成されている。

中間ギア３６は、中間シャフト３８の外周に相対回転可能に嵌め合わされている。この中間ギア３６は、中間シャフト３８の外周に回転自在に嵌め合わされて、中間シャフト３８の中心軸線周りに回転する円筒部を有している。この円筒部の軸線方向の一端部には、ピニオンギア歯６１と噛み合う大径ギア（中間ギア歯）６２が形成されている。また、円筒部の軸線方向の他端部には、出力ギア３７と噛み合う小径ギア（中間ギア歯）６３が形成されている。

出力ギア３７の内周部には、円筒状の円筒ボス５６が一体的に形成されている。また、出力ギア３７は、円筒ボス５６よりも半径方向の外側に部分円筒状（扇状）の歯形成部６４を有している。この歯形成部６４の外周には、中間ギア歯６３と噛み合う出力ギア歯６５が所定の角度分だけ扇状に形成されている。
出力ギア３７には、円筒ボス５６の一端側（バルブ側）の開口部を塞ぐようにシャフト結合部６６が一体的に設けられている。このシャフト結合部６６の中央部には、２面幅（出力シャフト３９の空回りを防ぐ構造、回り止め構造）を有する嵌合部６７が貫通形成されている。この嵌合部６７には、出力シャフト３９の入力部（出力シャフト３９の第１突出軸部）が回り止めされた状態で嵌合固定されている。

中間シャフト３８は、金属または合成樹脂によって一体的に形成されている。この中間シャフト３８の軸線方向の一端は、ハウジング５のギアケース１３の嵌合凹部に圧入嵌合（固定）されている。また、中間シャフト３８の軸線方向の他端は、センサカバー７の嵌合凹部に嵌め込まれている。
出力シャフト３９は、円筒カラー４６および２連ボールベアリング４５を介して、ハウジング５のギアケース１３のベアリングホルダの内部に回転自在または摺動自在に収容されている。

出力シャフト３９は、その回転軸方向の両側に第１、第２突出軸部（径小軸部）をそれぞれ備えている。また、第１、第２突出軸部間には、ギアケース１３のベアリングホルダの軸受収容孔内に配置される中間軸部（軸方向部、第１、第２突出軸部よりも外径が大きい径大軸部）が設けられている。
第１突出軸部は、出力シャフト３９の軸線方向（回転軸方向）の基端側（入力部）に設けられて、２面幅を有している。なお、第１突出軸部が、四角形状の断面を有しても良い。
第２突出軸部は、出力シャフト３９の軸線方向（回転軸方向）の先端側（出力部）に設けられて、円形の断面を有している。なお、第２突出軸部に２面幅を設けても良い。
出力シャフト３９の中間軸部の外周には、２連ボールベアリング４５の各内輪が圧入嵌合によって嵌合保持されている。

変換機構は、上述したように、スコッチヨーク３、出力レバー４１、ピボットピン４２およびフォロア４３等を有している。
スコッチヨーク３は、フォロア４３を介してピボットピン４２からモータＭの回転動力を受けてバルブシャフト２の軸線方向に往復移動する。このスコッチヨーク３は、バルブシャフト２と一体移動可能に連結している。

スコッチヨーク３は、フォロア４３を介して出力部材の動力を受ける断面コの字状の入力部、およびバルブシャフト２へ出力部材の動力を伝える出力部を有している。
スコッチヨーク３の入力部は、組み付け時にピボットピン４２およびフォロア４３が挿入される挿入方向に対向する２面の他に、少なくとも４面の第１〜第４側面を有する多面体形状（断面コの字状または断面角環状）を呈している。
なお、スコッチヨーク３の入力部をフォロア４３の周囲を円周方向に取り囲むように断面円環状に形成しても良い。

ヨーク溝４７は、スコッチヨーク３に対する出力部材、特にフォロア４３の組み付け時に、出力部材を直線移動させながらヨーク溝４７内にフォロア４３を挿入するための開口部７１を有している。この開口部７１は、バルブシャフト２の軸線方向に対して直交する垂直方向、特に組み付け時にピボットピン４２およびフォロア４３が挿入される挿入方向に対して反対方向に向かって開放されている。
スコッチヨーク３の出力部には、有底円（または角）筒状の嵌合部７２が一体的に設けられている。この嵌合部７２の内部には、バルブシャフト２の軸線方向の基端部（入力部）が圧入嵌合される圧入溝７３が形成されている。

出力レバー４１は、出力シャフト３９の半径方向外側に突出するように設けられている。この出力レバー４１は、出力シャフト３９とピボットピン４２およびフォロア４３とを駆動連結して、モータＭの回転動力をピボットピン４２とフォロア４３に伝達するリンクレバーである。
また、出力レバー４１の基端部には、出力シャフト３９の第２突出軸部がその軸線方向に貫通するように圧入嵌合する第１嵌合孔がそれぞれ設けられている。これにより、出力レバー４１が出力シャフト３９と一体回転可能に連結される。

出力レバー４１の先端部には、ピボットピン４２がその軸線方向に貫通するように圧入嵌合する第２嵌合孔がそれぞれ設けられている。これにより、ピボットピン４２が出力レバー４１と一体回転可能に連結される。第２嵌合孔は、出力シャフト３９の第２突出軸部の回転中心軸から所定の距離だけ偏芯した位置に設けられている。
ピボットピン４２は、出力レバー４１の第２嵌合孔に打ち込まれて出力レバー４１の出力部に圧入固定されている。このピボットピン４２は、フォロア４３を回転自在に支持している。このピボットピン４２は、フォロア４３と共に、スコッチヨーク３のヨーク溝４７内に挿入される。

フォロア４３は、ピボットピン４２の外周に圧入固定される内輪、スコッチヨーク３のヨーク溝４７の溝側面に摺動接触する外輪、および内輪と外輪との２つの軌道輪の間に滑動自在に収容される複数の鋼球を備えたボールベアリングである。
フォロア４３は、ピボットピン４２の外周に回転自在に支持されて、スコッチヨーク３のヨーク溝４７内に摺動（転動）可能に挿入されている。このフォロア４３は、出力シャフト３９の第２突出軸部の回転中心軸から所定の距離だけ偏芯した位置に設けられている。また、フォロア４３は、出力レバー４１およびピボットピン４２を介して、出力シャフト３９と一体回転可能に連結されている。

次に、本実施例のハウジング５のバルブボディ１１およびバルブシート１５の詳細を図１ないし図５に基づいて簡単に説明する。
バルブボディ１１の内部には、ＥＧＲガス流路の一部を構成するインレットポート２１→流路孔２２〜２５→アウトレットポート２６が形成されている。このバルブボディ１１には、ＥＧＲガス流路を、バルブシート１５よりも排気の流れ方向の上流側に位置する第１流路（以下インレットポート２１および流路孔２２）と、バルブシート１５よりも排気の流れ方向の下流側に位置する第２流路（以下流路孔２４、２５およびアウトレットポート２６）とに区画する円環状（円筒状）の隔壁（仕切り部）１４が形成されている。
ここで、弁孔２３は、バルブシート１５の中央部を貫通するように設けられて、第１流路（以下流路孔２２）と第２流路（以下流路孔２４）とを連通するＥＧＲ制御弁の弁孔（連通孔）である。

第１流路、つまりインレットポート２１および流路孔２２は、インレットポート２１から弁孔２３へ向かってインレットポート２１および流路孔２２の中心を通る、インレットポート２１および流路孔２２の中心軸線が真っ直ぐに延びる直線流路である。
インレットポート２１は、ハウジング５のバルブボディ１１の上流側端面で開口し、排気管内の排気通路から排気の一部であるＥＧＲガスを取り込むための流路入口を構成している。
流路孔２２は、バルブシート１５よりも排気の流れ方向の上流側に設けられて、インレットポート２１からバルブ本体１の周囲を通って弁孔２３へＥＧＲガスが流れ込む入口側ＥＧＲガス流路（入口側流路）のことである。
インレットポート２１は、弁孔２３の孔径よりも大きい開口径（流路径）を有している。なお、バルブ本体１は、インレットポート２１の開口径（流路径）よりも小さく、且つ弁孔２３の孔径よりも大きい外径を有している。

第２流路、つまり流路孔２４、２５およびアウトレットポート２６は、弁孔２３からアウトレットポート２６へ向かって流路孔２４、２５およびアウトレットポート２６の中心を通る、流路孔２４、２５およびアウトレットポート２６の中心軸線（ＥＧＲガスの流れ方向）が略直角に変化する曲がり流路である。
流路孔２４、２５は、バルブシート１５よりも排気の流れ方向の下流側に設けられて、弁孔２３から流れ込んだＥＧＲガスをアウトレットポート２６へ導く出口側ＥＧＲガス流路（出口側流路）である。
アウトレットポート２６は、ハウジング５のバルブボディ１１の下流側端面で開口し、吸気管内の吸気通路へＥＧＲガスを排出させるための流路出口を構成している。このアウトレットポート２６は、弁孔２３の孔径よりも大きい開口径（流路径）を有している。なお、バルブ本体１は、アウトレットポート２６の開口径（流路径）よりも小さく、且つ弁孔２３の孔径よりも大きい外径を有している。

バルブボディ１１の隔壁１４の内周部分には、バルブシート１５の周囲を円周方向に取り囲むように円環状の周方向溝７４が形成されている（図１４参照）。この周方向溝７４の底面（周壁）には、断面矩形状のバルブシート１５の外周が圧入固定されている。このバルブシート１５のシートエッジには、ポペットバルブが着座可能な円環状の弁座が設けられている。また、バルブシート１５の内部には、インレットポート２１、流路孔２２と流路孔２４、２５、アウトレットポート２６とを連通し、且つＥＧＲガスが通り抜ける弁孔２３が形成されている。
バルブボディ１１には、メタルベアリング２７の外周を保持する円筒状のベアリングホルダ２８が一体的に形成されている。このベアリングホルダ２８は、メタルベアリング２７の周囲を円周方向に取り囲むように配置されている。

ところで、バルブボディ１１は、バルブ本体１の外周および流路孔２２の周囲を円周方向に取り囲む円筒状の第１流路壁７５を備えている。この第１流路壁７５は、バルブシート１５よりも排気の流れ方向の上流側に設けられている。
また、バルブボディ１１には、ポペットバルブのバルブ本体１がバルブシート１５から離脱することで流路孔２２側へ外開き（リフト）して弁孔２３を開放した際に、第１流路壁７５とバルブ本体１の外周（後述するバルブシール面）との合いに形成される円筒状の隙間流路７６の円周方向の一部に、第１流路壁７５とバルブ本体１のバルブシール面との間の距離を狭くした流路絞り７７が設けられている。
また、バルブボディ１１は、流路孔２４、２５の周囲を円周方向に取り囲む円筒状の第２流路壁７８を備えている。この第２流路壁７８は、バルブシート１５よりも排気の流れ方向の下流側に設けられている。

メタルベアリング２７は、焼結材で形成され、内部に多数の気孔を有し、その内部気孔に潤滑油が含浸された円筒状の焼結含油軸受（第２軸受、円筒滑り軸受、メタルブッシュ）であって、その摺動孔の孔壁面（内径面）に多数の内部気孔の開口（表面気孔）が形成されている。
このメタルベアリング２７は、その摺動孔内に嵌挿されるバルブシャフト２の往方向（開弁方向）または復方向（閉弁方向）の直線運動による負圧によって、その内部気孔に浸透している潤滑油がバルブシャフト２との摺動面（内径面）の開口から滲み出すことで、メタルベアリング２７の内径面とバルブシャフト２の外径面との摺動部分の油膜を形成し、この油膜によってバルブシャフト２が往復移動可能に支持される。

メタルベアリング２７は、バルブシャフト２をその移動方向に摺動可能に支持している。このメタルベアリング２７の内部には、バルブシャフト２の外周面をその移動方向に摺動可能に支持する摺動孔が貫通形成されている。また、バルブシャフト２の外周面とメタルベアリング２７の内周面との間には、バルブシャフト２の円滑な往復移動のための摺動クリアランスが設けられている。
メタルベアリング２７は、ベアリングホルダ２８の軸受圧入孔の壁面に圧入固定される円筒状の外環部を有している。この外環部の外周部分は、ベアリングホルダ２８の軸受圧入孔に気密的に圧入固定される圧入固定部として使用される。また、外環部は、ベアリングホルダ２８の第１段差に当接することによってメタルベアリング２７の圧入固定位置が規制される。

ベアリングホルダ２８は、メタルベアリング２７の外環部を保持する円筒状の第２軸受ホルダである。このベアリングホルダ２８の内部には、流路孔２５の流路壁面（第１流路壁７５）で開口し、この開口側から奥側までバルブシャフト２の軸線方向に真っ直ぐに延びる軸受孔３１が形成されている。
この軸受孔３１の内部には、バルブシャフト２がその軸線方向に往復移動可能に嵌挿されている。また、軸受孔３１の軸線方向の一端側（流路孔側、開口側）には、第１流路壁７５で開口した開口（第１ポート）３２が形成されている。また、軸受孔３１の軸線方向の他端側（流路孔側に対して反対側、奥側）には、ギア収容室の壁面で開口した開口（第２ポート）が形成されている。

ベアリングホルダ２８は、メタルベアリング２７の周囲を円周方向に取り囲むように円筒状の形成されている。このベアリングホルダ２８には、メタルベアリング２７の圧入固定位置を規制する第１規制部としての機能を有する円環状の第１段差、およびオイルシール２９の圧入固定位置を規制する第２規制部としての機能を有する円環状の第２段差が設けられている。
なお、軸受孔３１には、メタルベアリング２７の外環部を圧入嵌合する軸受圧入孔、オイルシール２９の外環部を圧入嵌合するシール圧入孔、および異物除去パイプ３３の外周を保持する円筒状の収容孔が設けられている。

次に、本実施例のＥＧＲ制御弁に使用されるポペットバルブ（バルブ本体１、バルブシャフト２）の詳細を図１ないし図９に基づいて簡単に説明する。
本実施例のＥＧＲ制御弁は、バルブ本体１がバルブシート１５の弁座（シートエッジ）に着座して弁孔である弁孔２３を閉鎖した全閉（閉弁）状態から、モータＭを通電することによりスコッチヨーク３、バルブシャフト２を介して電動アクチュエータの動力（開弁力）がバルブ本体１に加わることによって、ポペットバルブ（バルブ本体１、バルブシャフト２）が、インレットポート２１からＥＧＲガスが流れ込む入口側流路である流路孔２２側、つまりＥＧＲガス（排気）の流れ方向の上流側へ向かって所定のバルブリフト量分だけ外開き（リフト）して弁孔２３を開放する外開き弁方式のポペットバルブを採用している。

ポペットバルブは、上述したように、バルブシート１５のシートエッジに接離して弁孔２３を閉鎖、開放するバルブ本体１、およびハウジング５の軸受孔３１の奥側に位置する基端側から流路孔２２〜２５内へ突出する先端側へ向かって軸線方向に真っ直ぐに延びるバルブシャフト２を備えている。
バルブ本体１の中央部には、バルブシャフト２の軸線方向の先端外周に嵌合する嵌合孔が一体的に設けられている。この嵌合孔は、バルブ本体１の中央部をその板厚方向に貫通形成されている。
バルブ本体１の外周部（背面側または外径面側）には、バルブシート１５のシートエッジに着座可能な円錐状のバルブシール面（バルブフェース）７９が一体的に設けられている。このバルブシール面７９は、インレットポート２１、流路孔２２〜２５、アウトレットポート２６を流れる排気の流れ方向の上流側から下流側へ向かって外径が徐々に減少するように所定の傾斜角度分だけ傾斜した傾斜面（円錐面）である。

バルブシャフト２は、バルブ本体１およびスコッチヨーク３と一体移動可能に連結されて、スコッチヨーク側（基端側）からＥＧＲバルブ側（先端側）へ向かってポペットバルブの中心軸線方向に真っ直ぐに延伸されている。このバルブシャフト２は、ハウジング５のバルブボディ１１の内部に往復移動方向に摺動可能に収容されている。
また、バルブシャフト２の基端側の外周には、スコッチヨーク３を含む変換機構が一体移動可能に結合されている。また、バルブシャフト２の先端側の外周には、バルブ本体１が一体移動可能に結合されている。
また、バルブシャフト２は、モータシャフト３４、中間シャフト３８および出力シャフト３９に対して垂直な直交方向に延びるように設置されている。
なお、バルブ本体１とバルブシャフト２とを一体部品で構成したポペットバルブを使用しても良い。

バルブシャフト２は、その軸線方向の両側に第１、第２突出軸部８１、８２をそれぞれ備えている。
第１、第２突出軸部８１、８２間には、バルブボディ１１のベアリングホルダ２８の軸受孔３１内に配置される中間軸部８３が設けられている。
バルブシャフト２の軸線方向の先端部（出力部）、つまり第１突出軸部８１は、バルブシャフト２の軸線方向の一端側（先端側）に設けられて、軸受孔３１の開口３２から流路孔２４、２５内へ突出し、且つ流路孔２４、２５から弁孔２３を通り抜けて流路孔２２内へ突出するように構成されている。

