JP2015100941A - Fitting jig of diaphragm for laminating apparatus, and fitting method of diaphragm - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fitting jig for making a fitting work of a diaphragm used in a laminating apparatus easy, and a fitting method of a diaphragm which uses the fitting jig.SOLUTION: A fitting jig used in fitting a diaphragm to a laminating apparatus comprises a pair or more of plate-like members and a lever-like member, the pair or more of plate-like members are arranged such that a diaphragm can be inserted between the members, the lever-like member is provided rotatably on a surface of either plate-like member of the pair or more of plate-like members, the diaphragm is inserted between the pair of plate-like members, and the lever-like member is rotated, by which the diaphragm can be clamped by the pair or more of plate-like members.

Description

本発明は、太陽電池モジュール等を製造するラミネート装置に使用するダイヤフラムの取付用の治具、およびその取付治具を使用したダイヤフラムの取付方法に関するものである。   The present invention relates to a diaphragm mounting jig used in a laminating apparatus for manufacturing a solar cell module and the like, and a diaphragm mounting method using the mounting jig.

従来から、太陽電池モジュールを製造する場合、ラミネート装置が使用されている（特許文献１）。ラミネート装置は、下方向に向けて膨張自在なダイヤフラムを有する上ケースと、熱板を有する下ケースとを有している。太陽電池モジュールをラミネートする際、まず、構成部材を重ね合わせた太陽電池モジュールを、上ケースと下ケースとで形成される空間に搬送する。次に、ラミネート装置は、上ケースと下ケースとで形成される空間を真空状態にし、熱板上に太陽電池モジュールを配置した後、構成部材を加熱した状態で、上ケースの内部に大気圧を導入する。このようにすることで、太陽電池モジュールは、ダイヤフラムと熱板とで挟圧されて、ラミネートされ、太陽電池モジュールの各構成部材が溶融された充填材により接着され封止される。   Conventionally, when manufacturing a solar cell module, a laminating apparatus has been used (Patent Document 1). The laminating apparatus has an upper case having a diaphragm that is expandable downward, and a lower case having a hot plate. When laminating a solar cell module, first, the solar cell module on which the constituent members are superimposed is transported to a space formed by the upper case and the lower case. Next, the laminating apparatus evacuates the space formed by the upper case and the lower case, arranges the solar cell module on the hot plate, and then heats the constituent members, and then converts the atmospheric pressure inside the upper case. Is introduced. By doing so, the solar cell module is sandwiched and laminated between the diaphragm and the hot plate, and each component of the solar cell module is bonded and sealed with the molten filler.

このようなラミネート装置は、太陽電池モジュールの大型化に伴い大型化している。従ってラミネート装置に使用するダイヤフラムもそのサイズが大きなものとなる。ダイヤフラムのサイズは、２ｍ×４ｍ（縦×横）以上であり、その重量は３０ｋｇ以上となる。このようなダイヤフラムをラミネート装置に適正に取付けすることは、多大な時間と労力を必要とする作業であった。これまで、このようなダイヤフラムの取付作業を容易化する治具やまたその治具を使用したダイヤフラムの取付方法は提案されていない。   Such a laminating apparatus is increasing in size with an increase in the size of the solar cell module. Accordingly, the diaphragm used in the laminating apparatus also has a large size. The size of the diaphragm is 2 m × 4 m (length × width) or more, and its weight is 30 kg or more. Appropriately attaching such a diaphragm to a laminating apparatus was an operation requiring a great deal of time and labor. So far, no jig has been proposed for facilitating such a diaphragm mounting operation, and a diaphragm mounting method using the jig.

特開２００４−３１７３９号公報JP 2004-31739 A

ここで、ラミネート装置に使用されるダイヤフラムについて説明する。ラミネート装置は、下方向に向けて膨張自在なダイヤフラムを有する上ケースと、熱板を有する下ケースとを有している。この上ケースと下ケースとが開放された状態で太陽電池モジュール素材が積層された状態で下ケースの熱板上に搬送される。その後上ケースと下ケースが上下に重ねられ閉塞された空間が形成される。その空間は、ダイヤフラムにより上チャンバと下チャンバにより分割されている。下ケース内の熱板は、すでに加熱されている。したがって、太陽電池モジュールの構成部材である透明基体であるカバーガラスや充填材は加熱され、充填材は溶融開始する。上チャンバと下チャンバの真空引きを行い、一定の真空度に到達した後、上チャンバに大気を導入する。これにより上ケースのダイヤフラムが下方に膨張し太陽電池モジュールの構成部材は、熱板とダイヤフラムの間で挟圧され、ラミネート加工される。   Here, the diaphragm used for the laminating apparatus will be described. The laminating apparatus has an upper case having a diaphragm that is expandable downward, and a lower case having a hot plate. The solar cell module material is stacked in a state where the upper case and the lower case are opened, and is conveyed onto the hot plate of the lower case. Thereafter, the upper case and the lower case are stacked one above the other to form a closed space. The space is divided by an upper chamber and a lower chamber by a diaphragm. The hot plate in the lower case is already heated. Therefore, the cover glass and the filler, which are transparent substrates, which are constituent members of the solar cell module, are heated, and the filler starts to melt. The upper chamber and the lower chamber are evacuated, and after reaching a certain degree of vacuum, the atmosphere is introduced into the upper chamber. As a result, the diaphragm of the upper case expands downward, and the constituent members of the solar cell module are sandwiched between the hot plate and the diaphragm and laminated.

このダイヤフラムは、ラミネート加工中に太陽電池モジュールの構成部材である充填材が溶融する過程で発生する有機過酸化物等を含むガスに曝される。そのガスがダイヤフラムの内部に侵入し過架橋の状態になる。またダイヤフラムは、ラミネート加工中、太陽電池モジュールの構成部材を熱板との間で挟圧する際に、太陽電池モジュールの端部で屈曲する。このためにダイヤフラムは、多数回使用により屈曲部等から亀裂発生して破断する。従ってダイヤフラムを交換する作業は、必ず必要である。「背景技術」でも述べたようにダイヤフラムは、被加工物である太陽電池モジュールの大型化に伴い、そのサイズは大寸法となり、またその重量も増加している。従ってダイヤフラムの交換は、大変な作業であった。またラミネート加工工程は、太陽電池の製造工程においてタクトタイムが最も長い工程で有り、その交換作業に多大な時間を要することは太陽電池モジュールの生産数量の低下を招来する。したがって太陽電池の生産効率を向上させるために、ダイヤフラムの取付作業（交換作業）を短縮することは重要である。   This diaphragm is exposed to a gas containing an organic peroxide or the like generated in the process of melting the filler, which is a constituent member of the solar cell module, during the lamination process. The gas enters the inside of the diaphragm and enters a state of overcrosslinking. Further, the diaphragm bends at the end of the solar cell module when the component of the solar cell module is sandwiched between the hot plate during lamination. For this reason, the diaphragm breaks due to a crack generated from a bent portion or the like by multiple use. Therefore, it is necessary to replace the diaphragm. As described in “Background Art”, the diaphragm has a large size and a large weight as the solar cell module as a workpiece is enlarged. Therefore, exchanging the diaphragm was a difficult task. In addition, the laminating process is the process having the longest tact time in the manufacturing process of the solar cell, and the fact that the replacement work takes a long time leads to a decrease in the production quantity of the solar cell module. Therefore, in order to improve the production efficiency of the solar cell, it is important to shorten the diaphragm mounting work (replacement work).

本発明は、上述したような問題点に鑑みてなされたものであり、ラミネート装置にて使用されるダイヤフラムの取付作業を容易にするための取付治具及びその取付治具を使用したダイヤフラムの取付方法を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an attachment jig for facilitating attachment work of a diaphragm used in a laminating apparatus, and attachment of a diaphragm using the attachment jig It aims to provide a method.

上記目的を達成するための第１発明の取付治具は、ラミネート装置にダイヤフラムを取付けする際に使用する取付治具であって、前記取付治具は、一対以上の板状部材及びレバー状部材を備え、前記一対以上の板状部材をその間にダイヤフラムを挿入できるように配置し、前記レバー状部材は、一対以上の板状部材のいずれか一方側の板状部材の面上で回転可能に設け、前記一対の板状部材の間にダイヤフラムを挿入し、レバー状部材を回転操作することにより、前記ダイヤフラムを一対以上の板状部材によりクランプすることを特徴とする。   The mounting jig of the first invention for achieving the above object is a mounting jig used when mounting a diaphragm on a laminating apparatus, and the mounting jig includes a pair of plate-like members and lever-like members. The pair of plate-like members are arranged so that a diaphragm can be inserted therebetween, and the lever-like member is rotatable on the surface of the plate-like member on one side of the pair of plate-like members. And a diaphragm is inserted between the pair of plate-like members and the lever-like member is rotated to clamp the diaphragm with a pair of plate-like members.

第１発明の取付治具によれば、ラミネート装置に使用するダイヤフラムのサイズが大きく、且つ重たくても、容易にラミネート装置の上ケースに対して適正な位置にダイヤフラムを取付けすることができる。ダイヤフラムの取付に要する作業時間は約４分の１程度（従来２時間程度かかっていたものが３０分程度）に低減される。これによりラミネート装置による被加工物（太陽電池モジュール等）の生産効率が向上する。   According to the mounting jig of the first invention, even when the size of the diaphragm used in the laminating apparatus is large and heavy, the diaphragm can be easily mounted at an appropriate position with respect to the upper case of the laminating apparatus. The work time required to install the diaphragm is reduced to about one-quarter (about 30 minutes that used to take about 2 hours in the past). Thereby, the production efficiency of the workpiece (solar cell module or the like) by the laminating apparatus is improved.

第２発明のラミネート装置へのダイヤフラムの取付方法は、ラミネート装置に使用されるダイヤフラムの取付方法であって、前記ラミネート装置の上ケースと下ケースが開放した状態で下ケースの熱板上にダイヤフラムを載置する工程（Ａ）、と上ケースと下ケースを閉合し前記ダイヤフラム上に上ケースを載置する工程（Ｂ）、と前記工程（Ｂ）により上ケースから周囲にはみ出したダイヤフラムの部分を第1発明の取付治具を複数個使用しダイヤフラムに取付治具を固定する工程（Ｃ）、前記工程（Ｃ）の後に前記ダイヤフラムに固定した複数個の取付治具を適宜相互に引っ張り動作を加えることによりダイヤフラムを上ケースに対してたるみなく適正な位置になるように修正する工程（Ｄ）、及び前記工程（「Ｄ）の後に、ラミネート装置に付属するクランプ部材等でダイヤフラムを固定する工程（Ｅ）を有することを特徴とする。   The method of attaching the diaphragm to the laminating apparatus of the second invention is a method of attaching the diaphragm used in the laminating apparatus, wherein the upper case and the lower case of the laminating apparatus are opened and the diaphragm is placed on the hot plate of the lower case. The portion of the diaphragm protruding from the upper case by the step (A), the step (B) of closing the upper case and the lower case and placing the upper case on the diaphragm, and the step (B) The step (C) of fixing the mounting jig to the diaphragm using a plurality of mounting jigs of the first invention, and the plurality of mounting jigs fixed to the diaphragm after the step (C) appropriately pulling each other The step (D) of correcting the diaphragm so as to be in an appropriate position without sagging with respect to the upper case by adding, and after the step ("D) A step (E) of fixing the diaphragm with a clamp member attached to the device.

第２発明の取付方法は、第１発明のダイヤフラムの取付具を使用し、ラミネート装置にダイヤフラムの取付作業を行う。従って第１発明と同様の効果が発現する。   In the mounting method of the second invention, the diaphragm mounting tool of the first invention is used, and the diaphragm is attached to the laminating apparatus. Therefore, the same effect as the first invention is manifested.

被加工物としての太陽電池モジュールの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the solar cell module as a to-be-processed object. ラミネート装置の全体の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the whole lamination apparatus. ラミネート装置のラミネート部の側断面図である。It is a sectional side view of the lamination part of a laminating apparatus. ラミネート装置のラミネート加工時におけるラミネート部の側断面図である。It is a sectional side view of the lamination part at the time of the lamination process of a laminating apparatus. 本発明の取付治具２００の説明図。Explanatory drawing of the mounting jig 200 of this invention. 本発明の取付治具によりダイヤフラムをクランプした状態の説明図。Explanatory drawing of the state which clamped the diaphragm with the mounting jig of this invention. 本発明の取付治具３００の説明図。Explanatory drawing of the attachment jig 300 of this invention. 本発明の取付治具４００及び５００の説明図。Explanatory drawing of the fixtures 400 and 500 of this invention. 取付治具４００及び５００に使用する引張棒の説明図。Explanatory drawing of the tension rod used for the attachment jigs 400 and 500. FIG. 本発明のダイヤフラム取付方法における取付治具の配置の説明図。Explanatory drawing of arrangement | positioning of the attachment jig | tool in the diaphragm attachment method of this invention. 本発明のダイヤフラム取付方法における取付治具の配置の説明図。Explanatory drawing of arrangement | positioning of the attachment jig | tool in the diaphragm attachment method of this invention. 本発明のダイヤフラム取付方法の説明図。Explanatory drawing of the diaphragm attachment method of this invention. 本発明のダイヤフラム取付方法の説明図。Explanatory drawing of the diaphragm attachment method of this invention. 本発明のダイヤフラム取付方法の説明図。Explanatory drawing of the diaphragm attachment method of this invention. 本発明のダイヤフラム取付方法の説明図。Explanatory drawing of the diaphragm attachment method of this invention.

以下、図面を参照して本実施形態に係るラミネート装置に使用されるダイヤフラムの取付治具及び取付方法について説明する。   Hereinafter, a diaphragm mounting jig and a mounting method used in the laminating apparatus according to the present embodiment will be described with reference to the drawings.

まず、ラミネート装置でラミネートされる被加工物１０について説明する。 図１は、被加工物１０として結晶系セルを使用した太陽電池モジュールの構成を示す断面図である。太陽電池モジュール１０は、図示のように、透明なカバーガラス１１と裏面材１２との間に、充填材１３、１４を介してストリング１５を挟み込んだ構成を有する。裏面材１２にはポリエチレン樹脂等の材料が使用される。また、充填材１３、１４にはＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂等が使用される。ストリング１５は、電極１６、１７の間に結晶系セルとしての太陽電池セル１８をリード線１９を介して接続した構成である。   First, the workpiece 10 to be laminated by a laminating apparatus will be described. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a solar cell module using a crystal cell as a workpiece 10. As shown in the drawing, the solar cell module 10 has a configuration in which a string 15 is sandwiched between a transparent cover glass 11 and a back material 12 via fillers 13 and 14. A material such as polyethylene resin is used for the back material 12. The fillers 13 and 14 are made of EVA (ethylene vinyl acetate) resin or the like. The string 15 has a configuration in which solar cells 18 as crystal cells are connected between electrodes 16 and 17 via lead wires 19.

また、被加工物１０としては、上述した太陽電池モジュールだけではなく、一般に薄膜式と呼ばれる太陽電池モジュールを対象とすることもできる。この薄膜式太陽電池モジュールの代表的な構造例では、透明なカバーガラスに、予め、透明電極、半導体、裏面電極からなる発電素子が蒸着してある。このような薄膜式太陽電池モジュールは、カバーガラスを下向きに配置し、カバーガラス上の発電素子の上に充填材を被せる。更に、充填材の上に裏面材を被せた構造になっている。このような状態で真空加熱ラミネートすることにより薄膜式太陽電池モジュールの構成部材が接着される。すなわち、薄膜式太陽電池モジュールは、上述した太陽電池モジュールの結晶系セルが蒸着された発電素子に変わるだけである。薄膜式太陽電池モジュールの基本的な封止構造は上述した太陽電池モジュールと同じである。   Moreover, as the workpiece 10, not only the solar cell module described above but also a solar cell module generally called a thin film type can be targeted. In a typical structure example of this thin film solar cell module, a power generation element composed of a transparent electrode, a semiconductor, and a back electrode is deposited on a transparent cover glass in advance. In such a thin film solar cell module, the cover glass is disposed downward, and the power generation element on the cover glass is covered with a filler. Further, the back material is covered on the filler. The components of the thin film solar cell module are bonded by vacuum heating lamination in such a state. That is, the thin film solar cell module is merely changed to a power generation element on which the above-described solar cell module crystal cells are deposited. The basic sealing structure of the thin film solar cell module is the same as that of the solar cell module described above.

図２は、本実施形態に係るラミネート装置１００の全体の構成を示す図である。ラミネート装置１００は、上ケース１１０と、下ケース１２０と、被加工物１０を搬送するための搬送ベルト１３０とを有する。搬送ベルト１３０は、被加工物１０を上ケース１１０と下ケース１２０との間に搬送する。ラミネート装置１００には、ラミネート前の被加工物１０をラミネート装置１００に搬送するための搬入コンベア２００が設けられている。また、ラミネート装置１００には、ラミネート後の被加工物１０をラミネート装置１００から搬出するための搬出コンベア３００が設けられている。搬入コンベア２００と搬出コンベア３００とは、連設されている。被加工物１０は、搬入コンベア２００から搬送ベルト１３０に受け渡され、搬送ベルト１３０から搬出コンベア３００に受け渡される。   FIG. 2 is a diagram illustrating an overall configuration of the laminating apparatus 100 according to the present embodiment. The laminating apparatus 100 includes an upper case 110, a lower case 120, and a conveyance belt 130 for conveying the workpiece 10. The conveyor belt 130 conveys the workpiece 10 between the upper case 110 and the lower case 120. The laminating apparatus 100 is provided with a carry-in conveyor 200 for conveying the workpiece 10 before laminating to the laminating apparatus 100. Further, the laminating apparatus 100 is provided with a carry-out conveyor 300 for carrying out the workpiece 10 after lamination from the laminating apparatus 100. The carry-in conveyor 200 and the carry-out conveyor 300 are connected in series. The workpiece 10 is transferred from the carry-in conveyor 200 to the conveyance belt 130 and from the conveyance belt 130 to the carry-out conveyor 300.

ラミネート装置１００には、シリンダ及びピストンロッド等で構成される図示しない昇降装置が設けられている。昇降装置は、上ケース１１０を水平状態に維持したまま下ケース１２０に対して昇降させることができる。昇降装置が上ケース１１０を下降させることで、上ケース１１０と下ケース１２０との内部空間を密閉させることができる。   The laminating apparatus 100 is provided with a lifting device (not shown) composed of a cylinder, a piston rod, and the like. The lifting device can lift and lower the upper case 110 with respect to the lower case 120 while maintaining the horizontal state. The elevating device lowers the upper case 110 so that the internal space between the upper case 110 and the lower case 120 can be sealed.

次に、本実施形態に係るラミネート装置１００のラミネート部１０１の構成についてより具体的に説明する。図３は、ラミネート装置１００において被加工物１０をラミネートするラミネート部１０１の側断面図である。図４は、ラミネート加工時におけるラミネート部１０１の側断面図である。   Next, the configuration of the laminating unit 101 of the laminating apparatus 100 according to the present embodiment will be described more specifically. FIG. 3 is a side sectional view of a laminating unit 101 that laminates the workpiece 10 in the laminating apparatus 100. FIG. 4 is a cross-sectional side view of the laminating unit 101 during laminating.

上ケース１１０には、下方向に開口された空間が形成されている。この空間には、空間を水平に仕切るようにダイヤフラム１１２が設けられている。ダイヤフラムは、上ケース１１０とクランプ枠１２５により挟み込み固定されている。ダイヤフラム１１２は、シリコーン系のゴム等の耐熱性のあるゴムにより成形されている。後述するように、ダイヤフラム１１２は、被加工物１０を押圧する押圧部材として機能し、ラミネートを行う。上ケース１１０内には、ダイヤフラム１１２によって仕切られた空間（上チャンバ１１３）が形成される。   The upper case 110 is formed with a space opened downward. In this space, a diaphragm 112 is provided so as to partition the space horizontally. The diaphragm is sandwiched and fixed between the upper case 110 and the clamp frame 125. The diaphragm 112 is formed of heat-resistant rubber such as silicone rubber. As will be described later, the diaphragm 112 functions as a pressing member that presses the workpiece 10 and performs lamination. A space (upper chamber 113) partitioned by a diaphragm 112 is formed in the upper case 110.

また、上ケース１１０の上面には、上チャンバ１１３と連通する吸排気口１１４が設けられている。上チャンバ１１３では、吸排気口１１４を介して、上チャンバ１１３内を真空引きして真空状態にしたり、上チャンバ１１３内に大気を導入したりすることができる。   An intake / exhaust port 114 communicating with the upper chamber 113 is provided on the upper surface of the upper case 110. In the upper chamber 113, the inside of the upper chamber 113 can be evacuated and the atmosphere can be introduced into the upper chamber 113 via the intake / exhaust port 114.

下ケース１２０には、上方向に開口された空間（下チャンバ１２１）が形成されている。この空間には、熱板１２２（パネル状のヒータ）が設けられている。熱板１２２は、下ケース１２０の底面に立設された支持部材によって、水平状態を保つように支持されている。この場合に、熱板１２２は、その表面が下チャンバ１２１の開口面とほぼ同一高さになるように支持される。   In the lower case 120, a space (lower chamber 121) opened upward is formed. In this space, a hot plate 122 (panel-shaped heater) is provided. The hot plate 122 is supported by a support member erected on the bottom surface of the lower case 120 so as to maintain a horizontal state. In this case, the hot plate 122 is supported so that the surface thereof is substantially level with the opening surface of the lower chamber 121.

また、下ケース１２０の下面には、下チャンバ１２１と連通する吸排気口１２３が設けられている。下チャンバ１２１では、吸排気口１２３を介して、下チャンバ１２１内を真空引きして真空状態にしたり、下チャンバ１２１内に大気を導入したりすることができる。   An intake / exhaust port 123 communicating with the lower chamber 121 is provided on the lower surface of the lower case 120. In the lower chamber 121, the inside of the lower chamber 121 can be evacuated and the atmosphere can be introduced into the lower chamber 121 through the intake / exhaust port 123.

上ケース１１０と下ケース１２０との間であって、熱板１２２の上方には、搬送ベルト１３０が移動自在に設けられている。搬送ベルト１３０は、図２の搬入コンベア２００からラミネート前の被加工物１０を受け取ってラミネート部１０１の中央位置、すなわち熱板１２２の中央部に正確に搬送する。また、搬送ベルト１３０は、ラミネート後の被加工物１０を図２の搬出コンベア３００に受け渡す。   A conveyor belt 130 is movably provided between the upper case 110 and the lower case 120 and above the heat plate 122. The conveyor belt 130 receives the workpiece 10 before lamination from the carry-in conveyor 200 of FIG. 2 and accurately conveys it to the central position of the laminating unit 101, that is, the central part of the hot plate 122. Moreover, the conveyance belt 130 delivers the workpiece 10 after lamination to the carry-out conveyor 300 in FIG.

また、上ケース１１０と下ケース１２０との間であって、搬送ベルト１３０の上方には、図示しないが剥離シートを設ける場合もある。剥離シートは、被加工物１０の充填材１３、１４（図１参照）が溶融したときに、充填材１３、１４がダイヤフラム１１２に付着するのを防止する。   Further, although not shown, a release sheet may be provided between the upper case 110 and the lower case 120 and above the conveyor belt 130. The release sheet prevents the fillers 13 and 14 from adhering to the diaphragm 112 when the fillers 13 and 14 (see FIG. 1) of the workpiece 10 are melted.

次に、本実施形態に係るラミネート装置１００によるラミネート工程についてより具体的に説明する。まず、図３に示すように、搬送ベルト１３０は、被加工物１０をラミネート部１０１の中央位置に搬送する。なお、このとき、下チャンバ１２１や熱板１２２に配設された上下動可能な図示しない保持ピン等を上昇させることで、被加工物１０を熱板１２２上から離間した位置に保持しておいてもよい。   Next, the laminating process by the laminating apparatus 100 according to the present embodiment will be described more specifically. First, as shown in FIG. 3, the conveyance belt 130 conveys the workpiece 10 to the center position of the laminate unit 101. At this time, the workpiece 10 is held at a position spaced apart from the hot plate 122 by raising a holding pin (not shown) which is arranged in the lower chamber 121 and the hot plate 122 and can move up and down. May be.

次に、昇降装置は、上ケース１１０を下降させる。上ケース１１０を下降させることにより、図４に示すように、上ケース１１０と下ケース１２０との内部空間は、密閉される。すなわち、上ケース１１０と下ケース１２０との内部にて上チャンバ１１３及び下チャンバ１２１は、それぞれ密閉状態に保つことができる。   Next, the lifting device lowers the upper case 110. By lowering the upper case 110, the internal space between the upper case 110 and the lower case 120 is sealed as shown in FIG. That is, the upper chamber 113 and the lower chamber 121 can be kept sealed inside the upper case 110 and the lower case 120, respectively.

次に、ラミネート装置１００は、上ケース１１０の吸排気口１１４を介して、上チャンバ１１３内の真空引きを行う。同様に、ラミネート装置１００は、下ケース１２０の吸排気口１２３を介して、下チャンバ１２１内の真空引きを行う（真空工程）。下チャンバ１２１の真空引きにより、被加工物１０内に含まれている気泡は、被加工物１０外に送出される。なお、上下動可能な図示しない保持ピンにより被加工物１０を、熱板１２２上から離間した位置に保持していた場合は、真空工程の略後半から、保持ピンを下降して被加工物１０を熱板１２２上に載置する。
被加工物１０は、温度制御装置などにより温度制御して加熱された熱板１２２によって加熱されるので、被加工物１０の内部に含まれる充填材１３、１４も加熱される。 Next, the laminating apparatus 100 evacuates the upper chamber 113 through the intake / exhaust port 114 of the upper case 110. Similarly, the laminating apparatus 100 evacuates the lower chamber 121 through the intake / exhaust port 123 of the lower case 120 (vacuum process). Due to the evacuation of the lower chamber 121, the bubbles contained in the workpiece 10 are sent out of the workpiece 10. When the workpiece 10 is held at a position separated from the hot plate 122 by a holding pin (not shown) that can move up and down, the holding pin is lowered from substantially the second half of the vacuum process to move the workpiece 10. Is placed on the hot plate 122.
Since the workpiece 10 is heated by the hot plate 122 heated by controlling the temperature with a temperature control device or the like, the fillers 13 and 14 included in the workpiece 10 are also heated.

次に、ラミネート装置１００は、下チャンバ１２１の真空状態を保ったまま、上ケース１１０の吸排気口１１４を介して、上チャンバ１１３に大気を導入する。これにより、上チャンバ１１３と下チャンバ１２１との間に気圧差が生じることで、ダイヤフラム１１２が膨張する。従って、ダイヤフラム１１２は、図４に示すように下方に押し出される（加圧工程）。被加工物１０は、下方に押し出されたダイヤフラム１１２と、熱板１２２とで挟圧され、加熱により溶融された充填材１３、１４によって各構成部材が接着される。   Next, the laminating apparatus 100 introduces air into the upper chamber 113 through the intake / exhaust port 114 of the upper case 110 while maintaining the vacuum state of the lower chamber 121. As a result, a pressure difference is generated between the upper chamber 113 and the lower chamber 121, so that the diaphragm 112 expands. Accordingly, the diaphragm 112 is pushed downward as shown in FIG. 4 (pressurizing step). The workpiece 10 is sandwiched between the diaphragm 112 extruded downward and the hot plate 122, and the constituent members are bonded to each other by the fillers 13 and 14 melted by heating.

このとき、充填材１３、１４がカバーガラス１１と裏面材１２との間からはみ出てしまうことがあるものの、はみ出した充填材１３、１４は剥離シートに付着する。このように剥離シートを介在させることにより、はみ出した充填材１３、１４がダイヤフラム１１２に付着するのを防止する。従って、剥離シートは、ダイヤフラム１１２から次にラミネートする被加工物１０に充填材１３、１４が付着するのを防止する。また、はみ出した充填材１３、１４が、搬送ベルト１３０上に付着した場合は、付着した充填材１３、１４は、図示しないクリーニング機構により除去される。   At this time, although the fillers 13 and 14 may protrude from between the cover glass 11 and the back surface material 12, the protruding fillers 13 and 14 stick to the release sheet. By interposing the release sheet in this way, the protruding fillers 13 and 14 are prevented from adhering to the diaphragm 112. Therefore, the release sheet prevents the fillers 13 and 14 from adhering to the workpiece 10 to be laminated next from the diaphragm 112. Further, when the protruding fillers 13 and 14 adhere to the conveyor belt 130, the attached fillers 13 and 14 are removed by a cleaning mechanism (not shown).

このようにラミネート工程が終了した後、ラミネート装置１００は、下ケース１２０の吸排気口１２３を介して、下チャンバ１２１に大気を導入する。このとき、昇降装置は、上ケース１１０を上昇させる。上ケース１１０を上昇させることにより、図３に示すように、搬送ベルト１３０を移動させることができるようになる。搬送ベルト１３０は、ラミネート後の被加工物１０を搬出コンベア３００に受け渡す。   After the laminating process is thus completed, the laminating apparatus 100 introduces air into the lower chamber 121 through the intake / exhaust port 123 of the lower case 120. At this time, the lifting device raises the upper case 110. By raising the upper case 110, the conveyor belt 130 can be moved as shown in FIG. The conveyor belt 130 delivers the workpiece 10 after lamination to the carry-out conveyor 300.

ラミネート加工は、上記のように行われる。その過程で充填材（ＥＶＡ）が溶融し有機過酸化物を含んだガスが発生する。このガスは、ダイヤフラム１１２の表面が剥離シートにより覆われている場合でも、周囲の隙間からダイヤフラムと剥離シートの間の空間に侵入しダイヤフラムの内部に吸収されてしまう。その結果ダイヤフラムの表面は過架橋の状態になり、ダイヤフラムの破断の原因になる。このようにダイヤフラムは、一定回数の使用により破断し、交換する必要がある。   Lamination is performed as described above. In the process, the filler (EVA) melts and a gas containing an organic peroxide is generated. Even when the surface of the diaphragm 112 is covered with the release sheet, this gas enters the space between the diaphragm and the release sheet from the surrounding gap and is absorbed into the inside of the diaphragm. As a result, the surface of the diaphragm becomes overcrosslinked, causing the diaphragm to break. Thus, the diaphragm needs to be broken and replaced after a certain number of uses.

このダイヤフラムは、被加工物である太陽電池モジュールの大型化にともない、そのサイズは２ｍ×４ｍ（縦×横）以上の大きさとなり、またその重量も３０ｋｇ以上である。従って、このようなダイヤフラムをラミネート装置に適正に取付けする作業は、多大な時間と労力を必要とする作業である。   This diaphragm has a size of 2 m × 4 m (length × width) or more and a weight of 30 kg or more as the size of the solar cell module as a workpiece increases. Therefore, the operation of properly attaching such a diaphragm to the laminating apparatus is an operation that requires a lot of time and labor.

次に、このようなダイヤフラム１１２のラミネート装置１００への取付を容易にする取付治具２００、３００、４００及び５００について説明する。   Next, mounting jigs 200, 300, 400 and 500 that facilitate mounting of the diaphragm 112 to the laminating apparatus 100 will be described.

