JP2015083347A - スクライビング工具、スクライビング工具の製造方法、およびスクライブラインの形成方法 - Google Patents
スクライビング工具、スクライビング工具の製造方法、およびスクライブラインの形成方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
図1および図2を参照して、はじめに本実施の形態の概要について説明する。シャンク59とそれに取り付けられたダイヤモンド粒51とを有するスクライビング工具50が準備される。また縁EGを有する主面FCが設けられた基板4が準備される。ダイヤモンド粒51が縁EGに乗り上げることによって初期亀裂ICが形成される。スクライビング工具50が主面FC上をさらに走行することによって(図中、矢印V4)、初期亀裂ICからスクライブラインSLが伸展される。これによりスクライブラインSLが形成される。
本実施の形態においては、上述した実施の形態1のスクライビング工具50(図2)の製造方法について説明する。
図12を参照して、本実施の形態のスクライビング工具は、ダイヤモンド粒51(実施の形態1:図4)の代わりに、ダイヤモンド粒52を有する。ダイヤモンド粒52には、凹部RA(図4)の代わりに、凹部RBが設けられている。言い換えれば部分P2には、稜線EL上に直線部L1につながって配置された凹部RBが設けられている。部分P1およびP2の間において直線部L1と凹部RBとが合わさることにより突起D2が構成されている。本実施の形態においては、凹部RBは、稜線ELのうち突起D1が位置する一方端と反対の他方端(図12において図示せず)まで延びている。言い換えれば、部分P3(図4)が設けられておらず、よって突起D3(図4)も設けられていない。
50 スクライビング工具
51,52 ダイヤモンド粒
59 シャンク
D1〜D3 突起(第1〜第3の突起)
EG 縁
EL 稜線
FC 主面
IC 初期亀裂
L1,L2 直線部(第1および第2の直線部)
LL レーザ光
P1〜P3 部分(第1〜第3の部分)
RA,RB 凹部
SL スクライブライン
VL 仮想直線
Claims (8)
- シャンクと、
前記シャンクに取り付けられたダイヤモンド粒と、を備え、前記ダイヤモンド粒には、端を有する稜線が設けられており、前記ダイヤモンド粒は、
前記稜線の前記端に設けられた第1の突起と、前記第1の突起から前記稜線に沿って延びる第1の直線部と、を有する第1の部分と、
前記稜線上に前記第1の直線部につながって配置された凹部が設けられた第2の部分と、を含み、
前記第1および第2の部分の間において前記第1の直線部と前記凹部とが合わさることにより第2の突起が構成されている、スクライビング工具。 - 前記ダイヤモンド粒は、前記凹部から前記稜線に沿って延在する第2の直線部を有する第3の部分をさらに含み、前記第1および第2の直線部は一の仮想直線上に位置する、請求項1に記載のスクライビング工具。
- 前記第1の直線部は30μm超100μm未満の長さを有する、請求項1または2に記載のスクライビング工具。
- 前記凹部は前記稜線に沿って30μm超100μm未満の長さを有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載のスクライビング工具。
- 前記凹部は10μm超50μm未満の深さを有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載のスクライビング工具。
- 突起が設けられた端を有する稜線が設けられたダイヤモンド粒を準備する工程と、
前記突起から離れた位置において前記稜線と交差するレーザ光を前記ダイヤモンド粒へ照射することによって、前記稜線上に凹部を形成する工程とを備える、スクライビング工具の製造方法。 - 縁を有する主面が設けられた基板にスクライブラインを形成するスクライブ方法であって、
端を有する稜線が設けられたダイヤモンド粒を準備する工程を備え、前記ダイヤモンド粒は、前記稜線の前記端に設けられた第1の突起と前記第1の突起から前記稜線に沿って延びる第1の直線部とを有する第1の部分と、前記稜線上に前記第1の直線部につながって配置された凹部が設けられた第2の部分とを含み、前記第1および第2の部分の間において前記第1の直線部と前記凹部とが合わさることにより第2の突起が構成されており、さらに
前記基板の前記主面の前記縁に初期亀裂を形成する工程を備え、前記初期亀裂を形成する工程は、前記縁に前記ダイヤモンド粒の前記凹部を引っ掛ける工程と、前記凹部に引っ掛かった前記縁を前記第2の突起によって引っかく工程とを含み、さらに
前記主面上において前記ダイヤモンド粒の前記第1の部分を前記初期亀裂から走行させることによってスクライブラインを伸展させる工程を備える、スクライブラインの形成方法。 - 前記ダイヤモンド粒は、前記凹部から前記稜線に沿って延在する第2の直線部を有する第3の部分をさらに含み、前記第1および第2の直線部は一の仮想直線上に位置しており、
前記初期亀裂を形成する工程は、前記凹部に引っ掛かった前記縁を前記第2の突起によって引っかく工程の前に、前記稜線上において前記第2の直線部上から前記凹部中へ前記基板の前記主面の前記縁を滑り込ませる工程をさらに含む、請求項7に記載のスクライブラインの形成方法。
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