第１突出軸部８１は、中間軸部８３と略同一の外径を有する径大軸部８４、この径大軸部８４よりも軸線方向の先端側に設けられて、バルブ本体１と一体移動可能に連結する結合軸部８５を有している。
径大軸部８４は、断面円形状を呈する。この径大軸部８４の外径面には、異物除去パイプ３３が摺接する摺接面が形成されている。また、径大軸部８４の先端側、つまりバルブシャフト２の出力部の外周（先端外周）には、例えばレーザー溶接等の接合手段を用いて環状のバルブ本体１を溶接により結合固定する結合軸部８５が設けられている。この結合軸部８５は、径大軸部８４と略同一の外径を有し、バルブ本体１の中央部を貫通するように嵌合孔内に嵌合している。

バルブシャフト２の軸線方向の基端部（入力部）、つまり第２突出軸部８２は、バルブシャフト２の軸線方向の他端側（基端側）に設けられて、ベアリングホルダ２８の摺動孔の開口および軸受孔３１の開口からギア収容室内に突出している。この第２突出軸部８２は、その基端部が、スプリングシート４８の中央部を貫通する貫通孔を通り抜けた後に、スコッチヨーク３の嵌合部７２の圧入溝７３内に圧入嵌合されている。
なお、バルブシャフト２の第２突出軸部８２の基端部をスコッチヨーク３の嵌合部７２にかしめまたは溶接等の手段を用いて固定しても良い。また、バルブシャフト２とスコッチヨーク３を一体部品で構成しても良い。

ここで、本実施例のＥＧＲ制御弁は、図２に示したように、バルブ本体１の中心を通り、且つポペットバルブの往復移動方向に延びる中心軸線を、バルブ本体１の中心軸線とし、また、第１、第２流路孔（以下インレットポート２１、流路孔２２、２４）および弁孔２３の中心を通り、且つポペットバルブの往復移動方向に延びる中心軸線を、インレットポート２１、流路孔２２、２４および弁孔２３の中心軸線としたとき、バルブ本体１の中心軸線とインレットポート２１、流路孔２２、２４および弁孔２３の中心軸線とが、第１流路壁７５の円周方向の一部側（流路絞り７７が形成される側）に所定のオフセット量（α）分だけオフセットして配置されている。

［実施例１の作用］
次に、本実施例のＥＧＲ制御弁の作動を図１ないし図９に基づいて簡単に説明する。

本実施例のポペットバルブのバルブ本体１およびバルブシャフト２を往復駆動するモータＭは、ＥＣＵによって通電制御されるように構成されている。
ここで、モータＭへの電力供給が成されない場合には、リターンスプリング４の付勢力（スプリング荷重）によって、バルブシャフト２の軸線方向の出力部（先端外周）に溶接固定されたバルブ本体１のバルブシール面７９がバルブシート１５のシートエッジに着座することにより、バルブシート１５の弁孔２３を閉鎖する閉弁（全閉）状態となる。
したがって、バルブシート１５の中央部に貫通形成される弁孔２３が閉鎖されることで、バルブボディ１１内に形成されるＥＧＲガス流路（インレットポート２１→流路孔２２〜２５→アウトレットポート２６）が閉鎖される。これにより、ＥＧＲガスが、エアクリーナを通過した清浄な吸気（新気）に混入しない（ＥＧＲカット）。

次に、ＥＧＲ制御弁を開弁させるような運転状況（エンジンの運転状況）になると、ポペットバルブが運転状況に対応した所定のバルブ開度（バルブリフト量またはストローク量）に開弁するように開弁作動させる。
そして、モータＭに電力を供給し、モータＭのモータシャフト３４を開弁作動方向に回転させる。これにより、モータＭの回転動力（トルク）が、ピニオンギア３５、中間ギア３６および出力ギア３７に伝達される。
そして、出力ギア３７からトルクが伝達された出力シャフト３９が、出力ギア３７の回転に伴って所定の回転角度だけ開弁作動方向に回転する。

そして、出力シャフト３９からトルクが伝達された出力レバー４１が、出力シャフト３９の回転に伴って所定の回転角度（出力ギア３７の作動角度と等しい回転角度）だけ開弁作動方向に回転する。
ここで、出力レバー４１の突出端部、つまり出力シャフト３９の回転中心軸から所定の距離だけ偏芯した位置にピボットピン４２が取り付けられている。そして、ピボットピン４２に支持されたフォロア４３は、出力シャフト３９および出力レバー４１が回転すると、フォロア４３の外周部（外輪）がスコッチヨーク３のヨーク溝４７の溝側面と摺動接触することにより、回転運動が直線運動に変換される。

そして、リターンスプリング４の付勢力に抗して、バルブシャフト２およびスコッチヨーク３が移動方向に移動する。このとき、ハウジング５のメタルベアリング２７によってバルブシャフト２がその移動方向に案内（ガイド）されているので、バルブシャフト２がその軸線方向のバルブ開側へ直線移動する。
そして、バルブシャフト２の直線移動に伴って、バルブシャフト２に固定されたバルブ本体１が、バルブシート１５のシートエッジより離脱して、エンジンの運転状況に対応した所定のバルブリフト量またはストローク量分だけ流路孔２２側へ向かって外開き（リフト）することにより、バルブシート１５の弁孔２３を開放する開弁状態となる。

以上のように、エンジンの運転状況に対応して、モータＭへの供給電力（駆動電流値または印加電圧値）を可変制御することで、ＥＧＲ制御弁のバルブ開度を変化させることにより、エアクリーナを通過した清浄な吸気（新気）に対する、ＥＧＲガスの導入量（混入量）が調節される。すなわち、ポペットバルブは、エンジンの運転状況に対応して設定される制御目標値に相当するバルブ開度（目標開度）に開弁制御される。つまりバルブシート１５の弁孔２３が開放されることで、ＥＧＲガス流路（インレットポート２１→流路孔２２〜２５→アウトレットポート２６）が開放される。
したがって、エンジンの各気筒より流出した排気の一部であるＥＧＲガスが、排気管内に形成される排気通路の分岐部から、ＥＧＲガス流路を経由して、吸気管内に形成される吸気通路の合流部へ再循環される。これにより、エンジンの各気筒に供給される吸気にＥＧＲガスが混入される。
これによって、排気中に含まれる有害物質（例えばＮＯｘ等）が低減される。

ところで、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、図２に示したように、バルブ本体１の中心を通り、且つポペットバルブの往復移動方向に延びる中心軸線を、バルブ本体１の中心軸線とし、また、インレットポート２１、流路孔２２、２４および弁孔２３の中心を通り、且つポペットバルブの往復移動方向に延びる中心軸線を、インレットポート２１、流路孔２２、２４および弁孔２３の中心軸線としたとき、バルブ本体１の中心軸線とインレットポート２１、流路孔２２、２４および弁孔２３の中心軸線とが、第１流路壁７５の円周方向の一部側（流路絞り７７が形成される側）に所定のオフセット量（α）分だけオフセットして配置されている。
これにより、インレットポート２１から流路孔２２内に流入したＥＧＲガスは、図５に示したように、バルブ本体１の周方向全体（全周）と流路孔２２の周囲を円周方向に取り囲む円筒状（または角筒状）の第１流路壁（バルブボディ１１の内壁）７５との間に形成される円筒状の隙間流路７６に流れ込む。

そして、バルブ本体１の周方向全体（全周）と第１流路壁７５との間に形成される円筒状の隙間流路７６に流れ込んだＥＧＲガスは、バルブシール面７９の傾斜角度に沿って、バルブ本体１の全周のバルブシール面７９と弁孔２３の周囲を円周方向に取り囲む円筒状（または角筒状）の流路壁（バルブシート１５の内壁）との間に形成される円筒状の隙間流路（流路孔２２）へ向かって逆円錐台筒（漏斗）形状に集束するように均等に流れ込み、バルブシャフト２の径大軸部８４の外径面に衝突する。
そして、径大軸部８４の外径面に衝突したＥＧＲガスは、径大軸部８４の外径面に沿って流れた後、流路孔２４から流路孔２５内へ流れ込み、アウトレットポート２６から吸気管内の吸気通路へ導かれる。

［実施例１の効果］
以上のように、本実施例のＥＧＲシステムに使用される外開き弁方式のＥＧＲ制御弁においては、ハウジング５のバルブボディ１１に、バルブ本体１が第１流路（流路孔２２）側へ所定のバルブリフト量分だけ外開き（リフト）して弁孔２３を開放した際に、第１流路壁７５とバルブ本体１の外周との間に形成される円筒状の隙間流路７６の周方向の一部に、第１流路壁７５とバルブ本体１の外周との間の距離を狭くした流路絞り７７を設けている。

また、本実施例のＥＧＲ制御弁は、図２に示したように、バルブ本体１の中心を通り、且つポペットバルブの往復移動方向に延びる中心軸線を、バルブ本体１の中心軸線とし、また、インレットポート２１、流路孔２２、２４および弁孔２３の中心を通り、且つポペットバルブの往復移動方向に延びる中心軸線を、インレットポート２１、流路孔２２、２４および弁孔２３の中心軸線としたとき、バルブ本体１の中心軸線とインレットポート２１、流路孔２２、２４および弁孔２３の中心軸線とが、第１流路壁７５の円周方向の一部側（流路絞り７７が形成される側）に所定のオフセット量（α）分だけオフセットして配置されている。

これによって、ポペットバルブのバルブ本体１とバルブボディ１１の第１流路壁７５との間の距離を隙間流路７６の円周方向において一部狭くすることができる。すなわち、第１流路壁７５とバルブ本体１の外周との間に形成される円筒状の隙間流路７６の円周方向の一部に、第１流路壁７５とバルブ本体１の外周との間の距離を狭くした流路絞り７８を形成することができるため、隙間流路７６の円周方向の他部よりも狭い流路絞り７８を通り抜ける流体の圧力損失が大きくなる。
すなわち、バルブ本体１の中心軸線とインレットポート２１、流路孔２２、２４および弁孔２３の中心軸線とを、第１流路壁７５の円周方向の一部側（流路絞り７７が形成される側）に所定のオフセット量（α）分だけオフセット配置することにより、ポペットバルブのバルブ本体１と第１流路（流路孔２２）における周方向の全流路壁面のうちの一部の流路壁面（第１流路壁７５）との距離の狭い部分ができるため、狭い部分を通り抜けるＥＧＲガスの圧力損失が生じる。

そして、ポペットバルブの低ストローク量域およびＥＧＲガスの低流量域では、ＥＧＲガスの圧力損失が低いため、流量低下が少ないが、ＥＧＲガスの流量が多くなると、ＥＧＲガスの圧力損失が大きくなるため、ポペットバルブのストローク範囲が同一でも、ポペットバルブのストロークの変化量に対してＥＧＲガスの流量の変化量を減らすことができる。
これによって、ポペットバルブの低（小）ストローク（高リフト）域およびＥＧＲガスの低（小）流量域では、図６のグラフに示したように、比較例１のＥＧＲ制御弁と比べてＥＧＲガスの流量が低減することは無く、比較例１のＥＧＲ制御弁と同じ流量を確保することができる。

ところで、図５および図１６は、ポペットバルブのバルブストローク量が７ｍｍの時の圧力分布図であるが、図１６の比較例１のＥＧＲ制御弁の場合には、比較例１のバルブ本体１の周りの圧力変化が、比較例１のバルブシャフト２の中心軸線を中心に図示左右で同じ変化をしている。これに対し、図５の実施例１のＥＧＲ制御弁の場合には、実施例１のバルブ本体１の周りの圧力変化が、実施例１のバルブシャフト２の中心軸線を中心に図示左右で違う変化をしている。
また、図６のグラフに示したように、比較例１のＥＧＲ制御弁では、バルブストローク量が６ｍｍのストロークでＥＧＲガスの流量が７００Ｌ／ｍｉｎであったものが、本実施例のＥＧＲ制御弁では、バルブストローク量が７ｍｍのストロークでＥＧＲガスの流量が７００Ｌ／ｍｉｎとなる。

したがって、ＥＧＲガスの高（大）流量域では、ポペットバルブのバルブストロークの変化量（ΔＳｔ）に対するＥＧＲガスの流量の変化量（ΔＱ）を減らすことができるので、ポペットバルブの高（大）ストローク（低リフト）域およびＥＧＲガスの高（大）流量域での流量分解能が向上するため、ＥＧＲガスの流量を細かく精度良く制御することができる。
すなわち、ポペットバルブの高リフト域（高流量域）において、バルブリフト量の変化量（ΔＳｔ）に対してＥＧＲガスの流量の変化量（ΔＱ）を細かく制御したい場合することができる。つまりΔＱ／ΔＳｔを小さくすることができる。
なお、バルブシート１５よりもＥＧＲガスの流れ方向の下流側の流路孔２４、２５およびアウトレットポート２６の流路径を絞れば同じような効果を得られるが、流路孔２４、２５およびアウトレットポート２６の流路径を小さくしなくてはならず、相手側配管を入口側流路管と出口側流路管とで管径を別径としたり、凝縮水の溜まり場になってしまうという不具合が生じる。

また、例えばポペットバルブの全開時におけるＥＧＲガスの流量（全開流量）のバリエーション展開時には、そのバリエーション毎の部品（ＥＧＲ制御弁）を作らなければならない。すなわち、バルブシート１５のシート径や孔径、ポペットバルブのバルブ本体１の外径等をバリエーション毎に設計し、製作する必要がある。
例えばＥＧＲガスの流量バリエーションが、６００Ｌ／ｍｉｎのＥＧＲ制御弁（比較例２：図７参照）から１０００Ｌ／ｍｉｎのＥＧＲ制御弁（比較例３：図８参照）へ変更する場合、バルブボディ１１を有するハウジング５を共通使用（共用）する場合、バルブ本体１の外径およびバルブシート１５のシート径や孔径を変更する必要がある。
これにより、部品点数の増加や部品管理の複雑化により、コストアップとなるという問題が生じる。

そこで、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、車種毎の搭載要件等で形状や体格を変更するハウジング５を変更するのみで、ポペットバルブの全開時におけるＥＧＲガス体の流量（全開流量）のバリエーション展開を容易に実現するという目的で、図９に示したように、バルブ本体１の中心軸線とインレットポート２１、流路孔２２、２４および弁孔２３の中心軸線とが、第１流路壁７５の円周方向の一部側（流路絞り７７が形成される側）に所定のオフセット量（α）分だけオフセットして配置することにより、車種毎の搭載要件等で形状や体格を変更するハウジング５を変更するのみで、すなわち、バルブ本体１やバルブシート１５を共通使用（共用）することができる。したがって、ポペットバルブの全開時におけるＥＧＲガスの流量（全開流量）のバリエーション展開を容易に実現することができる。
また、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、ポペットバルブのバルブストローク（バルブリフト量）を図１５に示した特性線（Ｂ）のように伸ばすことなく、ポペットバルブの高リフト域（高流量域）における、ＥＧＲガスの流量を細かく精度良く制御できるので、大がかりな設計変更を伴うことはなく、コストアップを抑えることができる。

［実施例２の構成］
図１０は、本発明を適用したＥＧＲシステムに使用されるＥＧＲ制御弁（実施例２）を示したものである。
ここで、実施例１と同じ符号は、同一の構成または機能を示すものであって、説明を省略する。

本実施例のＥＧＲ制御弁は、実施例１と同様に、ハウジング５のバルブボディ１１に、第１流路壁７５、隙間流路７６および流路絞り７７を備えている。また、ＥＧＲ制御弁は、バルブ本体１の中心軸線とインレットポート２１、流路孔２２、２４および弁孔２３の中心軸線とを、第１流路壁７５の円周方向の一部側（流路絞り７７が形成される側）に所定のオフセット量（α）分だけオフセットして配置している。
また、ＥＧＲ制御弁のハウジング５のバルブボディ１１には、バルブ本体１が流路孔２２側へ所定のバルブリフト量分だけ外開き（リフト）して弁孔２３を開放した際に、バルブ本体１の外周との間に三日月状の流路絞り７７を形成する部分円環状（半円弧状）の突条９１が設けられている。
突条９１は、第１流路壁７５の円周方向の一部である半周部分に亘って連続して設けられて、第１流路壁７５の円周方向の半周部分の壁面からバルブ本体１の外周（バルブシール面７９）へ向かって突出形成されている。
以上のように、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、実施例１と同様な効果を奏する。

［実施例３の構成］
図１１は、本発明を適用したＥＧＲシステムに使用されるＥＧＲ制御弁（実施例３）を示したものである。
ここで、実施例１及び２と同じ符号は、同一の構成または機能を示すものであって、説明を省略する。

本実施例のＥＧＲ制御弁は、実施例１及び２と同様に、ハウジング５のバルブボディ１１に、第１流路壁７５、隙間流路７６および流路絞り７７を備えている。また、ＥＧＲ制御弁は、バルブ本体１の中心軸線とインレットポート２１、流路孔２２、２４および弁孔２３の中心軸線とを、第１流路壁７５の円周方向の一部側（流路絞り７７が形成される側）に所定のオフセット量（α）分だけオフセットして配置している。
また、ＥＧＲ制御弁のハウジング５のバルブボディ１１には、バルブ本体１が第１流路（流路孔２２）側へ所定のバルブリフト量分だけ外開き（リフト）して弁孔２３を開放した際に、バルブ本体１の外周との間に複数（３個）の流路絞り７７を形成する複数（３個）の突起９２が設けられている。
突起９２は、第１流路壁７５の円周方向の一部である半周部分に亘って所定の間隔（例えば４５°等間隔または任意の間隔）を持って複数（３個）設けられて、第１流路壁７５の円周方向の半周部分に亘って所定の間隔を隔てた壁面からバルブ本体１の外周（バルブシール面７９）へ向かって突出形成されている。
以上のように、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、実施例１及び２と同様な効果を奏する。

［変形例］
本実施例では、本発明の排気装置に使用される排気制御弁を、内燃機関の排気循環装置（ＥＧＲシステム）に使用されるＥＧＲ制御弁に適用しているが、本発明の排気装置に使用される排気制御弁を、内燃機関の排気装置に組み込まれるウェイストゲート弁、スクロール切替弁、排気流量制御弁、排気圧力制御弁、排気切替弁または排気絞り弁等に適用しても良い。

また、ＥＧＲ制御弁や排気制御弁の弁体として、ポペットバルブ（ポペット型ＥＧＲバルブ）を採用しているが、バルブ（弁体）とシャフト（弁軸）との間に変換機構を介することにより、バタフライバルブ、フラップバルブ、プレートバルブ、ロータリバルブ等の回転型バルブを採用しても良い。また、ダブルポペットバルブを採用しても良い。
また、シャフト（弁軸）としてバルブシャフト２の代わりに、軸線方向（往復移動方方向）に真っ直ぐに延びる作動ロッドを用いても良い。

また、出力シャフト３９の第２突出軸部（出力部）に出力レバー４１を組み付ける前に、予め出力レバー４１、ピボットピン４２およびフォロア４３を組み立てて、これらをユニット（サブアッシー）化したフォロアサブアッセンブリを構成し、フォロアサブアッセンブリを出力シャフト３９の第２突出軸部（出力部）に組み付けるようにしても良い。
また、ボールベアリングよりなるフォロア４３の代わりに、ピボットピン（支軸）２２の外周に回転自在に支持されるフォロアローラを使用しても良い。

また、内燃機関（エンジン）として、多気筒ディーゼルエンジンの代わりに、多気筒ガソリンエンジンを用いても良い。また、単気筒エンジンに適用しても良い。
本実施例では、バルブ本体（バルブヘッド）１の外周に、バルブシート１５のシートエッジ（弁座）に着座可能な円錐台形状のバルブシール面７９を設けたが、バルブ本体１の外周に、バルブシート１５のシートエッジ（弁座）に着座可能な角錐台形状のバルブシール面７９を設けても良い。

本実施例では、ＥＧＲ（排気）制御弁のポペットバルブとして、バルブ本体（弁体、弁部）１がバルブシート１５のシートエッジ（弁座）に着座している閉弁（全閉）状態から、バルブ本体１がバルブシート１５よりも排気の流れ方向の上流側に形成される流路孔（第１流路）２２側へ向かって（所定のバルブリフト量またはストローク量分だけ）外開き（リフト）する外開き弁方式のポペットバルブを採用しているが、ＥＧＲ（排気）制御弁のポペットバルブとして、バルブ（弁体）がシート（弁座）に着座している閉弁（全閉）状態から、バルブ（弁体）がシート（弁座）よりも排気の流れ方向の下流側に形成される流路孔（第２流路）２４、２５側へ向かって（所定のバルブリフト量またはストローク量分だけ）内開き（リフト）する内開き弁方式のポペットバルブを採用しても良い。
すなわち、外開き弁方式のＥＧＲ（排気）制御弁の代わりに、内開き弁方式のＥＧＲ（排気）制御弁に本発明の構造を適用しても良い。

本実施例では、ハウジングの軸受孔として、バルブシート１５よりも排気の流れ方向の下流側（例えば内燃機関（エンジン）の吸気管内の吸気通路側）に位置する第２流路（流路孔２４または流路孔２５）の壁面（第２流路壁７８）で開口し、且つこの開口側から奥側へ延びる軸受孔３１を採用しているが、ハウジングの軸受孔として、バルブシート１５よりも排気の流れ方向の上流側（例えば内燃機関（エンジン）の排気管内の排気通路側）に位置する第１流路（流路孔２２）の壁面（第１流路壁７５）で開口し、且つこの開口側から奥側へ延びる軸受孔を採用しても良い。
この場合、バルブシャフトの突出軸部は、軸受孔の開口から第１流路（流路孔２２）内へ突出し、且つ第１流路（流路孔２２）から弁孔２３を通り抜けて第２流路（流路孔２４または流路孔２５）内へ突出するように構成される。

本実施例では、ポペットバルブのバルブ本体１の中心軸線と第１、第２流路（インレットポート２１、流路孔２２、２４）および弁孔２３の中心軸線とを、第１流路壁７５の円周方向の一部側（流路絞り７７が形成される側）に所定のオフセット量（α）分だけオフセットして配置しているが、ポペットバルブのバルブ本体１の中心軸線と第１、第２流路（インレットポート２１、流路孔２２、２４）および弁孔２３の中心軸線とを、同軸配置としても良い。
また、ポペットバルブのバルブ本体１の中心軸線と第１、第２流路（インレットポート２１、流路孔２２、２４）および弁孔２３の中心軸線とを同軸として、実施例２及び３のように、第１流路壁の周方向の一部に部分円環状の突条９１や複数の突起９２を設けても構わない。

１ バルブ本体（ポペットバルブの弁体、弁部、バルブヘッド、ＥＧＲバルブ）
２ バルブシャフト（ポペットバルブの弁軸）
５ ハウジング
１５ バルブシート
７５ 第１流路壁
７６ 隙間流路
７７ 流路絞り
７９ バルブシール面（バルブ本体の外周）
９１ 突条
９２ 突起

Claims (13)

1. （ａ）流体が流れる流路（２１、２２、２４〜２６）、この流路（２１、２２、２４〜２６）に連通する弁孔（２３）、この弁孔（２３）が貫通形成された環状のシート（１５）、および前記流路（２１、２２、２４〜２６）を、前記シート（１５）よりも流体の流れ方向の上流側に位置する第１流路（２１、２２）と、前記シート（１５）よりも流体の流れ方向の下流側に位置する第２流路（２４〜２６）とに区画する仕切り部（１４）を有するハウジング（５、１１、２８）と、
   （ｂ）このハウジング（５、１１、２８）の内部に往復移動可能に設置されて、前記シート（１５）に接離して前記弁孔（２３）を閉鎖、開放する弁体（１）を有し、
   前記弁体（１）が前記シート（１５）に着座している状態から、前記弁体（１）が前記第１流路（２１、２２）側へ向かって外開きする外開き弁方式のポペットバルブ（１、２）と
   を備えた流量制御弁において、
   前記ハウジング（５、１１、２８）は、前記弁体（１）の外周および前記第１流路（２１、２２）の周囲を周方向に取り囲む筒状の第１流路壁（７５）を有し、
   前記ハウジング（５、１１、２８）または前記ポペットバルブ（１、２）は、前記弁体（１）が前記第１流路（２１、２２）側へ外開きして前記弁孔（２３）を開放した際に、前記第１流路壁（７５）と前記弁体（１）の外周との間に形成される筒状の隙間流路の周方向の一部に、前記第１流路壁（７５）と前記弁体（１）の外周との間の距離を狭くした流路絞り（７７）を設けたことを特徴とする流量制御弁。
2. 請求項１に記載の流量制御弁において、
   前記弁体（１）の中心を通り、且つ前記ポペットバルブ（１、２）の往復移動方向に延びる中心軸線を、前記弁体（１）の中心軸線とし、
   前記第１流路（２１、２２）の中心を通り、前記ポペットバルブ（１、２）の往復移動方向に平行な軸線方向に延びる中心軸線を、前記第１流路（２１、２２）の中心軸線としたとき、
   前記弁体（１）の中心軸線と前記第１流路（２１、２２）の中心軸線とが、前記第１流路壁（７５）の周方向の一部側にオフセットして配置されていることを特徴とする流量制御弁。
3. 請求項１または請求項２に記載の流量制御弁において、
   前記ハウジング（５、１１、２８）は、前記第１流路壁（７５）の周方向の一部から前記弁体（１）の外周に向かって突出すると共に、前記弁体（１）の外周との間に前記流路絞り（７７）を形成する部分環状の突条（９１）または複数の突起（９２）を有していることを特徴とする流量制御弁。
4. 請求項３に記載の流量制御弁において、
   前記突条（９１）は、前記第１流路壁（７５）の周方向の半周部分に亘って連続して設けられていることを特徴とする流量制御弁。
5. 請求項３に記載の流量制御弁において、
   前記複数の突起（９２）は、前記第１流路壁（７５）の周方向の半周部分に亘って所定の間隔を持って設けられていることを特徴とする流量制御弁。
6. 請求項１ないし請求項５のうちのいずれか１つに記載の流量制御弁において、
   前記弁体（１）は、その背面側または外径面側に、前記シート（１５）に着座可能な円錐台形状または角錐台形状のシール面（７９）を有していることを特徴とする流量制御弁。
7. 請求項１ないし請求項６のうちのいずれか１つに記載の流量制御弁において、
   前記ハウジング（５、１１、２８）は、前記第２流路（２４〜２６）の周囲を周方向に取り囲む筒状の第２流路壁（７８）、この第２流路壁（７８）で開口し、且つこの開口側から奥側へ延びる軸受孔（３１）、およびこの軸受孔（３１）の奥側に設置される軸受（２７）を有し、
   前記ポペットバルブ（１）は、前記軸受孔（３１）の開口（３２）から前記第２流路（２４〜２６）内へ突出すると共に、前記第２流路（２４〜２６）から前記弁孔（２３）を通り抜けて前記第１流路（２１、２２）内へ突出するシャフト（２）を有していることを特徴とする流量制御弁。
8. 請求項７に記載の流量制御弁において、
   前記シャフト（２）は、前記軸受孔（３１）の奥側に位置する基端側から前記第１流路（２１、２２）内へ突出する先端側へ向かって軸線方向に延伸していることを特徴とする流量制御弁。
9. 請求項７または請求項８に記載の流量制御弁において、
   前記弁体（１）は、前記シャフト（２）の軸線方向の先端側に溶接固定されていることを特徴とする流量制御弁。
10. 請求項１ないし請求項９のうちのいずれか１つに記載の流量制御弁において、
    前記ハウジング（５、１１）は、その上流側端面で開口し、または前記第１流路（２１、２２）の中で最も上流側で開口した流路入口（２１）を有し、
    前記第１流路（２２）とは、前記流路入口（２１）から前記弁体（１）の周囲を通って前記弁孔（２３）へ流体が流れ込む入口側流路のことであることを特徴とする流量制御弁。
11. 請求項１０に記載の流量制御弁において、
    前記流路入口（２１）は、前記弁孔（２３）の孔径よりも大きい開口径を有し、
    前記弁体（１）は、前記流路入口（２１）の開口径よりも小さく、且つ前記弁孔（２３）の孔径よりも大きい外径を有していることを特徴とする流量制御弁。
12. 請求項１ないし請求項１１のうちのいずれか１つに記載の流量制御弁において、
    前記ハウジング（５、１１）は、その下流側端面で開口し、または前記第２流路（２４〜２６）の中で最も下流側で開口した流路出口（２６）を有し、
    前記第２流路（２４〜２６）とは、前記弁孔（２３）から前記流路出口（２６）へ向かって流れる流体の流れ方向が略直角に変化する出口側流路のことであることを特徴とする流量制御弁。
13. 請求項１２に記載の流量制御弁において、
    前記流路出口（２６）は、前記弁孔（２３）の孔径よりも大きい開口径を有し、
    前記弁体（１）は、前記流路出口（２６）の開口径よりも小さく、且つ前記弁孔（２３）の孔径よりも大きい外径を有していることを特徴とする流量制御弁。

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