JP2015056578A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】シリコン含有アルミニウム膜を含む半導体装置を高い形状精度で製造できる半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】実施形態に係る半導体装置の製造方法は、シリコンを含有したアルミニウム膜に対して、ハロゲンを含む第1のエッチングガスを用いてドライエッチングを施すことにより、前記アルミニウム膜を薄くする第1のエッチング工程と、前記アルミニウム膜に対して、不活性ガスを含む第2のエッチングガスを用いてドライエッチングを施す第2のエッチング工程と、を備える。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体装置の製造方法に関する。
半導体装置の電極パッドとして、ボンディング性及び信頼性の観点から、シリコンを含むアルミニウム膜が多用されている。このようなシリコン含有アルミニウム膜は、ドライエッチングによって加工されることが多い。
本発明の目的は、シリコン含有アルミニウム膜を含む半導体装置を高い形状精度で製造できる半導体装置の製造方法を提供することである。
実施形態に係る半導体装置の製造方法は、シリコンを含有したアルミニウム膜に対して、ハロゲンを含む第1のエッチングガスを用いてドライエッチングを施すことにより、前記アルミニウム膜を薄くする第1のエッチング工程と、前記アルミニウム膜に対して、不活性ガスを含む第2のエッチングガスを用いてドライエッチングを施す第2のエッチング工程と、を備える。
(第1の実施形態)
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。
先ず、第1の実施形態について説明する。
図1(a)〜(c)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示する断面図である。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。
先ず、第1の実施形態について説明する。
図1(a)〜(c)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を例示する断面図である。
先ず、図1(a)に示すように、シリコンウェーハ1上に、例えばCVD(chemical vapor deposition:化学気相成長)法によって、シリコン酸化物(SiO)からなる層間絶縁膜2を例えば300nmの厚さに形成する。次に、シリコン含有アルミニウム膜3(以下、「AlSi膜3」ともいう)をスパッタリングによって形成する。AlSi膜3の主成分はアルミニウム(Al)であり、例えば1質量%のシリコン(Si)を含有している。AlSi膜3の厚さは例えば3〜5μmとし、例えば、4μmとする。このとき、AlSi膜3をリフローさせて被覆率を向上させるために、AlSi膜3のスパッタリングは、シリコンウェーハ1を加熱しながら行う。このときの温度は、例えば455℃未満、例えば430℃程度とする。これにより、AlSi膜3内にはシリコンが析出し、シリコンからなるノジュール4が形成される。ノジュール4の最大直径は、例えば、数百nm程度である。つまり、ノジュール4の最大厚さ(最大高さ)は数百nm程度である。次に、AlSi膜3上にフォトレジスト材料を塗布し、リソグラフィ法によってパターニングすることにより、レジストマスク5を形成する。
次に、図1(b)に示すように、レジストマスク5をマスクとして、第1のドライエッチングを施す。このとき、エッチングガスとして、ハロゲン、例えば、塩素を含むガスを使用する。この第1のドライエッチングは、レジストマスク5によって覆われていない開口領域7において、AlSi膜3が完全に消失するまでは行わず、その手前で停止させる。このとき、AlSi膜3の残膜厚さtは、予想されるノジュール4の最大厚さよりも十分に厚くすることが好ましい。例えば、AlSi膜3の残膜厚さtは、300nm以上とする。
一例では、エッチングガスとして、塩素ガス(Cl2)と三塩化ホウ素ガス(BCl3)の混合ガスを使用する。塩素ガス(Cl2)の流量を100sccmとし、三塩化ホウ素ガス(BCl3)の流量を100sccmとし、圧力を0.1Paとし、電力を(Source/Bias)=(1000/200W)とする。この条件で、シリコンを含まない純アルミニウム膜に換算して2.5μm相当の時間、エッチングを実施する。