＜取付治具２００＞
本発明の取付治具２００の構成を図５により説明する。取付治具２００は、クランプ板２０１、クランプレバー２０２、Ｕ字型部材２０３、及び取手部２０４から構成されている。クランプ板２０１は、各２枚ずつ２組が一定距離をおいてＵ字部材２０３に取付けされている。この２枚のクランプ板２０１は、通常はダイヤフラムが挿入できる程度の隙間Ｓだけ離して設けられている。クランプ板２０１のダイヤフラムを把持する部分は、傷が付かない程度の突起Ｔが複数個設けられている。またクランプ板には、隙間Ｓに挿入したダイヤフラムを挟み込むためのクランプレバー２０２が各組のクランプ板の一方側に設けられている。このクランプレバーは、ワンタッチ式となっており、レバーのピンＰを中心に旋回（回転）動作させることによりダイヤフラムの把持クランプが可能である（図６参照）。さらにＵ字型部材２０３には取付治具２００全体を引っ張ることができるように取手部２０４が設けられている。 <Mounting jig 200>
The configuration of the mounting jig 200 of the present invention will be described with reference to FIG. The mounting jig 200 includes a clamp plate 201, a clamp lever 202, a U-shaped member 203, and a handle portion 204. Two pairs of clamp plates 201 are attached to the U-shaped member 203 at a fixed distance. The two clamp plates 201 are usually provided separated by a gap S enough to insert a diaphragm. A portion of the clamp plate 201 that grips the diaphragm is provided with a plurality of protrusions T that are not damaged. The clamp plate 202 is provided with a clamp lever 202 for sandwiching the diaphragm inserted in the gap S on one side of each set of clamp plates. This clamp lever is of a one-touch type, and the diaphragm can be clamped by rotating (rotating) around the pin P of the lever (see FIG. 6). Further, the U-shaped member 203 is provided with a handle portion 204 so that the entire mounting jig 200 can be pulled.

この隙間Ｓは、クランプレバー２０２をクランプ板２０１の面内に矢印方向に回転させることにより大きくまた小さくすることができる。これにより厚さの異なるダイヤフラムに対して使用することができる。またクランプ板のダイヤフラムの挿入側の角部Ｋには、ダイヤフラムが挿入しやすいように傾斜面（図示しない）を設けることもできる。   The gap S can be increased or decreased by rotating the clamp lever 202 in the direction of the arrow in the plane of the clamp plate 201. Thus, it can be used for diaphragms having different thicknesses. In addition, an inclined surface (not shown) can be provided at the corner K of the clamp plate on the diaphragm insertion side so that the diaphragm can be easily inserted.

クランプ板のダイヤフラム把持部の突起Ｔの深さＤ（図５の突起Ｔの拡大図参照）は、０．０５ｍｍから１．０ｍｍ以下とすることができる。この深さＤは、好ましくは、０．１ｍｍから０．７ｍｍ、より好ましくは０．２ｍｍから０．６ｍｍとすることができる。この深さＤが、０．０５ｍｍを下回るとダイヤフラムを取付治具でクランプし引っ張る際にダイヤフラムが滑ってしまい引っ張ることができない虞がある。またこの深さＤが、１．０ｍｍを超えるとダイヤフラムを取付治具でクランプし引っ張る際にダイヤフラムに傷がつく虞がある。   The depth D of the protrusion T of the diaphragm gripping portion of the clamp plate (see the enlarged view of the protrusion T in FIG. 5) can be 0.05 mm to 1.0 mm or less. This depth D can be preferably 0.1 mm to 0.7 mm, more preferably 0.2 mm to 0.6 mm. If the depth D is less than 0.05 mm, the diaphragm may slide and cannot be pulled when the diaphragm is clamped and pulled by the mounting jig. If the depth D exceeds 1.0 mm, the diaphragm may be damaged when the diaphragm is clamped and pulled by a mounting jig.

図６は、取付治具２００でダイヤフラムを把持した状態を示している。クランプレバー２０２をピンＰを中心に実線矢印方向に回転させるとダイヤフラムが把持クランプされた状態となる。これにより人が取手を持ちダイヤフラムが滑ることなく引張ることができる。クランプレバーは、破線矢印方向に回転させるとアンクランプ状態となる。   FIG. 6 shows a state in which the diaphragm is gripped by the mounting jig 200. When the clamp lever 202 is rotated about the pin P in the direction of the solid line arrow, the diaphragm is gripped and clamped. Thus, a person can hold the handle and pull the diaphragm without slipping. When the clamp lever is rotated in the direction of the broken line arrow, the clamp lever enters an unclamped state.

＜取付治具３００＞
本発明の取付治具３００の構成を図７により説明する。取付治具３００は、クランプ板２０１、クランプレバー２０２、Ｕ字型部材２０３、及び取手部２０４から構成されている。取付治具３００は、取付治具２００とクランプ板が１組設けられていることのみが異なる。その他の基本的な構成・構造は同じである。従って各構成部材の符合は取付治具と同一番号を付与している。従って取付治具３００は、取付治具２００と同じ形態を採用することができる。 <Mounting jig 300>
The configuration of the mounting jig 300 of the present invention will be described with reference to FIG. The attachment jig 300 includes a clamp plate 201, a clamp lever 202, a U-shaped member 203, and a handle portion 204. The attachment jig 300 is different only in that one set of the attachment jig 200 and the clamp plate is provided. Other basic configurations and structures are the same. Accordingly, the reference numerals of the constituent members are assigned the same numbers as those of the mounting jig. Therefore, the mounting jig 300 can adopt the same form as the mounting jig 200.

