JP2015001381A - 3次元形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この外観検査装置100(3次元形状測定装置)は、LED323と、LED323から照射された光を反射させることにより、基板110の高さ情報を取得可能な明部と暗部とを交互に含む縞パターン光を基板110に照射するDMD326と、DMD326により縞パターン光が照射された基板110を撮像する撮像部31とを備え、DMD326は、ダイヤモンド配列になるように配置された複数のミラー326aにより構成されている。
【選択図】図7
Description
32 プロジェクタ
100 外観検査装置(3次元形状測定装置)
110 基板(検査対象部位)
300 法線
323 LED(光源)
326 DMD(デジタルミラーデバイス)
326a ミラー
326b 揺動軸
326c 反射面
327 投影レンズ
326d 辺
400 光軸
R1 撮像領域
R2 投影領域
R3 領域
S方向 光の進行方向
500 中心線
Claims (12)
- 光源と、
前記光源から照射された光を反射させることにより、検査対象部位の高さ情報を取得可能な明部と暗部とを交互に含む縞パターン光を前記検査対象部位に照射するデジタルミラーデバイスと、
前記デジタルミラーデバイスにより縞パターン光が照射された前記検査対象部位を撮像する撮像部とを備え、
前記デジタルミラーデバイスは、ダイヤモンド配列になるように配置された複数のミラーにより構成されている、3次元形状測定装置。 - 前記デジタルミラーデバイスは、前記複数のミラーが調整されることにより前記デジタルミラーデバイスに対して略45度傾斜した明部と暗部とを交互に含む縞パターン光を照射するように構成されている、請求項1に記載の3次元形状測定装置。
- 前記デジタルミラーデバイスは、前記複数のミラーの反射面に略垂直な法線周りに回転可能に構成され、
前記デジタルミラーデバイスおよび前記光源は、前記法線周りに、略45度回転可能に構成されている、請求項2に記載の3次元形状測定装置。 - 投影レンズをさらに備え、
前記デジタルミラーデバイスおよび前記光源は、前記法線周りに回転可能で、かつ、前記投影レンズとは独立して回転するように構成されている、請求項3に記載の3次元形状測定装置。 - 前記光源および前記デジタルミラーデバイスを含み、所定の投影領域に縞パターン光を照射するプロジェクタが設けられており、
前記複数のミラーは、それぞれ、略矩形形状に形成されるとともに、略矩形の対角線に対応する位置に揺動軸を有し、
複数の前記揺動軸は、互いに略平行で、かつ、前記デジタルミラーデバイスの前記光源に対向する辺に略平行になるように構成され、
前記光源および前記デジタルミラーデバイスは、前記光源から照射される光の進行方向と前記ミラーの前記揺動軸とが略直交するように配置されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の3次元形状測定装置。 - 前記プロジェクタは、投影レンズを有し、
前記プロジェクタは、上方から見て、前記撮像部を取り囲むように複数配置され、
複数の前記プロジェクタの各々は、前記投影領域が前記撮像部の撮像領域を含むように、少なくとも、前記投影レンズの投影倍率、または、前記投影レンズの光軸が設定されるように構成されている、請求項5に記載の3次元形状測定装置。 - 前記プロジェクタは、投影レンズを有し、
前記プロジェクタは、前記デジタルミラーデバイスの平面視における中心と前記投影レンズの光軸とがずらされるように、前記デジタルミラーデバイスと前記投影レンズとが、互いに相対的に平行移動可能なように構成されている、請求項5または6に記載の3次元形状測定装置。 - 前記撮像部は、略矩形形状の撮像領域において前記検査対象部位を撮像可能なように構成され、
前記プロジェクタは、上方から見て、前記撮像部を取り囲むように複数配置され、
複数の前記プロジェクタのうち前記撮像領域の辺に対して所定の角度傾斜する位置に配置されるプロジェクタのデジタルミラーデバイスおよび光源は、前記複数のミラーの反射面に略垂直な法線周りに、前記プロジェクタが配置される前記所定の角度傾斜した位置に対応する角度回転されて配置されている、請求項5〜7のいずれか1項に記載の3次元形状測定装置。 - 前記撮像部は、略長方形形状の撮像領域において前記検査対象部位を撮像可能なように構成され、
前記プロジェクタの配置位置が前記撮像領域の短辺に対向する位置である場合には、デジタルミラーデバイスおよび光源は、前記撮像領域の長辺に対向する位置に配置されたプロジェクタのデジタルミラーデバイスおよび光源に対して、前記複数のミラーの反射面に略垂直な法線周りに略90度回転されて配置され、
前記プロジェクタの配置位置が前記撮像領域の長辺に対して略45度傾斜した位置である場合には、デジタルミラーデバイスおよび光源は、前記撮像領域の長辺に対向する位置に配置されたプロジェクタのデジタルミラーデバイスおよび光源に対して、前記複数のミラーの反射面に略垂直な法線周りに略45度回転されて配置されている、請求項8に記載の3次元形状測定装置。 - 前記デジタルミラーデバイスは、前記プロジェクタに近い側よりも遠い側で強度が強くなるように縞パターン光を前記検査対象部位に照射するように構成されている、請求項5〜9のいずれか1項に記載の3次元形状測定装置。
- 前記デジタルミラーデバイスは、前記撮像部の撮像領域よりも外側の領域では、縞パターン光を照射しないことにより黒色表示を行うように構成されている、請求項1〜10のいずれか1項に記載の3次元形状測定装置。
- 前記撮像部は、撮像領域の位置を変更可能に構成され、
前記デジタルミラーデバイスは、位置を変更可能な前記撮像領域が前記投影領域に含まれるように前記法線周りに回転可能に構成されている、請求項3に記載の3次元形状測定装置。
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