JP2015111487A - ガラス基板の製造方法 - Google Patents
ガラス基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015111487A JP2015111487A JP2014228177A JP2014228177A JP2015111487A JP 2015111487 A JP2015111487 A JP 2015111487A JP 2014228177 A JP2014228177 A JP 2014228177A JP 2014228177 A JP2014228177 A JP 2014228177A JP 2015111487 A JP2015111487 A JP 2015111487A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- glass substrate
- pad
- liquid
- polishing pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 130
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 129
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 425
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 107
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 8
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 13
- 239000006260 foam Substances 0.000 abstract description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 description 25
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 12
- 239000012086 standard solution Substances 0.000 description 8
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 6
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 3
- 239000002984 plastic foam Substances 0.000 description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N Borate Chemical compound [O-]B([O-])[O-] BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006124 Pilkington process Methods 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 239000005341 toughened glass Substances 0.000 description 2
- FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N benzyl N-[2-hydroxy-4-(3-oxomorpholin-4-yl)phenyl]carbamate Chemical compound OC1=C(NC(=O)OCC2=CC=CC=C2)C=CC(=C1)N1CCOCC1=O FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003426 chemical strengthening reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000003280 down draw process Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000007500 overflow downdraw method Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
- B24B37/10—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping
- B24B37/105—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping the workpieces or work carriers being actively moved by a drive, e.g. in a combined rotary and translatory movement
- B24B37/107—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping the workpieces or work carriers being actively moved by a drive, e.g. in a combined rotary and translatory movement in a rotary movement only, about an axis being stationary during lapping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/042—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces operating processes therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
【解決手段】ショアD硬度が40以下である発泡樹脂の研磨層を有する研磨パッド16、18と、砥粒として一次粒子径が3〜50nmであるシリカを含有する研磨液とを用いて、研磨用キャリア10の保持孔に保持されたガラス基板の主平面を研磨する研磨工程と、ガラス基板の表面を洗浄する洗浄工程とを有する。研磨工程において、研磨液1μlを研磨パッドの研磨面に滴下してから50秒後の研磨液の接触角が50°以下となる研磨パッドと研磨液を用いる。
【選択図】図1
Description
(1)ショアD硬度が40以下である発泡樹脂の研磨層を有する研磨パッドと、砥粒として一次粒子径が3〜50nmであるシリカを含有する研磨液とを用いて、研磨用キャリアの保持孔に保持されたガラス基板の主平面を研磨する研磨工程と、ガラス基板の表面を洗浄する洗浄工程とを有する、ガラス基板の製造方法であって、
前記研磨工程において、研磨液1μlを研磨パッドの研磨面に滴下してから50秒後の研磨液の接触角が50°以下となる研磨パッドと研磨液を用いてガラス基板の主平面を研磨することを特徴とするガラス基板の製造方法。
(2)前記研磨用キャリアにおいて、研磨液1μlを研磨用キャリアの表面に滴下してから0.1秒後の研磨液の接触角が75°以下である(1)に記載のガラス基板の製造方法。
(3)前記研磨液は、25℃における粘度が1.7mPa・s以下である(1)または(2)に記載のガラス基板の製造方法。
(4)前記研磨液は、pH1〜pH6であり、砥粒であるシリカの含有量が5〜25質量%である(1)〜(3)のいずれか1に記載のガラス基板の製造方法。
(5)前記ガラス基板は、中央部に円孔を有する磁気記録媒体用ガラス基板である(1)〜(4)のいずれか1に記載のガラス基板の製造方法。
本実施形態のガラス基板の製造方法の概略について説明する。
(工程1)ガラス素基板を、中央部に円形孔を有する円盤形状に加工した後、内周側面と外周側面を面取り加工する形状付与工程;
(工程2)ガラス基板の端面(内周端面および外周端面)を研磨する端面研磨工程;
(工程3)ガラス基板の上下両主平面を研磨する主表面研磨工程;
(工程4)ガラス基板を精密洗浄して乾燥する洗浄工程;
を含む工程を施すことによって製造される。
(工程1)形状付与工程
形状付与工程では、ガラス素基板を、中央部に円形孔を有する円盤形状に加工した後、内周側面と外周側面を面取り加工する。形状付与工程における、内周および外周側面部の面取り加工は、一般にダイヤモンド砥粒を固定した砥石を用いて行う。
端面研磨工程では、ガラス基板の内周端面および外周端面を端面研磨する。外周端面および内周端面の研磨は、どちらを先に実施してもよい。
主表面研磨工程では、両面研磨装置を用いて、ガラス基板の主平面に研磨液を供給しながらガラス基板の上下主平面を研磨する。なお、両面研磨装置としては、特に限定されないが、例えば、キャリアの直径サイズが16インチ、20インチまたは22インチのものが使用できる両面研磨機(例えば、16B型両面研磨装置、20B型両面研磨装置および22B型両面研磨装置等)が挙げられる。
洗浄工程では、仕上げ研磨後のガラス基板を、例えば、洗剤を用いたスクラブ洗浄、洗剤溶液へ浸漬した状態での超音波洗浄および純水へ浸漬した状態での超音波洗浄等を順次行い、イソプロピルアルコール等の蒸気により乾燥する。
本発明のガラス基板の製造方法においては、上述の(工程3)の主表面研磨工程において、ショアD硬度が40以下である発泡樹脂の研磨層を有する研磨パッドと、砥粒として一次粒子径が3〜50nmであるシリカを含有する研磨液とを用いて、研磨用キャリアの保持孔に保持されたガラス基板の主平面を研磨する。
(工程1)形状付与工程
フロート法で成形されたシリケートガラス板を、中央部に円孔を有する円盤形状ガラス基板に加工した。この円盤形状ガラス基板の内周側面と外周側面を面取り加工した。その後、ガラス基板の上下面のラッピングを、酸化アルミニウム砥粒を用いて行い、砥粒を洗浄除去した。
内周側面と内周面取り部を研磨ブラシと酸化セリウム砥粒を用いて研磨し、内周側面と内周面取り部のキズを除去し、鏡面となるように加工した。次に、内周端面研磨を行ったガラス基板を、外周側面と外周面取り部を研磨ブラシと酸化セリウム砥粒を用いて研磨し、外周側面と外周面取り部のキズを除去し、鏡面となるように加工した。内周端面研磨と外周端面研磨を行ったガラス基板は、超音波洗浄により、砥粒を洗浄除去した。
次に、図2の両面研磨装置を使用して、ガラス基板の主平面を1次研磨、次いで、洗浄、乾燥した。その後、ガラス基板の主平面を2次研磨し、次いで、洗浄、乾燥した。
例1〜7で使用した研磨パッドについて説明する。例1〜7では、3種類の研磨パッドを使用した。例1および例2では親水性が高い研磨パッドAを使用した。例3〜5では、研磨パッドAより親水性が低い研磨パッドBを使用した。例6および7では、研磨パッドBよりもさらに親水性が低い研磨パッドCを使用した。
また、例1〜7で使用した研磨液について説明する。例1〜7では、3種類の研磨液を使用した。例1、例3、および例6では、研磨液Aを使用した。例2、例4、および例7では、研磨液Bを使用した。例5では、研磨液Cを使用した。研磨用キャリアに対する研磨液の接触角は、研磨液Cを用いた場合に大きく、研磨液Bを用いた場合に小さくなっているが、これは研磨液の電解質の濃度の差異によると考える。つまり、研磨液Cは研磨液中の電解質の濃度が高く、研磨液Aの電解質の濃度は研磨液Cの次に高く、研磨液Bの電解質の濃度は研磨液Aよりも低い。
(1)研磨パッドに対する研磨液の接触角
例1〜例7で使用した研磨パッドは、研磨面をドレス処理し、純水を用いて洗浄した後、室温で1日乾燥させた。乾燥させた研磨パッドの研磨面に、研磨液1μlを滴下し、研磨液を滴下してから50秒後の接触角を接触角測定装置(協和界面科学製、型式:PCA−1)により測定した。
乾燥させた研磨用キャリアの表面に、研磨液1μlを滴下し、研磨液を滴下してから0.1秒後の接触角を接触角測定装置(協和界面科学製、型式:PCA−1)により測定した。
研磨パッドの寿命は、前記工程3の3次研磨(仕上げ研磨)において、研磨開始から、研磨パッドの研磨面に傷が生じた時点または研磨時にガラスが破損し、パッドに傷が発生して使用を停止した時点までの研磨パッドでガラス基板の主平面を研磨した時間の積算を測定し、下記A〜Cに示す基準により評価した。
A:研磨パッドでガラス基板の主平面を研磨した時間の積算が1200分間以上
B:研磨パッドでガラス基板の主平面を研磨した時間の積算が800分間以上、1200分間未満
C:研磨パッドでガラス基板の主平面を研磨した時間の積算が800分間未満
研磨液の粘度は、25℃の研磨液について、回転速度100rpmで、粘度計(メーカ:東機産業製、型式:回転式粘度計RE80L)を用いて測定した。
研磨液のpHは、純正化学製pH標準液[フタル酸塩pH標準液(pH4.01)、中性リン酸塩pH標準液(pH6.86)、ホウ酸塩pH標準液(pH9.18)]を使用し、3点校正を行った後、純水でpH電極を洗浄後、pH測定機(堀場製作所社製、型式:D−53S)を用いて研磨液のpH測定を行った。
Claims (5)
- ショアD硬度が40以下である発泡樹脂の研磨層を有する研磨パッドと、砥粒として一次粒子径が3〜50nmであるシリカを含有する研磨液とを用いて、研磨用キャリアの保持孔に保持されたガラス基板の主平面を研磨する研磨工程と、ガラス基板の表面を洗浄する洗浄工程とを有する、ガラス基板の製造方法であって、
前記研磨工程において、研磨液1μlを研磨パッドの研磨面に滴下してから50秒後の研磨液の接触角が50°以下となる研磨パッドと研磨液を用いてガラス基板の主平面を研磨することを特徴とするガラス基板の製造方法。 - 前記研磨用キャリアにおいて、研磨液1μlを前記研磨用キャリアの表面に滴下してから0.1秒後の研磨液の接触角が75°以下である請求項1記載のガラス基板の製造方法。
- 前記研磨液は、25℃における粘度が1.7mPa・s以下である請求項1または2に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記研磨液は、pH1〜pH6であり、砥粒であるシリカの含有量が5〜25質量%である請求項1〜3のいずれか1項に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記ガラス基板は、中央部に円孔を有する磁気記録媒体用ガラス基板である請求項1〜4のいずれか1項に記載のガラス基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014228177A JP6330628B2 (ja) | 2013-11-11 | 2014-11-10 | ガラス基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013233116 | 2013-11-11 | ||
JP2013233116 | 2013-11-11 | ||
JP2014228177A JP6330628B2 (ja) | 2013-11-11 | 2014-11-10 | ガラス基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015111487A true JP2015111487A (ja) | 2015-06-18 |
JP6330628B2 JP6330628B2 (ja) | 2018-05-30 |
Family
ID=53205414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014228177A Active JP6330628B2 (ja) | 2013-11-11 | 2014-11-10 | ガラス基板の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6330628B2 (ja) |
CN (1) | CN104625939A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020049620A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨パッド |
EP3854525A1 (de) | 2020-01-21 | 2021-07-28 | Lapmaster Wolters GmbH | Läuferscheibe, doppelseitenbearbeitungsmaschine und verfahren zum bearbeiten mindestens eines werkstücks in einer doppelseitenbearbeitungsmaschine |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003128910A (ja) * | 2001-10-17 | 2003-05-08 | Rodel Nitta Co | 研磨パッド |
JP2004091674A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Kao Corp | 研磨液組成物 |
JP2004303280A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Hoya Corp | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP2007144554A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Kao Corp | 基板の研磨方法 |
JP2012223835A (ja) * | 2011-04-15 | 2012-11-15 | Fujibo Holdings Inc | 研磨パッド及びその製造方法 |
JP2013025844A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Asahi Glass Co Ltd | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法および磁気記録媒体用ガラス基板 |
JP2013132744A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Asahi Glass Co Ltd | 研磨キャリア、磁気記録媒体用ガラス基板の研磨方法、および、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
WO2013129619A1 (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-06 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 |
WO2013153880A1 (ja) * | 2012-04-10 | 2013-10-17 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板の研磨方法 |
-
2014
- 2014-11-10 JP JP2014228177A patent/JP6330628B2/ja active Active
- 2014-11-11 CN CN201410642262.8A patent/CN104625939A/zh active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003128910A (ja) * | 2001-10-17 | 2003-05-08 | Rodel Nitta Co | 研磨パッド |
JP2004091674A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Kao Corp | 研磨液組成物 |
JP2004303280A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Hoya Corp | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP2007144554A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Kao Corp | 基板の研磨方法 |
JP2012223835A (ja) * | 2011-04-15 | 2012-11-15 | Fujibo Holdings Inc | 研磨パッド及びその製造方法 |