次に、図1(c)に示すように、エッチングガスを切り替えて、第2のドライエッチングを行う。このとき、エッチングガスとして、不活性ガス及びハロゲンガスの混合ガスを用いる。ハロゲンガスとしては、例えば、塩素ガスを使用する。また、不活性ガスとしては、例えば、アルゴンガス(Ar)を使用する。なお、不活性ガスとして、窒素ガス(N2)を使用してもよい。この第2のドライエッチングは、開口領域7において、AlSi膜3が完全に消失するまで行い、層間絶縁膜2の上面2aを露出させる。エッチングガス全体に占める不活性ガスの流量比は、標準状態の体積で、例えば、30〜75%とする。
一例では、エッチングガスとして、アルゴンガス(Ar)と塩素ガス(Cl2)の混合ガスを使用する。アルゴンガス(Ar)の流量を80sccmとし、塩素ガス(Cl2)の流量を40sccmとし、圧力を1.5Paとし、電力を(Source/Bias)=1000/200Wとする。この条件で、シリコンを含まない純アルミニウム膜に換算して2.0μm相当の時間、エッチングを実施する。
なお、第1のドライエッチングのエッチングガスにも、不活性ガスを混入させてもよい。但し、第1のドライエッチングのエッチングガスにおける不活性ガスの流量比は、第2のドライエッチングのエッチングガスにおける不活性ガスの流量比よりも低くする。
なお、第1のドライエッチングのエッチングガスにも、不活性ガスを混入させてもよい。但し、第1のドライエッチングのエッチングガスにおける不活性ガスの流量比は、第2のドライエッチングのエッチングガスにおける不活性ガスの流量比よりも低くする。
第2のドライエッチングにおいては、アルミニウムからなる母材と共に、シリコンからなるノジュール4もエッチングされて消失する。また、開口領域7において、層間絶縁膜2の上層部分が少し掘り込まれる。但し、層間絶縁膜2の上面2aにおいて、ノジュール4の痕跡は小さい。
以後、必要な処理を施すことにより、半導体装置が製造される。本実施形態に係る半導体装置は、例えば電力用半導体装置であり、AlSi膜3はその電極パッドを構成する膜である。電極パッドを純アルミニウム膜ではなく、シリコン含有アルミニウム膜によって構成することにより、電極パッドのボンディング性及び信頼性が向上する。
次に、本実施形態の動作及び効果について説明する。
本実施形態においては、図1(b)に示す第1のドライエッチングによって、開口領域7内に位置するAlSi膜3を途中までエッチングする。このとき、エッチングにはハロゲンガスが含まれているため、AlSi膜3は主として化学的反応によってエッチングされる。また、アルミニウムは、シリコンに対して選択的にエッチングされる。
本実施形態においては、図1(b)に示す第1のドライエッチングによって、開口領域7内に位置するAlSi膜3を途中までエッチングする。このとき、エッチングにはハロゲンガスが含まれているため、AlSi膜3は主として化学的反応によってエッチングされる。また、アルミニウムは、シリコンに対して選択的にエッチングされる。
そして、図1(c)に示す第2のドライエッチングによって、AlSi膜3の残部をエッチングする。第2のドライエッチングにおいては、エッチングガスに不活性ガスが含まれているため、AlSi膜3は化学的反応と共に物理的なスパッタによってもエッチングされる。このため、シリコンもアルミニウムと同等なエッチング速度でエッチングされる。これにより、AlSi膜3に含まれるノジュール4も母材と共に消失する。
この結果、開口領域7における層間絶縁膜2の上面2aには、ノジュール4の形状はあまり反映されず、平坦になる。このようにして、本実施形態によれば、エッチング後の下地の表面を平坦に仕上げることができ、シリコン含有アルミニウム膜を含む半導体装置を高い形状精度で製造することができる。この結果、製造後の半導体装置において、形状不良が発生しにくくなり、形状不良に起因した特性不良も発生しにくくなる。
また、第2のドライエッチングに先立って第1のドライエッチングを施すことにより、レジストマスク5を残しつつ、開口領域7におけるAlSi膜3の大部分を高いエッチング速度で加工することができる。これにより、AlSi膜3を効率的に加工することができ、半導体装置を高い生産性で製造することができる。
これに対して、仮に、第1のドライエッチングを行わず、第2のドライエッチングのみによってAlSi膜3を加工しようとすると、第2のドライエッチングは第1のドライエッチングよりもエッチング速度が低いため、エッチング時間が長くなる。このため、半導体装置の生産性が低下する。また、AlSi膜3の加工が終了するまで、レジストマスク5を残留させることが困難である。
更に、本実施形態においては、第2のドライエッチングにおいて、エッチングガスにハロゲンガスを含有させている。これにより、AlSi膜3を、不活性ガスによるスパッタ効果と共にハロゲンによる化学的反応によっても加工することができるため、第2のドライエッチングのエッチング速度を高くすることができる。
なお、本実施形態においては、層間絶縁膜2とAlSi膜3との間に、例えばチタン窒化物(TiN)からなるバリア層を設けてもよい。このバリア層は、第2のドライエッチングにおいて、層間絶縁膜2に対して選択的にエッチングされて、開口領域7から除去される。
(比較例)
次に、比較例について説明する。
本比較例においては、前述の第2のトライエッチングを行わず、第1のドライエッチングのみにより、AlSi膜3を加工する。
図2(a)〜(c)は、本比較例に係る半導体装置の製造方法を例示する断面図である。
次に、比較例について説明する。
本比較例においては、前述の第2のトライエッチングを行わず、第1のドライエッチングのみにより、AlSi膜3を加工する。
図2(a)〜(c)は、本比較例に係る半導体装置の製造方法を例示する断面図である。
図2(a)に示すように、本比較例においても、シリコンウェーハ1上に層間絶縁膜2を形成し、その上にシリコン含有アルミニウム膜(AlSi膜)3を形成し、レジストマスク5を形成する。AlSi膜3中には、シリコンからなるノジュール4が析出する。
図2(b)に示すように、レジストマスク5をマスクとして、前述の第1のドライエッチングを施すことにより、開口領域7内のAlSi膜3を除去する。一例では、シリコンを含まない純アルミニウム膜に換算して4.5μm相当の時間、エッチングを実施する。このとき、シリコンに対してアルミニウムが優先的にエッチングされるため、アルミニウム部分を除去した後に、層間絶縁膜2上にノジュール4が残留する。
図2(c)に示すように、層間絶縁膜2上のノジュール4を除去しようとして、第1のドライエッチングをさらに継続すると、ノジュール4は除去されるものの、層間絶縁膜2におけるノジュール4によって覆われていない部分が掘り込まれてしまい、層間絶縁膜2の上面2aにノジュール4の形態が転写されてしまう。このため、層間絶縁膜2の上面2aの平坦性が低くなる。
従って、仮に、図2(b)に示す状態で第1のドライエッチングを停止して、後工程に移行すると、後工程においてノジュール4が剥がれてしまい、不具合の原因となる。また、図2(c)に示す状態まで第1のドライエッチングを行った後、後工程に移行すると、層間絶縁膜2の上面2aの凹凸に起因して、後工程で被覆される膜の被覆率が低下し、不具合の原因となる。このように、本比較例においては、シリコン含有アルミニウム膜を含む半導体装置を高い形状精度で製造することが困難である。
(試験例)
図3は、横軸にサンプルをとり、縦軸に表面粗さをとって、実施形態の効果を例示するグラフ図である。
図4(a)は、比較例に係るサンプルのSEM写真であり、(b)は実施例に係るサンプルのSEM写真である。
図3は、横軸にサンプルをとり、縦軸に表面粗さをとって、実施形態の効果を例示するグラフ図である。
図4(a)は、比較例に係るサンプルのSEM写真であり、(b)は実施例に係るサンプルのSEM写真である。
本試験例においては、前述の実施形態に係る方法及び比較例に係る方法をそれぞれ実施し、層間絶縁膜の上面の表面粗さを比較した。エッチング条件は、上述の実施形態において例示した条件とした。そして、シリコンウェーハ1の中央部における一辺の長さが0.1mmの正方形の領域について、層間絶縁膜2の上面2aの表面粗さ(平均粗さRa)を、AFM(Atomic Force Microscope:原子間力顕微鏡)によって測定した。その結果を図3に示す。また、エッチング後の表面を、SEMにより観察した。その結果を図4(a)及び(b)に示す。
図3に示すように、本実施形態の実施例は、比較例と比較して、シリコン含有アルミニウム膜をエッチング加工した際に、下地表面の表面粗さ(Ra)が小さく、平坦性が高かった。
また、図4(a)に示すように、比較例のサンプルにおいては、エッチング後に、層間絶縁膜2上にノジュール4が大量に残留していた。一方、図4(b)に示すように、本実施形態の実施例のサンプルにおいては、ノジュール4は観察されなかった。
(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態について説明する。
本実施形態においては、図1(a)に示すAlSi膜3を形成する工程において、シリコンウェーハ1の加熱温度を、第1の実施形態よりも高くする。例えば、第1の実施形態においては455℃未満の温度としたが、本実施形態においては455℃以上の温度とし、例えば480℃程度とする。これにより、AlSi膜3がより効果的にリフローされ、AlSi膜3の上面の平坦性を向上させることができる。しかしながら、高温でリフローしているため、第1の実施形態と比較して、ノジュール4が大きく成長してしまう。
