JP2015035612A - ノズル駆動ユニットおよびガス注入装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズル駆動ユニットは、キャリア10が載置される載置台2と、載置台2から突出するように設けられ、キャリア10の底部103に設けられた位置決め溝101に係合可能なキネマティックピン7とを備えたガス注入装置またはガス排出装置に搭載される。圧力差発生機構は、ノズル55を保持する筐体541内において、第1の圧力室545および第2の圧力室546に圧力差を発生させることで、ノズル55を駆動する。
【選択図】図7
Description
前記容器の底部に設けられた注入部を介してガスを前記容器内に注入するためのノズルと、
圧力室と、前記ノズルが挿通された開口とを有し、前記ノズルを保持するシリンダと、
前記圧力室の圧力を調整することで、前記開口を介して前記ノズルを駆動させる圧力差発生機構と
を具備するものである。
前記容器が載置される載置台と、
前記容器の注入部を介して前記ガスを前記容器内に注入するためのノズルを有し、前記容器の位置決め溝に前記位置決めピンが係合した状態で、前記ノズルを前記容器の注入部に接触させるように、前記ノズルを駆動することが可能なノズル駆動ユニットと、
前記容器が位置決めされているか否かを検出するセンサとを具備し、
前記ノズル駆動ユニットは、
圧力室と、前記ノズルが挿通された開口とを有し、前記ノズルを保持するシリンダと、
前記圧力室の圧力を調整することで、前記開口を介して前記ノズルを駆動させる圧力差発生機構とを有し、
前記容器が位置決めされたことが前記センサにより検出された場合、前記ノズルを前記圧力差発生機構により駆動して前記注入部に接触させるものである。
前記容器の底部に設けられた排出部を介してガスを前記容器内に排出するためのノズルと、
圧力室と、前記ノズルが挿通された開口とを有し、前記ノズルを保持するシリンダと、
前記圧力室の圧力を調整することで、前記開口を介して前記ノズルを駆動させる圧力差発生機構と
を具備するものである。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るガス注入装置としてのロードポートを示す斜視図である。図2は、そのロードポート100を示す平面図である。
図7は、上記と同様にロードポートに適用される、本発明の第2の実施形態に係る昇降駆動ユニットを示す断面図である。この第2の実施形態の説明では、上記第1の実施形態に係るロードポート100が含む部材や機能等について同様のものは説明を簡略化または省略し、異なる点を中心に説明する。
本発明に係る実施形態は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態が実現される。
2…載置台
4、54…昇降駆動ユニット(駆動部に相当)
5(5a、5b及び5c)、55…注入ノズル(ノズルに相当)
5'…排出ノズル(ノズルに相当)
7…キネマティックピン(位置決めピンに相当)
10…キャリア(容器に相当)
41…エアシリンダ
100…ロードポート(ガス注入装置を搭載する装置に相当)
101…位置決め溝
102…注入部
102'…排出部
103…底部
Claims (6)
- 被収容体を収容する容器が載置される載置台と、前記載置台から突出するように設けられ、前記容器の底部に設けられた位置決め溝に係合可能な位置決めピンとを備えたガス注入装置に搭載されたノズル駆動ユニットであって、
前記容器の底部に設けられた注入部を介してガスを前記容器内に注入するためのノズルと、
圧力室と、前記ノズルが挿通された開口とを有し、前記ノズルを保持するシリンダと、
前記圧力室の圧力を調整することで、前記開口を介して前記ノズルを駆動させる圧力差発生機構と
を具備するノズル駆動ユニット。 - 請求項1に記載のノズル駆動ユニットであって、
前記圧力発生機構は、前記圧力室にガスを導入する導入部と、前記圧力室からガスを排出する排気部とを有する
ノズル駆動ユニット。 - 請求項2に記載のノズル駆動ユニットであって、
前記圧力室は、前記ノズルにより前記シリンダ内が区画されることで形成された第1および第2の圧力室により構成され、
前記導入部により前記第1の圧力室に前記ガスが導入され、前記排気部により前記第2の圧力室から前記ガスが排出される
ノズル駆動ユニット。 - 請求項3に記載のノズル駆動ユニットであって、
前記ノズルは、前記第1の圧力室に連通する流路を有し、
前記導入部から前記ガスが前記第1の圧力室内に導入されることにより、前記第1および第2の圧力室の圧力差により、前記ノズルが駆動して前記注入部に接触するとともに、前記第1の圧力室からのガスが前記流路および前記注入部を介して前記容器内に注入される
ノズル駆動ユニット。 - 被収容体を収容する容器であって底部と前記底部に設けられた位置決め溝と前記底部に設けられたガスの注入部とを有する容器に、ガスを注入するガス注入装置であって、
前記容器が載置される載置台と、
前記容器の注入部を介して前記ガスを前記容器内に注入するためのノズルを有し、前記容器の位置決め溝に前記位置決めピンが係合した状態で、前記ノズルを前記容器の注入部に接触させるように、前記ノズルを駆動することが可能なノズル駆動ユニットと、
前記容器が位置決めされているか否かを検出するセンサとを具備し、
前記ノズル駆動ユニットは、
圧力室と、前記ノズルが挿通された開口とを有し、前記ノズルを保持するシリンダと、
前記圧力室の圧力を調整することで、前記開口を介して前記ノズルを駆動させる圧力差発生機構とを有し、
前記容器が位置決めされたことが前記センサにより検出された場合、前記ノズルを前記圧力差発生機構により駆動して前記注入部に接触させる
ガス注入装置。 - 被収容体を収容する容器が載置される載置台と、前記載置台から突出するように設けられ、前記容器の底部に設けられた位置決め溝に係合可能な位置決めピンとを備えたガス排出装置に搭載されたノズル駆動ユニットであって、
前記容器の底部に設けられた排出部を介してガスを前記容器内に排出するためのノズルと、
圧力室と、前記ノズルが挿通された開口とを有し、前記ノズルを保持するシリンダと、
前記圧力室の圧力を調整することで、前記開口を介して前記ノズルを駆動させる圧力差発生機構と
を具備するノズル駆動ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010049077A Division JP2011187539A (ja) | 2010-03-05 | 2010-03-05 | ガス注入装置、ガス排出装置、ガス注入方法及びガス排出方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017075655A Division JP6347301B2 (ja) | 2017-04-06 | 2017-04-06 | ロードポート及びノズル駆動ユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015035612A true JP2015035612A (ja) | 2015-02-19 |
Family
ID=52543884
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014194390A Pending JP2015035612A (ja) | 2014-09-24 | 2014-09-24 | ノズル駆動ユニットおよびガス注入装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2015035612A (ja) |
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