JP2015069141A - 感放射線性樹脂組成物、感光性ドライフィルム、感放射線性樹脂層の積層方法、保護膜およびタッチパネル - Google Patents
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Abstract
Description
保護フィルムを除去しながら、試料に感放射線性樹脂層が密着するようにしてラミネートすることを特徴とする感放射線性樹脂層の積層方法に関する。
本発明の第4の態様の感放射線性樹脂層の積層方法により、金属配線に感放射線性樹脂層をラミネートし、その感放射線性樹脂層を露光して形成されることを特徴とする保護膜に関する。
尚、本発明において、露光に際して照射される「放射線」には、可視光線、紫外線、遠紫外線、X線および荷電粒子線等が含まれる。
<感放射線性樹脂組成物>
本発明の第1実施形態の感放射線性樹脂組成物は、金属材料との密着性に優れた保護膜であって、保護する金属材料の腐食等の劣化が促進されるのを抑制できる保護膜を形成するのに好適な感放射線性の樹脂組成物である。そして、後述する本発明の実施形態のタッチパネルは、例えば、Mo/Al/Moとなる積層構造を有して構成された金属配線等を有することができる。したがって、本発明の第1実施形態の感放射線性樹脂組成物は、本発明の実施形態のタッチパネルに好適に使用できる保護膜を提供することができる。
本発明の実施形態の感放射線性樹脂組成物に含有される(A)バインダーポリマーは、(a1)不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選択される少なくとも1種(以下、「化合物(a1)」という。)と、(a2)他の不飽和化合物(以下、「化合物(a2)」という。)との共重合体である。
アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、2−アクリロイルオキシエチルコハク酸、2−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、2−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸等のモノカルボン酸;
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等のジカルボン酸;
前記ジカルボン酸の酸無水物等を挙げることができる。
(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシ−シクロヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシメチル−シクロヘキシルメチルエステル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシエチル−シクロヘキシルエチルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルメチルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシエチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルエチルエステル、(メタ)アクリル酸8−ヒドロキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルエステル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシ−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルエステル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシメチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルメチルエステル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルエチルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシ−アダマンタン−1−イルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシメチル−アダマンタン−1−イルメチルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシエチル−アダマンタン−1−イルエチルエステルの如き脂環式構造を有する(メタ)アクリル酸ヒドロキシアルキルエステル;
アクリル酸2−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)エチルエステル、アクリル酸3−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)プロピルエステル、アクリル酸4−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)ブチルエステル、アクリル酸5−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)ペンチルエステル、アクリル酸6−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)へキシルエステルの如きアクリル酸(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)アルキルエステル;
メタクリル酸2−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)エチルエステル、メタクリル酸3−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)プロピルエステル、メタクリル酸4−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)ブチルエステル、メタクリル酸5−(6−ヒドロキシエチルヘキサノイルオキシ)ペンチルエステル、メタクリル酸6−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)へキシルエステルの如きメタクリル酸(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)アルキルエステル等のその他の化合物(a2−1)(以下、「他の化合物(a2−1)」という。)を挙げることができる。
α−エチルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸6,7−エポキシヘプチル、α−エチルアクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシル等の他のα−アルキルアクリル酸エポキシ(シクロ)アルキルエステル;
o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等のグリシジルエーテル;
3−(メタクリロイルオキシメチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−メチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−トリフロロメチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−ペンタフロロエチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−フェニルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2,2−ジフロロオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2,2,4−トリフロロオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2,2,4,4−テトラフロロオキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)−3−エチルオキセタン、2−エチル−3−(メタクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)−2−トリフロロメチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)−2−ペンタフロロエチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)−2−フェニルオキセタン、2,2−ジフロロ−3−(メタクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)−2,2,4−トリフロロオキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)−2,2,4,4−テトラフロロオキセタン等のメタクリル酸エステル;
メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸n−プロピル、メタクリル酸i−プロピル、メタクリル酸n−ブチル、メタクリル酸sec−ブチル、メタクリル酸t−ブチル等のメタクリル酸アルキルエステル;
アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸2−メチルシクロヘキシル、アクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、アクリル酸2−(トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルオキシ)エチル、アクリル酸イソボロニル等のアクリル酸脂環式エステル;
メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸2−メチルシクロヘキシル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、メタクリル酸2−(トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルオキシ)エチル、メタクリル酸イソボロニル等のメタクリル酸脂環式エステル;
アクリル酸フェニル、アクリル酸ベンジル等のアクリル酸のアリールエステルあるいはアラルキルエステル;
メタクリル酸フェニル、メタクリル酸ベンジル等のメタクリル酸のアリールエステルあるいはアラルキルエステル;
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等の不飽和ジカルボン酸ジアルキルエステル;
アクリル酸テトラヒドロフラン−2−イル、アクリル酸テトラヒドロピラン−2−イル、アクリル酸2−メチルテトラヒドロピラン−2−イル等の含酸素複素5員環あるいは含酸素複素6員環を有するアクリル酸エステル;
メタクリル酸テトラヒドロフラン−2−イル、メタクリル酸テトラヒドロピラン−2−イル、メタクリル酸2−メチルテトラヒドロピラン−2−イル等の含酸素複素5員環あるいは含酸素複素6員環を有するメタクリル酸エステル;
スチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−メトキシスチレン等のビニル芳香族化合物;
1,3−ブタジエン、イソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン等の共役ジエン化合物の他、
アクリロニトリル、メタクリロニトリル、アクリルアミド、メタクリルアミド、塩化ビニル、塩化ビニリデン、酢酸ビニル等を挙げることができる。
メタノール、エタノール、n−プロパノール、i−プロパノール等のアルコール;
テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル;
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル等のエチレングリコールモノアルキルエーテル;
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート等のエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート;
エチレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、エチレングリコールモノエチルエーテルプロピオネート、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテルプロピオネート、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルプロピオネート等のエチレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート;
ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル等のジエチレングリコールアルキルエーテル;
プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル;
ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエチルエーテル等のジプロピレングリコールアルキルエーテル;
プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテルプロピオネート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート;
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素;
メチルエチルケトン、2−ペンタノン、3−ペンタノン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン等のケトン;
2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸n−プロピル、2−メトキシプロピオン酸n−ブチル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸n−プロピル、2−エトキシプロピオン酸n−ブチル、2−n−プロポキシプロピオン酸メチル、2−n−プロポキシプロピオン酸エチル、2−n−プロポキシプロピオン酸n−プロピル、2−n−プロポキシプロピオン酸n−ブチル、2−n−ブトキシプロピオン酸メチル、2−n−ブトキシプロピオン酸エチル、2−n−ブトキシプロピオン酸n−プロピル、2−n−ブトキシプロピオン酸n−ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸n−プロピル、3−メトキシプロピオン酸n−ブチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸n−プロピル、3−エトキシプロピオン酸n−ブチル、3−n−プロポキシプロピオン酸メチル、3−n−プロポキシプロピオン酸エチル、3−n−プロポキシプロピオン酸n−プロピル、3−n−プロポキシプロピオン酸n−ブチル、3−n−ブトキシプロピオン酸メチル、3−n−ブトキシプロピオン酸エチル、3−n−ブトキシプロピオン酸n−プロピル、3−n−ブトキシプロピオン酸n−ブチル等のアルコキシプロピオン酸アルキル;
等を挙げることができる。
前記溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
これらのラジカル重合開始剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
不飽和イソシアネート化合物としては、例えば、
2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート、3−アクリロイルオキシプロピルイソシアネート、4−アクリロイルオキシブチルイソシアネート、6−アクリロイルオキシヘキシルイソシアネート、8−アクリロイルオキシオクチルイソシアネート、10−アクリロイルオキシデシルイソシアネート、
アクリル酸2−(2−イソシアネートエトキシ)エチル、
アクリル酸2−[2−(2−イソシアネートエトキシ)エトキシ]エチル、
アクリル酸2−{2−[2−(2−イソシアネートエトキシ)エトキシ]エトキシ}エチル、アクリル酸2−(2−イソシアネートプロポキシ)エチル、
アクリル酸2−[2−(2−イソシアネートプロポキシ)プロポキシ]エチル等のアクリル等のアクリル酸誘導体;
2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、3−メタクリロイルオキシプロピルイソシアネート、4−メタクリロイルオキシブチルイソシアネート、6−メタクリロイルオキシヘキシルイソシアネート、8−メタクリロイルオキシオクチルイソシアネート、10−メタクリロイルオキシデシルイソシアネート
メタクリル酸2−(2−イソシアネートエトキシ)エチル、
メタクリル酸2−[2−(2−イソシアネートエトキシ)エトキシ]エチル、
メタクリル酸2−{2−[2−(2−イソシアネートエトキシ)エトキシ]エトキシ}エチル、
メタクリル酸2−(2−イソシアネートプロポキシ)エチル、
メタクリル酸2−[2−(2−イソシアネートプロポキシ)プロポキシ]エチル等のメタクリル酸誘導体を挙げることができる。
共重合体〔A1〕において、不飽和イソシアネート化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明の実施形態の感放射線性樹脂組成物に含有される(B)光重合開始剤としては、例えば、O−アシルオキシム化合物、アセトフェノン化合物、ビイミダゾール化合物、ベンゾイン化合物、ベンゾフェノン化合物、α−ジケトン化合物、多核キノン化合物、キサントン化合物、ホスフィン化合物、トリアジン化合物等を挙げることができる。
前記アミノ増感剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明の実施形態の感放射線性樹脂組成物に含有される(C)化合物は、下記式(1)で示される化合物である。(C)化合物は、式(1)の−NH−CO−NH−部位や−NH−CS−NH−部位を有する。(C)化合物は、これらの部位が弱い求核性を有することから、本実施形態の感放射線性樹脂組成物を用いて形成された保護膜が、保護する金属材料の腐食等の劣化を誘発することを抑制することができる。そして、通常の塩基性化合物とは異なり、多量に使用されても、本実施形態の感放射線性樹脂組成物を用いて形成された保護膜の金属材料への密着力を低下させることは無い。
本発明の第1実施形態の感放射線性樹脂組成物に含有される(D)化合物は、下記式(2)で示される化合物である。本実施形態の感放射線性樹脂組成物は、(D)化合物を含有することにより、金属に対して優れた密着力を示す硬化膜を形成することができる。そして、後述する本発明の実施形態のタッチパネルは、例えば、Mo/Al/Moとなる積層構造を有して構成された金属配線等を有することができる。したがって、本実施形態の感放射線性樹脂組成物は、本発明の実施形態のタッチパネルに好適に使用できる優れた密着力の保護膜を提供することができる。
本発明の第1実施形態の感放射線性樹脂組成物は、(A)バインダーポリマー、(B)光重合開始剤、(C)上記式(1)で示される化合物、および、(D)上記式(2)で示される化合物に加え、任意の成分として、(E)ウレタン結合を有する不飽和化合物(単に、(E)成分または(E)化合物と称することがある。)を含有することができる。
本発明の第1実施形態の感放射線性樹脂組成物は、(A)バインダーポリマー、(B)光重合開始剤、(C)上記式(1)で示される化合物、および、(D)上記式(2)で示される化合物に加え、任意の成分として、(F)無機酸化物粒子を含有することができる。
本発明の第1実施形態の感放射線性樹脂組成物は、(A)バインダーポリマー、(B)光重合開始剤、(C)上記式(1)で示される化合物、および、(D)上記式(2)で示される化合物に加え、任意の成分として、(E)ウレタン結合を有する不飽和化合物や(F)無機酸化物粒子を含有することができ、さらに、(G)溶剤およびその他の任意成分を含有することができる。
上記式(8)で表される分散剤の市販品としては、(株)ADEKA製アデカトール(登録商標)TN/SO/UAシリーズ等が挙げられる。
(式(13)中、R51は、−(CH2CH2O)z1−Hで表される基である。z1は、10〜300の整数である。)
前記N−(アルコキシメチル)グリコールウリル化合物としては、例えば、N,N,N’,N’−テトラ(メトキシメチル)グリコールウリル、N,N,N’,N’−テトラ(エトキシメチル)グリコールウリル、N,N,N’,N’−テトラ(n−プロポキシメチル)グリコールウリル、N,N,N’,N’−テトラ(i−プロポキシメチル)グリコールウリル、N,N,N’,N’−テトラ(n−ブトキシメチル)グリコールウリル、N,N,N’,N’−テトラ(t−ブトキシメチル)グリコールウリル等を挙げることができる。
本実施形態の感放射線性樹脂組成物は、上述した(A)バインダーポリマー、(B)光重合開始剤、(C)上記式(1)で示される化合物および(D)上記式(2)で示される化合物を所定の割合で混合することで調製される。
<感光性ドライフィルム>
上述した本発明の第1実施形態の感放射線性樹脂組成物は、後述する本発明の実施形態のタッチパネルの保護膜の形成に好適に使用することができる。その場合、タッチパネルを構成するための、金属配線等の形成された基板上に、直接に、本発明の第1実施形態の感放射線性樹脂組成物を適用して、乾燥、パターニング(露光と現像等)および必要に応じて硬化等を行って、所望形状の保護膜を形成することができる。
<タッチパネル>
本発明の第3実施形態であるタッチパネルは、金属配線とその金属配線の少なくとも一部を覆う保護膜とを有するタッチパネルである。すなわち、本実施形態のタッチパネルは、基板上に、操作者の指等のタッチ操作を検出するための検知電極を有する。そして、本実施形態のタッチパネルは、検知電極に電気的に接続する配線を有し、その配線は、金属材料を用い形成された金属配線である。本実施形態のタッチパネルにおいて、検知電極に接続する配線は、検知電極をタッチパネルの基板の端部に引き回すための配線を含み、また、分断された検知電極の部分同士を接続するための配線を含む。本実施形態のタッチパネルは、これら配線を覆って保護する保護膜を有して構成される。
図2に示すように、電極パッド30は菱形形状とすることができるが、こうした形状に限られず、例えば、六角形等の多角形形状とすることができる。
合成例1
[バインダーポリマーの合成]
フラスコにメタクリル酸(19w%)、2−ヒドロキシエチルメタクリレート(19w%)、ベンジルメタクリレート(44w%)、シクロヘキシルマレイミド(10w%)、P−イソプロぺニルフェノール(8w%)、アゾビスイソブチロニトリル(4w%)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(2w%)を投入し、S/M比が2になるようにメチル3−メトキシプロピオネートを加えた。室温、窒素雰囲気下で撹拌し全てのモノマーが溶解した後、90℃、窒素雰囲気下で反応させた。反応開始4h後にP−メトキシフェノールを仕込み全量に対し0.1w%量加え、窒素を止めてAirバブリングを開始した。その10分後に2−ヒドロキシエチルメタクリレートと等モルの2−イソシアナトエチルメタクリレートを滴下ロートを用いて滴下した。滴下終了から1.5h後に冷却して反応を終了させて、バインダーポリマーを得た。
[(C)化合物の合成]
冷却管と撹拌機を備えたフラスコに、2−メタアクリロイルオキシエチルイソシアネート10部およびテトラヒドロフラン30部を仕込んだ。引き続き蒸留水2部を仕込み、溶液の温度を40℃に上昇させ1時間緩やかに撹拌を行った。減圧留去によりテトラヒドロフラン、蒸留水を除去した後、エタノール50部より再結晶を行い、針状白色結晶として、上記式(3−1)の1,3−ビス(メタアクリロイルオキシエチル)ウレアを得た。
得られた化合物が1,3−ビス(メタアクリロイルオキシエチル)ウレア(3−1)であることを、溶媒として重DMSO、基準としてTMSを用いて、1H−NMRにより確認した。1H−NMRの測定結果を以下に示す。ケミカルシフト(プロトン比、***);1.82(3H,s)、3.26(2H,q)、3.99(2H,t)、5.61(1H,s)、6.00(1H,s)、6.08(1H,t)。
[(F)無機酸化物粒子の分散液の調製]
ポリビンまたはガラス瓶にZrO2の紛体であるUEP−100(第一希元素社製)を30質量部と、酸性分散剤S55000(日本ルーブリゾール社製)を2.5質量部、カルボン酸部位を持つ多官能アクリレートのアロニックス(登録商標)M−520(東亞合成社製)を2.5質量部加えた。溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)を65質量部添加し、0.1mmのジルコニアビーズを仕込重量の3.5倍分添加して密封し軽く撹拌して溶剤と粒子、有機成分をなじませた。これをペイントシェーカーにセットし3時間分散処理し、メッシュフィルターでジルコニアビーズを除去して(F)無機酸化物粒子の分散液を得た。
実施例で使用した各成分の詳細を下記に示す。
上述の合成例1によるバインダーポリマー
Irgacure(登録商標) OXE02(BASF社製)
1,3−ビス(メタアクリロイルオキシエチル)ウレア(3−1)
D−1:Kayamer(登録商標) PM−21(日本化薬社製)
D−2:ライトエステル P−2M(共栄社化学社製)
D−3:JPA−514(城北化学社製)
E−1:UN−906AVN(根上工業社製)
E−2:UN−5507(根上工業社製)
E−3:UN−904(根上工業社製)
上述の調製例1による無機酸化物粒子の分散液
(A)バインダーポリマーの固形分が100質量部に対し、(B)光重合開始剤:Irgacure(登録商標) OXE02(BASF社製)を3質量部、(C)成分である1,3−ビス(メタアクリロイルオキシエチル)ウレア(3−1)を10質量部、(D)成分であるKayamer(登録商標) PM−21(日本化薬社製)を40質量、(E)成分であるUN−906AVN(根上工業社製)を100質量部、および、(F)成分である上記の調製例1による無機酸化物粒子を固形分で500質量部、加え、固形分濃度が35%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルで希釈し、全ての原料が溶解するまで撹拌して、感放射線性樹脂組成物を得た。
(A)バインダーポリマーの固形分が100質量部に対し、(B)光重合開始剤:Irgacure(登録商標) OXE02(BASF社製)を3質量部、(C)成分である1,3−ビス(メタアクリロイルオキシエチル)ウレア(3−1)を10質量部、(D)成分であるKayamer(登録商標) PM−21(日本化薬社製)を40質量、(E)成分であるUN−5507(根上工業社製)を100質量部、および、(F)成分である上記の調製例1による無機酸化物粒子を固形分で500質量部、加え、固形分濃度が35%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルで希釈し、全ての原料が溶解するまで撹拌して、感放射線性樹脂組成物を得た。
(A)バインダーポリマーの固形分が100質量部に対し、(B)光重合開始剤:Irgacure(登録商標) OXE02(BASF社製)を3質量部、(C)成分である1,3−ビス(メタアクリロイルオキシエチル)ウレア(3−1)を10質量部、(D)成分であるKayamer(登録商標) PM−21(日本化薬社製)を40質量、(E)成分であるUN−904(根上工業社製)を100質量部、および、(F)成分である上記の調製例1による無機酸化物粒子を固形分で500質量部、加え、固形分濃度が35%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルで希釈し、全ての原料が溶解するまで撹拌して、感放射線性樹脂組成物を得た。
(A)バインダーポリマーの固形分が100質量部に対し、(B)光重合開始剤:Irgacure(登録商標) OXE02(BASF社製)を3質量部、(C)成分である1,3−ビス(メタアクリロイルオキシエチル)ウレア(3−1)を10質量部、(D)成分であるライトエステルP−2M(共栄社化学社製)を40質量、(E)成分であるUN−906AVN(根上工業社製)を100質量部、および、(F)成分である上記の調製例1による無機酸化物粒子を固形分で500質量部、加え、固形分濃度が35%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルで希釈し、全ての原料が溶解するまで撹拌して、感放射線性樹脂組成物を得た。
(A)バインダーポリマーの固形分が100質量部に対し、(B)光重合開始剤:Irgacure(登録商標) OXE02(BASF社製)を3質量部、(C)成分である1,3−ビス(メタアクリロイルオキシエチル)ウレア(3−1)を10質量部、(D)成分であるライトエステルP−2M(共栄社化学社製)を40質量、(E)成分であるUN−5507(根上工業社製)を100質量部、および、(F)成分である上記の調製例1による無機酸化物粒子を固形分で500質量部、加え、固形分濃度が35%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルで希釈し、全ての原料が溶解するまで撹拌して、感放射線性樹脂組成物を得た。
(A)バインダーポリマーの固形分が100質量部に対し、(B)光重合開始剤:Irgacure(登録商標) OXE02(BASF社製)を3質量部、(C)成分である1,3−ビス(メタアクリロイルオキシエチル)ウレア(3−1)を10質量部、(D)成分であるライトエステルP−2M(共栄社化学社製)を40質量、(E)成分であるUN−904(根上工業社製)を100質量部、および、(F)成分である上記の調製例1による無機酸化物粒子を固形分で500質量部、加え、固形分濃度が35%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルで希釈し、全ての原料が溶解するまで撹拌して、感放射線性樹脂組成物を得た。
(A)バインダーポリマーの固形分が100質量部に対し、(B)光重合開始剤:Irgacure(登録商標) OXE02(BASF社製)を3質量部、(C)成分である1,3−ビス(メタアクリロイルオキシエチル)ウレア(3−1)を10質量部、(D)成分であるJPA−514(城北化学社製)を40質量、(E)成分であるUN−906AVN(根上工業社製)を100質量部、および、(F)成分である上記の調製例1による無機酸化物粒子を固形分で500質量部、加え、固形分濃度が35%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルで希釈し、全ての原料が溶解するまで撹拌して、感放射線性樹脂組成物を得た。
(A)バインダーポリマーの固形分が100質量部に対し、(B)光重合開始剤:Irgacure(登録商標) OXE02(BASF社製)を3質量部、(C)成分である1,3−ビス(メタアクリロイルオキシエチル)ウレア(3−1)を10質量部、(D)成分であるJPA−514(城北化学社製)を40質量、(E)成分であるUN−5507(根上工業社製)を100質量部、および、(F)成分である上記の調製例1による無機酸化物粒子を固形分で500質量部、加え、固形分濃度が35%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルで希釈し、全ての原料が溶解するまで撹拌して、感放射線性樹脂組成物を得た。
(A)バインダーポリマーの固形分が100質量部に対し、(B)光重合開始剤:Irgacure(登録商標) OXE02(BASF社製)を3質量部、(C)成分である1,3−ビス(メタアクリロイルオキシエチル)ウレア(3−1)を10質量部、(D)成分であるJPA−514(城北化学社製)を40質量、(E)成分であるUN−904(根上工業社製)を100質量部、および、(F)成分である上記の調製例1による無機酸化物粒子を固形分で500質量部、加え、固形分濃度が35%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルで希釈し、全ての原料が溶解するまで撹拌して、感放射線性樹脂組成物を得た。
実施例10
実施例1〜実施例9で得られた感放射線性樹脂組成物を用い、支持フィルムと感放射線性樹脂層とからなる感光性ドライフィルムをそれぞれ形成した後、各感光性ドライフィルムを用いて保護膜を形成し、各保護膜について評価を行った。
評価は、パターニング性、透水率(透湿度とも言う。)、密着性、硬度、および、プレッシャークッカー試験(PCT)後の密着性について行い、評価方法を以下で説明するとともに、評価結果を下記の表1にまとめてを示した。
支持フィルムであるポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの未処理面に実施例1〜実施例9で調製した感放射線性樹脂組成物を硬化後膜厚が8μmになるようにバーコーター(テスター産業 AUTO FILM APPLICATOR)で塗工し、クリーンオーブンで100℃/2分間プリベークして溶剤を除去しドライフィルム化した。そして、支持フィルム上に感放射線性樹脂層が形成された感光性ドライフィルムを形成した。
実施例1〜実施例9の感放射線性樹脂組成物を用い、アプリケーターを用いて硬化後膜厚が40μmになるように、支持フィルムであるPETフィルムの未処理面に塗工し、クリーンオーブンで100℃/2分間プリベークして溶剤を除去しドライフィルム化した。そして、支持フィルム上に感放射線性樹脂層が形成された感光性ドライフィルムを形成した。
透湿度(g/m2・24h)
=(吸湿剤の重量変化量[g]×24)/(透湿面積[m2]×試験時間[h])
支持フィルムであるポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの未処理面に実施例1〜実施例9で調製した感放射線性樹脂組成物を硬化後膜厚が8μmになるようにバーコーター(テスター産業 AUTO FILM APPLICATOR)で塗工し、クリーンオーブンで100℃/2分間プリベークして溶剤を除去しドライフィルム化した。そして、支持フィルム上に感放射線性樹脂層が形成された感光性ドライフィルムを形成した。
支持フィルムであるポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの未処理面に実施例1〜実施例9で調製した感放射線性樹脂組成物を硬化後膜厚が8μmになるようにバーコーター(テスター産業 AUTO FILM APPLICATOR)で塗工し、クリーンオーブンで100℃/2分間プリベークして溶剤を除去しドライフィルム化した。そして、支持フィルム上に感放射線性樹脂層が形成された感光性ドライフィルムを形成した。
実施例1〜実施例9で調製した感放射線性樹脂組成物を用い、上述した密着性の評価と同様の方法で、ITO基板上に保護膜を形成してなる試験片を作製した後、プレッシャークッカー試験を行い、上述した密着性の評価と同様の方法で、プレッシャークッカー後の保護膜の密着性試験を行った。プレッシャークッカーは(株)平山製作所のPC−304R8を使用し、試験条件は100℃/100%RH/0.1MPaで2時間(h)行った。そして、上述した密着性の評価と同様の方法で評価を行った。
22 透明基板
23 第1検知電極
24 第2検知電極
25 保護膜
28 交差部
29 層間絶縁膜
30 電極パッド
31 配線
32 ブリッジ配線
100 感光性ドライフィルム
101 支持フィルム
102 感放射線性樹脂層
103 保護フィルム
Claims (11)
- (A)バインダーポリマー、(B)光重合開始剤、(C)下記式(1)で示される化合物および(D)下記式(2)で示される化合物を含むことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
- (C)成分が、下記式(3)で示される化合物であることを特徴とする請求項1に記載の感放射線性樹脂組成物。
- さらに、(E)ウレタン結合を有する不飽和化合物を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の感放射線性樹脂組成物。
- さらに、(F)ケイ素、アルミニウム、ジルコニウム、チタン、亜鉛、インジウム、スズ、アンチモン、ストロンチウム、バリウム、セリウムおよびハフニウムからなる群より選ばれる少なくとも一つの元素を含む酸化物である無機酸化物粒子を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の感放射線性樹脂組成物。
- 請求項1〜4のいずれかに1項に記載の感放射線性樹脂組成物から形成されることを特徴とする感光性ドライフィルム。
- 支持フィルムと、請求項1〜4のいずれかに1項に記載の感放射線性樹脂組成物を用いて該支持フィルム上に3μm〜30μmの膜厚で形成された感放射線性樹脂層と、該感放射線性樹脂層の上に配置された保護フィルムとを有することを特徴とする感光性ドライフィルム。
- 前記感放射線性樹脂層は露光によって硬化し、露光後の透水率が1000g/m2・24時間〜2000g/m2・24時間であることを特徴とする請求項6に記載の感光性ドライフィルム。
- 前記支持フィルムがポリエチレンテレフタレートであることを特徴とする請求項6または7に記載の感光性ドライフィルム。
- 請求項6〜8のいずれか1項に記載の感光性ドライフィルムを用い、試料上に前記感放射線性樹脂層を積層する感放射線性樹脂層の積層方法であって、
前記保護フィルムを除去しながら、前記試料に前記感放射線性樹脂層が密着するようにしてラミネートすることを特徴とする感放射線性樹脂層の積層方法。 - 金属配線を有するタッチパネルの該金属配線を保護する保護膜であって、
請求項9記載の感放射線性樹脂層の積層方法により、前記金属配線に前記感放射線性樹脂層をラミネートし、該感放射線性樹脂層を露光して形成されることを特徴とする保護膜。 - 金属配線と、請求項10記載の保護膜とを有することを特徴とするタッチパネル。
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