次に、第2の実施形態について説明する。
本実施形態においては、図1(a)に示すAlSi膜3を形成する工程において、シリコンウェーハ1の加熱温度を、第1の実施形態よりも高くする。例えば、第1の実施形態においては455℃未満の温度としたが、本実施形態においては455℃以上の温度とし、例えば480℃程度とする。これにより、AlSi膜3がより効果的にリフローされ、AlSi膜3の上面の平坦性を向上させることができる。しかしながら、高温でリフローしているため、第1の実施形態と比較して、ノジュール4が大きく成長してしまう。
そこで、本実施形態においては、図1(c)に示す第2のドライエッチングにおいて、第1のドライエッチングよりもバイアスパワーを高くする。バイアスパワーは、第1のドライエッチングから第2のドライエッチングに移行するとき、すなわち、エッチングガスを切り替えるときに一気に増加させてもよく、第2のドライエッチングに移行した後、段階的に増加させてもよく、連続的に増加させてもよい。これにより、前述の第1の実施形態よりもスパッタ性が向上するため、より大きなノジュール4を消失させることができ、層間絶縁膜2の上面2aを平坦に形成することができる。
なお、本実施形態においては、ノジュール4がエッチング前のAlSi膜3の厚さに近いサイズまで大きくなる場合もある。この場合は、ノジュール4の一部分がAlSi膜3の上面から突出した時点で第1のドライエッチングを停止し、第2のドライエッチングに移行してもよい。
このように、本実施形態によれば、開口領域7における層間絶縁膜2の上面2aの平坦性を担保しつつ、開口領域7以外の領域において、AlSi膜3の上面の平坦性を向上させることができる。本実施形態における上記以外の製造方法及び効果は、前述の第1の実施形態と同様である。
なお、前述の第1及び第2の実施形態においては、開口領域7においてAlSi膜3が消失したときに、第2のドライエッチングを停止する例を示したが、開口領域7においてAlSi膜3が消失した後、しばらく第2のドライエッチングを継続し、オーバーエッチングしてもよい。
以上説明した実施形態によれば、シリコン含有アルミニウム膜を含む半導体装置を高い形状精度で製造できる半導体装置の製造方法を実現することができる。
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明及びその等価物の範囲に含まれる。
1:シリコンウェーハ、2:層間絶縁膜、2a:上面、3:シリコン含有アルミニウム膜(AlSi膜)、4:ノジュール、5:レジストマスク、7:開口領域、t:残膜厚さ
Claims (8)
- シリコンを含有したアルミニウム膜に対して、ハロゲンを含む第1のエッチングガスを用いてドライエッチングを施すことにより、前記アルミニウム膜を薄くする第1のエッチング工程と、
前記アルミニウム膜に対して、不活性ガスを含む第2のエッチングガスを用いてドライエッチングを施す第2のエッチング工程と、
を備えた半導体装置の製造方法。 - 前記第2のエッチングガスはハロゲンを含む請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のエッチングガスは不活性ガスも含み、
前記第1のエッチングガスにおける不活性ガスの流量比は、前記第2のエッチングガスにおける不活性ガスの流量比よりも低い請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記ハロゲンは塩素である請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記不活性ガスはアルゴンである請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記不活性ガスは窒素である請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記アルミニウム膜は、シリコンのノジュールを含み、
前記第1のエッチング工程の終了後、前記第2のエッチング工程の開始前において、前記アルミニウム膜の厚さは、前記ノジュールの最大厚さ以上である請求項1〜6のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2のエッチング工程におけるバイアスパワーを、前記第1のエッチング工程におけるバイアスパワーよりも高くする請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
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