JP2015088619A - 犠牲膜除去方法および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
そこで、本発明は、パターンの倒壊を抑制または防止しつつ、基板の表面から犠牲膜を均一に除去できる犠牲膜除去方法および基板処理装置を提供することを目的とする。
この発明の方法によれば、ウェットエッチング工程において複数の支柱の間に埋設されている犠牲膜は、その全部が除去されずに、その途中深さまで除去される。ウェットエッチング工程において除去されなかった犠牲膜は、乾燥工程の後、ドライエッチング工程において除去される。つまり、この発明の方法によれば、ドライエッチングと、ドライエッチングよりもエッチング効率が高いウェットエッチングとを併用しているため犠牲膜の除去を比較的短時間に実行することができる。
この発明の方法によれば、リンス工程の後、リンス液よりも表面張力の小さい低表面張力液が基板の表面に供給され、複数の支柱間に介在するリンス液が低表面張力液に置換される。これにより、各支柱に作用する表面張力が低下するため、乾燥時における支柱の倒壊をより有効に抑制または防止することができる。
この発明の方法によれば、複数の支柱は支持膜により支持されているため支柱の倒壊をより有効に抑制または防止することができる。ウェットエッチング工程は、穴部に対応する部分の犠牲膜から開始され、該穴部から進入したエッチング液は犠牲膜をエッチングし、支持膜と犠牲膜との間に空間を形成する。その後のドライエッチング工程では、エッチングガスが前記空間に供給され、支持膜と犠牲膜とに均一に作用し、犠牲膜のエッチングを均一に行うことができる。
支持膜の表面には、自然酸化膜が形成されていることがある。自然酸化膜が形成された状態でウェットエッチング工程を行うと、当該自然酸化膜が妨げとなって、均一に犠牲膜のエッチングが進行しない恐れがある。
請求項5に記載の発明は、複数の支柱と当該複数の支柱(67)の間に埋設された犠牲膜(73)とが形成された基板(W)を保持する基板保持手段(10,110,210)と、前記基板保持手段に保持されている基板にエッチング液を供給するためのエッチング液供給手段(11,111,211)と、前記基板保持手段に保持されている基板にエッチングガスを供給するためのエッチングガス供給手段(45,245)と、前記基板保持手段に保持されている基板にリンス液を供給するためのリンス液供給手段(12,112,212)と、前記基板保持手段に保持されている基板を回転させるための基板回転手段(13)と、前記エッチング液供給手段、前記エッチングガス供給手段、前記リンス液供給手段および前記基板回転手段を制御して、前記基板の表面にエッチング液を供給することにより、前記犠牲膜を途中深さまで除去するウェットエッチング工程(S5,S25,S35)と、前記ウェットエッチング工程の後に前記基板の表面にリンス液を供給することにより、前記基板の表面に付着している残留物を洗い流すリンス工程(S6,S26,S36)と、前記リンス工程の後に、前記基板の表面の液成分を除去する乾燥工程(S7,S28,S37)と、前記乾燥工程の後に前記基板の表面にエッチングガスを供給することにより、前記基板の表面に残存している犠牲膜を除去するドライエッチング工程(S11,S39)とを実行する制御手段(6,106,206,306)とを含む、基板処理装置(1,101,201,301)である。
請求項6に記載の発明は、前記基板保持手段に保持されている基板に前記リンス液よりも表面張力の小さい低表面張力液を供給するための低表面張力液供給手段(180)をさらに有し、前記制御手段は、前記リンス工程の後、前記乾燥工程に先立って、前記基板の表面に前記低表面張力液を供給して前記基板の表面のリンス液を前記低表面張力液に置換する低表面張力液置換工程を行う、請求項5記載の基板処理装置(101,301)である。
請求項7に記載の発明は、基板に対してエッチング液を用いたウェットエッチング処理を行うためのウェット処理チャンバ(2,302)と、前記ウェット処理チャンバと隔離して設けられ、前記ウェットエッチング処理後の基板に対して、エッチングガスを用いたドライエッチング処理を行うためのドライ処理チャンバ(3,303)とをさらに含み、前記ウェット処理チャンバは、前記基板保持手段、前記基板回転手段、前記エッチング液供給手段、および前記リンス液供給手段を収容し、前記ドライ処理チャンバは、前記基板保持手段および前記エッチングガス供給手段を収容する、請求項5に記載の基板処理装置(1,301)である。