＜取付治具４００及び５００の説明＞
取付治具４００は、図５に示した取付治具２００の取手部を図８に示すような穴加工したブラケット４０４をＵ字型部材２０３に取り付けした構成のものである。また取付治具５００は、図７に示した取付治具３００の取手部を図８に示すような穴加工したブラケット４０４をＵ字型部材２０３に取り付けした構成のものである。クランプ板及びクランプレバーも取付具２００と同一である。このような形態の取付治具を使用する時、図９で示す引張棒４０５等の補助具を併用する。補助具の形状は、取付治具をその離れた位置から引っ張ることができれば、その形状は問わない。このような形態の取付治具は、ラミネート装置にダイヤフラムを取付ける際に人がダイヤフラムの正面に立ちにくいような場合に使用する。このことは、本発明のダイヤフラムの取り付け方法のところで説明する。尚取付治具４００及び５００は、取付治具２００と同じ形態を採用することができる。 <Description of mounting jigs 400 and 500>
The mounting jig 400 has a configuration in which a bracket 404 in which a handle portion of the mounting jig 200 shown in FIG. The mounting jig 500 has a configuration in which a bracket 404 in which the handle portion of the mounting jig 300 shown in FIG. 7 is drilled as shown in FIG. 8 is attached to the U-shaped member 203. The clamp plate and the clamp lever are also the same as the fixture 200. When using the mounting jig of such a form, auxiliary tools, such as the tension bar 405 shown in FIG. 9, are used together. The shape of the auxiliary tool is not limited as long as the mounting jig can be pulled from the position away from the mounting tool. The mounting jig having such a form is used when it is difficult for a person to stand in front of the diaphragm when attaching the diaphragm to the laminating apparatus. This will be explained in the diaphragm mounting method of the present invention. The attachment jigs 400 and 500 can adopt the same form as the attachment jig 200.

＜取付方法の説明＞
ダイヤフラムをラミネート装置に取付する方法について図１０、図１１及び図１２から図１６により説明する。本明細書のラミネート加工の説明を行なったラミネート装置１００にダイヤフラム１１２を取付ける場合で説明する。
１）工程Ａ
まずラミネート装置１００の上ケース１１０と下ケース１２０が上下に開放した状態で下ケースの熱板上にダイヤフラムを１１２載置する。
２）工程Ｂ：図１２参照
上ケース１１０と下ケース１２０を閉合し、前記ダイヤフラム１１２上に上ケース１１０を載置する。この時熱板は加熱された状態で有り、熱板によりダイヤフラムは加熱される。これによりダイヤフラムは、熱膨張した状態となる。このようにダイヤフラムが熱膨張した状態でラミネート装置に取り付けを行なう。
３）工程Ｃ：図１３参照
工程Ｂにより上ケースから周囲にはみ出したダイヤフラムの部分に本発明の取付治具２００又は３００を複数個使用しダイヤフラムを取付治具で把持固定する。取付治具は、例えば図１０に示すように取付け配置する。図１０では、ダイヤフラムの長辺側及び短辺側に取付治具２００を４個ずつ配置している。この数量はダイヤフラムの大きさにより適宜決定される。またダイヤフラムのコーナー部には、ダイヤフラムのコーナー部を適正に引張ることができるように取付治具３００をダイヤフラムの４隅に配置している。
尚ダイヤフラムの取付作業で作業上問題無い場合、例えば図１においてラミネート装置の被加工物の搬出入用コンベア装置が無いような場合、取付治具２００のみ、または取付治具３００のみを使用しても良い。
４）工程Ｄ：図１３参照
前記工程Ｃの後にダイヤフラムに固定した複数個の取付治具２００又は取付治具３００により引張ることができように上ケースを昇降装置によりわずか上昇させる。複数個の取付治具により相互に引っ張り動作を加えることにより、ダイヤフラムを上ケースに対して、たるみなく適正な位置になるように修正する。
５）工程Ｅ：図１４及び図１５参照
上記の前記工程Ｄの後に前記取付治具でダイヤフラムを上方へ引張りながら、ラミネート装置の上ケースの側面に設けられたクランプ部材でダイヤフラムを固定する。これによりダイヤフラムはラミネート装置に取り付けされる。
クランプ部材は、ワンタッチ式のトグルクランプをクランプ枠１２５に取り付けした形態とすることができる。このトグルクランプにより、ダイヤフラムをクランプ枠で挟み込み、このクランプ枠を上ケースに固定することによりダイヤフラムのラミネート装置への取付が完了する。 <Description of mounting method>
A method of attaching the diaphragm to the laminating apparatus will be described with reference to FIGS. 10, 11 and 12 to 16. FIG. A case will be described in which the diaphragm 112 is attached to the laminating apparatus 100 that has performed the laminating process of the present specification.
1) Process A
First, the diaphragm 112 is placed on the hot plate of the lower case with the upper case 110 and the lower case 120 opened vertically.
2) Step B: See FIG. 12 The upper case 110 and the lower case 120 are closed, and the upper case 110 is placed on the diaphragm 112. At this time, the hot plate is in a heated state, and the diaphragm is heated by the hot plate. As a result, the diaphragm is in a thermally expanded state. In this manner, the diaphragm is attached to the laminating apparatus in a state where the diaphragm is thermally expanded.
3) Step C: See FIG. 13 A plurality of mounting jigs 200 or 300 of the present invention are used in the diaphragm portion protruding from the upper case in the step B, and the diaphragm is gripped and fixed by the mounting jig. The mounting jig is mounted and arranged as shown in FIG. 10, for example. In FIG. 10, four mounting jigs 200 are arranged on each of the long side and the short side of the diaphragm. This quantity is appropriately determined depending on the size of the diaphragm. At the corners of the diaphragm, mounting jigs 300 are arranged at the four corners of the diaphragm so that the corners of the diaphragm can be properly pulled.
If there is no problem in the diaphragm mounting work, for example, if there is no conveyor device for loading and unloading the workpiece of the laminating apparatus in FIG. 1, only the mounting jig 200 or only the mounting jig 300 is used. Also good.
4) Process D: See FIG. 13 After the process C, the upper case is slightly raised by the lifting device so that it can be pulled by the plurality of mounting jigs 200 or mounting jigs 300 fixed to the diaphragm. By applying a pulling operation to each other with a plurality of mounting jigs, the diaphragm is corrected so as to be in an appropriate position without sagging with respect to the upper case.
5) Step E: See FIGS. 14 and 15 After the above step D, the diaphragm is fixed by a clamp member provided on the side surface of the upper case of the laminating apparatus while pulling the diaphragm upward with the mounting jig. As a result, the diaphragm is attached to the laminating apparatus.
The clamp member can be configured such that a one-touch type toggle clamp is attached to the clamp frame 125. With this toggle clamp, the diaphragm is sandwiched between the clamp frames, and the clamp frame is fixed to the upper case, thereby completing the attachment of the diaphragm to the laminating apparatus.

またクランプ部材は、Ｃ型固定具を使用することもできる。このＣ型固定具により、ダイヤフラムをクランプ枠で挟み込んだ状態で、このクランプ枠と上ケースを固定することによりダイヤフラムのラミネート装置への取付が完了する。更にダイヤフラムをクランプ枠を使用せず、トグルクランプを使用し上ケースの側面にダイヤフラムを直接固定する方式で固定しても良い。   In addition, a C-shaped fixture can be used as the clamp member. With the C-shaped fixture, the diaphragm is attached to the laminating apparatus by fixing the clamp frame and the upper case in a state where the diaphragm is sandwiched between the clamp frames. Furthermore, the diaphragm may be fixed by using a toggle clamp and directly fixing the diaphragm to the side surface of the upper case without using the clamp frame.

＜取付方法の別例の説明＞
上記の取付方法では、ダイヤフラムの長辺側、短辺側及びコーナー部に取付治具２００と３００を用いた。本取付方法では、ダイヤフラムの取付の際に取付作業を行い難い場所に、取付治具４００と５００を使用する。ラミネート装置に付属する機器や装置によりダイヤフラムの引張りを行い難い場合に使用する。実際に使用する場合は、図１１のように各取付治具を配置し、図９の引張棒を用いて引張動作を行なう。 <Description of another example of mounting method>
In the above attachment method, the attachment jigs 200 and 300 are used on the long side, the short side, and the corner of the diaphragm. In this mounting method, the mounting jigs 400 and 500 are used in a place where it is difficult to perform the mounting work when mounting the diaphragm. Used when it is difficult to pull the diaphragm with the equipment and equipment that comes with the laminator. When actually used, each mounting jig is arranged as shown in FIG. 11, and a tensioning operation is performed using the tension bar shown in FIG.

上記のように本発明のダイヤフラムの取付治具及びその取付方法を用いて、ダイヤフラムの取付け作業を行うことにより、その取付作業は格段に容易となりと取付作業時間も激減した。これによりラミネート装置による太陽電池モジュールの生産効率も向上した。   As described above, by performing the diaphragm mounting operation using the diaphragm mounting jig and the mounting method according to the present invention, the mounting operation becomes much easier and the mounting time is drastically reduced. As a result, the production efficiency of the solar cell module by the laminating apparatus was also improved.

１０ 被加工物（太陽電池モジュール）
１１ カバーガラス
１３、１４ 充填材
１００ ラミネート装置
１０１ ラミネート部
１１０ 上ケース
１１２ ダイヤフラム
１１３ 上チャンバ
１２０ 下ケース
１２１ 下チャンバ
１２２ 熱板
１２５ クランプ枠
２００ 取付治具
２０１ クランプ板
２０２ クランプレバー
２０３ Ｕ字型部材
２０４ 取手部
３００ 取付治具
４００ 取付治具
４０４ ブラケット（取付治具４００及び５００用）
４０５ 引張棒（取付治具４００及び５００用）
５００ 取付治具
Ｈ 穴
Ｋ 角部
Ｐ ピン
Ｓ 隙間
Ｔ 突起
10 Workpiece (solar cell module)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Cover glass 13, 14 Filler 100 Laminating apparatus 101 Laminating part 110 Upper case 112 Diaphragm 113 Upper chamber 120 Lower case 121 Lower chamber 122 Hot plate 125 Clamp frame 200 Mounting jig 201 Clamp plate 202 Clamp lever 203 U-shaped member 204 Handle 300 Mounting jig 400 Mounting jig 404 Bracket (for mounting jigs 400 and 500)
405 Tensile bar (for mounting jigs 400 and 500)
500 Mounting jig H Hole K Corner P Pin S Gap T Projection

Claims (2)

ラミネート装置にダイヤフラムを取付けする際に使用する取付治具であって、
前記取付治具は、一対以上の板状部材及びレバー状部材を備え、
前記一対以上の板状部材をその間にダイヤフラムを挿入できるように配置し、
前記レバー状部材は、一対以上の板状部材のいずれか一方側の板状部材の面上で回転可能に設け、
前記一対の板状部材の間にダイヤフラムを挿入し、レバー状部材を回転操作することにより、前記ダイヤフラムを一対以上の板状部材によりクランプすることを特徴とするダイヤフラムの取付治具。 An attachment jig used when attaching a diaphragm to a laminating apparatus,
The mounting jig includes a pair of plate-like members and lever-like members,
The pair of plate-shaped members are arranged so that a diaphragm can be inserted between them,
The lever-like member is rotatably provided on the surface of the plate-like member on either side of the pair of plate-like members,
A diaphragm mounting jig, wherein a diaphragm is inserted between the pair of plate-like members and the lever-like member is rotated to clamp the diaphragm with a pair of plate-like members. ラミネート装置に使用されるダイヤフラムの取付方法であって、
前記ラミネート装置の上ケースと下ケースが開放した状態で下ケースの熱板上にダイヤフラムを載置する工程（Ａ）と
上ケースと下ケースを閉合し、前記ダイヤフラム上に上ケースを載置する工程（Ｂ）と
前記工程（Ｂ）により上ケースから周囲にはみ出したダイヤフラムの部分を請求項１に記載の取付治具を複数個使用しダイヤフラムに取付治具を固定する工程（Ｃ）と
前記工程（Ｃ）の後に前記ダイヤフラムに固定した複数個の取付治具を適宜相互に引っ張り動作を加えることにより、ダイヤフラムを上ケースに対して、たるみなく適正な位置になるように修正する工程（Ｄ）及び
前記工程（Ｄ）の後に、ラミネート装置に付属するクランプ部材等でダイヤフラムを固定する工程（Ｅ）
を有することを特徴とするラミネート装置にダイフヤフラムを取付する取付方法。 A method of attaching a diaphragm used in a laminating apparatus,
The step (A) of placing the diaphragm on the hot plate of the lower case with the upper case and the lower case of the laminating apparatus open, the upper case and the lower case are closed, and the upper case is placed on the diaphragm The step (B) and the step (C) of fixing the mounting jig to the diaphragm using a plurality of mounting jigs according to claim 1 for the portion of the diaphragm protruding from the upper case by the step (B) After the step (C), a plurality of mounting jigs fixed to the diaphragm are appropriately pulled to each other, thereby correcting the diaphragm so that it is in an appropriate position without sagging with respect to the upper case (D ) And after the step (D), the step of fixing the diaphragm with a clamp member attached to the laminating apparatus (E)
The attachment method which attaches a diaphragm to the laminating apparatus characterized by having.

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