JP2015037173A - 固定機構 - Google Patents
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Abstract
【課題】大型化することなく、固定作業を容易にでき、さらにねじ山の損傷を防止すること。【解決手段】本発明の固定機構(1)は、雄ねじ部(29)が形成されたシャフト(12)と、シャフトの雄ねじ部が螺合される雌ねじ部(24)が形成されると共に、雌ねじ部の長手方向に対して交差する方向で雌ねじ部を分断するスリット(21)が形成されたブロック(11)と、ブロックの雌ねじ部に対してシャフトの雄ねじ部を所定位置に固定するように、スリット間隔を変更する締付ボルト(13)とを備える構成にした。【選択図】図2
Description
本発明は、例えば、搬送パッドの傾き調整や接触式の高さ測定器の測定子の高さ調整等に使用される固定機構に関する。
従来、ウェーハが保持される保持テーブルとして、保持テーブルの上面を所望の傾きに調整可能な傾き調整機構を備えたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1の傾き調整機構では、保持テーブルが3本のシャフトによって支持台上に水平に支持されており、このシャフトの長さを調整することによって保持テーブルの傾きが調整される。各シャフトの長さは、シャフト先端の雄ねじ部に対する固定部材のねじ込み量で調整される。固定部材は、ねじ穴(雌ねじ部)に連なるスリットによって上面視C字状に形成されており、ねじ穴に直交する側方からスリットを締め付けることで固定部材がシャフトに対して所定のねじ込み位置で挟持固定される。
また、ウェーハを所望の厚みに形成するために、ウェーハの片面に測定子を接触させて研削中のウェーハの厚みを測定する接触式の高さ測定器が知られている(例えば、特許文献2参照)。高さ測定器は、アーム部の先端で測定子を保持しており、ウェーハに対する測定子の接触位置を測定している。測定子の高さ調整は、アーム部の先端のねじ穴(雌ねじ部)に対する測定子の雄ねじ部のねじ込み量で調整される。特許文献2の高さ測定器においても、アーム部の先端が、ねじ穴に連なるスリットによって上面視C字状に形成されており、ねじ穴に直交する側方からスリットを締め付けることで測定子が所定のねじ込み位置で挟持固定される。
特許文献1に記載の傾き調整機構では、シャフトの雄ねじ部が螺合される固定部材と、固定部材に形成されたスリットを側方から締め付ける横ねじによって固定機構が形成されている。しかしながら、この固定機構は、シャフトの長手方向に対して直交する側方から横ねじを締め付けなければならず、シャフトのねじ込み時と横ねじの締付時とで作業姿勢を変える必要があった。また、シャフトと横ねじの延在方向の違いから固定機構が大型化するという問題があった。さらに、スリットの締め付により、固定部材の雌ねじ部によってシャフトの雄ねじ部が挟持される形となり、シャフトと固定部材のねじ山にズレが生じて、ねじ山が傷付いてしまうという問題があった。特許文献2に記載の高さ調整機構においても同様な問題が生じていた。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、大型化することなく、固定作業を容易にでき、さらにねじ山の損傷を防止することができる固定機構を提供することを目的とする。
本発明の固定機構は、雄ねじ部を備えたシャフトと、該シャフトの該雄ねじ部に螺合させる該雌ねじ部を備えたブロックと、該シャフトと該ブロックとを所定の位置で固定する固定機構であって、該ブロックの該雌ねじ部の長手方向に対し交差する方向で該雌ねじ部を分断して所定の間隔を設けて形成されるスリットと、該スリットの間隔を広げたり狭めたりするスリット間隔変更部と、を備え、該スリット間隔変更部で該スリットの間隔を変更し該雌ねじ部に螺合する該雄ねじ部を所定の位置で固定する。
この構成によれば、ブロックの雌ねじ部の長手方向を分断するようにスリットが形成され、スリット間隔を変更することで雄ねじ部が所定の位置で固定される。よって、雄ねじ部の長手方向と同じ方向でスリット間隔を調整でき、シャフトの位置調整時とスリット間隔変更時とで作業姿勢を変える必要がなく、固定作業を容易にできる。また、シャフトの長手方向からスリット間隔を変更できるため、スリット間隔変更部によって固定機構が大型化することがない。さらに、スリット間隔を変更することで、雌ねじ部の長手方向から雄ねじ部が与圧されて固定させているため、雄ねじ部と雌ねじ部のねじ山が傷付くことがない。
本発明によれば、ブロックの雌ねじ部の長手方向を分断するスリットの間隔を変更して雌ねじ部に螺合する雄ねじ部を固定することで、固定機構が大型化することなく、固定作業を容易にでき、さらにねじ山の損傷を防止することができる。
以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る固定機構について説明する。図1は、本実施の形態に係る固定機構の斜視図である。なお、本実施の形態では、半導体ウェーハの加工装置に本発明の固定機構が使用される構成について説明するが、この構成に限定されない。固定機構は、雄ねじ部が形成された部品を、雌ねじ部が形成された部品に対して所定の位置に固定するものであれば適用可能である。
図1に示すように、固定機構1は、スリット21が形成されたブロック11と、ねじ山が切られたシャフト12と、スリット間隔変更用の締付ボルト13とにより構成されている。ブロック11は、一端面から他端側に向かうスリット21によって上側部分22と下側部分23に分けられている。ブロック11にはスリット21に直交するように雌ねじ部24(図2A参照)が形成されており、雌ねじ部24はスリット21によって上下に分断されている。上下に分断された雌ねじ部24にはシャフト12の雄ねじ部29が螺合されており、雄ねじ部29のねじ込み量によってブロック11に対するシャフト12の位置が調整される。
ブロック11には、シャフト12用の雌ねじ部24の隣にスリット間隔変更用の雌ねじ部25(図2A参照)が形成されている。雌ねじ部25はブロック11の上側部分22にのみ形成されており、雌ねじ部25には締付ボルト13が螺合されている。締付ボルト13が締め付けられると、ボルト先端がブロック11の下側部分23に当接される。これにより、スリット間隔が僅かに広がってシャフト12の雄ねじ部29がブロック11の雌ねじ部24に長手方向から強く与圧される。このように、ブロック11の雌ねじ部24を分断したスリット間隔を変更することで、ブロック11の雌ねじ部24に対してシャフト12の雄ねじ部29が所定位置に固定される。
図2を参照して、固定機構による固定作業について説明する。図2は、本実施の形態に係る固定機構の固定作業の一例を示す図である。なお、図2Aは、図1に示す固定機構の固定作業を示し、図2B、Cは、固定機構の変形例の固定作業を示している。なお、図2A−Cにおいては、説明の便宜上、同一の名称には同一の符号を付して説明している。
図2Aに示す固定機構1では、ブロック11の上側部分22及び下側部分23の雌ねじ部24にシャフト12の雄ねじ部29が螺合され、ブロック11に対してシャフト12が所定の位置に調整されている。そして、ブロック11の上側部分22の雌ねじ部25に締付ボルト13がねじ込まれると、ボルト先端でブロック11の下側部分23が押し下げられる。これにより、ブロック11のスリット間隔が僅かに広がることで、ブロック11の上側部分22及び下側部分23の各雌ねじ部24によってシャフト12の雄ねじ部29に対して伸長方向に力が加えられる。シャフト12の雄ねじ部29のねじ山にブロック11の雌ねじ部24のねじ山が強く噛み込み、ブロック11に対してシャフト12が所定の位置に固定される。
この場合、シャフト12の長手方向と同じ方向から締付ボルト13を締め付けることができるため、シャフト12の位置調整時とスリット間隔変更時とで作業姿勢を変える必要がなく、固定作業を容易にできる。また、シャフト12に直交する方向から締付ボルト13を締め付ける構成と比較して固定機構1を小型化することができる。さらに、締付ボルト13の締付時に、ブロック11の雌ねじ部24の長手方向からシャフト12の雄ねじ部29が与圧されるため、雄ねじ部29と雌ねじ部24のねじ山が傷付くことがない。
なお、図2Aに示す固定機構1では、スリット間隔を広げることでブロック11に対してシャフト12を固定する構成としたが、図2Bに示す固定機構1のように、スリット間隔を狭めることでブロック11に対してシャフト12を固定する構成にしてもよい。図2Bに示す固定機構1では、ブロック11の上側部分22にスリット間隔変更用の通し穴26を形成し、下側部分23にスリット間隔変更用の雌ねじ部25を形成した点で、図2Aに示す固定機構1と相違している。
図2Bに示す固定機構1では、ブロック11の上側部分22及び下側部分23の雌ねじ部24にシャフト12の雄ねじ部29が螺合され、ブロック11に対してシャフト12が所定の位置に調整されている。そして、ブロック11の上側部分22の通し穴26を通じて下側部分23の雌ねじ部25に締付ボルト13がねじ込まれると、ボルト先端によってブロック11の下側部分23が引き上げられる。これにより、ブロック11のスリット間隔が僅かに狭まることで、ブロック11の上側部分22及び下側部分23の各雌ねじ部24によってシャフト12の雄ねじ部29に対して収縮方向に力が加えられる。シャフト12の雄ねじ部29のねじ山にブロック11の雌ねじ部24のねじ山が強く噛み込み、ブロック11に対してシャフト12が所定の位置に固定される。
この図2Bに示す固定機構1においても、シャフト12の位置調整時とスリット間隔変更時とで作業姿勢を変える必要がなく、固定作業を容易にでき、固定機構1を小型化することができる。また、締付ボルト13の締付時にシャフト12の雄ねじ部29とブロック11の雌ねじ部24のねじ山の損傷を防止できる。なお、スリット21は、雌ねじ部24に対して直交する方向に限らず、図2Cに示す固定機構1のように、雌ねじ部24に対して交差する斜め方向に形成してもよい。このような構成であっても、図2A、Bに示す固定機構1と同様な作用効果を得ることが可能である。
次に、本実施の形態に係る固定機構を搬送パッドに適用する場合について説明する。図3は、比較例に係る固定機構を用いた搬送パッドの斜視図である。図4は、本実施の形態に係る固定機構を用いた搬送パッドの模式図である。なお、図3Aは固定機構の斜視図を示し、図3Bは固定機構を用いた搬送パッドの斜視図を示している。
図3を参照して、比較例に係る搬送パッドについて説明する。図3Aに示すように、比較例に係る固定機構51は、円筒状のロックナット52の軸線上に雌ねじ部55が貫通形成されている。ロックナット52には、雌ねじ部55を径方向で分断するようにスリット56が形成されており、スリット56によってロックナット52が上面視C字状に形成されている。また、ロックナット52は水平スリット57によって部分的に上下に分断されており、ロックナット52の上側部分でスリット間隔が変更されるように構成されている。
ロックナット52の上側部分では、締付ボルト54が側方から締め付けられることでスリット間隔が狭められ、ロックナット52にねじ込まれたシャフト53(図3B参照)が所定位置で挟持固定される。このように、比較例に係る固定機構51は、シャフト53の長手方向に直交する側方から締付ボルト54を締め付けて、ロックナット52にシャフト53を挟持固定させている。図3Bに示す搬送パッド61では、パッド部62の傾き調整機構に、この比較例に係る固定機構51が用いられている。
搬送パッド61のパッド部62は支持ベース63に対して3本のシャフト53で支持されており、各シャフト53の長さがロックナット52によって調整されることでパッド部62の傾きが調整される。しかしながら、上記したように比較例に係る固定機構51では、シャフト53の長手方向に直交する側方から締付ボルト54を締め付けなければならず、シャフト53の位置調整時と締付ボルト54の締付時とで作業姿勢を変える必要があり、作業が煩雑になると共に固定機構51が大型化してしまっていた。また、ロックナット52の雌ねじ部55によってシャフト53の雄ねじ部59が挟持固定されるため、シャフト53とロックナット52のねじ山にズレが生じる可能性がある。
一方、図4に示すように、本実施の形態に係る固定機構1を用いた搬送パッド31では、支持ベース32の上面にブロック11が固定されており、ブロック11に螺合されたシャフト12を介して支持ベース32とパッド部33とが連結されている。ブロック11はスリット21によって上下に分かれており、ブロック11の上側部分22及び下側部分23のそれぞれにはシャフト12の位置調整用の雌ねじ部24が形成されている。支持ベース32には雌ねじ部24と同軸上に通し穴36が形成され、パッド部33には雌ねじ部24と同軸上に雌ねじ部37が形成されている。
支持ベース32とパッド部33との間には、一対のワッシャ34を介して雌ねじ部24と同軸上にスプリング35が配設されている。シャフト12には、基端側の略上半部と先端部に雄ねじ部29、39が形成されている。基端側の雄ねじ部29はブロック11の雌ねじ部24に螺合され、先端部の雄ねじ部39は通し穴36及びスプリング35の内側を通じてパッド部33の雌ねじ部37に螺合されている。この場合、シャフト12が締め付けられると、スプリング35の付勢力に抗して支持ベース32に対してパッド部33が引き上げられる。シャフト12が緩められると、スプリング35の付勢力によって支持ベース32に対してパッド部33が押し下げられる。
また、ブロック11の上側部分22には、スリット間隔変更用の雌ねじ部25が形成されており、雌ねじ部25に締付ボルト13が螺合されている。そして、締付ボルト13が締め付けられることでスリット間隔が広げられ、ブロック11にねじ込まれたシャフト12が所定位置で固定される。本実施の形態に係る固定機構1では、シャフト12の長手方向と同じ方向から締付ボルト13をねじ込めばよいので、比較例に示す固定機構51(図3参照)のように、作業姿勢を変える必要がなく、固定機構1が大型化することもない。また、締付ボルト13の締付によって、シャフト12の雄ねじ部29が軸方向で与圧されるため、シャフト12の雄ねじ部29とブロック11の雌ねじ部24のねじ山にズレが生じることもない。
次に、本実施の形態に係る固定機構を高さ測定器に適用する場合について説明する。図5は、本実施の形態に係る固定機構を用いた高さ測定器の側面図である。なお、図5Aは、高さ測定器による非測定状態を示し、図5Bは、高さ測定器による測定状態を示している。
図5Aに示すように、本実施の形態に係る高さ測定器41では、アーム部42の先端に設けた測定子43の接触位置を測定するように構成されている。アーム部42の先端には、スリット21によって上下に分かれたブロック11が形成されており、ブロック11の上側部分22及び下側部分23に形成された雌ねじ部(図示省略)に測定子43の雄ねじ部29が螺合されている。測定子43用の雌ねじ部の隣には、ブロック11の上側部分22のスリット間隔変更用の雌ねじ部(図示省略)に締付ボルト13が螺合されている。このように、高さ測定器41では、測定子43をシャフトとした固定機構1がアーム部42の先端に形成されている。
また、アーム部42の基端側は、高さ測定器41のケース47内の揺動アーム部44に連結されている。揺動アーム部44は、ケース47内に設けた支点を中心に揺動可能に支持されており、エアアクチュエータ(不図示)によって駆動されるように構成されている。高さ測定器41では、揺動アーム部44の傾きを求めることで測定子43の接触位置を算出している。そして、ブロック11に対して測定子43が所定の位置に調整され、締付ボルト13が締め付けられることでスリット間隔が広げられ、ブロック11に対して測定子43が所定の位置で固定される。
図5Aに示す初期状態からエアアクチュエータが駆動されると、図5Bに示すように、揺動アーム部44が揺動して測定子43がチャックテーブル46の表面に接触する。このときの測定子43の接触位置が、揺動アーム部44の傾きから算出されてチャックテーブル46の表面高さが求められる。本実施の形態に係る高さ測定器41においても、測定子43の長手方向と同じ方向から締付ボルト13をねじ込むことができ、測定子43の位置調整時と締付ボルト13の締付時とで作業姿勢を変える必要がなく、固定機構1が大型化することもない。また、測定子43の近くにノズル等が設けられて測定子43周辺が狭くなる場合であっても、作業スペースを確保することができる。
以上のように、本実施の形態に係る固定機構1によれば、ブロック11の雌ねじ部24の長手方向を分断するようにスリット21が形成され、スリット間隔を変更することで雄ねじ部29が所定の位置で固定される。よって、雄ねじ部29の長手方向と同じ方向でスリット間隔を調整でき、シャフト12の位置調整時とスリット間隔変更時とで作業姿勢を変える必要がなく、固定作業を容易にできる。また、シャフト12の長手方向からスリット間隔を変更できるため固定機構1が大型化することがない。さらに、スリット間隔を変更することで、雌ねじ部24の長手方向から雄ねじ部29が与圧されて固定させているため、雄ねじ部29と雌ねじ部24のねじ山が傷付くことがない。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
例えば、上記した実施の形態において、スリット間隔変更部を単一の締付ボルト13で構成したが、この構成に限定されない。例えば、複数の締付ボルト13でスリット間隔変更部を構成してもよい。また、スリット間隔を変更可能な構成であればどのような構成でもよい。
また、上記した実施の形態において、シャフト12と同じ方向から締付ボルト13でスリット間隔を変更する構成としたが、この構成に限定されない。シャフト12のねじ込み方向とは逆方向から締付ボルト13で締め付ける構成としてもよい。
また、上記した実施の形態において、ブロック11に対して一定の厚みでスリット21が形成される構成としたが、この構成に限定されない。スリット21は、シャフト12用の雌ねじ部24を分断してブロック11を弾性変形させるように形成されていれば、どのように形成されてもよい。
以上説明したように、本発明は、大型化することなく、固定作業を容易にでき、さらにねじ山の損傷を防止することができるという効果を有し、特に、搬送パッドの傾き調整や接触式の高さ測定器の測定子の高さ調整等に使用される固定機構に有用である。
1 固定機構
11 ブロック
12 シャフト
13 締付ボルト(スリット間隔変更部)
21 スリット
24 雌ねじ部
29、39 雄ねじ部
11 ブロック
12 シャフト
13 締付ボルト(スリット間隔変更部)
21 スリット
24 雌ねじ部
29、39 雄ねじ部
Claims (1)
- 雄ねじ部を備えたシャフトと、該シャフトの該雄ねじ部に螺合させる該雌ねじ部を備えたブロックと、該シャフトと該ブロックとを所定の位置で固定する固定機構であって、
該ブロックの該雌ねじ部の長手方向に対し交差する方向で該雌ねじ部を分断して所定の間隔を設けて形成されるスリットと、該スリットの間隔を広げたり狭めたりするスリット間隔変更部と、を備え、
該スリット間隔変更部で該スリットの間隔を変更し該雌ねじ部に螺合する該雄ねじ部を所定の位置で固定する固定機構。
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JP2013169247A JP2015037173A (ja) | 2013-08-16 | 2013-08-16 | 固定機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015037173A true JP2015037173A (ja) | 2015-02-23 |
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ID=52687522
Family Applications (1)
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