請求項8に記載の発明は、基板に対してエッチング液を用いたウェットエッチング処理を行うためのウェット処理チャンバ(102,302)と、前記ウェット処理チャンバと隔離して設けられ、前記ウェットエッチング処理後の基板に対して、エッチングガスを用いたドライエッチング処理を行うためのドライ処理チャンバ(3,303)とをさらに含み、前記ウェット処理チャンバは、前記基板保持手段、前記基板回転手段、前記エッチング液供給手段、前記リンス液供給手段、および前記低表面張力液供給手段を収容し、前記ドライ処理チャンバは、前記基板保持手段および前記エッチングガス供給手段を収容する、請求項6に記載の基板処理装置(101,301)である。
請求項9に記載の発明は、前記基板保持手段、前記基板回転手段、前記エッチング液供給手段、前記リンス液供給手段、および前記エッチングガス供給手段を一括して収容する処理チャンバ(202)をさらに含む、請求項5に記載の基板処理装置(201,301)である。
請求項10に記載の発明は、前記基板保持手段、前記基板回転手段、前記エッチング液供給手段、前記リンス液供給手段、前記低表面張力液供給手段、および前記エッチングガス供給手段を一括して収容する処理チャンバ(202)をさらに含む、請求項6に記載の基板処理装置(201,301)である。
図1は、本発明の第1実施形態に係る基板処理装置1の概略構成を示す模式的な平面図である。
図1に示すように、基板処理装置1は、半導体基板(以下、単に「ウエハW」という、)を一枚ずつ処理する枚葉式の装置である。基板処理装置1は、たとえば、ウエハWの表面から、ポリシリコン(Poly−Si)からなる犠牲膜73(図4B参照)を除去するための基板処理装置である。
図1に示すように、ロードポートLP、ウェット処理ユニット2およびドライ処理ユニット3は、それぞれ水平方向に間隔を空けて配置されている。複数枚のウエハWを収容する複数のキャリアCは、平面視で、水平な配列方向Dに配列されている。インデクサロボットIRは、キャリアCからセンターロボットCRに複数枚のウエハWを一枚ずつ搬送し、センターロボットCRからキャリアCに複数枚のウエハWを一枚ずつ搬送する。同様に、センターロボットCRは、インデクサロボットIRからウェット処理ユニット2に複数枚のウエハWを一枚ずつ搬入する。また、センターロボットCRは、ウェット処理ユニット2からウエハWを搬出して、ドライ処理ユニット3にウエハWを搬入する。
ウェット処理ユニット2は、隔壁により区画されたウェット処理室4内に、ウエハWを保持するためのスピンチャック10(基板保持手段)と、スピンチャック10に保持されているウエハWにエッチング液を供給するためのエッチング液供給ユニット11(エッチング液供給手段)と、スピンチャック10に保持されているウエハWにリンス液を供給するためのリンス液供給ユニット12(リンス液供給手段)とを含む。
窒素ガス供給ユニット32は、窒素ガスノズル35を含む。窒素ガスノズル35は、ストレートノズルによって構成されていて、その吐出口を、ウエハWの表面中央部に向けた状態で、ウェット処理室4内において固定的に配置されている。窒素ガスノズル35には、窒素ガス供給源から窒素ガスが供給される窒素ガス配管36が接続されている。窒素ガス配管36には、窒素ガス配管36を開閉するための窒素ガスバルブ37が介装されている。窒素ガスバルブ37が開かれると、窒素ガス配管36から窒素ガスノズル35に窒素ガスが供給され、また、窒素ガスバルブ37が閉じられると、窒素ガス配管36から窒素ガスノズル35への窒素ガスの供給が停止される。
ドライ処理ユニット3は、隔壁により区画されたドライ処理室5内に、ウエハWを静止させた状態で保持するための支持部材44(基板保持手段)と、ドライ処理室5内にエッチングガスを供給するためのガス供給ユニット45(エッチングガス供給手段)とを含む。
ガス供給ユニット45は、ガス供給プレート49を含む。ガス供給プレート49は、支持部材44の上方に配置されている。より具体的に、ガス供給プレート49は、支持部材44の上方において、ウエハWの上面に対向するようにドライ処理室5内に固定的に配置されている。ガス供給プレート49は、たとえば円板状に形成されており、ウエハWよりも大きい外径を有している。ガス供給プレート49には、フッ化水素供給源53からフッ化水素が供給されるフッ化水素配管50が接続されている。フッ化水素供給源53から供給されたフッ化水素は、フッ化水素配管50を介してガス供給プレート49の、たとえばウエハWの上面と対向する対向面に形成された複数の処理液供給孔(図示せず)からウエハWの表面に向けて吐出される。
第1減圧ユニット54は、ドライポンプ56を含む。ドライポンプ56は、減圧用配管57を介してドライ処理室5に接続されている。減圧用配管57には、減圧用配管57を開閉するための減圧用バルブ58および減圧調節バルブ59がそれぞれ介装されている。
ドライポンプ56の駆動が停止されている状態で、ロータリーポンプ61およびターボ分子ポンプ62の双方が駆動されるとともに、真空用バルブ64が開かれると、ドライ処理室5内が真空状態にされる。また、真空用バルブ64が閉じられると、ドライ処理室5内が真空状態から解除される。
図4Aおよび図4Bに示すように、基板処理装置1の処理対象であるウエハWの表面には、複数のシリンダ67(支柱)と、貫通孔68(穴部)を有し、ウエハWの表面と間隔を空けた状態で複数のシリンダ67を支持するブリッジ69(支持膜)とを含むパターン70が形成されている。
また、複数のシリンダ67は、図4Bに示すように、犠牲膜73およびブリッジ69を貫いてエッチングストッパ層72に至るように形成されている。複数のシリンダ67は、ブリッジ69の表面からさらに上方に向けて突出するように形成されている。つまり、シリンダ67のエッチングストッパ層72からの高さT1は、犠牲膜73の膜厚T2よりも大きく形成されている。このとき、各シリンダ67のアスペクト比(シリンダ67の高さT1を、互いに隣り合うシリンダ67間の距離L1とシリンダ67の幅L2との和で除した値)は、たとえば15以上である。
表面にブリッジ69を形成しなくてもよい。
次に、図5A〜図5Eを参照して、パターン70の形成工程について説明する。図5A〜図5Eは、図4Aに示す処理対象であるウエハWのパターン70形成工程を示す断面図である。図5A〜図5Eは、いずれも図4Bに対応する断面図である。
シリンダ67用の開口76が形成された後、図5Cに示すように、ハードマスク75の表面と面一になるように窒化チタンがシリンダ67用の開口76に埋め込まれる。窒化チタンの埋め込みは、たとえばCVD法により行われる。シリンダ67用の開口76外に堆積された窒化チタンは、CMP法(Chemical Mechanical Polishing:化学機械研磨法)によって除去される。これにより、ハードマスク75の表面と面一になるように窒化チタンがシリンダ67用の開口76に埋め込まれる。
シリンダ67が形成された後、図5Eに示すように、ブリッジ69の表面が選択的にエッチング処理されることにより、犠牲膜73を露出させる貫通孔68が所定の位置に形成される。そして、犠牲膜73、ブリッジ69およびシリンダ67の各表面を覆うように、自然酸化膜74が形成される。以上の工程を経て、図4Bに示す処理対象としてのウエハWを得ることができる。
図6Aは、図1に示すウェット処理ユニット2によるウェットエッチング処理の処理例を示すフローチャートである。
図6Bを参照すれば、基板処理装置1は、ドライ処理室5内にウェットエッチング処理済みのウエハWを搬入するステップS9のウエハ搬入と、ドライ処理室5内を減圧するステップS10の減圧工程と、ドライ処理室5内にエッチングガスを供給するステップS11のドライエッチング工程と、ドライ処理室5内の圧力を常圧に戻すステップS12の減圧解除工程と、ドライエッチング処理済みのウエハWをドライ処理室5外に搬出するステップS13のウエハ搬出とが順次に行われる。
ウエハWが所定の回転速度まで加速された後、制御装置6は、図7Aに示すように、DHFバルブ41(図2参照)を開いて、DHFノズル39からDHFをウエハWの表面中央部に向けて吐出させる(図6AのステップS3:自然酸化膜除去工程)。ウエハWの表面中央部に着液したDHFは、ウエハWの回転遠心力によりウエハWの表面中央部からウエハWの表面周縁部に拡がり、これにより、犠牲膜73、ブリッジ69およびシリンダ67の各表面を覆う自然酸化膜74が除去される。
DHFの供給が停止された後、制御装置6は、リンス液バルブ26(図2参照)を開いて、リンス液ノズル24からリンス液(たとえばDIW)をウエハWの表面に向けて吐出させる(図6AのステップS4:第1リンス工程)。また、制御装置6は、アーム駆動機構30を制御して、たとえばノズルアーム29をウエハWの表面周縁部からウエハWの表面中央部に向けて揺動させる。これにより、リンス液ノズル24は、ウエハWの表面周縁部からウエハWの表面中央部に向けて移動させられる。また、リンス液ノズル24からのリンス液が導かれるウエハWの表面上の供給位置は、ウエハWの表面周縁部からウエハWの表面中央部に至る範囲内を、ウエハWの回転方向と交差する円弧状の軌跡を描きつつ移動する。これにより、リンス液は、ウエハWの表面の全域に行き渡り、ウエハWの表面に残留したDHFおよび自然酸化膜74等の残留物を洗い流す。
リンス液の供給が停止された後、制御装置6は、図7Bに示すように、エッチング液バルブ21(図2参照)を開いて、エッチング液ノズル19からエッチング液(たとえばTMAH)をウエハWの表面中央部に向けて吐出させる(図6AのステップS5:犠牲膜プリエッチング工程)。ウエハWの表面中央部に着液したエッチング液は、ウエハWの回転遠心力によりウエハWの表面中央部からウエハWの表面周縁部に拡がる。
エッチング液の供給が停止された後、制御装置6は、図7Cに示すように、リンス液バルブ26(図2参照)を開いて、リンス液ノズル24からリンス液(たとえばDIW)をウエハWの表面中央部に向けて吐出させる(図6AのステップS6:第2リンス工程)。また、制御装置6は、アーム駆動機構30を制御して、たとえばノズルアーム29をウエハWの表面周縁部からウエハWの表面中央部に向けて揺動させる。これにより、リンス液ノズル24は、ウエハWの表面周縁部からウエハWの表面中央部に向けて移動させられる。また、リンス液ノズル24からのリンス液が導かれるウエハWの表面上の供給位置は、ウエハWの表面周縁部からウエハWの表面中央部に至る範囲内を、ウエハWの回転方向と交差する円弧状の軌跡を描きつつ移動する。これにより、リンス液は、ウエハWの表面の全域に行き渡り、ウエハWの表面に残留したエッチング液および犠牲膜73等の残留物を洗い流す。
リンス液の供給が停止された後、制御装置6は、電動モータ13を制御して、ウエハWの回転速度をそれまでの回転速度よりも高速の回転速度に上昇させて、ウエハWに付着しているリンス液等の液成分を振り切って乾燥されるスピンドライ処理が行われる(図6AのステップS7:乾燥工程)。また、制御装置6は、窒素ガスバルブ37を制御して、窒素ガスノズル35から窒素ガスをウェット処理室4内に吐出する。窒素ガスをウェット処理室4内に供給することにより、ウエハWの表面のリンス液の乾燥が促進され、これによりウエハWの乾燥時間を短縮することができる。
ウエハWの回転が停止された後、制御装置6は、センターロボットCRを制御して、ウェット処理室4からウェットエッチング処理済みのウエハWを搬出する(図6AのステップS8:ウエハ搬出)。
支持部材44にウエハWが保持された後、制御装置6は、ロータリーポンプ61およびターボ分子ポンプ62、ならびにドライポンプ56(図3参照)を制御して、ドライポンプ56の駆動を停止させた状態で、ロータリーポンプ61およびターボ分子ポンプ62の双方を駆動させる(図6BのステップS10:減圧工程)。また、制御装置6は、真空用バルブ64を開き、真空調節バルブ65を制御することにより、ドライ処理室5内を真空引きする。これにより、ドライ処理室5内が所定の気圧に減圧にされる。
予め定めるステップS11のドライエッチング工程時間を経過すると、制御装置6は、フッ化水素バルブ51を閉じて、フッ化水素の供給を停止させる。また、制御装置6は、ドライポンプ56の駆動を停止させるとともに、減圧調節バルブ59を閉じる(図6BのステップS12:減圧解除工程)。これにより、ドライ処理室5内の減圧が解除されて、大気圧に戻る。
また、基板処理装置1の構成によれば、ウェット処理ユニット2において、ステップS5の犠牲膜プリエッチング工程、ステップS6の第2リンス工程およびステップS7の乾燥工程が実行され、ドライ処理ユニット3において、ステップS11のドライエッチング工程が実行される。これにより、一枚のウエハWに対するエッチング処理を、複数の処理ユニット2,3に跨って良好に実行することができる。
基板処理装置101に係るウェット処理ユニット102は、隔壁により区画されたウェット処理室104内に、ウエハWを保持するためのスピンチャック110(基板保持手段)と、スピンチャック110に保持されているウエハWにエッチング液を供給するためのエッチング液供給ユニット111(エッチング液供給手段)と、スピンチャック110に保持されているウエハWにリンス液を供給するためのリンス液供給ユニット112(リンス液供給手段)と、ウェット処理室104内に窒素ガスを供給するための窒素ガス供給ユニット132と、スピンチャック110に保持されているウエハWの表面にDHFを供給して自然酸化膜74を除去するためのDHF供給ユニット133とを含む。
IPA供給ユニット180はIPAノズル181を含む。IPAノズル181は、連続流の状態で液を吐出するストレートノズルによって構成されている。IPAノズル181には、IPA供給源からIPAが供給されるIPA配管182が接続されている。IPA配管182には、IPA配管182を開閉するためのIPAバルブ183が介装されている。IPAバルブ183が開かれると、IPA配管182からIPAノズル181にIPAが供給され、また、IPAバルブ183が閉じられると、IPA配管182からIPAノズル181へのIPAの供給が停止される。
制御装置106には、インデクサロボットIR、センターロボットCR、電動モータ13、アーム駆動機構130、エッチング液バルブ21、リンス液バルブ26、窒素ガスバルブ37、DHFバルブ41、フッ化水素バルブ51、フッ化水素流量調節バルブ52、ドライポンプ56、減圧用バルブ58、減圧調節バルブ59、ロータリーポンプ61、ターボ分子ポンプ62、真空用バルブ64、真空調節バルブ65、IPAバルブ183等が制御対象として接続されている。
第2実施形態に係るウェット処理ユニット102によるウェットエッチング処理では、ウエハWをウェット処理室104内に搬入するステップS21のウエハ搬入と、ステップS22のウエハWの回転開始を経た後、ウエハWの表面にDHFを供給するステップS23の自然酸化膜除去工程(前処理工程)と、ウエハWの表面にリンス液を供給するステップS24の第1リンス工程と、ウエハWの表面にエッチング液を供給して犠牲膜73の一部を除去するステップS25の犠牲膜プリエッチング工程(ウェットエッチング工程)と、ウエハWの表面にリンス液を供給するステップS26の第2リンス工程(リンス工程)と、ウエハWの表面にIPAを供給するステップS27のIPA供給工程(低表面張力液置換工程)と、ウエハWを乾燥させるステップS28の乾燥工程と、処理済みのウエハWをウェット処理室104外に搬出するステップS29のウエハ搬出とが順次に行われる。
ステップS25の犠牲膜プリエッチング工程が実行された後、ステップS26の第2リンス工程を経て、ステップS27のIPA供給工程が実行される。
ステップS27のIPA供給工程において、制御装置106は、IPAバルブ183を開いて、IPAノズル181からIPAをウエハWの表面に向けて吐出させる。また、制御装置106は、アーム駆動機構130を制御して、たとえばノズルアーム129をウエハWの表面周縁部からウエハWの表面中央部に向けて揺動させる。これにより、IPAノズル181は、ウエハWの表面周縁部からウエハWの表面中央部に向けて移動させられる。また、IPAノズル181からのIPAが導かれるウエハWの表面上の供給位置は、ウエハWの表面周縁部からウエハWの表面中央部に至る範囲内を、ウエハWの回転方向と交差する円弧状の軌跡を描きつつ移動する。これにより、IPAは、ウエハWの表面の全域に行き渡り、犠牲膜73の表面とブリッジ69との間に介在するリンス液がIPAに置換される。
第3実施形態に係る基板処理装置201が前述の第1実施形態に係る基板処理装置1と異なる点は、ウェット処理ユニット2およびドライ処理ユニット3に代えて、ウエハWに対してエッチング液を用いたウェットエッチング処理と、ウエハWに対してエッチングガスを用いたドライエッチング処理とを行うための処理ユニット202を含む点、および処理ユニット202と、インデクサロボットIRと、センターロボットCRと、基板処理装置201に備えられた装置の動作やバルブの開閉を制御する制御装置206とを含むである。その他の構成は、前述の第1実施形態における基板処理装置1の構成と同様であるので、図11および図12において、前述の図1〜図3に示された各部と対応する部分には同一の参照符号を付して、説明を省略する。
第3実施形態に係る処理ユニット202のガス供給ユニット245、第1減圧ユニット254および第2減圧ユニット255は、前述の第1実施形態に係るドライ処理ユニット3のガス供給ユニット45、第1減圧ユニット54および第2減圧ユニット55と同様の構成である。
第3実施形態に係る処理ユニット202によるエッチング処理では、ウエハWを処理室204内に搬入するステップS31のウエハ搬入と、ステップS32のウエハWの回転開始を経た後、ウエハWの表面にDHFを供給するステップS33の自然酸化膜除去工程(前処理工程)と、ウエハWの表面にリンス液を供給するステップS34の第1リンス工程と、ウエハWの表面にエッチング液を供給して犠牲膜73の一部を除去するステップS35の犠牲膜プリエッチング工程(ウェットエッチング工程)と、ウエハWの表面にリンス液を供給するステップS36の第2リンス工程(リンス工程)と、ウエハWを乾燥させるステップS37の乾燥工程(乾燥工程)と、処理室204内を減圧するステップS38の減圧工程と、処理室204内にエッチングガスを供給するステップS39のドライエッチング工程と、ドライ処理室5内の圧力を常圧に戻すステップS40の減圧解除工程と、ドライエッチング処理済みのウエハWをドライ処理室5外に搬出するステップS41のウエハ搬出とが順次に行われる。
以上、この発明の実施形態について説明したが、この発明はさらに他の形態で実施することもできる。
また、前述の各実施形態では、同一の層に処理ユニット2,3,102,202を含む基板処理装置1,101,201の例について説明したが、複数の処理ユニット2,3,102,202が積層配置された基板処理装置が採用されてもよい。この場合、図14に示す基板処理装置301の例を採用してもよい。
基板処理装置301は、センターロボットCRを取り囲むように配置された複数のウェット処理ユニット302(この変形例では、16個)およびドライ処理ユニット303(この変形例では、4個)を含む。ウェット処理ユニット302およびドライ処理ユニット303は、センターロボットCRの周囲において、それぞれ4段に積層配置されている。
このような構成であっても、前述の各実施形態において述べた効果と同様の効果を奏することができる。また、基板処理装置301は、複数のウェット処理ユニット302およびドライ処理ユニット303を含むので、複数枚のウエハWに対するエッチング処理を、効率的に実行することができる。
さらに、ステップS11、S39のドライエッチング工程で利用されるエッチングガスとしてフッ化水素を例示したがこれに限定されるものでなくフッ素、三フッ化塩素、七フッ化ヨウ素、およびそれらの混合ガス等も利用することができる。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
2 ウェット処理ユニット(ウェット処理チャンバ)
3 ドライ処理ユニット(ドライ処理チャンバ)
6 制御装置(制御手段)
10 スピンチャック(基板保持手段)
11 エッチング液供給ユニット(エッチング液供給手段)
12 リンス液供給ユニット(リンス液供給手段)
13 電動モータ(基板回転手段)
33 DHF供給ユニット(エッチング液供給手段)
44 支持部材(基板保持手段)
45 ガス供給ユニット(エッチングガス供給手段)
67 シリンダ(支柱)
68 貫通孔(穴部)
69 ブリッジ(支持膜)
73 犠牲膜(犠牲膜)
74 自然酸化膜(自然酸化膜)
101 基板処理装置
102 ウェット処理ユニット
106 制御装置
110 スピンチャック
111 エッチング液供給ユニット
112 リンス液供給ユニット
133 DHF供給ユニット
180 IPA供給ユニット(低表面張力液供給手段)
201 基板処理装置
202 処理ユニット(処理チャンバ)
206 制御装置
210 スピンチャック
211 エッチング液供給ユニット
212 リンス液供給ユニット
233 DHF供給ユニット
245 ガス供給ユニット
301 基板処理装置
302 ウェット処理ユニット
303 ドライ処理ユニット
306 制御装置
W ウエハ
Claims (10)
- 複数の支柱と当該複数の支柱の間に埋設された犠牲膜とが形成された基板の表面から前記犠牲膜を除去する犠牲膜除去方法であって、
前記基板の表面にエッチング液を供給することにより、前記犠牲膜を途中深さまで除去するウェットエッチング工程と、
前記ウェットエッチング工程の後に前記基板の表面にリンス液を供給することにより、前記基板の表面に付着している残留物を洗い流すリンス工程と、
前記リンス工程の後に、前記基板の表面の液成分を除去する乾燥工程と、
前記乾燥工程の後に前記基板の表面にエッチングガスを供給することにより、前記基板の表面に残存している犠牲膜を除去するドライエッチング工程と、を含む犠牲膜除去方法。 - 前記リンス工程の後、前記乾燥工程に先立って、前記基板の表面に、前記リンス液より表面張力の小さい低表面張力液を供給して、前記基板の表面のリンス液を前記低表面張力液に置換する低表面張力液置換工程をさらに含む、請求項1に記載の犠牲膜除去方法。
- 前記基板の表面には前記複数の支柱を支持する支持膜がさらに形成されており、該支持膜には複数の穴部が形成され、前記ウェットエッチング工程では、前記複数の穴部に対応する部分の犠牲膜から前記エッチング液による除去を開始する、請求項1または2に記載の犠牲膜除去方法。
- 前記支持膜の表面には自然酸化膜が形成されており、
前記ウェットエッチング工程に先立って、前記支持膜の表面に形成された前記自然酸化膜を除去する前処理工程をさらに含む、請求項3に記載の犠牲膜除去方法。 - 複数の支柱と当該複数の支柱の間に埋設された犠牲膜とが形成された基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持されている基板にエッチング液を供給するためのエッチング液供給手段と、
前記基板保持手段に保持されている基板にエッチングガスを供給するためのエッチングガス供給手段と、
前記基板保持手段に保持されている基板にリンス液を供給するためのリンス液供給手段と、
前記基板保持手段に保持されている基板を回転させるための基板回転手段と、
前記エッチング液供給手段、前記エッチングガス供給手段、前記リンス液供給手段および前記基板回転手段を制御して、前記基板の表面にエッチング液を供給することにより、前記犠牲膜を途中深さまで除去するウェットエッチング工程と、前記ウェットエッチング工程の後に前記基板の表面にリンス液を供給することにより、前記基板の表面に付着している残留物を洗い流すリンス工程と、前記リンス工程の後に、前記基板の表面の液成分を除去する乾燥工程と、前記乾燥工程の後に前記基板の表面にエッチングガスを供給することにより、前記基板の表面に残存している犠牲膜を除去するドライエッチング工程とを実行する制御手段とを含む、基板処理装置。 - 前記基板保持手段に保持されている基板に前記リンス液よりも表面張力の小さい低表面張力液を供給するための低表面張力液供給手段をさらに有し、
前記制御手段は、前記リンス工程の後、前記乾燥工程に先立って、前記基板の表面に前記低表面張力液を供給して前記基板の表面のリンス液を前記低表面張力液に置換する低表面張力液置換工程を行う、請求項5記載の基板処理装置。 - 基板に対してエッチング液を用いたウェットエッチング処理を行うためのウェット処理チャンバと、
前記ウェット処理チャンバと隔離して設けられ、前記ウェットエッチング処理後の基板に対して、エッチングガスを用いたドライエッチング処理を行うためのドライ処理チャンバとをさらに含み、
前記ウェット処理チャンバは、前記基板保持手段、前記基板回転手段、前記エッチング液供給手段、および前記リンス液供給手段を収容し、
前記ドライ処理チャンバは、前記基板保持手段および前記エッチングガス供給手段を収容する、請求項5に記載の基板処理装置。 - 基板に対してエッチング液を用いたウェットエッチング処理を行うためのウェット処理チャンバと、
前記ウェット処理チャンバと隔離して設けられ、前記ウェットエッチング処理後の基板に対して、エッチングガスを用いたドライエッチング処理を行うためのドライ処理チャンバとをさらに含み、
前記ウェット処理チャンバは、前記基板保持手段、前記基板回転手段、前記エッチング液供給手段、前記リンス液供給手段、および前記低表面張力液供給手段を収容し、
前記ドライ処理チャンバは、前記基板保持手段および前記エッチングガス供給手段を収容する、請求項6に記載の基板処理装置。 - 前記基板保持手段、前記基板回転手段、前記エッチング液供給手段、前記リンス液供給手段、および前記エッチングガス供給手段を一括して収容する処理チャンバをさらに含む、請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記基板保持手段、前記基板回転手段、前記エッチング液供給手段、前記リンス液供給手段、前記低表面張力液供給手段、および前記エッチングガス供給手段を一括して収容する処理チャンバをさらに含む、請求項6に記載の基板処理装置。
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