JP2015039803A - Method for manufacturing liquid jet head - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に相対向する接着面の形状が異なる二つの部材を加圧接合する場合に適用して有用なものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a liquid jet head, and is particularly useful when applied to pressure bonding of two members having different shapes of opposing adhesive surfaces.
液体噴射装置として、インクジェット式記録ヘッドを搭載したインクジェット式記録装置がある(例えば特許文献1参照)。インクジェット式記録ヘッドでは、圧力発生手段により圧力発生室内のインクに圧力を作用させることにより、ノズルプレートに形成されたノズル開口を介してインク滴を吐出させている。圧力発生手段としては、薄膜型の圧電アクチュエーターを用いたもの、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターを用いたもの、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターを用いたものなどが提案されている。 As a liquid ejecting apparatus, there is an ink jet recording apparatus equipped with an ink jet recording head (see, for example, Patent Document 1). In an ink jet recording head, pressure is applied to ink in a pressure generating chamber by pressure generating means, thereby ejecting ink droplets through nozzle openings formed in a nozzle plate. Pressure generation means using a thin film type piezoelectric actuator, using a thick film type piezoelectric actuator formed by a method such as attaching a green sheet, and alternately laminating piezoelectric materials and electrode forming materials A device using a longitudinal vibration type piezoelectric actuator that can be expanded and contracted in the axial direction has been proposed.
圧電アクチュエーターとして圧電アクチュエーターを用いるインクジェット式記録ヘッドの一種として、一体的に接合したアクチュエーターユニットと、流路部材である連通板とを有するものがある。ここで、アクチュエーターユニットは、圧力発生室が形成されるとともに、圧力発生室に対向して薄膜型の圧電アクチュエーターが配設された流路形成基板と、前記圧電アクチュエーターを覆合して保護する保護基板とを一体的に接合してなる。また、連通板は、アクチュエーターユニットとの接合面と反対側の面に、ノズル開口が形成されたノズルプレートが貼着してあり、圧力発生室とノズル開口とを連通するノズル連通路や、インクの貯留部であるマニホールドと圧力発生室とを連通するインク供給路等が形成されている。 One type of ink jet recording head that uses a piezoelectric actuator as a piezoelectric actuator is one that has an integrally joined actuator unit and a communication plate that is a flow path member. Here, the actuator unit includes a flow path forming substrate in which a pressure generation chamber is formed and a thin film type piezoelectric actuator is disposed so as to face the pressure generation chamber, and protection for covering and protecting the piezoelectric actuator. The substrate is integrally joined. The communication plate has a nozzle plate with a nozzle opening formed on the surface opposite to the joint surface with the actuator unit, and a nozzle communication path that connects the pressure generating chamber and the nozzle opening. An ink supply path or the like that communicates the manifold, which is the storage section, and the pressure generation chamber is formed.
上述の如きアクチュエーターユニットと連通板との接合工程においては、接着材を塗布したアクチュエーターユニットと連通板との接合面を当接させて上ツールと下ツールとの間に挟み、加熱・加圧しつつ所定の接着を行なっている。 In the joining process of the actuator unit and the communication plate as described above, the joint surface between the actuator unit coated with adhesive and the communication plate is brought into contact with and sandwiched between the upper tool and the lower tool, and heated and pressurized. Predetermined adhesion is performed.
なお、インクジェットヘッドの製造工程における接合時の反りを抑制する技術を開示する先行技術として特許文献2が存在する。 Note that there is Patent Document 2 as a prior art that discloses a technique for suppressing warpage during bonding in the manufacturing process of an inkjet head.
ところで、従来技術における上述の如きアクチュエーターユニットと連通板との接合工程においてはアクチュエーターユニットの表面(上面)に上ツールの下面を当接させるとともに、連通板の表面(下面)に下ツールの上面を当接させて加圧・接着している。ここで、平面である上ツールの下面には、平面であるアクチュエーターユニットの上面の全体が当接する一方、平面である下ツールの上面には、平面である連通板の下面の全体が当接するようになっている。 By the way, in the joining process of the actuator unit and the communication plate as described above in the prior art, the lower surface of the upper tool is brought into contact with the surface (upper surface) of the actuator unit, and the upper surface of the lower tool is placed on the surface (lower surface) of the communication plate. Pressing and adhering in contact. Here, the entire upper surface of the planar actuator unit is in contact with the lower surface of the upper tool, which is a plane, while the entire lower surface of the communication plate is in contact with the upper surface of the lower tool, which is a plane. It has become.
ここで、アクチュエーターユニットの連通板との接合面側の平面の面積は、連通板のアクチュエーターユニットとの接合面側の平面の面積よりも小さい。この結果、連通板の前記接合面側にアクチュエーターユニットと当接しない部分が発生する。 Here, the area of the plane on the joint surface side with the communication plate of the actuator unit is smaller than the area of the plane on the joint surface side with the actuator unit of the communication plate. As a result, a portion that does not come into contact with the actuator unit is generated on the joint surface side of the communication plate.
このため、上ツールと下ツールとの間に加圧力を加えてアクチュエーターユニットと連通板とを挟持すると、連通板の反りを生起するという問題を発生する。 For this reason, when a pressing force is applied between the upper tool and the lower tool to sandwich the actuator unit and the communication plate, there arises a problem that warpage of the communication plate occurs.
なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドに限定されず、インク以外の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。 Such a problem is not limited to the ink jet recording head, and similarly exists in liquid ejecting heads other than ink.
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、アクチュエーターユニットと連通板等、大きさが異なる2種類の部材を接着・接合する工程において一方の部材における反りの発生を防止し得る液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。 In view of the above-described problems of the prior art, the present invention provides a liquid ejecting head that can prevent warping of one member in a process of bonding and joining two types of members having different sizes, such as an actuator unit and a communication plate. An object is to provide a manufacturing method.
上記目的を達成する本発明の態様は、複数の部材を積層し、各部材同士を接着剤で接合して構成するとともに、圧力発生手段により圧力発生室内の液体に圧力を作用させることにより、ノズルプレートに形成されたノズル開口を介してインク滴を吐出させる液体噴射ヘッドの製造方法であって、接合面側の面の形状が相対的に小さい第1の部材と、前記面の形状が相対的に大きい第2の部材とを接着剤を介して当接させた状態で、前記第1の部材に当接する一方のツールと前記第2の部材に当接する他方のツールとの間で挟持して加圧・接合する接合工程を有するとともに、前記接合工程における前記ツールは、前記他方のツールの前記第2の部材に対する当接面が、前記第1の部材の接合面側の外形形状と同一となるように形成されているものを用いることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。 The aspect of the present invention that achieves the above-described object includes a plurality of members stacked and bonded to each other with an adhesive, and the pressure is applied to the liquid in the pressure generating chamber by the pressure generating means. A method of manufacturing a liquid ejecting head that ejects ink droplets through a nozzle opening formed in a plate, wherein a first member having a relatively small shape on a joint surface side and a shape of the surface are relatively In a state where a second member larger than the second member is brought into contact with an adhesive, the second member is sandwiched between one tool that contacts the first member and the other tool that contacts the second member. The tool in the joining step has a joining step for pressurizing and joining, and the contact surface of the other tool with the second member is the same as the outer shape on the joining surface side of the first member Is formed to be In the method of manufacturing a liquid jet head, which comprises using from.
