JP2015079684A - 測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体 - Google Patents
測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015079684A JP2015079684A JP2013216949A JP2013216949A JP2015079684A JP 2015079684 A JP2015079684 A JP 2015079684A JP 2013216949 A JP2013216949 A JP 2013216949A JP 2013216949 A JP2013216949 A JP 2013216949A JP 2015079684 A JP2015079684 A JP 2015079684A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mixers
- impedance
- measuring
- plasma
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
Description
まず、図2を参照して、測定装置1に補正信号を与える。
次に、図5を参照して、測定装置1に被測定信号を与える。
2 高周波電源
3 方向性結合器
4 分配器
5 マッチャー(インピーダンスマッチング部)
6 プラズマチャンバ
6a、6b 電極
7 ウエハ
11 第一端子
21 第二端子
31 出力端子
12 (単一の)第一ローカル信号源
14 第一ミキサ
16 第一A/D変換器
18 第一レベル・位相測定部
22 第二ローカル信号源
24 第二ミキサ
26 第二A/D変換器
28 第二レベル・位相測定部
32 中間周波数信号源
34 補正信号用ミキサ
42、44 スイッチ
52 ローカル周波数設定部
54 誤差測定部
56 誤差補正部
60 インピーダンス導出部
62 特性インピーダンス測定部
64 マッチャー特性記録部
66 負荷インピーダンス測定部
70 チャンバ内状態判定部
fLo1 ローカル信号入力の周波数
ΔLv1〜ΔLv3 複数のミキサ14、24の出力間のレベル差
ΔP1〜ΔP3 複数のミキサ14、24の出力間の位相差
ZCIM 特性インピーダンス
ZL 負荷インピーダンス
Claims (12)
- プラズマが発生するプラズマチャンバと、該プラズマチャンバ内の電極に進行波を与える電源と、前記電源と前記プラズマチャンバとのインピーダンスマッチングをとるインピーダンスマッチング部とを有するプラズマ処理装置を測定する測定装置であって、
二つの入力の周波数の差に等しい周波数の信号を出力する複数のミキサと、
前記複数のミキサに共通のローカル信号入力を与える単一のローカル信号源と、
前記複数のミキサに共通の補正信号入力を与えたときの、前記複数のミキサの出力間のレベル差および位相差を測定する誤差測定部と、
前記インピーダンスマッチング部における回路定数と、前記複数のミキサに周波数が共通する被測定信号入力を与えたときの前記複数のミキサの出力とから、前記プラズマチャンバ内のインピーダンスを導出するインピーダンス導出部と、
前記誤差測定部の測定結果に基づき、前記インピーダンス導出部の導出結果を補正する誤差補正部と、
を備え、
前記進行波と、該進行波が前記プラズマチャンバによって反射された反射波とを前記被測定信号入力とする、
測定装置。 - 請求項1に記載の測定装置であって、
前記電源と前記インピーダンスマッチング部との間から、前記進行波および前記反射波を取得する、
測定装置。 - 請求項1に記載の測定装置であって、
前記インピーダンス導出部の導出結果に基づき、前記プラズマチャンバの内の状態を判定するチャンバ内状態判定部、
を備えた測定装置。 - 請求項3に記載の測定装置であって、
前記チャンバ内状態判定部が、前記プラズマ処理装置における1回のプラズマプロセスにおける異常の有無を判定する、
測定装置。 - 請求項3に記載の測定装置であって、
前記チャンバ内状態判定部が、前記プラズマ処理装置における複数回のプラズマプロセスにおいて、異常なプラズマプロセスの有無を判定する、
測定装置。 - 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の測定装置であって、
前記誤差測定部が、前記レベル差および前記位相差を、前記ローカル信号入力の周波数に対応付けて測定し、
前記誤差補正部が、前記ローカル信号入力の周波数に応じて、補正を行う、
測定装置。 - 請求項6に記載の測定装置であって、
前記誤差補正部が、前記誤差測定部の測定結果を前記ローカル信号入力の周波数について補間したものに基づき、補正を行う、
測定装置。 - 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の測定装置であって、
前記ローカル信号入力および中間周波数信号入力が与えられ、前記ローカル信号入力および前記中間周波数信号入力の周波数の和に等しい周波数の信号を前記補正信号として出力する補正信号用ミキサ、
を備えた測定装置。 - プラズマが発生するプラズマチャンバと、該プラズマチャンバ内の電極に進行波を与える電源と、前記電源と前記プラズマチャンバとのインピーダンスマッチングをとるインピーダンスマッチング部とを有するプラズマ処理装置を測定する測定装置であって、
二つの入力の周波数の差に等しい周波数の信号を出力する複数のミキサと、
前記複数のミキサに共通のローカル信号入力を与える単一のローカル信号源と、
前記インピーダンスマッチング部における回路定数と、前記複数のミキサに周波数が共通する被測定信号入力を与えたときの前記複数のミキサの出力とから、前記プラズマチャンバ内のインピーダンスを導出するインピーダンス導出部と、
を備え、
前記複数のミキサに共通の信号入力を与えたときの、前記複数のミキサの出力間のレベル差および位相差が無く、
前記進行波と、該進行波が前記プラズマチャンバによって反射された反射波とを前記被測定信号入力とする、
測定装置。 - プラズマが発生するプラズマチャンバと、該プラズマチャンバ内の電極に進行波を与える電源と、前記電源と前記プラズマチャンバとのインピーダンスマッチングをとるインピーダンスマッチング部とを有するプラズマ処理装置を測定する測定装置であって、二つの入力の周波数の差に等しい周波数の信号を出力する複数のミキサと、前記複数のミキサに共通のローカル信号入力を与える単一のローカル信号源とを有する測定装置における測定処理を行う測定方法であって、
前記複数のミキサに共通の補正信号入力を与えたときの、前記複数のミキサの出力間のレベル差および位相差を測定する誤差測定工程と、
前記インピーダンスマッチング部における回路定数と、前記複数のミキサに周波数が共通する被測定信号入力を与えたときの前記複数のミキサの出力とから、前記プラズマチャンバ内のインピーダンスを導出するインピーダンス導出工程と、
前記誤差測定工程の測定結果に基づき、前記インピーダンス導出工程の導出結果を補正する誤差補正工程と、
を備え、
前記進行波と、該進行波が前記プラズマチャンバによって反射された反射波とを前記被測定信号入力とする、
測定方法。 - プラズマが発生するプラズマチャンバと、該プラズマチャンバ内の電極に進行波を与える電源と、前記電源と前記プラズマチャンバとのインピーダンスマッチングをとるインピーダンスマッチング部とを有するプラズマ処理装置を測定する測定装置であって、二つの入力の周波数の差に等しい周波数の信号を出力する複数のミキサと、前記複数のミキサに共通のローカル信号入力を与える単一のローカル信号源とを有する測定装置における測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記測定処理は、
前記複数のミキサに共通の補正信号入力を与えたときの、前記複数のミキサの出力間のレベル差および位相差を測定する誤差測定工程と、
前記インピーダンスマッチング部における回路定数と、前記複数のミキサに周波数が共通する被測定信号入力を与えたときの前記複数のミキサの出力とから、前記プラズマチャンバ内のインピーダンスを導出するインピーダンス導出工程と、
前記誤差測定工程の測定結果に基づき、前記インピーダンス導出工程の導出結果を補正する誤差補正工程と、
を備え、
前記進行波と、該進行波が前記プラズマチャンバによって反射された反射波とを前記被測定信号入力とする、
プログラム。 - プラズマが発生するプラズマチャンバと、該プラズマチャンバ内の電極に進行波を与える電源と、前記電源と前記プラズマチャンバとのインピーダンスマッチングをとるインピーダンスマッチング部とを有するプラズマ処理装置を測定する測定装置であって、二つの入力の周波数の差に等しい周波数の信号を出力する複数のミキサと、前記複数のミキサに共通のローカル信号入力を与える単一のローカル信号源とを有する測定装置における測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記測定処理は、
前記複数のミキサに共通の補正信号入力を与えたときの、前記複数のミキサの出力間のレベル差および位相差を測定する誤差測定工程と、
前記インピーダンスマッチング部における回路定数と、前記複数のミキサに周波数が共通する被測定信号入力を与えたときの前記複数のミキサの出力とから、前記プラズマチャンバ内のインピーダンスを導出するインピーダンス導出工程と、
前記誤差測定工程の測定結果に基づき、前記インピーダンス導出工程の導出結果を補正する誤差補正工程と、
を備え、
前記進行波と、該進行波が前記プラズマチャンバによって反射された反射波とを前記被測定信号入力とする、
記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013216949A JP6308489B2 (ja) | 2013-10-18 | 2013-10-18 | 測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013216949A JP6308489B2 (ja) | 2013-10-18 | 2013-10-18 | 測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015079684A true JP2015079684A (ja) | 2015-04-23 |
JP6308489B2 JP6308489B2 (ja) | 2018-04-11 |
Family
ID=53010944
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013216949A Active JP6308489B2 (ja) | 2013-10-18 | 2013-10-18 | 測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6308489B2 (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04368799A (ja) * | 1991-06-17 | 1992-12-21 | Daihen Corp | プラズマインピーダンス測定装置 |
JPH1183907A (ja) * | 1997-09-03 | 1999-03-26 | Mitsubishi Electric Corp | 高周波電流の測定方法 |
JP2002168892A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-14 | Sharp Corp | 方向性結合器の特性測定方法及びその方法を用いた方向性結合器及びこの方向性結合器を備えたプラズマ処理装置 |
US20050067386A1 (en) * | 2003-09-30 | 2005-03-31 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for determining plasma impedance |
WO2005057993A1 (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-23 | Daihen Corporation | 高周波電力供給システム |
JP2006166412A (ja) * | 2004-11-09 | 2006-06-22 | Daihen Corp | インピーダンス整合装置 |
JP2007033171A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Advantest Corp | 周波数成分測定装置 |
JP2013007616A (ja) * | 2011-06-23 | 2013-01-10 | Advantest Corp | 信号測定装置、信号測定方法、プログラム、記録媒体 |
-
2013
- 2013-10-18 JP JP2013216949A patent/JP6308489B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04368799A (ja) * | 1991-06-17 | 1992-12-21 | Daihen Corp | プラズマインピーダンス測定装置 |
JPH1183907A (ja) * | 1997-09-03 | 1999-03-26 | Mitsubishi Electric Corp | 高周波電流の測定方法 |
JP2002168892A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-14 | Sharp Corp | 方向性結合器の特性測定方法及びその方法を用いた方向性結合器及びこの方向性結合器を備えたプラズマ処理装置 |
US20050067386A1 (en) * | 2003-09-30 | 2005-03-31 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for determining plasma impedance |
WO2005057993A1 (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-23 | Daihen Corporation | 高周波電力供給システム |
JP2006166412A (ja) * | 2004-11-09 | 2006-06-22 | Daihen Corp | インピーダンス整合装置 |
JP2007033171A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Advantest Corp | 周波数成分測定装置 |
JP2013007616A (ja) * | 2011-06-23 | 2013-01-10 | Advantest Corp | 信号測定装置、信号測定方法、プログラム、記録媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6308489B2 (ja) | 2018-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102139893B1 (ko) | 임피던스 조정장치 | |
US8587301B2 (en) | Method for operating a metal detection system and metal detection system | |
KR102449323B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 | |
US7863996B2 (en) | Tune range limiter | |
US20110168695A1 (en) | Radio-frequency heating apparatus and radio-frequency heating method | |
KR102165741B1 (ko) | 세 개 이상의 상태에 기초한 전력 및 주파수의 조절 | |
KR102570373B1 (ko) | 마이크로파 출력 장치 및 플라즈마 처리 장치 | |
CN112272036B (zh) | 用于射频接收机的温度补偿装置和方法、射频接收机 | |
KR20150002524A (ko) | 변압기 및 위상 시프트 네트워크를 위한 시스템 및 방법 | |
JP2019091526A (ja) | パルスモニタ装置及びプラズマ処理装置 | |
AU2017403029A1 (en) | Probing a structure of concrete by means of electromagnetic waves | |
JP4682335B2 (ja) | 自己較正ミキサ | |
JP5249390B2 (ja) | 信号測定装置、信号測定方法、プログラム、記録媒体 | |
JP2007093606A (ja) | 被検装置の分析を行う方法及び計測システム | |
JP6084418B2 (ja) | インピーダンス調整装置 | |
JP6308489B2 (ja) | 測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体 | |
KR20130013708A (ko) | 임피던스 정합장치 및 임피던스 정합방법 | |
KR102332390B1 (ko) | 고주파 전원 장치 및 그것을 이용한 플라즈마 처리 장치 | |
JP2017073771A (ja) | 高周波整合システム | |
JP2013251071A (ja) | 信号測定装置、信号測定方法、プログラム、記録媒体 | |
JP5809598B2 (ja) | 信号測定装置、信号測定方法、プログラム、記録媒体 | |
US10345350B2 (en) | Method for detecting high-frequency signals | |
Middelstaedt et al. | Methodology for optimizing radiated EMI Characteristics of power electronic circuits | |
US20130346028A1 (en) | Method and measuring device for suppressing interference signals | |
US6834187B1 (en) | Method of devising a frequency plan for a signal analysis circuit |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20160520 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20160601 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20160607 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160525 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160623 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160624 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160706 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160624 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170718 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170911 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180213 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180305 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6308489 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |