JP2015113981A - 回転システム - Google Patents
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Abstract
本発明の課題は、作動の際に振動が大幅に防止され、そしてこれによって高い作動安全性を有し、そして特に、高精密な計測のために使用可能である回転システム、特に真空ポンプを完成させることである。
【解決手段】
課題は、回転システム、特に真空ポンプであって、ステータ、ローター(10)およびローター(10)の回転可能な支承の為の永久磁石支承部(14)を有し、その際、永久磁石支承部(14)のの共振周波数の調整の為の調整装置(40)が設けられていることを特徴とする回転システムにより解決される。
【選択図】 図1
Description
12 ローター軸
14 永久磁石支承部
16,18 支承部材
20,22 リング積層部
24,26 リング
30 支承間隙
32 回転軸
34,36 担持部分
38 肩部分
40 調整装置
42 ポンプインレット
44 インレットフランジ
46 ローターディスク
48 ステータディスク
50 転がり支承部
52 ハウジング
54 駆動ステータ
56 永久磁石装置
58 スプラッシュナット
59 吸収性のディスク
60 支柱
d オフセット
Claims (15)
- 回転システム、特に真空ポンプであって、ステータ、ローター(10)およびローター(10)の回転可能な支承の為の永久磁石支承部(14)を有し、その際、永久磁石支承部(14)のの共振周波数の調整の為の調整装置(40)が設けられていることを特徴とする回転システム。
- 調整装置(40)が、共振周波数を調整するために、永久磁石支承部(14)の半径方向の強度を調整するよう形成されていることを特徴とする請求項1に記載の回転システム。
- 調整装置(40)が、共振周波数を調整するために、永久磁石(14)の幾何学形状を変化させるよう形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の回転システム。
- 調整装置(40)が、共振周波数を調整するために、永久磁石支承部(14)のローター側の部分(16)とステータ側の部分(18)の間の軸方向のオフセット(d)を調整するよう形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の回転システム。
- 調整装置(40)の駆動のための制御ユニットが設けられており、この制御ユニットが、好ましくは調整装置(40)による共振周波数の調整を、回転システムの作動が最適化され、かつ好ましくは、回転システムによって発生する振動が減少されるよう制御するよう装備されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の回転システム。
- 制御ユニットが、調整装置(40)を、共振周波数が回転システムの現在の回転周波数に応じて調整され、特に、共振周波数が現在の回転周波数と合致することが防止されるよう調整されるよう駆動するよう装備されている、ことを特徴とする請求項5に記載の回転システム。
- 制御ユニットおよび調整装置(40)が、共振周波数を、回転システムの起動の間に好ましくは急激に減少するよう装備されており、その際、減少によって好ましくは、回転周波数の共振周波数によるトランジットが行われることを特徴とする請求項5または6に記載の回転システム。
- 制御ユニットと調整装置(40)が、共振周波数の減少の後、回転周波数を、特に減少された共振周波数のもと高めるよう装備されていることを特徴とする請求項7に記載の回転システム。
- 共振周波数が、回転システムと、特に真空技術的に接続された設備の作動状態に応じて調整可能であり、および特に減少可能であり、好ましくはこれが、共振周波数が、回転システムと接続された計測装置による計測の為に減少可能であるよう減少可能であることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の回転システム。
- 好ましくは請求項1から9のいずれか一項に記載の回転システム、特に真空ポンプを作動させるための方法であって、ステータ、ローター(10)、およびローター(10)の回転可能な支承のための永久磁石支承部(14)を有し、その際、永久磁石支承部(14)の共振周波数が調整されることを特徴とする方法。
- 共振周波数の調整の為に、永久磁石支承部(14)の半径方向の強度が調整されることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 共振周波数の調整の為に、永久磁石支承部(14)のローター側の部分(16)とステータ側の部分(18)の間の軸方向のオフセット(d)が調整されることを特徴とする請求項10または11に記載の方法。
- 共振周波数が、回転システムの現在の回転周波数に応じて調整され、特にこれが、共振周波数と回転周波数の一致が防止されるよう調整されることを特徴とする請求項10から12のいずれか一項に記載の方法。
- 共振周波数が、回転システムの起動の間、好ましくは急激に減少され、その際、減少によって、回転周波数の共振周波数によるトランジットが行われることを特徴とする請求項10から13のいずれか一項に記載の方法。
- 共振周波数が、回転システムと、特に真空技術的に接続される設備の作動状態に応じて調整され、特にこれが、共振周波数が、回転システムと接続される計測装置の計測の為に減少されることを特徴とする請求項10から14のいずれか一項に記載の方法。
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