JP2013025844A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Asahi Glass Co Ltd | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法および磁気記録媒体用ガラス基板 |
JP2013132744A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Asahi Glass Co Ltd | 研磨キャリア、磁気記録媒体用ガラス基板の研磨方法、および、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
WO2013129619A1 (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-06 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 |
WO2013153880A1 (ja) * | 2012-04-10 | 2013-10-17 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板の研磨方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020049620A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨パッド |
JP7118840B2 (ja) | 2018-09-28 | 2022-08-16 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨パッド |
EP3854525A1 (de) | 2020-01-21 | 2021-07-28 | Lapmaster Wolters GmbH | Läuferscheibe, doppelseitenbearbeitungsmaschine und verfahren zum bearbeiten mindestens eines werkstücks in einer doppelseitenbearbeitungsmaschine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6330628B2 (ja) | 2018-05-30 |
CN104625939A (zh) | 2015-05-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4659338B2 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法並びにそれに使用する研磨パッド | |
US7927186B2 (en) | Method for producing glass substrate for magnetic disk | |
US9293318B2 (en) | Semiconductor wafer manufacturing method | |
JP4189384B2 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法と研磨装置 | |
JP4234991B2 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法及びその製造方法によって製造される情報記録媒体用ガラス基板 | |
JP5428793B2 (ja) | ガラス基板研磨方法および磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP5005645B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 | |
JP2007118172A (ja) | 研磨装置、研磨方法、磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクの製造方法 | |
TW201743374A (zh) | 雙面研磨方法及雙面研磨裝置 | |
JP5853408B2 (ja) | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法および磁気記録媒体用ガラス基板 | |
JP6330628B2 (ja) | ガラス基板の製造方法 | |
JP2007098485A (ja) | 磁気記録媒体用のガラス基板および磁気ディスクの製造方法 | |
JP5350853B2 (ja) | ガラス基板の製造方法、及び磁気記録媒体の製造方法 | |
CN104551961A (zh) | 一种12英寸硅片的双面抛光方法 | |
JP5461936B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP6717706B2 (ja) | ウェハの表面処理装置 | |
JP2010238310A (ja) | 磁気ディスク用基板の製造方法 | |
JP5345425B2 (ja) | ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2010250893A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び固定砥粒ツールの表面修正方法 | |
JP5265429B2 (ja) | ガラス基板の製造方法、及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP5483530B2 (ja) | 磁気ディスク用基板の製造方法 | |
JP2018032735A (ja) | ウェハの表面処理方法 | |
JP5702448B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
KR100678303B1 (ko) | 화학 기계적 연마(cmp) 패드 드레서 및 화학 기계적연마(cmp) 장치 | |
JP5256091B2 (ja) | 磁気ディスク用基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170809 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180327 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180409 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6330628 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |