JP2015021782A - 加振装置 - Google Patents
加振装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015021782A JP2015021782A JP2013148539A JP2013148539A JP2015021782A JP 2015021782 A JP2015021782 A JP 2015021782A JP 2013148539 A JP2013148539 A JP 2013148539A JP 2013148539 A JP2013148539 A JP 2013148539A JP 2015021782 A JP2015021782 A JP 2015021782A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- digital value
- amplitude
- vibration
- drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 title claims abstract description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 62
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 35
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 33
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 4
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Description
[本実施形態の構成および処理]
本発明が適用されたジャイロセンサ1は、PWM(パルス幅変調)駆動信号によって試験体(振動子11)を振動させる加振装置としての構成を備えている。
図6に示す制御回路52の初期処理は、計測開始時など初期動作において実行される。なお、駆動検出信号には、角速度信号成分は含まれず、駆動検出信号の位相を駆動信号成分由来の信号とみなすことができる。
[本実施形態による効果]
以上のように詳述したジャイロセンサ1は、振動子11においてPWM駆動信号が入力される一対の電極13,14と、PWM駆動信号として、基準信号の電位に対して高い電位であるハイレベル信号、および基準信号の電位に対して低い電位であるローレベル信号を一対の電極13,14に対して出力可能な駆動回路50(TDC51除く)と、を備えている。そして、駆動回路50は、一対の電極13,14のうちの一方の電極13,14にハイレベル信号を出力する際に、他方の電極13,14にローレベル信号を出力する。
また、TDC51は位相差に応じたデジタル値を出力するので、アナログ値を出力する構成に対して、より耐ノイズ性能を向上させることができる。
さらに、上記ジャイロセンサ1においてTDC51は、複数のゲート回路62を直列かつリング状に配置したリングオシレータ60から得られる、各ゲート回路62による遅延時間を表すゲート遅延時間に従って位相差を検出する。
また、上記ジャイロセンサ1において振動子11の挙動に基づく出力を行う信号検出回路30を備えている。
このようなジャイロセンサ1によれば、波形位相に対応するパルスを出力することで駆動信号の位相を出力するとともに、PWM駆動信号を生成することができる。
このようなジャイロセンサ1によれば、適切に駆動信号の位相を示す信号を出力しつつPWM駆動信号を生成することができる。
このようなジャイロセンサ1によれば、振幅を精度よく検出することができる。
また、上記ジャイロセンサ1においてADC57は、同期検波を利用してサンプリングタイミングを設定する。
さらに、上記ジャイロセンサ1においてADC57は、定期的、或いは不定期的に2つの異なる基準電圧の差に応じた電圧デジタル値を生成する処理を行う。
また、上記ジャイロセンサ1においては、振動子11の振動波形または基準電圧のうちの何れかを選択して出力するスイッチ56を備え、ADC57が入力された信号に基づく積分を行う。制御回路52(駆動回路50)は、スイッチ56を所定のタイミング毎に切り替え、ADC57は、スイッチ56によって振動子11の振動波形が選択されているときに振動波形のサンプリングを行い、スイッチ56によって基準電圧のうちの何れかが選択されているときに基準電圧のサンプリングを行う。
[その他の実施形態]
本発明は、上記の実施形態によって何ら限定して解釈されない。また、上記の実施形態の構成の一部を、課題を解決できる限りにおいて省略した態様も本発明の実施形態である。また、上記の複数の実施形態を適宜組み合わせて構成される態様も本発明の実施形態である。また、特許請求の範囲に記載した文言のみによって特定される発明の本質を逸脱しない限度において考え得るあらゆる態様も本発明の実施形態である。また、上記の実施形態の説明で用いる符号を特許請求の範囲にも適宜使用しているが、各請求項に係る発明の理解を容易にする目的で使用しており、各請求項に係る発明の技術的範囲を限定する意図ではない。
上記実施形態におけるジャイロセンサ1は本発明でいう加振装置に相当し、上記実施形態における振動子11は本発明でいう試験体に相当する。
Claims (5)
- 駆動信号によって試験体を振動させる加振装置(1)であって、
前記試験体の振動波形の振幅に応じた振幅デジタル値を生成する振幅デジタル値生成手段(57)と、
2つの異なる基準電圧の差に応じた電圧デジタル値を生成する電圧デジタル値生成手段(57)と、
前記電圧デジタル値と振幅デジタル値との比が一定になるよう前記駆動信号を生成する駆動手段(52、53、60)と、
を備えたことを特徴とする加振装置。 - 請求項1に記載の加振装置において、
前記振幅デジタル値生成手段は、前記振動波形を該波形の周期の前半分の平均値と後半分の平均値とを検出し、これらの平均値の差を前記振幅デジタル値とすること
を特徴とする加振装置。 - 請求項1または請求項2に記載の加振装置において、
前記振幅デジタル値生成手段および電圧デジタル値生成手段は、時間A/D変換器として構成されていること
を特徴とする加振装置。 - 請求項1〜請求項3の何れか1項に記載の加振装置において、
前記振幅デジタル値生成手段は、同期検波を利用してサンプリングタイミングを設定すること
を特徴とする加振装置。 - 請求項1〜請求項4の何れか1項に記載の加振装置において、
前記電圧デジタル値生成手段は、定期的、或いは不定期的に2つの異なる基準電圧の差に応じた電圧デジタル値を生成する処理を行うこと
を特徴とする加振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013148539A JP6160321B2 (ja) | 2013-07-17 | 2013-07-17 | 加振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013148539A JP6160321B2 (ja) | 2013-07-17 | 2013-07-17 | 加振装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015021782A true JP2015021782A (ja) | 2015-02-02 |
JP6160321B2 JP6160321B2 (ja) | 2017-07-12 |
Family
ID=52486370
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013148539A Active JP6160321B2 (ja) | 2013-07-17 | 2013-07-17 | 加振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6160321B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9553751B2 (en) | 2015-05-14 | 2017-01-24 | Denso Corporation | Demodulation device |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002118467A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Denso Corp | A/d変換回路 |
JP2003065768A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-05 | Denso Corp | 同期検波方法及び装置並びにセンサ信号検出装置 |
JP2004274157A (ja) * | 2003-03-05 | 2004-09-30 | Denso Corp | A/d変換出力データの非直線性補正方法及び非直線性補正装置 |
JP2007225571A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-06 | Denso Corp | フラックスゲートセンサの信号処理装置 |
US20100199763A1 (en) * | 2009-02-10 | 2010-08-12 | Steffen Zunft | Vibration compensation for yaw-rate sensors |
WO2012005062A1 (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-12 | 日立オートモーティブシステムズ株式会社 | 慣性センサ |
-
2013
- 2013-07-17 JP JP2013148539A patent/JP6160321B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002118467A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Denso Corp | A/d変換回路 |
JP2003065768A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-05 | Denso Corp | 同期検波方法及び装置並びにセンサ信号検出装置 |
JP2004274157A (ja) * | 2003-03-05 | 2004-09-30 | Denso Corp | A/d変換出力データの非直線性補正方法及び非直線性補正装置 |
JP2007225571A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-06 | Denso Corp | フラックスゲートセンサの信号処理装置 |
US20100199763A1 (en) * | 2009-02-10 | 2010-08-12 | Steffen Zunft | Vibration compensation for yaw-rate sensors |
WO2012005062A1 (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-12 | 日立オートモーティブシステムズ株式会社 | 慣性センサ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9553751B2 (en) | 2015-05-14 | 2017-01-24 | Denso Corporation | Demodulation device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6160321B2 (ja) | 2017-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010190766A (ja) | 発振駆動装置、物理量測定装置及び電子機器 | |
US7839227B2 (en) | Oscillating circuit having an analog oscillating element | |
JP5892116B2 (ja) | 加振装置 | |
JP2010169532A (ja) | 駆動回路、物理量センサ装置 | |
US9459100B2 (en) | Stepped sinusoidal drive for vibratory gyroscopes | |
US20150153174A1 (en) | Apparatus for driving gyro sensor and control method thereof | |
JP6720834B2 (ja) | 自励共振回路 | |
JP6225526B2 (ja) | 加振装置 | |
JP6160321B2 (ja) | 加振装置 | |
US9553751B2 (en) | Demodulation device | |
JP5729323B2 (ja) | 自励共振回路 | |
JP2016031522A (ja) | レーザ走査装置 | |
US10845194B2 (en) | Inertial force detection device | |
JP2005147831A (ja) | 電流検出回路及び電流検出方法 | |
JP2016003979A (ja) | センサ信号検知回路 | |
KR20160100088A (ko) | 자이로센서의 구동장치 및 그 제어방법 | |
JP2006105900A (ja) | センサ回路 | |
JP2006250643A (ja) | 角速度センサの異常検出装置 | |
JP6210416B2 (ja) | 位置センサ | |
JP6229243B2 (ja) | 電流検出装置 | |
JP2004347493A (ja) | 異常検出機能を持つ静電容量式センサ装置 | |
US20220393093A1 (en) | Piezoelectric actuator drive method, piezoelectric actuator drive circuit, and piezoelectric actuator drive system | |
WO2016208077A1 (ja) | 電磁アクチュエータ駆動装置 | |
JP2016206133A (ja) | 振動子駆動回路及びその駆動方法 | |
JP6406620B2 (ja) | トナー量検出装置及び画像形成装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151020 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160923 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161011 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170516 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170529 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6160321 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |