JP2015082579A - Component mounting system - Google Patents

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利明 宮崎
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a component mounting system which avoids a collision between an upstream side transportation section and a downstream side transportation section and can prevent a working error.SOLUTION: Subsequent to completion of preparation for movement of substrate transportation heads 61 through 64 to a downstream side, a movement mechanism controller 85 determines whether or not an interlock signal is transmitted from downstream side equipment 1B. In the case where the interlock signal is not transmitted therefrom, subsequent to transmission of the interlock signal from upstream side equipment 1A to the downstream side equipment 1B, a rod 66a of a first cylinder mechanism 66 is extended and the substrate transportation heads 61 through 64 are moved to the downstream side. Further, when the rod 66a is extended to an upper limit position, the movement mechanism controller 85 determines whether or not a fifth substrate transportation head 71 ignores the interlock signal and starts entering a delivery area A. In the case where the fifth substrate transportation head 71 ignores the signal and starts entering the delivery area A, the movement mechanism controller 85 causes the fourth substrate transportation head 64 to return to an upstream side equipment 1A side by causing the rod 66a of the first cylinder mechanism 66 to contract.

Description

本発明は、表示パネル等の基板に電子部品を実装する部品実装システムに関するものである。   The present invention relates to a component mounting system for mounting electronic components on a substrate such as a display panel.

表示パネル等の基板に接着テープを介して電子部品を実装する電子部品実装システムとして、基板に接着テープを貼付けるテープ貼付け部、接着テープを介して基板に電子部品を搭載する部品搭載部、電子部品を基板に対して押圧して圧着する部品圧着部、各部間での基板の搬送を行う搬送部としての搬送アーム、及び搬送アームを移動させる移動機構を備えた設備を複数配列した形態のものが知られている(例えば特許文献1を参照)。   As an electronic component mounting system that mounts electronic components on substrates such as display panels via adhesive tape, a tape affixing unit that affixes adhesive tape to substrates, a component mounting unit that mounts electronic components on substrates via adhesive tape, and electronic A component crimping unit that presses and crimps components against the board, a transport arm that serves as a transport unit that transports the board between the parts, and a plurality of equipment that includes a moving mechanism that moves the transport arm. Is known (see, for example, Patent Document 1).

上流側設備と下流側設備との間での基板の受け渡しは、各設備間に設けられた受け渡しエリアを介して行われる。特許文献1に示す例では、受け渡しエリアに搬出ステージを設けるとともに、移動機構に伸縮自在なロッドを有するシリンダ機構を設け、ロッドの伸縮によって搬送アームを受け渡しエリアの内外に出し入れする形態のものが用いられている。受け渡し動作は、まずロッドを伸ばして上流側設備の搬送アームを受け渡しエリア内に進入させて搬出ステージに基板を載置する。そして、ロッドを縮ませて上流側設備の搬送アームを受け渡しエリアから退避させた後に、下流側設備の搬送アームを受け渡しエリア内に進入させ、基板を取り出した後に下流側設備に搬送する。   The substrate is transferred between the upstream facility and the downstream facility through a transfer area provided between the facilities. In the example shown in Patent Document 1, a delivery stage is provided in the delivery area, a cylinder mechanism having a telescopic rod is provided in the moving mechanism, and a transfer arm is delivered into and out of the delivery area by extending and retracting the rod. It has been. In the delivery operation, first, the rod is extended to enter the delivery arm of the upstream facility, and the substrate is placed on the delivery stage. Then, after the rod is retracted and retracted from the transfer area of the upstream facility, the transfer arm of the downstream facility is made to enter the transfer area, and the substrate is taken out and transferred to the downstream facility.

前述の機構を用いた基板の受け渡しにおいては、上流側設備の搬送アームが受け渡しエリアに進入するタイミングと、下流側設備の搬送アームが受け渡しエリアに進入するタイミングが重なった場合、双方の搬送アームが衝突して作業エラーが発生し得る。この問題を解消するため、一方の搬送アームが受け渡しエリアに進入する際には、他方の搬送アームの受け渡しエリアへの進入を禁止するインターロック機構が各設備に設けられている。   In substrate transfer using the above-described mechanism, when the timing when the transfer arm of the upstream facility enters the transfer area and the timing when the transfer arm of the downstream facility enters the transfer area overlap, both transfer arms Collisions can cause work errors. In order to solve this problem, each facility is provided with an interlock mechanism that prohibits entry of the other transfer arm into the transfer area when one transfer arm enters the transfer area.

特開平10−163274号公報JP 10-163274 A

インターロック機構を用いて搬送アーム及び移動機構を制御する従来方法では、上流側設備と下流側設備との間での制御ミスによって、一方の搬送アームが受け渡しエリアへ移動しているときに、他方の搬送アームがインターロック機構を無視して受け渡しエリアへの移動を開始する事態が発生し得る。しかしながら、従来技術ではこのような事態に対する具体的な解決策が講じられておらず、搬送アーム同士が衝突して作業エラーが発生する事態を回避することが困難であった。   In the conventional method of controlling the transfer arm and the movement mechanism using the interlock mechanism, when one transfer arm moves to the delivery area due to a control error between the upstream facility and the downstream facility, the other The transfer arm may ignore the interlock mechanism and start moving to the transfer area. However, in the prior art, a specific solution for such a situation has not been taken, and it has been difficult to avoid a situation in which the transfer arms collide with each other and an operation error occurs.

そこで本発明は、上流側設備に備えられた上流側搬送部と下流側設備に備えられた下流側搬送部の衝突を回避して作業エラーの発生を防止することができる部品実装システムを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention provides a component mounting system that can prevent the occurrence of work errors by avoiding a collision between an upstream transport unit provided in an upstream facility and a downstream transport unit provided in a downstream facility. For the purpose.

請求項1に記載の本発明は、基板に電子部品を実装する第1の部品実装機構を有する上流側設備と、前記上流側設備よりも下流に配設され、受け渡しエリアを介して前記上流側設備から受け渡された基板に電子部品を実装する第2の部品実装機構を有する下流側設備とを備えた部品実装システムであって、前記上流側設備と前記受け渡しエリアとの間を移動自在に設けられ、前記上流側設備から前記受け渡しエリアまで基板を搬送する上流側搬送部と、前記上流側設備と前記受け渡しエリアとの間で前記上流側搬送部を移動させる上流側搬送部移動機構と、前記受け渡しエリアと前記下流側設備との間を移動自在に設けられ、前記受け渡しエリアまで搬送された基板を受け取って前記受け渡しエリアから前記下流側設備まで基板を搬送する下流側搬送部と、前記受け渡しエリアと前記下流側設備との間で前記下流側搬送部を移動させる下流側搬送部移動機構と、前記上流側搬送部移動機構を制御する移動機構制御部とを備え、前記移動機構制御部は、前記上流側搬送部が前記上流側設備から前記受け渡しエリアに向けて移動しているときに、前記下流側搬送部が前記受け渡しエリアに向けて移動を開始したことを検知したとき、前記上流側搬送部を前記上流側設備側に戻す。   The present invention according to claim 1 is an upstream facility having a first component mounting mechanism for mounting an electronic component on a board, and is disposed downstream of the upstream facility, and the upstream side is disposed via a delivery area. A component mounting system comprising a downstream facility having a second component mounting mechanism for mounting an electronic component on a board delivered from the facility, wherein the component mounting system is movable between the upstream facility and the delivery area. An upstream transport unit that transports a substrate from the upstream facility to the delivery area; an upstream transport unit moving mechanism that moves the upstream transport unit between the upstream facility and the delivery area; A lower part is provided between the delivery area and the downstream facility so as to be movable, and receives a substrate transported to the delivery area and transports the substrate from the delivery area to the downstream facility. A downstream transport unit, a downstream transport unit moving mechanism that moves the downstream transport unit between the delivery area and the downstream facility, and a moving mechanism control unit that controls the upstream transport unit moving mechanism. The moving mechanism control unit determines that the downstream transport unit has started moving toward the delivery area when the upstream transport unit is moving from the upstream facility toward the delivery area. When detected, the upstream transport section is returned to the upstream equipment side.

また請求項3に記載の本発明は、基板に電子部品を実装する第1の部品実装機構を有する上流側設備と、前記上流側設備よりも下流に配設され、受け渡しエリアを介して前記上流側設備から受け渡された基板に電子部品を実装する第2の部品実装機構を有する下流側設備とを備えた部品実装システムであって、前記上流側設備と前記受け渡しエリアとの間を移動自在に設けられ、前記上流側設備から前記受け渡しエリアまで基板を搬送する上流側搬送部と、前記上流側設備と前記受け渡しエリアとの間で前記上流側搬送部を移動させる上流側搬送部移動機構と、前記受け渡しエリアと前記下流側設備との間を移動自在に設けられ、前記受け渡しエリアまで搬送された基板を受け取って前記受け渡しエリアから前記下流側設備まで基板を搬送する下流側搬送部と、前記受け渡しエリアと前記下流側設備との間で前記下流側搬送部を移動させる下流側搬送部移動機構と、前記下流側搬送部移動機構を制御する移動機構制御部とを備え、前記移動機構制御部は、前記下流側搬送部が前記下流側設備から前記受け渡しエリアに向けて移動しているときに、前記上流側搬送部が前記受け渡しエリアに向けて移動を開始したことを検知したとき、前記下流側搬送部を前記下流側設備側に戻す。   According to a third aspect of the present invention, there is provided an upstream facility having a first component mounting mechanism for mounting an electronic component on a board, and the upstream facility disposed downstream from the upstream facility, and the upstream facility via a delivery area. A component mounting system comprising a downstream facility having a second component mounting mechanism for mounting an electronic component on a board delivered from a side facility, and freely movable between the upstream facility and the delivery area An upstream transport unit that transports a substrate from the upstream facility to the delivery area, and an upstream transport unit moving mechanism that moves the upstream transport unit between the upstream facility and the delivery area; The substrate is movably provided between the delivery area and the downstream facility, receives a substrate transported to the delivery area, and transports the substrate from the delivery area to the downstream facility. A downstream transport unit, a downstream transport unit moving mechanism that moves the downstream transport unit between the delivery area and the downstream facility, and a moving mechanism control unit that controls the downstream transport unit moving mechanism. The moving mechanism control unit starts moving toward the delivery area when the downstream conveyance unit is moving from the downstream facility toward the delivery area. Is detected, the downstream transport unit is returned to the downstream facility side.

本発明によれば、移動機構制御部は、上流側搬送部が上流側設備から受け渡しエリアに向けて移動しているときに、下流側搬送部が受け渡しエリアに向けて移動を開始したことを検知したとき、上流側搬送部を上流側設備側に戻すので、上流側搬送部と下流側搬送部の衝突を回避して作業エラーの発生を防止することができる。   According to the present invention, the movement mechanism control unit detects that the downstream conveyance unit has started moving toward the delivery area when the upstream conveyance unit is moving from the upstream facility toward the delivery area. In this case, since the upstream transport unit is returned to the upstream facility side, collision between the upstream transport unit and the downstream transport unit can be avoided to prevent the occurrence of work errors.

本発明の一実施の形態における部品実装システムの平面図The top view of the component mounting system in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における基板の平面図The top view of the board in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるテープ貼付け部の斜視図The perspective view of the tape sticking part in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における仮圧着部の斜視図The perspective view of the temporary crimping | compression-bonding part in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における本圧着部の斜視図The perspective view of this crimping | compression-bonding part in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における部品実装システムの制御系を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the component mounting system in one embodiment of this invention (a)(b)(c)(d)本発明の一実施の形態における基板の搬送動作を示す説明図(A) (b) (c) (d) Explanatory drawing which shows the conveyance operation of the board | substrate in one embodiment of this invention. (a)(b)(c)(d)本発明の一実施の形態における基板の搬送動作を示す説明図(A) (b) (c) (d) Explanatory drawing which shows the conveyance operation of the board | substrate in one embodiment of this invention. (a)(b)(c)(d)本発明の一実施の形態における基板の搬送動作を示す説明図(A) (b) (c) (d) Explanatory drawing which shows the conveyance operation of the board | substrate in one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態における受け渡しエリアへの第4の基板搬送ヘッドの進入判断処理を示すフローチャート図The flowchart figure which shows the approach determination process of the 4th board | substrate conveyance head to the delivery area in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における上流側設備と下流側設備との間においてなされるインターロック信号の送受信を示す説明図Explanatory drawing which shows transmission / reception of the interlock signal made between the upstream installation and downstream installation in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態における第4の基板搬送ヘッドと第5の基板搬送ヘッドの衝突回避を示す動作説明図(A) (b) (c) Operation explanatory diagram showing collision avoidance between the fourth substrate transport head and the fifth substrate transport head in one embodiment of the present invention. 本発明のその他の実施の形態における電子部品実装システムの平面図The top view of the electronic component mounting system in other embodiment of this invention

まず図1を参照して、部品実装システムの全体構成を説明する。部品実装システム1は、表示パネル等の基板2に接着テープを介して電子部品を実装する第1の部品実装機構を有する上流側設備1Aと、上流側設備1Aよりも下流(紙面右側)に配設され、上流側設備1Aから搬出された基板2に同じく接着テープを介して電子部品を実装する第2の部品実装機構を有する下流側設備1Bを一の水平方向(X方向)に並列させ、さらに上流側設備1Aと下流側設備1Bとの間に基板受け渡しステージ3を配設して構成される。   First, the overall configuration of the component mounting system will be described with reference to FIG. The component mounting system 1 includes an upstream facility 1A having a first component mounting mechanism that mounts electronic components on a substrate 2 such as a display panel via an adhesive tape, and a downstream (right side of the page) of the upstream facility 1A. The downstream facility 1B having a second component mounting mechanism that is also mounted on the board 2 that has been transported from the upstream facility 1A and also uses an adhesive tape is arranged in parallel in one horizontal direction (X direction), Further, the substrate transfer stage 3 is arranged between the upstream facility 1A and the downstream facility 1B.

なお、上流側設備1Aのさらに上流側(X1方向側)にも部品実装作業を行う機能を有する設備(図示省略)が配設されており、この設備と上流側設備1Aとの間にも基板受け渡しステージ3と同一構成の基板受け渡しステージ4が設けられている。本実施の形態において、上流側設備1Aと下流側設備1Bの構成は同一であるため、以下、両者を区別する必要がある場合を除き上流側設備1Aに限定して説明する。また、X方向と水平面内で直交する方向をY方向と称する。   A facility (not shown) having a function of performing component mounting work is also arranged on the upstream side (X1 direction side) of the upstream side facility 1A, and a board is also provided between this facility and the upstream side facility 1A. A substrate transfer stage 4 having the same configuration as the transfer stage 3 is provided. In the present embodiment, the configuration of the upstream facility 1A and the downstream facility 1B is the same, and therefore, the description will be limited to the upstream facility 1A unless otherwise required. A direction perpendicular to the X direction in the horizontal plane is referred to as a Y direction.

図1において、基板受け渡しステージ3,4は基板2を載置可能な基板載置テーブル3a,4aをそれぞれ備えており、テーブル昇降機構によって個別に昇降する。基板載置テーブル3aには、上流側設備1Aから搬入された基板2が載置される。基板載置テーブル3a上の基板2は、後述する下流側設備1Bが備える第5の基板搬送ヘッド71によって取り出される。基板受け渡しステージ3内において基板載置テーブル3aが配設される領域は、上流側設備1Aと下流側設備1Bとの間で基板2の受け渡しを行う受け渡しエリアAとなっている。また基板載置テーブル4aには、上流側設備1Aよりもさらに上流に配設されている設備から搬入された基板2が載置され、基板載置テーブル4aに載置された基板2は後述する上流側設備1Aが備える第1の基板搬送ヘッド61により取り出される。   In FIG. 1, substrate transfer stages 3 and 4 are respectively provided with substrate mounting tables 3a and 4a on which a substrate 2 can be mounted, and are individually moved up and down by a table lifting mechanism. The substrate 2 loaded from the upstream facility 1A is placed on the substrate placement table 3a. The substrate 2 on the substrate mounting table 3a is taken out by a fifth substrate transport head 71 provided in the downstream facility 1B described later. An area where the substrate placement table 3a is disposed in the substrate transfer stage 3 is a transfer area A where the substrate 2 is transferred between the upstream facility 1A and the downstream facility 1B. The substrate placement table 4a is loaded with the substrate 2 loaded from the facility disposed further upstream than the upstream facility 1A. The substrate 2 placed on the substrate placement table 4a will be described later. It is taken out by the first substrate transport head 61 provided in the upstream facility 1A.

ここで図2を参照して、基板2について説明する。基板2は、表示パネルを構成するガラス基板を2枚重ね合わせた構成となっている。基板2の相直交する2つの縁部2a,2bは、片側のガラス基板の回路形成面が露呈した部品実装面となっており、縁部2a,2bに設けられた接続用端子には、電子部品9が圧着により実装される。   Here, the substrate 2 will be described with reference to FIG. The substrate 2 has a configuration in which two glass substrates constituting the display panel are overlapped. Two edge portions 2a and 2b that are orthogonal to each other of the substrate 2 are component mounting surfaces that expose the circuit formation surface of the glass substrate on one side, and the connection terminals provided on the edge portions 2a and 2b include electronic components. The component 9 is mounted by pressure bonding.

図1において、基台1a上には、テープ貼付け部5、仮圧着部6及び本圧着部7を含む複数の作業部がX方向に並列して配置されている。また、これらの作業部の前方側(Y1方向側)には基板搬送部8が配設されている。本実施の形態では、上流側設備1Aに配設されたテープ貼付け部5、仮圧着部6及び本圧着部7が第1の部品実装機構を構成し、下流側設備1Bに配設されたテープ貼付け部5、仮圧着部6及び本圧着部7が第2の部品実装機構を構成する。   In FIG. 1, on the base 1a, a plurality of working parts including a tape attaching part 5, a temporary pressure-bonding part 6, and a main pressure-bonding part 7 are arranged in parallel in the X direction. Further, a substrate transport unit 8 is disposed on the front side (Y1 direction side) of these working units. In the present embodiment, the tape affixing part 5, the temporary pressure bonding part 6 and the main pressure bonding part 7 disposed in the upstream facility 1A constitute a first component mounting mechanism, and the tape disposed in the downstream facility 1B. The affixing part 5, the temporary pressure-bonding part 6 and the main pressure-bonding part 7 constitute a second component mounting mechanism.

このように部品実装システム1は、基板2に電子部品9を実装する第1の部品実装機構を有する上流側設備1Aと、上流側設備1Aよりも下流に配設され、受け渡しエリアAを介して上流側設備から受け渡された基板2に電子部品9を実装する第2の部品実装機構を有する下流側設備1Bとを備えた構成となっている。   As described above, the component mounting system 1 is disposed downstream of the upstream facility 1A having the first component mounting mechanism for mounting the electronic component 9 on the board 2 and the upstream facility 1A. The configuration includes a downstream facility 1B having a second component mounting mechanism for mounting the electronic component 9 on the board 2 delivered from the upstream facility.

図1及び図3において、テープ貼付け部5は基板2に部品接合用の接着テープを貼り付ける作業部であり、基板保持部20と圧着機構25を含んで構成される。基板保持部20は、下からXテーブル21X、Yテーブル21Y、Zθテーブル21Z及び水平回転駆動機構21θを順に段積みし、さらに基板2を保持する基板保持テーブル22を水平回転駆動機構21θ上に設けて成る。基板保持テーブル22は円盤状に成型され、且つ水平回転駆動機構21θに垂直軸周りに回転自在に装着されている。   1 and 3, the tape affixing unit 5 is a working unit that affixes an adhesive tape for joining components to the substrate 2, and includes a substrate holding unit 20 and a crimping mechanism 25. The substrate holding unit 20 sequentially stacks an X table 21X, a Y table 21Y, a Zθ table 21Z, and a horizontal rotation drive mechanism 21θ from the bottom, and further provides a substrate holding table 22 that holds the substrate 2 on the horizontal rotation drive mechanism 21θ. It consists of The substrate holding table 22 is formed in a disk shape, and is mounted on the horizontal rotation drive mechanism 21θ so as to be rotatable around a vertical axis.

Xテーブル21X、Yテーブル21Yは、基板保持テーブル22を水平移動させるXYテーブル機構を構成し、Zテーブル21Zは、基板保持テーブル22を昇降させる昇降機構を構成する。なお、後述する基板保持部30,40,50も同様のXYテーブル機構、昇降機構及び水平回転駆動機構を有している。   The X table 21X and the Y table 21Y constitute an XY table mechanism that horizontally moves the substrate holding table 22, and the Z table 21Z constitutes a lifting mechanism that raises and lowers the substrate holding table 22. In addition, the board | substrate holding | maintenance part 30,40,50 mentioned later also has the same XY table mechanism, the raising / lowering mechanism, and the horizontal rotation drive mechanism.

図3において、基板保持部20の上方にはカメラ23がX方向に移動可能に配設されており、カメラ23は基板保持テーブル22上の基板2を撮像する。これにより、基板2に設けられた認識マークを認識して基板2の位置を検出する。そして、この位置検出結果に基づいて基板保持部30の各機構を駆動することにより、基板保持テーブル22は所定の方向に移動し、基板2を後述する圧着ツール15による圧着位置に位置決めすることができる。基板保持部20の後方には下受部24が配設されている。下受部24は、基板保持テーブル22に保持された基板2の縁部を圧着ツール15による圧着位置において下方から支持する。   In FIG. 3, a camera 23 is disposed above the substrate holding unit 20 so as to be movable in the X direction, and the camera 23 images the substrate 2 on the substrate holding table 22. Thereby, the recognition mark provided on the substrate 2 is recognized and the position of the substrate 2 is detected. Then, by driving each mechanism of the substrate holding unit 30 based on the position detection result, the substrate holding table 22 can move in a predetermined direction, and the substrate 2 can be positioned at a crimping position by the crimping tool 15 described later. it can. A receiving part 24 is disposed behind the substrate holding part 20. The support 24 supports the edge of the substrate 2 held on the substrate holding table 22 from below at the pressure-bonding position by the pressure-bonding tool 15.

下受部24の上方には、圧着機構25が配設されている。圧着機構25は、縦フレーム10にテープ供給リール11、接着テープ切断部13、リーダテープ剥離機構14、圧着ツール15、リーダテープ回収リール16を配置した構成となっている。テープ供給リール11は巻回状態で収納した積層テープ12を下流側に供給する。積層テープ12は、ベースとなるリーダテープに電子部品をボンディングするための接着テープを積層した構成となっている。接着テープ切断部13は積層テープ12に対して進退する切断刃を備えており、この切断刃によりテープ供給リール11から引き出された積層テープ12のうち接着テープのみを所望の長さで切断する。これにより、個片化した接着テープ(以下、「個片テープ12a(図4)」と称する)が形成される。   A crimping mechanism 25 is disposed above the lower receiving portion 24. The crimping mechanism 25 has a configuration in which a tape supply reel 11, an adhesive tape cutting unit 13, a leader tape peeling mechanism 14, a crimping tool 15, and a leader tape collection reel 16 are arranged on the vertical frame 10. The tape supply reel 11 supplies the laminated tape 12 stored in a wound state to the downstream side. The laminated tape 12 has a structure in which an adhesive tape for bonding electronic components is laminated on a leader tape as a base. The adhesive tape cutting unit 13 includes a cutting blade that advances and retreats with respect to the laminated tape 12, and cuts only the adhesive tape of the laminated tape 12 drawn from the tape supply reel 11 with a desired length by the cutting blade. As a result, an individualized adhesive tape (hereinafter referred to as “individual piece tape 12a (FIG. 4)”) is formed.

テープ貼り付け動作は、まず、圧着ツール15が下降して積層テープ12を押し下げる。そして、基板保持テーブル22に保持された基板2の上面に対して個片テープ12aを押しつけることにより、基板2の縁部に個片テープ12aを圧着して貼り付ける。リーダテープ剥離機構14は、基板2に貼り付けられた状態の個片テープ12aからピン14aによってリーダテープを剥離する。リーダテープ回収リール16は、個片テープ12aから剥離された後のリーダテープを巻き取って回収する。   In the tape attaching operation, first, the crimping tool 15 is lowered to push down the laminated tape 12. Then, the individual tape 12 a is pressed against the edge of the substrate 2 by pressing the individual tape 12 a against the upper surface of the substrate 2 held on the substrate holding table 22. The leader tape peeling mechanism 14 peels the leader tape from the individual tape 12a attached to the substrate 2 by the pins 14a. The leader tape collection reel 16 winds up and collects the leader tape that has been peeled off from the piece tape 12a.

図1及び図4において、仮圧着部6は、個片テープ12aが貼り付けられた基板2に電子部品9を搭載して仮圧着する作業部であり、基板保持部30と圧着機構35を含んで構成される。基板保持部30は、下からXテーブル31X、Yテーブル31Y、Zθテーブル31Z及び水平回転駆動機構31θを順に段積みし、さらに基板2を保持する基板保持テーブル32を水平回転駆動機構31θ上に設けて成る。基板保持テーブル32の構成は基板保持テーブル22と同一である。基板保持部30の各機構を駆動することにより、基板保持テーブル32に保持された基板2の縁部を、後述する圧着ツール38による圧着位置に位置合わせすることができる。   In FIGS. 1 and 4, the provisional crimping section 6 is a working section that temporarily crimps the electronic component 9 by mounting the electronic component 9 on the substrate 2 to which the piece tape 12 a is attached, and includes a substrate holding section 30 and a crimping mechanism 35. Consists of. The substrate holding unit 30 sequentially stacks an X table 31X, a Y table 31Y, a Zθ table 31Z, and a horizontal rotation drive mechanism 31θ from the bottom, and further provides a substrate holding table 32 that holds the substrate 2 on the horizontal rotation drive mechanism 31θ. It consists of The configuration of the substrate holding table 32 is the same as that of the substrate holding table 22. By driving each mechanism of the substrate holding unit 30, the edge of the substrate 2 held on the substrate holding table 32 can be aligned with a crimping position by a crimping tool 38 described later.

基板保持部30の後方には、透明体で製作されたブロック状の下受部33が配設されている。下受部33は、基板保持テーブル32に保持された基板2の縁部を圧着ツール38による圧着位置において下方から支持する。下受部33の下方には観察カメラ34A,34Bが配設されており、下受部33を透して下受部33上に位置した基板2の縁部を下方から観察し、基板2に形成された認識マークを認識する。また観察カメラ34A,34Bは、圧着ツール38によって搬送され下受部33の上方に位置する電子部品9を、下受部33を透して下方から観察する。   Behind the substrate holding unit 30 is a block-shaped receiving portion 33 made of a transparent body. The lower receiving portion 33 supports the edge portion of the substrate 2 held by the substrate holding table 32 from below at the pressure bonding position by the pressure bonding tool 38. Observation cameras 34 </ b> A and 34 </ b> B are arranged below the lower receiving portion 33, and the edge of the substrate 2 positioned on the lower receiving portion 33 through the lower receiving portion 33 is observed from the lower side. Recognize the formed recognition mark. Further, the observation cameras 34 </ b> A and 34 </ b> B observe the electronic component 9 conveyed by the crimping tool 38 and positioned above the lower receiving portion 33 from below through the lower receiving portion 33.

下受部33の上方には圧着機構35が配設されており、図1に示す圧着機構35のインデックステーブル35aに設けられた保持ヘッド36を矢印方向に順次インデックス回転させることにより、電子部品供給部37から取り出された電子部品9を下受部33上の圧着位置まで搬送する。図4において、保持ヘッド36は下方に延出した圧着ツール38を備えており、圧着ツール38は圧着位置において下面に電子部品9を保持した状態で位置し、この電子部品9を圧着位置に位置合わせされた基板2の上面に仮圧着する。   A crimping mechanism 35 is disposed above the lower receiving portion 33, and electronic parts are supplied by sequentially rotating the holding head 36 provided on the index table 35a of the crimping mechanism 35 shown in FIG. The electronic component 9 taken out from the part 37 is transported to a crimping position on the receiving part 33. In FIG. 4, the holding head 36 includes a crimping tool 38 extending downward, and the crimping tool 38 is positioned in a state where the electronic component 9 is held on the lower surface at the crimping position, and the electronic component 9 is positioned at the crimping position. Temporary pressure bonding is applied to the upper surface of the combined substrate 2.

図1及び図5において、本圧着部7は、基板2に仮圧着された電子部品9を本圧着する作業部であり、X方向に並列した第1の本圧着部7A、第2の本圧着部7Bを備えている。第1の本圧着部7A、第2の本圧着部7Bは、それぞれ基板保持部40,50と、圧着ツール45,55を含んで構成される。   1 and 5, the main press-bonding portion 7 is a working portion that performs the main press-bonding of the electronic component 9 temporarily bonded to the substrate 2. The first main press-bonding portion 7 </ b> A and the second main press-bonding are arranged in parallel in the X direction. Part 7B is provided. The first main crimping portion 7A and the second main crimping portion 7B are configured to include substrate holding portions 40 and 50 and crimping tools 45 and 55, respectively.

図5において、基板保持部40は、下からXテーブル41X、Yテーブル41Y、Zテーブル41Z及び水平回転駆動機構41θを順に段積みし、さらに基板2を保持する基板保持テーブル42を水平回転駆動機構41θ上に設けて成る。基板保持部50は、基板保持部40と共通のXテーブル41Xの上に、Yテーブル51Y、Zテーブル51Z及び水平回転駆動機構51θを順に段積みし、さらに基板保持テーブル52を水平回転駆動機構51θ上に設けて成る。基板保持部40,50の各機構を駆動することにより、基板保持テーブル42,52に保持された基板2の縁部を、圧着ツール45による第1の圧着位置,圧着ツール55による第2の圧着位置にそれぞれ移動させることができる。   In FIG. 5, the substrate holding unit 40 sequentially stacks an X table 41X, a Y table 41Y, a Z table 41Z, and a horizontal rotation driving mechanism 41θ from the bottom, and further converts a substrate holding table 42 that holds the substrate 2 into a horizontal rotation driving mechanism. It is provided on 41θ. The substrate holding unit 50 sequentially stacks the Y table 51Y, the Z table 51Z, and the horizontal rotation driving mechanism 51θ on the X table 41X common to the substrate holding unit 40, and further, the substrate holding table 52 is connected to the horizontal rotation driving mechanism 51θ. It is provided above. By driving each mechanism of the substrate holding portions 40 and 50, the edge portion of the substrate 2 held by the substrate holding tables 42 and 52 is applied to the first crimping position by the crimping tool 45 and the second crimping by the crimping tool 55. Each can be moved to a position.

基板保持部50の後方には、下受部43が配設されている。下受部43は、基板保持テーブル42に保持された基板2の縁部を圧着ツール45による第1の圧着位置において下方から支持する。同様に、基板保持部50の後方には下受部53が配設されており、基板保持テーブル52に保持された基板2の縁部を圧着ツール55による第2の圧着位置において下方から支持する。   A lower receiving portion 43 is disposed behind the substrate holding portion 50. The lower receiving portion 43 supports the edge portion of the substrate 2 held by the substrate holding table 42 from below at the first pressure bonding position by the pressure bonding tool 45. Similarly, a lower receiving portion 53 is disposed behind the substrate holding portion 50, and the edge portion of the substrate 2 held by the substrate holding table 52 is supported from below at a second pressing position by the pressing tool 55. .

基板保持部40,50の上方には、カメラ44がX方向に移動可能に配設されており、カメラ44は基板保持テーブル42,52上の基板2を撮像する。この撮像により、基板2に設けられた認識マークを認識して基板2の位置を検出する。そして、この位置検出結果に基づいて基板保持部40,50の各機構を駆動することにより、基板保持テーブル42,52は水平方向にそれぞれ個別に移動し、基板2を第1の圧着位置、第2の圧着位置にそれぞれ位置決めする。   A camera 44 is disposed above the substrate holding units 40 and 50 so as to be movable in the X direction. The camera 44 images the substrate 2 on the substrate holding tables 42 and 52. By this imaging, the recognition mark provided on the substrate 2 is recognized and the position of the substrate 2 is detected. Then, by driving each mechanism of the substrate holding units 40 and 50 based on the position detection result, the substrate holding tables 42 and 52 are individually moved in the horizontal direction, and the substrate 2 is moved to the first crimping position, the first pressure position. Position each at the crimping position of 2.

下受部43,53の上方には、圧着ツール45,55がそれぞれ配設されている。本圧着動作では、電子部品9が個片テープ12a上に仮圧着された基板2の縁部をそれぞれ対応する圧着位置に位置決めし、各圧着ツール45,55を基板2に対して下降させて押圧状態を所定の時間保持することにより、電子部品9は基板2に個片テープ12aを介して本圧着される。   Crimping tools 45 and 55 are disposed above the receiving portions 43 and 53, respectively. In the main crimping operation, the edges of the substrate 2 on which the electronic component 9 is temporarily crimped onto the piece tape 12a are positioned at the corresponding crimping positions, and the crimping tools 45 and 55 are lowered and pressed against the substrate 2. By holding the state for a predetermined time, the electronic component 9 is finally pressure-bonded to the substrate 2 via the piece tape 12a.

次に基板搬送部8について説明するが、ここでは上流側設備1A、下流側設備1Bに分けて説明する。図1において、上流側設備1Aに設けられた基板搬送部8Aは、X方向に伸びて成るベース部60に第1の基板搬送ヘッド61、第2の基板搬送ヘッド62、第3の基板搬送ヘッド63、第4の基板搬送ヘッド64をそれぞれ配設した構造となっている。ベース部60はサーボモータ等を駆動源とした直動機構65(図6)によってX方向に移動し、これにより複数の基板搬送ヘッド61〜64によって各作業部間で基板2を同時に搬送することができる。   Next, although the board | substrate conveyance part 8 is demonstrated, it divides and demonstrates to the upstream equipment 1A and the downstream equipment 1B here. In FIG. 1, a substrate transfer unit 8A provided in the upstream facility 1A includes a first substrate transfer head 61, a second substrate transfer head 62, and a third substrate transfer head on a base unit 60 extending in the X direction. 63 and the fourth substrate transport head 64 are arranged. The base unit 60 is moved in the X direction by a linear motion mechanism 65 (FIG. 6) using a servo motor or the like as a drive source, whereby the plurality of substrate transport heads 61 to 64 simultaneously transport the substrate 2 between the respective working units. Can do.

下流側設備1Bに設けられた基板搬送部8Bは、基板搬送部8Aと同様に、X方向に伸びて成るベース部70に第5の基板搬送ヘッド71、第6の基板搬送ヘッド72、第7の基板搬送ヘッド73、第8の基板搬送ヘッド74をそれぞれ配設した構造となっている。ベース部70はサーボモータ等を駆動源とした直動機構75(図6)によってX方向に移動し、これにより複数の基板搬送ヘッド71〜74によって各作業部間で基板2を同時に搬送することができる。   Similar to the substrate transfer unit 8A, the substrate transfer unit 8B provided in the downstream facility 1B includes a fifth substrate transfer head 71, a sixth substrate transfer head 72, a seventh substrate, and a base unit 70 extending in the X direction. The substrate transfer head 73 and the eighth substrate transfer head 74 are arranged. The base unit 70 is moved in the X direction by a linear motion mechanism 75 (FIG. 6) using a servo motor or the like as a drive source, whereby a plurality of substrate transport heads 71 to 74 simultaneously transport the substrate 2 between the respective working units. Can do.

それぞれの設備に備えられた基板搬送ヘッド61〜64,71〜74は吸着パッドを有しており、この吸着パッドを介して基板2を吸着して保持することができる。それぞれの設備のテープ貼付け部5、仮圧着部6、本圧着部7間で基板2を搬送する際には、基板保持テーブル22,32,42,52を基板搬送ヘッド61〜64,71〜74が有する吸着パッドの下方に移動させる。   The substrate transport heads 61 to 64 and 71 to 74 provided in the respective facilities have suction pads, and the substrate 2 can be sucked and held through the suction pads. When the substrate 2 is transported between the tape affixing unit 5, the provisional crimping unit 6, and the main crimping unit 7 of each facility, the substrate holding tables 22, 32, 42, 52 are transferred to the substrate transporting heads 61-64, 71-74. Is moved below the suction pad.

第1の基板搬送ヘッド61と第2の基板搬送ヘッド62は、ベース部60に直接結合されている。第3の基板搬送ヘッド63は第1のシリンダ機構66を介してベース部60に結合されており、第4の基板搬送ヘッド64は第2のシリンダ機構67を介してベース部60に結合されている。同様に、第5の基板搬送ヘッド71と第6の基板搬送ヘッド72は、ベース部70に直接結合されている。また、第7の基板搬送ヘッド73は第3のシリンダ機構76を介してベース部70に結合されており、第8の基板搬送ヘッド74は第4のシリンダ機構77を介してベース部70に結合されている。   The first substrate transport head 61 and the second substrate transport head 62 are directly coupled to the base unit 60. The third substrate transport head 63 is coupled to the base portion 60 via the first cylinder mechanism 66, and the fourth substrate transport head 64 is coupled to the base portion 60 via the second cylinder mechanism 67. Yes. Similarly, the fifth substrate transport head 71 and the sixth substrate transport head 72 are directly coupled to the base unit 70. The seventh substrate transport head 73 is coupled to the base portion 70 via the third cylinder mechanism 76, and the eighth substrate transport head 74 is coupled to the base portion 70 via the fourth cylinder mechanism 77. Has been.

第1の基板搬送ヘッド61、第2の基板搬送ヘッド62は、基板受け渡しステージ4からテープ貼付け部5へ、テープ貼付け部5から仮圧着部6へそれぞれ基板2を搬送する。また第3の基板搬送ヘッド63、第4の基板搬送ヘッド64は、仮圧着部6から本圧着部7へ、本圧着部7から受け渡しエリアA(基板受け渡しステージ3内の基板載置テーブル3a)へそれぞれ基板2を搬送する。このとき、第1のシリンダ機構66が有するロッド66aを伸縮させることにより、第3の基板搬送ヘッド63によって本圧着部7へ基板2を搬送する際の搬送先を、基板保持テーブル42,52の何れかに切り替えることができる。また、第2のシリンダ機構67が有するロッド67aを伸縮させることにより、第4の基板搬送ヘッド64によって本圧着部7から基板2を取り出す際の取り出し元を、基板保持テーブル42,52の何れかに切り替えることができる。また、受け渡しエリアAへの基板2の搬送は、ベース部60の下流側(X2方向側)への移動の他、第2のシリンダ機構67のロッド67aの伸ばし動作を行うことによってなされる。   The first substrate transport head 61 and the second substrate transport head 62 transport the substrate 2 from the substrate transfer stage 4 to the tape pasting unit 5 and from the tape pasting unit 5 to the temporary press bonding unit 6, respectively. Further, the third substrate transport head 63 and the fourth substrate transport head 64 are transferred from the temporary press-bonding section 6 to the main press-bonding section 7 and from the main press-bonding section 7 to the transfer area A (the substrate placement table 3a in the substrate transfer stage 3) Each of the substrates 2 is transported. At this time, the rod 66 a of the first cylinder mechanism 66 is expanded and contracted, so that the transport destination when the substrate 2 is transported to the main crimping section 7 by the third substrate transport head 63 is set to the substrate holding tables 42 and 52. It can be switched to either. In addition, the rod 67a included in the second cylinder mechanism 67 is expanded and contracted, so that the fourth substrate transport head 64 takes out the substrate 2 from the main crimping portion 7 as one of the substrate holding tables 42 and 52. You can switch to The substrate 2 is transported to the delivery area A by moving the base portion 60 to the downstream side (X2 direction side) and extending the rod 67a of the second cylinder mechanism 67.

上記構成において、第4の基板搬送ヘッド64は、上流側設備1Aと受け渡しエリアAとの間を移動自在に設けられ、上流側設備1Aから受け渡しエリアAまで基板2を搬送する上流側搬送部となっている。また第2のシリンダ機構67は、上流側設備1Aと受け渡しエリアAとの間で上流側搬送部を移動させる上流側搬送部移動機構となっている。さらに上流側搬送部移動機構は、基板2の搬送方向であるX方向に伸縮自在なロッド67aを含むシリンダ機構を有している。   In the above configuration, the fourth substrate transport head 64 is provided movably between the upstream facility 1A and the delivery area A, and an upstream transport unit that transports the substrate 2 from the upstream facility 1A to the delivery area A. It has become. The second cylinder mechanism 67 is an upstream transport unit moving mechanism that moves the upstream transport unit between the upstream facility 1A and the delivery area A. Further, the upstream transport unit moving mechanism has a cylinder mechanism including a rod 67 a that is extendable in the X direction, which is the transport direction of the substrate 2.

第5の基板搬送ヘッド71、第6の基板搬送ヘッド72は、受け渡しエリアAから下流側設備1Bのテープ貼付け部5へ、テープ貼付け部5から仮圧着部6へそれぞれ基板2を搬送する。また第7の基板搬送ヘッド73、第8の基板搬送ヘッド74は、仮圧着部6から本圧着部7へ、本圧着部7から下流側設備1Bのさらに下流に設けられた基板受け渡しステージ(図示省略)へそれぞれ基板2を搬送する。なお、第3のシリンダ機構76、第4のシリンダ機構77が有する各ロッド76a,77aの伸縮による基板2の移送先の変更、及び基板受け渡しステージへの基板2の搬送は、上流側設備1Aで説明した態様と同じである。   The 5th board | substrate conveyance head 71 and the 6th board | substrate conveyance head 72 each convey the board | substrate 2 from the delivery area A to the tape sticking part 5 of the downstream installation 1B, and from the tape sticking part 5 to the temporary crimping | compression-bonding part 6. In addition, the seventh substrate transport head 73 and the eighth substrate transport head 74 are substrate delivery stages (illustrated) provided from the temporary crimping unit 6 to the final crimping unit 7 and further downstream from the final crimping unit 7 to the downstream equipment 1B. The substrate 2 is transferred to (omitted). The upstream equipment 1A is used to change the transfer destination of the substrate 2 by expansion and contraction of the rods 76a and 77a of the third cylinder mechanism 76 and the fourth cylinder mechanism 77 and to transport the substrate 2 to the substrate delivery stage. It is the same as the aspect demonstrated.

上記構成において、第5の基板搬送ヘッド71は、受け渡しエリアAと下流側設備1Bとの間を移動自在に設けられ、受け渡しエリアAまで搬送された基板2を受け取って受け渡しエリアAから下流側設備1Bまで基板2を搬送する下流側搬送部となっている。また直動機構75は、受け渡しエリアAと下流側設備1Bとの間で第5の基板搬送ヘッド71(下流側搬送部)を移動させる下流側搬送部移動機構となっている。   In the above configuration, the fifth substrate transport head 71 is provided so as to be movable between the delivery area A and the downstream equipment 1B, receives the substrate 2 transported to the delivery area A, and receives the downstream equipment from the delivery area A. It is a downstream side conveyance part which conveys the board | substrate 2 to 1B. The linear motion mechanism 75 is a downstream transport unit moving mechanism that moves the fifth substrate transport head 71 (downstream transport unit) between the delivery area A and the downstream facility 1B.

第5の基板搬送ヘッド71によって基板載置テーブル3aから基板2を取り出す際には、ベース部70をX1方向に移動させる。したがって、第4の基板搬送ヘッド64と第5の基板搬送ヘッド71が受け渡しエリアAへ同時に進入したとき、両者は衝突する。   When the substrate 2 is taken out from the substrate placement table 3a by the fifth substrate transport head 71, the base unit 70 is moved in the X1 direction. Accordingly, when the fourth substrate transport head 64 and the fifth substrate transport head 71 enter the transfer area A at the same time, they collide with each other.

次に図6を参照して、部品実装システム1の制御系について説明する。上流側設備1A、下流側設備1Bにそれぞれ備えられた制御部80,90は、通信部81,91、テープ貼付け制御部82,92、仮圧着制御部83,93、本圧着制御部84,94、移動機構制御部85,95及びインターロック機構86,96を含んで構成される。また、制御部80はインターロック監視部87をさらに有している。制御部80,90はそれぞれの設備に設けられたテープ貼付け部5、仮圧着部6、本圧着部7及び基板搬送部8と接続されているとともに、上流側設備1Aと下流側設備1Bは通信部81,91を介して通信可能に接続されている。   Next, the control system of the component mounting system 1 will be described with reference to FIG. The control units 80 and 90 provided in the upstream facility 1A and the downstream facility 1B, respectively, are communication units 81 and 91, tape sticking control units 82 and 92, provisional pressure bonding control units 83 and 93, and main pressure bonding control units 84 and 94. The moving mechanism control units 85 and 95 and the interlock mechanisms 86 and 96 are configured. The control unit 80 further includes an interlock monitoring unit 87. The control units 80 and 90 are connected to the tape adhering unit 5, the temporary crimping unit 6, the main crimping unit 7, and the substrate transport unit 8 provided in each facility, and the upstream facility 1 </ b> A and the downstream facility 1 </ b> B communicate with each other. The units 81 and 91 are communicably connected.

テープ貼付け制御部82,92は、テープ貼付け部5を構成する各機構を制御することにより、基板2に個片テープ12a(接着テープ)を貼付けるテープ貼付け作業を実行する。仮圧着制御部83,93は、仮圧着部6を構成する各機構を制御することにより、基板2に貼り付けられた個片テープ12a上に電子部品9を仮圧着する仮圧着作業を実行する。本圧着制御部84,94は、本圧着部7を構成する各機構を制御することにより、基板2に仮圧着された電子部品9を押圧して本圧着する本圧着作業を実行する。   The tape affixing control units 82 and 92 execute a tape affixing operation for affixing the individual tape 12 a (adhesive tape) to the substrate 2 by controlling each mechanism constituting the tape affixing unit 5. The temporary pressure bonding control units 83 and 93 execute a temporary pressure bonding operation for temporarily pressure bonding the electronic component 9 onto the piece tape 12 a attached to the substrate 2 by controlling each mechanism constituting the temporary pressure bonding unit 6. . The main press-bonding control units 84 and 94 execute main press-bonding operations for pressing the electronic component 9 temporarily bonded to the substrate 2 and performing main press-bonding by controlling each mechanism constituting the main press-bonding unit 7.

移動機構制御部85は、直動機構65を制御することによって基板搬送ヘッド61〜64をX方向に移動させる。また移動機構制御部85は、第1のシリンダ機構66、第2のシリンダ機構67(上流側搬送部移動機構)を制御することによって、ロッド66a,67aを伸縮させて第3の基板搬送ヘッド63、第4の基板搬送ヘッド64をそれぞれX方向に移動させる。   The movement mechanism control unit 85 moves the substrate transfer heads 61 to 64 in the X direction by controlling the linear movement mechanism 65. Further, the moving mechanism control unit 85 controls the first cylinder mechanism 66 and the second cylinder mechanism 67 (upstream conveying unit moving mechanism) to expand and contract the rods 66a and 67a, thereby the third substrate conveying head 63. The fourth substrate transport head 64 is moved in the X direction.

移動機構制御部95は、直動機構75を制御することによって基板搬送ヘッド71〜74をX方向に移動させる。また、第3のシリンダ機構76、第4のシリンダ機構77を制御することによって、ロッド76a,77aを伸縮させて第7の基板搬送ヘッド73,第8の基板搬送ヘッド74をそれぞれX方向に移動させる。これにより、基板搬送ヘッド61〜64,71〜74を介して基板受け渡しステージ3,4を含む複数の作業部間での基板搬送動作を実行する。   The movement mechanism control unit 95 controls the linear motion mechanism 75 to move the substrate transport heads 71 to 74 in the X direction. Further, by controlling the third cylinder mechanism 76 and the fourth cylinder mechanism 77, the rods 76a and 77a are expanded and contracted to move the seventh substrate transport head 73 and the eighth substrate transport head 74 in the X direction, respectively. Let As a result, the substrate transfer operation is performed between the plurality of working units including the substrate transfer stages 3 and 4 via the substrate transfer heads 61 to 64 and 71 to 74.

インターロック機構86,96は、上流側設備1Aと下流側設備1Bが通信部81,91を介してインターロック信号の送受信を行うことにより、基板搬送ヘッド61〜64,71〜74の作動状況を検知する。そして、一方の設備が他方の設備からのインターロック信号を受信している間、移動機構制御部85,95は一方の設備に備えられた基板搬送ヘッド61〜64,71〜74の作動を制限する。すなわちインターロック機構86,96は、上流側設備1Aと下流側設備1Bが備える基板搬送ヘッド61〜64,71〜74の衝突を回避するための衝突回避手段となっている。   The interlock mechanisms 86 and 96 are configured so that the upstream equipment 1A and the downstream equipment 1B transmit and receive an interlock signal via the communication units 81 and 91, so that the operation states of the substrate transport heads 61 to 64 and 71 to 74 are changed. Detect. And while one installation is receiving the interlock signal from the other installation, movement mechanism control parts 85 and 95 restrict operation of substrate conveyance heads 61-64, 71-74 with which one installation was equipped. To do. That is, the interlock mechanisms 86 and 96 serve as collision avoidance means for avoiding a collision between the substrate transport heads 61 to 64 and 71 to 74 included in the upstream facility 1A and the downstream facility 1B.

インターロック信号の送信は、基板受け渡しステージ3への基板2の搬送又は基板2の受け取りを開始するタイミングで行われる。すなわち上流側設備1Aにおいては、基板2を保持した第4の基板搬送ヘッド64が受け渡しエリアA(基板受け渡しステージ3)に向かって移動(進入)を開始するタイミング、下流側設備1Bにおいては、第5の基板搬送ヘッド71が受け渡しエリアAに向かって移動を開始するタイミングでなされる。なお、インターロック信号の送信は、相手方の設備から同信号が送信されていないことが条件となる。   The transmission of the interlock signal is performed at the timing when the transfer of the substrate 2 to the substrate transfer stage 3 or the reception of the substrate 2 is started. That is, in the upstream facility 1A, the timing at which the fourth substrate transport head 64 holding the substrate 2 starts to move (enter) toward the transfer area A (substrate transfer stage 3), and in the downstream facility 1B, This is done at the timing when the fifth substrate transfer head 71 starts moving toward the delivery area A. The interlock signal is transmitted under the condition that the signal is not transmitted from the counterpart facility.

インターロック信号の送信の解除は、基板搬送動作が終了したタイミングでなされる。すなわち上流側設備1Aにおいては、第2のシリンダ機構67のロッド67aをX1方向に縮ませることによって第4の基板搬送ヘッド64が受け渡しエリアAから退避した後のタイミング、下流側設備1Bにおいては、直動機構75を介してベース部70をX2方向に移動させることによって第5の基板搬送ヘッド71が受け渡しエリアAから退避した後のタイミングでなされる。   The release of the transmission of the interlock signal is performed at the timing when the substrate transfer operation is completed. That is, in the upstream facility 1A, the timing after the fourth substrate transport head 64 is retracted from the delivery area A by contracting the rod 67a of the second cylinder mechanism 67 in the X1 direction, in the downstream facility 1B, This is done at a timing after the fifth substrate transport head 71 is retracted from the transfer area A by moving the base portion 70 in the X2 direction via the linear motion mechanism 75.

インターロック監視部87は、上流側設備1Aが下流側設備1Bへインターロック信号を送信している間、下流側設備1Bの第5の基板搬送ヘッド71が当該信号を無視して受け渡しエリアAへの移動を開始したかを検知する。   The interlock monitoring unit 87 ignores the signal and transfers the signal to the transfer area A while the upstream equipment 1A transmits the interlock signal to the downstream equipment 1B. Detect whether the movement of has started.

本発明の部品実装システム1は以上のような構成から成り、次に図7〜図9を参照して、一の設備内における一連の基板搬送動作について説明する。本例では、上流側設備1Aを例に挙げる。まず図7(a)に示すように、移動機構制御部85はベース部60を介して基板搬送ヘッド61〜64を上流側へ移動させ、第1の基板搬送ヘッド61を基板受け渡しステージ4に、第2の基板搬送ヘッド62をテープ貼付け部5に、第3の基板搬送ヘッド63を仮圧着部6に、第4の基板搬送ヘッド64を本圧着部7(第1の本圧着部7A)にそれぞれ位置合わせする。このとき、第1のシリンダ機構66、第2のシリンダ機構67のロッド66a,67aは予め縮ませておく。そして、基板載置テーブル4aに搬入された基板2Aを第1の基板搬送ヘッド61によって保持する。   The component mounting system 1 according to the present invention is configured as described above. Next, a series of board conveying operations in one facility will be described with reference to FIGS. In this example, the upstream facility 1A is taken as an example. First, as shown in FIG. 7A, the moving mechanism control unit 85 moves the substrate transfer heads 61 to 64 to the upstream side via the base unit 60, and the first substrate transfer head 61 is moved to the substrate transfer stage 4. The second substrate transport head 62 is used as the tape attaching unit 5, the third substrate transport head 63 is used as the temporary press-bonding unit 6, and the fourth substrate transport head 64 is used as the main press-bonding unit 7 (first main press-bonding unit 7A). Align each. At this time, the rods 66a and 67a of the first cylinder mechanism 66 and the second cylinder mechanism 67 are contracted in advance. Then, the substrate 2A carried into the substrate mounting table 4a is held by the first substrate transport head 61.

次いで図7(b)に示すように、移動機構制御部85はベース部60を介して基板搬送ヘッド61〜64を下流側へ移動させ、第1の基板搬送ヘッド61をテープ貼付け部5に、第2の基板搬送ヘッド62を仮圧着部6に、第3の基板搬送ヘッド63を本圧着部7(第1の本圧着部7A)に、第4の基板搬送ヘッド64を本圧着部7と基板受け渡しステージ3の間の領域にそれぞれ位置合わせする。次いで、移動機構制御部85は基板保持テーブル22に基板2Aを受け渡す。その後、基板2Aに対してはテープ貼付け作業が行われる。この間、基板受け渡しステージ4には上流側から基板2Bが新たに搬入される。   Next, as shown in FIG. 7B, the moving mechanism control unit 85 moves the substrate transport heads 61 to 64 to the downstream side via the base unit 60, and the first substrate transport head 61 is moved to the tape attaching unit 5. The second substrate transport head 62 is used as the temporary press-bonding section 6, the third substrate transport head 63 is used as the main press-bonding section 7 (first main press-bonding section 7 A), and the fourth substrate transfer head 64 is used as the main press-bonding section 7. Positioning is performed in the area between the substrate transfer stages 3. Next, the moving mechanism control unit 85 delivers the substrate 2 </ b> A to the substrate holding table 22. Thereafter, a tape attaching operation is performed on the substrate 2A. During this time, the substrate 2B is newly carried into the substrate transfer stage 4 from the upstream side.

次いで図7(c)に示すように、基板搬送ヘッド61〜64を前述と同様の態様により上流側へ移動させた後、基板載置テーブル4aに搬入された基板2Bを第1の基板搬送ヘッド61によって保持するとともに、テープ貼付け作業を終えた基板2Aを第2の基板搬送ヘッド62によって保持する。次いで図7(d)に示すように、基板搬送ヘッド61〜64を前述と同様の態様により下流側へ移動させた後、基板保持テーブル22に基板2Bを受け渡すとともに、基板保持テーブル32に基板2Aを受け渡す。その後、基板2Aに対しては仮圧着作業が行われるとともに、基板2Bに対してはテープ貼付け作業が行われる。   Next, as shown in FIG. 7C, after the substrate transport heads 61 to 64 are moved to the upstream side in the same manner as described above, the substrate 2B carried into the substrate mounting table 4a is moved to the first substrate transport head. While being held by 61, the substrate 2 </ b> A that has finished the tape attaching operation is held by the second substrate transfer head 62. Next, as shown in FIG. 7D, after the substrate transfer heads 61 to 64 are moved to the downstream side in the same manner as described above, the substrate 2B is transferred to the substrate holding table 22, and the substrate is transferred to the substrate holding table 32. Deliver 2A. Thereafter, a temporary pressure bonding operation is performed on the substrate 2A, and a tape attaching operation is performed on the substrate 2B.

次いで図8(a)に示すように、基板搬送ヘッド61〜64を上流側へ移動させた後、基板載置テーブル4aに搬入された基板2Cを第1の基板搬送ヘッド61によって保持するとともに、テープ貼付け作業を終えた基板2Bを第2の基板搬送ヘッド62によって保持する。さらに、仮圧着作業を終えた基板2Aを第3の基板搬送ヘッド63によって保持する。次いで図8(b)に示すように、基板搬送ヘッド61〜64を下流側へ移動させた後、基板保持テーブル22に基板2Cを受け渡すとともに、基板保持テーブル32に基板2Bを受け渡す。さらに、第1の本圧着部7Aの基板保持テーブル42に基板2Aを受け渡す。その後、基板2Aに対しては第1の本圧着部7Aで本圧着作業が行われるとともに、基板2Bに対しては仮圧着作業が行われる。さらに、基板2Cに対してはテープ貼付け作業が行われる。   Next, as shown in FIG. 8A, after the substrate transfer heads 61 to 64 are moved to the upstream side, the substrate 2C carried into the substrate mounting table 4a is held by the first substrate transfer head 61, and The substrate 2B that has finished the tape attaching operation is held by the second substrate transfer head 62. Further, the substrate 2 </ b> A that has been subjected to the temporary pressure bonding operation is held by the third substrate transport head 63. Next, as shown in FIG. 8B, after the substrate transport heads 61 to 64 are moved to the downstream side, the substrate 2 </ b> C is delivered to the substrate holding table 22 and the substrate 2 </ b> B is delivered to the substrate holding table 32. Further, the substrate 2A is delivered to the substrate holding table 42 of the first main crimping portion 7A. Thereafter, the main pressure bonding operation is performed on the substrate 2A by the first main pressure bonding portion 7A and the temporary pressure bonding operation is performed on the substrate 2B. Further, a tape attaching operation is performed on the substrate 2C.

次いで図8(c)に示すように、基板搬送ヘッド61〜64を上流側へ移動させた後、基板載置テーブル4aに搬入された基板2Dを第1の基板搬送ヘッド61によって保持するとともに、テープ貼付け作業を終えた基板2Cを第2の基板搬送ヘッド62によって保持する。さらに、仮圧着作業を終えた基板2Bを第3の基板搬送ヘッド63によって保持する。このとき、第1の本圧着部7Aでは基板2Aの本圧着作業が引き続き行われている。すなわち、第1の本圧着部7A(第2の本圧着部7B)での作業時間は、他の作業部での作業時間よりも長い。したがって、ここでは第4の基板搬送ヘッド64によって基板2Aを保持しない。図8(c)では、本圧着作業のため基板2Aが第1の圧着位置まで移動していること伴い、基板2A及び基板保持テーブル42の図示を省略している。   Next, as shown in FIG. 8C, after the substrate transfer heads 61 to 64 are moved to the upstream side, the substrate 2D carried into the substrate mounting table 4a is held by the first substrate transfer head 61, and The substrate 2 </ b> C that has finished the tape pasting operation is held by the second substrate transport head 62. Further, the substrate 2 </ b> B that has been subjected to the temporary pressure bonding operation is held by the third substrate transport head 63. At this time, the main pressure bonding operation of the substrate 2A is continued in the first main pressure bonding portion 7A. That is, the working time at the first main crimping portion 7A (second main crimping portion 7B) is longer than the working time at the other working portions. Accordingly, the substrate 2A is not held by the fourth substrate transport head 64 here. In FIG. 8C, the substrate 2 </ b> A and the substrate holding table 42 are not shown because the substrate 2 </ b> A has moved to the first pressure bonding position for the main pressure bonding operation.

次いで図8(d)に示すように、基板搬送ヘッド61〜64を下流側へ移動させるとともに、第1のシリンダ機構66のロッド66aを上限まで伸ばす。そして、基板保持テーブル22に基板2Dを受け渡すとともに、基板保持テーブル32に基板2Cを受け渡す。さらに、ロッド66aを介して第2の本圧着部7Bの前方側の領域まで移動した第3の基板搬送ヘッド63によって基板保持テーブル52に基板2Bを受け渡す。その後、基板2Bに対しては第2の本圧着部7Bにて本圧着作業が行われるとともに、基板2Cに対しては仮圧着作業が行われる。さらに、基板2Dに対してはテープ貼付け作業が行われる。   Next, as shown in FIG. 8D, the substrate transport heads 61 to 64 are moved to the downstream side, and the rod 66a of the first cylinder mechanism 66 is extended to the upper limit. Then, the substrate 2D is delivered to the substrate holding table 22, and the substrate 2C is delivered to the substrate holding table 32. Further, the substrate 2B is delivered to the substrate holding table 52 by the third substrate transport head 63 that has moved to the area on the front side of the second main crimping portion 7B via the rod 66a. Thereafter, the main pressure bonding operation is performed on the substrate 2B by the second main pressure bonding portion 7B, and the temporary pressure bonding operation is performed on the substrate 2C. Furthermore, a tape sticking operation is performed on the substrate 2D.

次いで図9(a)に示すように、基板搬送ヘッド61〜64を上流側へ移動させた後、基板受け渡しステージ4に搬入された基板2Eを第1の基板搬送ヘッド61によって保持するとともに、テープ貼付け作業を終えた基板2Dを第2の基板搬送ヘッド62によって保持する。さらに、第1のシリンダ機構66のロッド66aを縮ませた状態で第3の基板搬送ヘッド63によって基板2Cを保持するとともに、第1の本圧着部7Aで本圧着作業を終えた基板2Aを第4の基板搬送ヘッド64によって保持する。この間、第2の本圧着部7Bに搬送された基板2Bは本圧着作業のため第2の圧着位置まで移動している。   Next, as shown in FIG. 9A, after the substrate transfer heads 61 to 64 are moved to the upstream side, the substrate 2E carried into the substrate transfer stage 4 is held by the first substrate transfer head 61, and the tape The substrate 2D that has been pasted is held by the second substrate transport head 62. Further, the substrate 2C is held by the third substrate transport head 63 in a state in which the rod 66a of the first cylinder mechanism 66 is contracted, and the substrate 2A that has been subjected to the main pressing operation by the first main pressing portion 7A 4 substrate transport head 64. During this time, the substrate 2B conveyed to the second final crimping portion 7B has moved to the second crimping position for the final crimping operation.

次いで図9(b)に示すように、基板搬送ヘッド61〜64を下流側へ移動させるとともに、第2のシリンダ機構67のロッド67aを上限まで伸ばす。そして、基板保持テーブル22に基板2Eを受け渡すとともに、基板保持テーブル32に基板2Dを受け渡す。さらに第1の本圧着部7Aの基板保持テーブル42に基板2Cを受け渡すとともに、基板載置テーブル3aに基板2Aを受け渡す。その後、基板2Cに対しては第1の本圧着部7Aで本圧着作業が行われるとともに、基板2Dに対しては仮圧着作業が行われる。さらに、基板2Eに対してはテープ貼付け作業が行われる。   Next, as shown in FIG. 9B, the substrate transport heads 61 to 64 are moved to the downstream side, and the rod 67a of the second cylinder mechanism 67 is extended to the upper limit. Then, the substrate 2E is delivered to the substrate holding table 22, and the substrate 2D is delivered to the substrate holding table 32. Further, the substrate 2C is delivered to the substrate holding table 42 of the first main pressure bonding part 7A, and the substrate 2A is delivered to the substrate mounting table 3a. Thereafter, the main pressure bonding operation is performed on the substrate 2C by the first main pressure bonding portion 7A, and the temporary pressure bonding operation is performed on the substrate 2D. Further, a tape attaching operation is performed on the substrate 2E.

ロッド67aを伸ばすタイミングは、直動機構65によって基板搬送ヘッド61〜64を下流側へ移動させた後、又は直動機構65によって基板搬送ヘッド61〜64を下流側へ移動させている間の何れでもよい。このように、第4の基板搬送ヘッド64(上流側搬送部)は、ロッド67aが伸びることによって受け渡しエリアAまで移動する。   The timing of extending the rod 67a may be determined after the substrate transfer heads 61 to 64 are moved downstream by the linear motion mechanism 65 or while the substrate transfer heads 61 to 64 are moved downstream by the linear motion mechanism 65. But you can. As described above, the fourth substrate transport head 64 (upstream transport unit) moves to the transfer area A when the rod 67a extends.

次いで図9(c)に示すように、基板搬送ヘッド61〜64を上流側へ移動させた後、基板載置テーブル4aに搬入された基板2Fを第1の基板搬送ヘッド61によって保持するとともに、テープ貼付け作業を終えた基板2Eを第2の基板搬送ヘッド62によって保持する。さらに、第3の基板搬送ヘッド63によって基板2Dを保持するとともに、第2のシリンダ機構67のロッド67aを上限まで伸ばした状態のまま第4の基板搬送ヘッド64によって基板保持テーブル52上の基板2Bを保持する。第4の基板搬送ヘッド64によって基板2Bを保持した後、第2のシリンダ機構67のロッド67aを縮ませる。このとき、基板2Cは本圧着作業のために第1の圧着位置まで移動しているため、基板2Bと基板2Cは干渉しない。   Next, as shown in FIG. 9C, after the substrate transport heads 61 to 64 are moved to the upstream side, the substrate 2F carried into the substrate mounting table 4a is held by the first substrate transport head 61, and The substrate 2E that has finished the tape attaching operation is held by the second substrate transfer head 62. Further, the substrate 2D is held by the third substrate transfer head 63, and the substrate 2B on the substrate holding table 52 is held by the fourth substrate transfer head 64 with the rod 67a of the second cylinder mechanism 67 extended to the upper limit. Hold. After the substrate 2B is held by the fourth substrate transport head 64, the rod 67a of the second cylinder mechanism 67 is contracted. At this time, since the substrate 2C has moved to the first crimping position for the main crimping operation, the substrate 2B and the substrate 2C do not interfere with each other.

次いで図9(d)に示すように、基板搬送ヘッド61〜64を下流側へ移動させるとともに、第1のシリンダ機構66のロッド66a、第2のシリンダ機構67のロッド67aを上限まで伸ばす。そして、基板保持テーブル22に基板2Fを受け渡すとともに、基板保持テーブル32に基板2Eを受け渡す。さらに、基板保持テーブル52に基板2Dを受け渡すとともに、第4の基板搬送ヘッド64によって基板載置テーブル3aに基板2Bを受け渡す。なお、基板載置テーブル3aに基板2Bを受け渡す前に、第5の基板搬送ヘッド71によって基板載置テーブル3aに載置された基板2Aを予め取り出しておく。これまで説明した動作を反復して継続することで、基板2の搬送が行われる。   Next, as shown in FIG. 9D, the substrate transport heads 61 to 64 are moved to the downstream side, and the rod 66a of the first cylinder mechanism 66 and the rod 67a of the second cylinder mechanism 67 are extended to the upper limit. Then, the substrate 2F is delivered to the substrate holding table 22, and the substrate 2E is delivered to the substrate holding table 32. Further, the substrate 2D is delivered to the substrate holding table 52, and the substrate 2B is delivered to the substrate placement table 3a by the fourth substrate transport head 64. In addition, before delivering the substrate 2B to the substrate placement table 3a, the substrate 2A placed on the substrate placement table 3a is previously taken out by the fifth substrate transport head 71. By repeating the operations described so far, the substrate 2 is transported.

以上説明した基板搬送動作は、上流側設備1Aに備えられた第4の基板搬送ヘッド64と下流側設備1Bに備えられた第5の基板搬送ヘッド71が衝突しないよう、インターロック機構86,96を介して第2のシリンダ機構67、直動機構75を制御することによってなされる。そして上流側設備1Aでは、以下に説明する受け渡しエリアAへの第4の基板搬送ヘッド64の進入判断処理に基づいて、基板搬送ヘッド61〜64の移動を制御する。   In the above-described substrate transfer operation, the interlock mechanisms 86, 96 are provided so that the fourth substrate transfer head 64 provided in the upstream facility 1A and the fifth substrate transfer head 71 provided in the downstream facility 1B do not collide. This is done by controlling the second cylinder mechanism 67 and the linear motion mechanism 75 via. In the upstream facility 1A, the movement of the substrate transport heads 61 to 64 is controlled based on the entry determination process of the fourth substrate transport head 64 to the delivery area A described below.

次に図10を参照して、受け渡しエリアAへの第4の基板搬送ヘッド64の進入判断処理について説明する。本圧着を終えた基板2を含め、上流側設備1Aにおいて各種の作業を終えた基板2を基板搬送ヘッド61〜64によって保持して下流側への移送準備が完了したならば、移動機構制御部85は下流側設備1Bからインターロック信号が送信されているか判断する(ST1:インターロック信号送信有無判断工程)。すなわちこの工程では、第5の基板搬送ヘッド71が受け渡しエリアAへ移動しているかを判断している。より簡潔にいえば、ここでは第4の基板搬送ヘッド64を受け渡しエリアAへ進入させてもよいかの確認を行う。図11に示すように、下流側設備1Bからインターロック信号が上流側設備1Aへと送信されている場合(矢印a)、その送信が途切れるまで直動機構65の駆動、及び第2のシリンダ機構67の駆動、すなわちロッド67aの伸ばし動作は保留される。   Next, with reference to FIG. 10, a process for determining whether the fourth substrate transport head 64 enters the delivery area A will be described. If the substrate 2 that has completed various operations in the upstream facility 1A, including the substrate 2 that has been subjected to the final pressure bonding, is held by the substrate transport heads 61 to 64 and is ready for transfer to the downstream side, the moving mechanism control unit 85 determines whether the interlock signal is transmitted from the downstream equipment 1B (ST1: interlock signal transmission presence / absence determination step). That is, in this step, it is determined whether the fifth substrate transport head 71 has moved to the delivery area A. More succinctly, here, it is confirmed whether or not the fourth substrate transport head 64 may be transferred to the transfer area A. As shown in FIG. 11, when the interlock signal is transmitted from the downstream facility 1B to the upstream facility 1A (arrow a), the linear motion mechanism 65 is driven until the transmission is interrupted, and the second cylinder mechanism. The driving of 67, that is, the extending operation of the rod 67a is suspended.

(ST1)で下流側設備1Bからのインターロック信号の送信が途切れたならば、移動機構制御部95は下流側設備1Bへインターロック信号を送信する(ST2:インターロック信号送信工程)(図11(a)に示す矢印b)。すなわちこの工程では、第5の基板搬送ヘッド71が受け渡しエリアAから退避した後に、上流側設備1Aから下流側設備1Bへインターロック信号を送信する。そして、上流側設備1Aからインターロック信号が送信されている間、通常であれば、基板搬送ヘッド71〜74の上流側への移動、換言すれば第5の基板搬送ヘッド71の受け渡しエリアAへの進入は制限される。   If transmission of the interlock signal from the downstream facility 1B is interrupted in (ST1), the movement mechanism control unit 95 transmits the interlock signal to the downstream facility 1B (ST2: interlock signal transmission step) (FIG. 11). Arrow b) shown in (a). In other words, in this step, after the fifth substrate transport head 71 is retracted from the delivery area A, an interlock signal is transmitted from the upstream facility 1A to the downstream facility 1B. While the interlock signal is being transmitted from the upstream facility 1A, normally, the substrate transport heads 71 to 74 are moved upstream, in other words, to the delivery area A of the fifth substrate transport head 71. Entry is restricted.

上流側設備1Aから下流側設備1Bへインターロック信号を送信したならば、図12(a)に示すように、移動機構制御部85は直動機構65を制御してベース部60を下流側へ移動させるとともに、第2のシリンダ機構67のロッド67aを伸ばすことによって第4の基板搬送ヘッド64の受け渡しエリアAへの進入を開始する(矢印c)(ST3:受け渡しエリア進入工程)。便宜上、図12では第4の基板搬送ヘッド64のみが基板2を保持しているが、実際には他の基板搬送ヘッド61〜63も基板2を保持している。   If the interlock signal is transmitted from the upstream facility 1A to the downstream facility 1B, as shown in FIG. 12A, the moving mechanism control unit 85 controls the linear motion mechanism 65 to move the base unit 60 downstream. While moving, the rod 67a of the second cylinder mechanism 67 is extended to start the entry of the fourth substrate transport head 64 into the delivery area A (arrow c) (ST3: delivery area entry step). For convenience, only the fourth substrate transport head 64 holds the substrate 2 in FIG. 12, but actually the other substrate transport heads 61 to 63 also hold the substrate 2.

次いで、移動機構制御部85はロッド67aが上限まで伸びきったか判断する(ST4:ロッド伸び判断工程)。ロッド67aが上限まで伸びきっていない場合、移動機構制御部85は下流側設備1Bの移動機構制御部95が何らかの要因でインターロック信号を無視して直動機構75を駆動させることにより、第5の基板搬送ヘッド71が受け渡しエリアAへの進入を開始したか判断する(ST5:受け渡しエリア進入開始有無判断工程)。ここでの判断は、インターロック監視部87による監視状況に基づいてなされる。   Next, the movement mechanism control unit 85 determines whether the rod 67a has been extended to the upper limit (ST4: rod extension determination step). When the rod 67a is not fully extended to the upper limit, the movement mechanism control unit 85 causes the movement mechanism control unit 95 of the downstream side equipment 1B to drive the linear motion mechanism 75 while ignoring the interlock signal for some reason. It is determined whether the substrate transport head 71 has started entering the delivery area A (ST5: delivery area entry start presence / absence judging step). This determination is made based on the monitoring status by the interlock monitoring unit 87.

ここで、下流側設備1Bが上流側設備1Aからのインターロック信号を無視する場合として想定される要因について説明する。一般に、部品実装システム1は部品実装機構を有する設備を複数連結して構成され、本実施の形態では上流側設備1Aと下流側設備1Bがこれに該当する。そして、受け渡しエリアAを介して1枚の基板2を複数の設備間で受け渡し、各設備で所定の実装作業が行われることによって1枚の実装基板が生産される。このような生産形態下では、一の設備に備えられた基板搬送ヘッドが作動している間は他方の設備に備えられた基板搬送ヘッドの作動を制限することによって、受け渡しエリアA内における双方の衝突を回避することが求められる。これを実現するための一の手段として、インターロック機構が用いられる。   Here, the factor assumed as a case where the downstream equipment 1B ignores the interlock signal from the upstream equipment 1A will be described. In general, the component mounting system 1 is configured by connecting a plurality of facilities having a component mounting mechanism, and in this embodiment, the upstream facility 1A and the downstream facility 1B correspond to this. Then, one board 2 is delivered between a plurality of facilities via the delivery area A, and a single mounting board is produced by performing a predetermined mounting operation in each equipment. Under such a production form, while the substrate transfer head provided in one facility is operating, the operation of the substrate transfer head provided in the other facility is restricted, thereby It is required to avoid collisions. An interlock mechanism is used as one means for realizing this.

しかしながら、部品実装システム1を構成する複数の設備は同一のキャリアで統一されるとは限らず、また同一のキャリアであっても設備間の機種が相違する場合がある。これらの相違に起因して、設備間でインターロック機構が十分に機能せず、一の設備が他の設備からのインターロック信号を無視するような事態が起こり得る。また、同じ機種の設備を揃えた場合であっても、双方の設備からインターロック信号が同時に送信されたような場合には、インターロック機能が正常に機能しない事態が起こり得る。なお、これまで述べた要因は一例である。   However, the plurality of facilities constituting the component mounting system 1 are not necessarily unified by the same carrier, and even among the same carrier, the types of facilities may be different. Due to these differences, an interlock mechanism may not function sufficiently between facilities, and a situation may occur where one facility ignores an interlock signal from another facility. Even when equipment of the same model is prepared, if the interlock signals are transmitted from both equipments simultaneously, the interlock function may not function normally. The factors described so far are only examples.

そして本実施の形態のように、第2のシリンダ機構67のロッド67aを伸ばすことによって第4の基板搬送ヘッド64を受け渡しエリアAへ進入させる形態下では、インターロック信号を無視して下流側設備1Bの第5の基板搬送ヘッド71が受け渡しエリアAへ進入を開始したとき、シリンダ機構の設計上の理由によりロッド67aの伸び動作を途中で停止させることが困難な場合がある。   Then, as in the present embodiment, in the form in which the fourth substrate transport head 64 is transferred to the transfer area A by extending the rod 67a of the second cylinder mechanism 67, the downstream equipment is ignored ignoring the interlock signal. When the first substrate transport head 71 of 1B starts entering the transfer area A, it may be difficult to stop the extending operation of the rod 67a halfway due to the design of the cylinder mechanism.

(ST5)で、上流側設備1Aからのインターロック信号の送信を無視して下流側設備1Bからインターロック信号が上流側設備1Aへ送信されてきた場合(図11に示す矢印d)、すなわち第5の基板搬送ヘッド71が上流側設備1Aからのインターロック信号を無視して受け渡しエリアAへの進入を開始したことを検知した場合(図12(b)に示す矢印e)、移動機構制御部85は直動機構65の駆動を直ちに停止させるとともに第2のシリンダ機構67のロッド67aを縮ませ(図12(c)に示す矢印f)、第4の基板搬送ヘッド64を上流側設備1A側へ戻す(ST6:ロッド戻し工程)。これにより、第4の基板搬送ヘッド64を受け渡しエリアAから退避させて第5の基板搬送ヘッド71との衝突を回避することができる。   In (ST5), when the interlock signal is transmitted from the downstream facility 1B to the upstream facility 1A ignoring the transmission of the interlock signal from the upstream facility 1A (arrow d shown in FIG. 11), that is, 5, when it is detected that the substrate transport head 71 starts entering the transfer area A ignoring the interlock signal from the upstream facility 1 </ b> A (arrow e shown in FIG. 12B). 85 immediately stops the driving of the linear motion mechanism 65 and contracts the rod 67a of the second cylinder mechanism 67 (arrow f shown in FIG. 12C), and moves the fourth substrate transport head 64 to the upstream facility 1A side. Return to ST6 (ST6: Rod return step). Accordingly, the fourth substrate transport head 64 can be retracted from the delivery area A and the collision with the fifth substrate transport head 71 can be avoided.

一方、(ST4)で第2のシリンダ機構67のロッド67aが上限まで伸びきった場合、受け渡しエリアAへの進入判断処理を終了する。そして、移動機構制御部85は下流側の各作業部に基板2を移送した後、基板搬送ヘッド61〜64を上流側へ移動させる。   On the other hand, when the rod 67a of the second cylinder mechanism 67 reaches the upper limit in (ST4), the entry determination process for the delivery area A is terminated. Then, the movement mechanism control unit 85 moves the substrate transport heads 61 to 64 to the upstream side after transferring the substrate 2 to each downstream working unit.

以上説明したように、移動機構制御部85は、第4の基板搬送ヘッド64(上流側搬送部)が上流側設備1Aから受け渡しエリアAに向けて移動しているときに、第5の基板搬送ヘッド71(下流側搬送部)が受け渡しエリアAに向けて移動を開始したことを検知したとき、第4の基板搬送ヘッド64を上流側設備1A側に戻すようにしている。より具体的には、移動機構制御部85は第2のシリンダ機構67のロッド67aを伸ばすことによって第4の基板搬送ヘッド64が受け渡しエリアAに向けて移動しているときに、第5の基板搬送ヘッド71が受け渡しエリアAに向けて移動を開始したことを検知したとき、ロッド67aを縮ませるようにしている。   As described above, the movement mechanism control unit 85 performs the fifth substrate transfer when the fourth substrate transfer head 64 (upstream transfer unit) is moving from the upstream facility 1A toward the transfer area A. When it is detected that the head 71 (downstream transport unit) has started moving toward the transfer area A, the fourth substrate transport head 64 is returned to the upstream facility 1A side. More specifically, the moving mechanism control unit 85 extends the rod 67a of the second cylinder mechanism 67 to move the fifth substrate when the fourth substrate transport head 64 is moving toward the transfer area A. When it is detected that the transport head 71 has started moving toward the delivery area A, the rod 67a is contracted.

これにより、第5の基板搬送ヘッド71が上流側設備1Aから送信されるインターロック信号を無視して受け渡しエリアAへの進入を開始した場合であっても、第4の基板搬送ヘッド64を基板受け渡しエリアAから退避させて第5の基板搬送ヘッド71との衝突を回避することができる。特に、本発明は上流側搬送部を移動させる手段として、ロッド67aの伸び動作を途中で停止させることができないシリンダ機構を用いた場合や、機種の異なる設備間で基板2の受け渡しを行うように構成された部品実装システム1においてきわめて有用な効果を奏する。   Thus, even when the fifth substrate transport head 71 ignores the interlock signal transmitted from the upstream facility 1A and starts entering the transfer area A, the fourth substrate transport head 64 is moved to the substrate. The collision with the fifth substrate transport head 71 can be avoided by retracting from the transfer area A. In particular, in the present invention, when the cylinder mechanism that cannot stop the extending operation of the rod 67a is used as a means for moving the upstream side conveyance unit, or the substrate 2 is transferred between facilities of different models. There is an extremely useful effect in the configured component mounting system 1.

次に図13を参照して、本発明のその他の実施の形態について説明する。なお、本実施の形態で説明した構成と同一のものについては説明を省略する。ここでは、下流側設備1Bの制御部90にインターロック監視部を新たに設けるとともに、下流側設備1Bの基板搬送部8Cが備えるベース部70をX方向へ移動させる手段として、直動機構75に替えて伸縮自在なロッド78aを有する第5のシリンダ機構78を用いる。すなわち移動機構制御部95は、ロッド78aを縮ませることにより第5の基板搬送ヘッド71を基板受け渡しエリアAに移動させ、また、ロッド78aを伸ばすことにより第5の基板搬送ヘッド71を下流側設備1B内のテープ貼付け部5まで移動させる。   Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Note that description of the same components as those described in this embodiment is omitted. Here, an interlock monitoring unit is newly provided in the control unit 90 of the downstream facility 1B, and the linear motion mechanism 75 is used as a means for moving the base unit 70 provided in the substrate transfer unit 8C of the downstream facility 1B in the X direction. Instead, a fifth cylinder mechanism 78 having a telescopic rod 78a is used. That is, the moving mechanism control unit 95 moves the fifth substrate transport head 71 to the substrate transfer area A by contracting the rod 78a, and moves the fifth substrate transport head 71 to the downstream facility by extending the rod 78a. It moves to the tape sticking part 5 in 1B.

このように、その他の実施の形態では第5のシリンダ機構78が下流側搬送部移動機構となっており、移動機構制御部95はこの下流側搬送部移動機構を制御する。また下流側搬送部移動機構は、基板2の搬送方向であるX方向に伸縮自在なロッド78aを含むシリンダ機構を有し、第5の基板搬送ヘッド71(下流側搬送部)は、ロッド78aが伸びることによって受け渡しエリアAまで移動する。   As described above, in the other embodiments, the fifth cylinder mechanism 78 is a downstream side transport unit moving mechanism, and the moving mechanism control unit 95 controls the downstream side transport unit moving mechanism. The downstream transport unit moving mechanism has a cylinder mechanism including a rod 78a that can be expanded and contracted in the X direction, which is the transport direction of the substrate 2, and the fifth substrate transport head 71 (downstream transport unit) has a rod 78a. It moves to the delivery area A by extending.

その他の実施の形態では、下流側設備1Bから送信されるインターロック信号を無視して第4の基板搬送ヘッド64が受け渡しエリアAに進入を開始したことをインターロック監視部によって検知したときに、第5の基板搬送ヘッド71を下流側設備1Bに戻す。すなわち、移動機構制御部95は、第5の基板搬送ヘッド71(下流側搬送部)が下流側設備1Bから受け渡しエリアAに向けて移動しているときに、第4の基板搬送ヘッド64(上流側搬送部)が受け渡しエリアAに向けて移動を開始したことを検知したとき、第4の基板搬送ヘッド64を下流側設備1B側に戻す。より具体的には、移動機構制御部95はロッド78aを伸ばすことによって第5の基板搬送ヘッド71が受け渡しエリアAに向けて移動しているときに、第4の基板搬送ヘッド64が受け渡しエリアAに向けて移動を開始したことを検知したとき、ロッド78aを縮ませる。これにより、第4の基板搬送ヘッド64と第5の基板搬送ヘッド71の衝突を回避することができる。   In other embodiments, when the interlock monitoring unit detects that the fourth substrate transport head 64 has started entering the delivery area A ignoring the interlock signal transmitted from the downstream facility 1B, The fifth substrate transport head 71 is returned to the downstream facility 1B. That is, the moving mechanism control unit 95 moves the fourth substrate transport head 64 (upstream) when the fifth substrate transport head 71 (downstream transport unit) is moving from the downstream facility 1B toward the transfer area A. When it is detected that the side transport unit has started moving toward the delivery area A, the fourth substrate transport head 64 is returned to the downstream facility 1B side. More specifically, when the fifth substrate transport head 71 is moving toward the transfer area A by extending the rod 78a, the moving mechanism control unit 95 moves the fourth substrate transport head 64 in the transfer area A. When it is detected that the movement has started, the rod 78a is contracted. Thereby, the collision between the fourth substrate transport head 64 and the fifth substrate transport head 71 can be avoided.

本発明はこれまで説明した実施の形態に限定されるものではない。例えば、上流側搬送部は基板搬送ヘッドに限定されず、シリンダ機構を用いて受け渡しエリアに進入して基板2を搬送するものであればよい。例えば、ロッドの伸縮によって受け渡しエリアに対して進退可能な基板載置テーブルを上流側設備1Aに設けるとともに、受け渡しエリアに対して進退可能な基板保持アームを下流側設備に設ける。かかる構成を用いた場合の基板2の受け渡し動作は、まず、上流側設備1Aの移動機構制御部85がロッドを伸ばして基板2が載置された基板載置ステージを受け渡しエリアに移動させる。次いで、下流側設備1Bの移動機構制御部が基板保持アームを基板載置テーブルの上方まで移動させた後、当該基板保持アームを下降させる。そして、基板保持アームが有する吸着パッドを介して基板載置テーブル上の基板2を取り出す。このような形態下においては、ロッドを伸ばすことによって基板載置テーブルが受け渡しエリアへ移動しているときに基板保持アームが受け渡しエリアへ進入していることを検知した場合に、ロッドを縮ませて基板載置ステージを上流側設備1Aへ戻すことによって、基板載置テーブルと基板保持アームの衝突を回避することができる。   The present invention is not limited to the embodiments described so far. For example, the upstream transport unit is not limited to the substrate transport head, and may be anything that enters the transfer area using the cylinder mechanism and transports the substrate 2. For example, the upstream equipment 1A is provided with a substrate mounting table that can be advanced and retracted with respect to the transfer area by expansion and contraction of a rod, and a downstream substrate holding arm that can be advanced and retracted with respect to the transfer area is provided. In the transfer operation of the substrate 2 when such a configuration is used, first, the moving mechanism control unit 85 of the upstream facility 1A extends the rod and moves it to the transfer area on which the substrate 2 is mounted. Next, after the moving mechanism control unit of the downstream facility 1B moves the substrate holding arm to above the substrate mounting table, the substrate holding arm is lowered. And the board | substrate 2 on a board | substrate mounting table is taken out through the suction pad which a board | substrate holding arm has. Under such a configuration, when it is detected that the substrate holding arm has entered the transfer area when the substrate mounting table is moved to the transfer area by extending the rod, the rod is contracted. By returning the substrate mounting stage to the upstream facility 1A, the collision between the substrate mounting table and the substrate holding arm can be avoided.

本発明によれば、上流側搬送部と下流側搬送部の衝突を回避して作業エラーの発生を防止することができ、基板に電子部品を実装する電子部品実装分野において有用である。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, generation | occurrence | production of a work error can be prevented by avoiding the collision of an upstream conveyance part and a downstream conveyance part, and it is useful in the electronic component mounting field | area which mounts an electronic component on a board | substrate.

1 部品実装システム
1A 上流側設備
1B 下流側設備
2 基板
5 テープ貼付け部
6 仮圧着部
7 本圧着部
9 電子部品
64 第4の基板搬送ヘッド(上流側搬送部)
67 第2のシリンダ機構(上流側搬送部移動機構)
67a ロッド
71 第5の基板搬送ヘッド(下流側搬送部)
75 直動機構(下流側搬送部移動機構)
78 第5のシリンダ機構(下流側搬送部移動機構)
78a ロッド
85,95 移動機構制御部
A 受け渡しエリア
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Component mounting system 1A Upstream equipment 1B Downstream equipment 2 Board | substrate 5 Tape sticking part 6 Temporary crimping part 7 Final crimping part 9 Electronic component 64 4th board | substrate conveyance head (upstream conveyance part)
67 Second cylinder mechanism (upstream transport section moving mechanism)
67a Rod 71 Fifth substrate transport head (downstream transport unit)
75 Linear motion mechanism (downstream transport unit moving mechanism)
78 Fifth Cylinder Mechanism (Downstream Transport Unit Movement Mechanism)
78a Rod 85, 95 Movement mechanism control part A Delivery area

Claims (4)

基板に電子部品を実装する第1の部品実装機構を有する上流側設備と、前記上流側設備よりも下流に配設され、受け渡しエリアを介して前記上流側設備から受け渡された基板に電子部品を実装する第2の部品実装機構を有する下流側設備とを備えた部品実装システムであって、
前記上流側設備と前記受け渡しエリアとの間を移動自在に設けられ、前記上流側設備から前記受け渡しエリアまで基板を搬送する上流側搬送部と、
前記上流側設備と前記受け渡しエリアとの間で前記上流側搬送部を移動させる上流側搬送部移動機構と、
前記受け渡しエリアと前記下流側設備との間を移動自在に設けられ、前記受け渡しエリアまで搬送された基板を受け取って前記受け渡しエリアから前記下流側設備まで基板を搬送する下流側搬送部と、
前記受け渡しエリアと前記下流側設備との間で前記下流側搬送部を移動させる下流側搬送部移動機構と、
前記上流側搬送部移動機構を制御する移動機構制御部とを備え、
前記移動機構制御部は、前記上流側搬送部が前記上流側設備から前記受け渡しエリアに向けて移動しているときに、前記下流側搬送部が前記受け渡しエリアに向けて移動を開始したことを検知したとき、前記上流側搬送部を前記上流側設備側に戻すことを特徴とする部品実装システム。
An upstream facility having a first component mounting mechanism for mounting an electronic component on a substrate, and an electronic component disposed downstream of the upstream facility and delivered from the upstream facility via a delivery area A component mounting system comprising a downstream facility having a second component mounting mechanism for mounting
An upstream transport unit that is movably provided between the upstream facility and the delivery area, and transports a substrate from the upstream facility to the delivery area;
An upstream transport unit moving mechanism for moving the upstream transport unit between the upstream facility and the delivery area;
A downstream transfer unit that is movably provided between the transfer area and the downstream facility, receives a substrate transferred to the transfer area, and transfers the substrate from the transfer area to the downstream facility;
A downstream transport unit moving mechanism for moving the downstream transport unit between the delivery area and the downstream facility;
A moving mechanism control unit for controlling the upstream transport unit moving mechanism,
The movement mechanism control unit detects that the downstream conveyance unit has started moving toward the delivery area when the upstream conveyance unit is moving from the upstream facility toward the delivery area. Then, the component mounting system is configured to return the upstream transport unit to the upstream facility side.
前記上流側搬送部移動機構は、基板の搬送方向に伸縮自在なロッドを含むシリンダ機構を有し、
前記上流側搬送部は、前記ロッドが伸びることによって前記受け渡しエリアまで移動し、
前記移動機構制御部は、前記ロッドを伸ばすことによって前記上流側搬送部が前記受け渡しエリアに向けて移動しているときに、前記下流側搬送部が前記受け渡しエリアに向けて移動を開始したことを検知したとき、前記ロッドを縮ませることを特徴とする請求項1に記載の部品実装システム。
The upstream transport unit moving mechanism has a cylinder mechanism including a rod that can be expanded and contracted in the transport direction of the substrate,
The upstream transport unit moves to the delivery area by extending the rod,
The movement mechanism control unit is configured to start the movement of the downstream conveyance unit toward the delivery area when the upstream conveyance unit is moving toward the delivery area by extending the rod. The component mounting system according to claim 1, wherein the rod is contracted when detected.
基板に電子部品を実装する第1の部品実装機構を有する上流側設備と、前記上流側設備よりも下流に配設され、受け渡しエリアを介して前記上流側設備から受け渡された基板に電子部品を実装する第2の部品実装機構を有する下流側設備とを備えた部品実装システムであって、
前記上流側設備と前記受け渡しエリアとの間を移動自在に設けられ、前記上流側設備から前記受け渡しエリアまで基板を搬送する上流側搬送部と、
前記上流側設備と前記受け渡しエリアとの間で前記上流側搬送部を移動させる上流側搬送部移動機構と、
前記受け渡しエリアと前記下流側設備との間を移動自在に設けられ、前記受け渡しエリアまで搬送された基板を受け取って前記受け渡しエリアから前記下流側設備まで基板を搬送する下流側搬送部と、
前記受け渡しエリアと前記下流側設備との間で前記下流側搬送部を移動させる下流側搬送部移動機構と、
前記下流側搬送部移動機構を制御する移動機構制御部とを備え、
前記移動機構制御部は、前記下流側搬送部が前記下流側設備から前記受け渡しエリアに向けて移動しているときに、前記上流側搬送部が前記受け渡しエリアに向けて移動を開始したことを検知したとき、前記下流側搬送部を前記下流側設備側に戻すことを特徴とする部品実装システム。
An upstream facility having a first component mounting mechanism for mounting an electronic component on a substrate, and an electronic component disposed downstream of the upstream facility and delivered from the upstream facility via a delivery area A component mounting system comprising a downstream facility having a second component mounting mechanism for mounting
An upstream transport unit that is movably provided between the upstream facility and the delivery area, and transports a substrate from the upstream facility to the delivery area;
An upstream transport unit moving mechanism for moving the upstream transport unit between the upstream facility and the delivery area;
A downstream transfer unit that is movably provided between the transfer area and the downstream facility, receives a substrate transferred to the transfer area, and transfers the substrate from the transfer area to the downstream facility;
A downstream transport unit moving mechanism for moving the downstream transport unit between the delivery area and the downstream facility;
A moving mechanism control unit that controls the downstream transport unit moving mechanism,
The movement mechanism control unit detects that the upstream conveyance unit has started moving toward the delivery area when the downstream conveyance unit is moving from the downstream facility toward the delivery area. In this case, the component mounting system is configured to return the downstream transport unit to the downstream facility side.
前記下流側搬送部移動機構は、基板の搬送方向に伸縮自在なロッドを含むシリンダ機構を有し、
前記下流側搬送部は、前記ロッドが伸びることによって前記受け渡しエリアまで移動し、
前記移動機構制御部は、前記ロッドを伸ばすことによって前記下流側搬送部が前記受け渡しエリアに向けて移動しているときに、前記上流側搬送部が前記受け渡しエリアに向けて移動を開始したことを検知したとき、前記ロッドを縮ませることを特徴とする請求項3に記載の部品実装システム。
The downstream transport unit moving mechanism has a cylinder mechanism including a rod that can be expanded and contracted in the transport direction of the substrate,
The downstream transport unit moves to the delivery area by extending the rod,
The moving mechanism control unit is configured to start the movement of the upstream transport unit toward the delivery area when the downstream transport unit is moving toward the delivery area by extending the rod. The component mounting system according to claim 3, wherein the rod is contracted when detected.
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