JP2015097292A - 位置決め固定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の測定部14に移動自在に構成され且つ被測定物であるウエハWと測定部14との相対的な位置合わせを行うアライメント装置50を位置決めして固定する位置決め固定装置において、測定部14毎に設けられ、各測定部14に移動したアライメント装置50の被固定部であるベース62を位置決めして固定する位置決め固定手段を備える。
【選択図】図1
Description
Claims (5)
- 複数の測定部に移動自在に構成され且つ被測定物と前記測定部との相対的な位置合わせを行うアライメント装置を位置決めして固定する位置決め固定装置において、
前記測定部毎に設けられ、各測定部に移動した前記アライメント装置の被固定部を位置決めして固定する位置決め固定手段を備える位置決め固定装置。 - 前記位置決め固定手段は、前記アライメント装置の被固定部の少なくとも3箇所を位置決めして着脱自在に把持固定するクランプ機構を備える請求項1に記載の位置決め固定装置。
- 前記位置決め固定手段は、前記アライメント装置の被固定部の少なくとも3箇所を位置決めする位置決め手段を備える請求項1に記載の位置決め固定装置。
- 前記位置決め固定手段は、前記位置決め手段とは別に構成され、前記アライメント装置の被固定部の少なくとも1箇所を着脱自在に保持する保持手段を備える請求項3に記載の位置決め固定装置。
- 前記位置決め固定手段は、前記アライメント装置の被固定部の水平方向を調節可能な高さ調整手段を備える請求項1〜4のいずれか1項に記載の位置決め固定装置。
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