本態様によれば、加圧・接合時に、一方および他方のツールで第1および第2の部材を挟持することに伴う押圧力を、他方のツールが受ける際、他方のツールの押圧面は、第1の部材の接合面と同形状であるので、第2の部材の接合面側の面のうち、第1の部材が当接する領域以外の領域には、このときの押圧力が作用することはない。すなわち、第1の部材が第2の部材よりも小さい形状であることに起因して第2の部材に反りを与える力を除去することができる。この結果、当該加圧・接合工程における第2の部材における反りの発生を未然に防止して、第1の部材と第2の部材の良好な接合を行なうことができる。 According to this aspect, when the other tool receives a pressing force associated with clamping the first and second members with the one and the other tools at the time of pressing and joining, the pressing surface of the other tool is: Since it has the same shape as the joint surface of the first member, the pressing force at this time acts on the region on the joint surface side of the second member other than the region where the first member abuts. There is no. That is, the force that warps the second member due to the first member having a smaller shape than the second member can be removed. As a result, it is possible to prevent the occurrence of warpage in the second member in the pressurizing / bonding step, and to perform good bonding between the first member and the second member.
ここで、液体が充填される圧力発生室や、該圧力発生室の前記液体に圧力を作用させる圧力発生手段を有するアクチュエーターユニットを第1の部材とし、前記圧力発生室と前記ノズル開口とを連通するノズル連通路や、液体の貯留部であるマニホールドと前記圧力発生室とを連通する液体供給路が形成されている連通板を第2の部材とした場合に良好に適用し得る。アクチュエーターユニットと連通板とは、加圧・接合して製造されるが、一般にアクチュエーターユニットの形状よりも連通板の形状が大きいからである。 Here, an actuator unit having a pressure generating chamber filled with liquid and pressure generating means for applying pressure to the liquid in the pressure generating chamber is used as the first member, and the pressure generating chamber and the nozzle opening are communicated with each other. This can be satisfactorily applied to the case where the second member is a communication plate in which a nozzle supply passage and a liquid supply passage that connects the manifold, which is a liquid storage portion, and the pressure generation chamber are formed. This is because the actuator unit and the communication plate are manufactured by pressurizing and joining, but generally the shape of the communication plate is larger than the shape of the actuator unit.
さらに、前記ツールは、加熱・加圧接合するものであり、しかも加熱・加圧接合時における前記アクチュエーターユニットと、前記連通板との膨張量が揃うように、下記式(1)の関係が成立するように構成するのが望ましい。 Further, the tool is for heating and pressure bonding, and the relationship of the following formula (1) is established so that the expansion amount of the actuator unit and the communication plate at the time of heating and pressure bonding is uniform. It is desirable to configure so as to.
αa×Th=αr×Tl ・・・(1)
ただし、αa:第1の部材(アクチュエーターユニット)の線膨張係数
αr:第2の部材(連通板)の線膨張係数
Th:一方のツールの温度
Tl:他方のツールの温度
上記式(1)の条件を満足する場合は、第1の部材(アクチュエーターユニット)と第2の部材(連通板)との熱膨張量が同じになり、この点でも第2の部材の反りを良好に抑制することができるからである。
αa × Th = αr × Tl (1)
Where αa: linear expansion coefficient of the first member (actuator unit)
αr: Linear expansion coefficient of the second member (communication plate)
Th: Temperature of one tool
Tl: Temperature of the other tool When the condition of the above formula (1) is satisfied, the thermal expansion amounts of the first member (actuator unit) and the second member (communication plate) are the same. This is because the warpage of the second member can be satisfactorily suppressed.
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図、図2はその横断面図である。両図に示すように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドIは、ヘッド本体11およびケース部材40等の複数の部材を備え、これら複数の部材が積層されて接着剤によって接合されている。本実施形態では、ヘッド本体11は、流路形成基板10と、連通板15と、ノズルプレート20と、保護基板30と、コンプライアンス基板45と、を具備する。
FIG. 1 is an exploded perspective view of an ink jet recording head which is an example of a liquid jet head according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view thereof. As shown in both drawings, an ink jet recording head I which is an example of a liquid jet head according to the present embodiment includes a plurality of members such as a head
ヘッド本体11を構成する流路形成基板10は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、当該流路形成基板10には、複数の圧力発生室12が同じ色のインクを吐出する複数のノズル開口21が並設される方向に沿って並設されている(以下、この方向を第1の方向Xと称する)。
In this embodiment, the flow
また、流路形成基板10には、圧力発生室12が第1の方向Xに並設された列が複数列、本実施形態では、2列設けられている。この圧力発生室12が第1の方向Xに沿って形成された圧力発生室12の列が複数列設された列設方向を、第2の方向Yと称する。流路形成基板10の一方の面には圧力発生室12の一方の開口を封止するように振動板51が接着剤で貼着されている。
Further, the flow
一方、流路形成基板10に貼着された振動板51の絶縁体膜上には、第1電極60と圧電体層70と第2電極80とからなる圧電アクチュエーター(圧力発生手段)300が設けられている。本実施形態では、第1電極60が複数の圧電アクチュエーター300に共通する共通電極として機能し、第2電極80が各圧電アクチュエーター300で独立する個別電極として機能する。
On the other hand, a piezoelectric actuator (pressure generating means) 300 including a
また、第2電極80には、リード電極90の一端がそれぞれ接続されている。リード電極90の他端には、駆動回路120が設けられた配線基板121が接続されている。
One end of each lead electrode 90 is connected to the
流路形成基板10の圧電アクチュエーター300側の面には、流路形成基板10と略同じ大きさを有する保護基板30が接合されている。保護基板30は、圧電アクチュエーター300を保護するための空間である保持部31を有する。
A
かくして、圧力発生室12が形成されるとともに、圧力発生室12に対向して薄膜型の圧電アクチュエーター300が配設された流路形成基板10と、圧電アクチュエーター300を覆合して保護する保護基板30とを一体的に接合してなるアクチュエーターユニットAが形成されている。このアクチュエーターユニットAが本実施形態における第1の部材となる。
Thus, the
アクチュエーターユニットAと加圧・接合される本形態における第2の部材である連通板15は、アクチュエーターユニットAよりも大きな形状の部材であり、流路形成基板10のノズルプレート20側(振動板51とは反対側)でアクチュエーターユニットAに接合されている。連通板15には、各圧力発生室12に連通する複数のノズル開口21が穿設されたノズルプレート20が接合される。連通板15には、圧力発生室12とノズル開口21とを繋ぐノズル連通路16が設けられている。ここで、連通板15は、流路形成基板10よりも大きな面積を有し、ノズルプレート20は流路形成基板10よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート20の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。
The
また、連通板15には、マニホールド100の一部を構成する第1マニホールド部17と、第2マニホールド部18とが設けられている。第1マニホールド部17は、連通板15を厚さ方向(連通板15と流路形成基板10との積層方向)に貫通して設けられている。また、第2マニホールド部18は、連通板15を厚さ方向に貫通することなく、連通板15のノズルプレート20側に開口して設けられている。
The
さらに、連通板15には、圧力発生室12の第2の方向Yの一端部に連通するインク供給路19が、各圧力発生室12毎に独立して設けられている。このインク供給路19は、第2マニホールド部18と圧力発生室12とを連通する。
Further, the
かかる構成のヘッド本体11には、複数の圧力発生室12に連通するマニホールド100をヘッド本体11と共に画成するケース部材40が固定されている。ケース部材40は、平面視において上述した連通板15と略同一形状を有し、保護基板30に接着剤によって固定されると共に、上述した連通板15にも接着剤によって固定されている。具体的には、ケース部材40は、保護基板30側に流路形成基板10及び保護基板30が収容される深さの凹部41を有する。この凹部41は、保護基板30の流路形成基板10に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部41に流路形成基板10等が収容された状態で凹部41のノズルプレート20側の開口面が連通板15によって封止されている。これにより、流路形成基板10の外周部には、ケース部材40とヘッド本体11とによって第3マニホールド部42が画成されている。そして、連通板15に設けられた第1マニホールド部17および第2マニホールド部18と、ケース部材40と流路形成基板10とによって画成された第3マニホールド部42とによって本実施形態のマニホールド100が形成されている。
A
なお、保護基板30の材料は、保護基板30が接着される流路形成基板10と線膨張係数が同等の材料が好ましく、本実施形態では、シリコン単結晶基板を用いた。
The material of the
連通板15の第1マニホールド部17及び第2マニホールド部18が開口する液体噴射面20a側の面には、コンプライアンス基板45が設けられている。このコンプライアンス基板45が、第1マニホールド部17と第2マニホールド部18の液体噴射面20a側の開口を封止している。
A
このようなコンプライアンス基板45は、本実施形態では、封止膜46と、固定基板47と、を具備する。封止膜46は、可撓性を有する薄膜(例えば、ポリフェニレンサルファイド(PPS)やステンレス鋼(SUS)等により形成された厚さが20μm以下の薄膜)からなり、固定基板47は、ステンレス鋼(SUS)等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板47のマニホールド100に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部48となっているため、マニホールド100の一方面は可撓性を有する封止膜46のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部49となっている。
In this embodiment, the
なお、ケース部材40には、マニホールド100に連通して各マニホールド100にインクを供給するための導入路44が設けられている。また、ケース部材40には、保護基板30の貫通孔32に連通して配線基板121が挿通される接続口43が設けられている。
The
このような構成のインクジェット式記録ヘッドIでは、インクを吐出する際に、インクカートリッジ等のインク貯留手段から導入路44を介してインクを取り込み、マニホールド100からノズル開口21に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路120からの信号に従い、圧力発生室12に対応する各圧電アクチュエーター300に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター300と共に振動板51を撓み変形させる。これにより、圧力発生室12内の圧力が高まり所定のノズル開口21からインク滴が吐出される。
In the ink jet recording head I having such a configuration, when ink is ejected, the ink is taken in from the ink storing means such as an ink cartridge through the
このようなインクジェット式記録ヘッドIの流路部材を構成する積層された基板は、互いに接着剤を介して加圧・接合されている。特に、本形態ではヒートツールを用いて加熱も行なっている。 The stacked substrates constituting the flow path member of the ink jet recording head I are pressed and bonded to each other via an adhesive. In particular, in this embodiment, heating is also performed using a heat tool.
ここで、上述の如きインクジェット式記録ヘッドIにおけるアクチュエーターユニットAと連通板15とを対象とする、ヒートツールを用いた、実施の形態に係る加熱・加圧接合工程を説明する。
Here, the heating / pressure bonding process according to the embodiment using the heat tool for the actuator unit A and the
図3は本実施の形態における加熱・加圧接合工程の態様を示す説明図である。同図に示すように、接合面側の面の形状が相対的に小さい第1の部材であるアクチュエーターユニットAと、接合面の形状が相対的に大きい第2の部材である連通板15とを接着剤を介して当接させた状態で、アクチュエーターユニットAと連通板15とを、一対のヒートツール200の一方のヒートツール200Aと他方のヒートツール200Bとの間で挟持する。ここで、当該接合工程におけるヒートツール200は、他方のヒートツール200Bの連通板15に対する当接面が、アクチュエーターユニットAの接合面側の外形形状と同一となるように形成されている。すなわち、他方のヒートツール200Bにおいて、連通板15に対する当接面を形成する部分は、凸部200B1となって、凸部200B1の、幅W2の上面がアクチュエーターユニットAの幅W1(=W2)の接合面と同一形状となっている。
FIG. 3 is an explanatory view showing an aspect of the heating / pressure bonding process in the present embodiment. As shown in the figure, the actuator unit A, which is a first member having a relatively small surface shape on the joint surface side, and a
この結果、本形態によれば、加熱・加圧接合時に、一方および他方のヒートツール200A,200BでアクチュエーターユニットAおよび連通板15を挟持することに伴う押圧力を、連通板15が受ける際、他方のヒートツール200Bの押圧面は、アクチュエーターユニットAの接合面と同形状であるので、連通板15の接合面側の面のうち、アクチュエーターユニットAが当接する領域以外の領域には、このときの押圧力が作用することはない。すなわち、アクチュエーターユニットAが連通板15よりも小さい形状であることに起因して連通板15に反りを与える力を除去することができる。
As a result, according to the present embodiment, when the
したがって、当該加熱・加圧接合工程における連通板15における反りの発生を未然に防止して、アクチュエーターユニットAと連通板15の良好な接合を行なうことができる。
Accordingly, it is possible to prevent the warpage of the
ここで、図3における図示は省略するが、ヒートツール200Bの連通板15を載置する面には、ノズル連通路16の位置に合わせて凹部が設けられており、アクチュエーターユニットAと連通板15の接合面の接着剤がノズル連通路16をつたって流れてきても該凹部に逃がせる構造としている。
Here, although not shown in FIG. 3, a recess is provided on the surface of the
さらに、ヒートツール200は、加熱・圧着時におけるアクチュエーターユニットAと、連通板15との膨張量が揃うように、下記式(2)の関係が成立するように構成するのが望ましい。
Furthermore, it is desirable that the
αa×Th=αr×Tl ・・・(2)
ただし、αa:第1の部材(アクチュエーターユニット)の線膨張係数
αr:第2の部材(連通板)の線膨張係数
Th:一方のツールの温度
Tl:他方のツールの温度
上記式(2)の条件を満足する場合は、第1の部材(アクチュエーターユニット)と第2の部材(連通板)との熱膨張量が同じになり、この点でも第2の部材の反りを良好に抑制することができる。
αa × Th = αr × Tl (2)
Where αa: linear expansion coefficient of the first member (actuator unit)
αr: Linear expansion coefficient of the second member (communication plate)
Th: Temperature of one tool
Tl: Temperature of the other tool When the condition of the above formula (2) is satisfied, the thermal expansion amounts of the first member (actuator unit) and the second member (communication plate) are the same. Warpage of the second member can be satisfactorily suppressed.
図4は従来技術における加熱・加圧接合工程の態様を示す説明図である。同図に示すように、従来におけるヒートツール201は、アクチュエーターユニットAに当接される一方のヒートツール201Aと連通板15に当接される他方のヒートツール201Bは、何れも平板状の部材で形成していた。
FIG. 4 is an explanatory view showing an aspect of a heating / pressure bonding process in the prior art. As shown in the figure, the
したがって、一方および他方のヒートツール201A,201Bの間にアクチュエーターユニットAと連通板15とを挟持した場合には、アクチュエーターユニットAの接合面側の形状と連通板15の接合面側の形状の違い(アクチュエーターユニットAの接合面側の外形形状が連通板15の接合面側の外形形状よりも小さい)に起因して、図中に点線で示すように、他方のヒートツール201Bが反り、それに伴い連通板15に反りが発生する。
Accordingly, when the actuator unit A and the
これに対し上述の如き本発明の実施の形態によれば、連通板15における反りの発生を良好に防止することができる。
In contrast, according to the embodiment of the present invention as described above, it is possible to satisfactorily prevent the warpage of the
(他の実施形態)
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。接合面側の面の形状が相対的に小さい第1の部材(前記実施の形態のアクチュエーターユニットA)と、前記面の形状が相対的に大きい第2の部材(前記実施の形態の連通板15)とを接合する工程を必要とする製造工程を有する場合であれば、他の形式の液体噴射ヘッドにも適用し得る。接合面側の面の形状が相対的に小さい第1の部材と、前記面の形状が相対的に大きい第2の部材とを接合する工程を有する製造工程を有する液体噴射ヘッドの製造方法であれば、同様に適用し得る。例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターを用いたもの、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターを用いたもの等に、同様に適用でき、同様の作用効果を発揮させることができる。
(Other embodiments)
Although one embodiment of the present invention has been described above, the basic configuration of the present invention is not limited to that described above. A first member (actuator unit A in the above embodiment) having a relatively small shape on the joint surface side and a second member (the
I インクジェット式記録ヘッド、 A アクチュエーターユニット、 10 流路形成基板、 11 ヘッド本体、 12 圧力発生室、 15 連通板、 20 ノズルプレート、 21 ノズル開口、 30 保護基板、 40 ケース部材、 51 振動板、 200 ヒートツール、 300 圧電アクチュエーター I ink jet recording head, A actuator unit, 10 flow path forming substrate, 11 head body, 12 pressure generating chamber, 15 communication plate, 20 nozzle plate, 21 nozzle opening, 30 protective substrate, 40 case member, 51 vibration plate, 200 Heat tool, 300 Piezoelectric actuator
Claims (3)
接合面側の面の形状が相対的に小さい第1の部材と、前記面の形状が相対的に大きい第2の部材とを接着剤を介して当接させた状態で、前記第1の部材に当接する一方のツールと前記第2の部材に当接する他方のツールとの間で挟持して加圧・接合する接合工程を有するとともに、
前記接合工程における前記ツールは、前記他方のツールの前記第2の部材に対する当接面が、前記第1の部材の接合面側の外形形状と同一となるように形成されているものを用いることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 A plurality of members are laminated, and each member is joined with an adhesive, and the pressure is applied to the liquid in the pressure generating chamber by the pressure generating means, whereby the ink is passed through the nozzle openings formed in the nozzle plate. A method of manufacturing a liquid jet head that discharges droplets,
The first member in a state where the first member having a relatively small shape on the joining surface side and the second member having a relatively large shape on the surface are brought into contact with each other via an adhesive. And having a joining step of sandwiching and pressing and joining between one tool abutting on and the other tool abutting on the second member,
The tool used in the joining step is one in which the contact surface of the other tool with respect to the second member is formed to be the same as the outer shape of the joining surface side of the first member. A method of manufacturing a liquid ejecting head.
前記第1の部材は、液体が充填される圧力発生室や、該圧力発生室の前記液体に圧力を作用させる圧力発生手段を有するアクチュエーターユニットであり、
前記第2の部材は、前記圧力発生室と前記ノズル開口とを連通するノズル連通路や、液体の貯留部であるマニホールドと前記圧力発生室とを連通する液体供給路が形成されている連通板であることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 In the manufacturing method of the liquid jet head according to claim 1,
The first member is an actuator unit having a pressure generation chamber filled with a liquid and a pressure generation means for applying pressure to the liquid in the pressure generation chamber,
The second member is a communication plate in which a nozzle communication path that communicates the pressure generation chamber and the nozzle opening, and a liquid supply path that communicates a manifold that is a liquid storage portion and the pressure generation chamber are formed. A method of manufacturing a liquid ejecting head, wherein:
前記ツールは、加熱・圧着するものであり、しかも加熱・加圧接合時における前記アクチュエーターユニットと、前記連通板との膨張量が揃うように、下記式(1)の関係が成立するようにしたことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
αa×Th=αr×Tl ・・・(1)
ただし、αa:第1の部材(アクチュエーターユニット)の線膨張係数
αr:第2の部材(連通板)の線膨張係数
Th:一方のツールの温度
Tl:他方のツールの温度 In the manufacturing method of the liquid jet head according to claim 1 or 2,
The tool is for heating and pressure bonding, and the relationship of the following formula (1) is established so that the amount of expansion between the actuator unit and the communication plate during heating and pressure bonding is uniform. A method of manufacturing a liquid ejecting head.
αa × Th = αr × Tl (1)
Where αa: linear expansion coefficient of the first member (actuator unit)
αr: Linear expansion coefficient of the second member (communication plate)
Th: Temperature of one tool
Tl: Temperature of the other tool
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