JP2015001373A - 空気流量調整装置 - Google Patents
空気流量調整装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015001373A JP2015001373A JP2013124214A JP2013124214A JP2015001373A JP 2015001373 A JP2015001373 A JP 2015001373A JP 2013124214 A JP2013124214 A JP 2013124214A JP 2013124214 A JP2013124214 A JP 2013124214A JP 2015001373 A JP2015001373 A JP 2015001373A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air flow
- flow rate
- output
- adjusting device
- adjustment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 title abstract description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 9
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 25
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000000611 regression analysis Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02D—CONTROLLING COMBUSTION ENGINES
- F02D41/00—Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents
- F02D41/02—Circuit arrangements for generating control signals
- F02D41/18—Circuit arrangements for generating control signals by measuring intake air flow
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02D—CONTROLLING COMBUSTION ENGINES
- F02D41/00—Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents
- F02D41/24—Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents characterised by the use of digital means
- F02D41/2406—Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents characterised by the use of digital means using essentially read only memories
- F02D41/2425—Particular ways of programming the data
- F02D41/2429—Methods of calibrating or learning
- F02D41/2432—Methods of calibration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6845—Micromachined devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F25/00—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
- G01F25/10—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters
- G01F25/15—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters specially adapted for gas meters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
Description
従来技術における多点調整技術を説明する。
(i)「高精度で空気流量を切替可能な装置」に調整対象(未調整)のエアフロメータを組付ける。
(ii)「調整点に対応した種類の空気流量」を調整対象のエアフロメータによって実測する。
(iii)各流量毎(調整点毎)の実出力値を直線で結んで「直線近似により調整前特性」を求める。
(iv)「直線近似で求めた調整前特性」を「目標特性(調整後理想特性)」に補正するための調整データ(エアフロメータの出力を目標特性に調整するデータ)を求め、求めた調整データをエアフロメータが搭載する内部メモリに書き込む。
このため、1つのエアフロメータを調整するのに、極めて長い調整時間を必要とするになり、エアフロメータの生産性の悪化を招いてしまう。
このため、多点調整する際に、「全ての調整点」において「空気流量に応じた実出力値」を求める必要がない。その結果、エアフロメータの調整時間を短縮することができ、エアフロメータの生産性を向上できる。
実施例1を図1〜図6を参照して説明する。
先ず、空気流量調整装置によって調整を行うエアフロメータ1の一例を説明する。
エアフロメータ1は、車両走行用のエンジン(内燃機関)に吸気を導く吸気ダクト(例えば、エアクリーナ出口ダクト、エアクリーナの下流の吸気管等)に組み付けられるものである。
・吸気ダクトに組付けられる樹脂ハウジング2(通路形成部材)と、
・樹脂ハウジング2の内部に組み付けられる吸気流量測定用のセンサアッシーと、
・樹脂ハウジング2の外部に組み付けられる吸気温度測定用のサーミスタと、
を備えて構成される。
なお、エアフロメータ1は、サーミスタを搭載するものに限定しない。
センサチップ3は、支持基板4に形成された凹部4aの内側に配置されるものであり、図3に示すように、センサチップ3と凹部4aの間には空気が通過可能な隙間が形成される。
平板状を呈するセンサチップ3の長手方向の一端が、支持基板4に固定されている。そして、センサチップ3が支持基板4に組み付けられた状態で、「センサチップ3の上面」が「支持基板4の上面」と面一に設けられ、「センサチップ3の裏面と凹部4aの底面の間」等に、空気流(具体的には、薄膜部の裏面に触れる空気流)が通過する隙間が形成される。
具体的に、コネクタ6は、樹脂製のカプラ6aと、このカプラ6a内に配置された複数のターミナル端子6bによって構成される。
具体的にセンサ回路5は、図2に示すように、
・センサ部3aの電圧信号(アナログ信号)をデジタル化するA/Dコンバータ7と、
・デジタル信号化されたセンサ部3aの検出値(デジタル化された調整前出力)を調整するデジタル調整手段8と、
・このデジタル調整手段8で調整された「調整後出力」を周波数変調する周波数変調手段9と、
・各種データ等を保存する内部メモリ(EEPROM等)10と、
を備えて構成される。
エアフロメータ1は、空気流量調整装置によって出力調整される。
この空気流量調整装置は、エアフロメータ1の出力を目標特性αに調整するための調整データをエアフロメータ1の内部メモリ10に書き込むものであり、空気流量調整装置が作成した調整データは調整端子6cを介して内部メモリ10に書き込まれる。
なお、調整に用いる「組付寸法」の具体的な一例として、この実施例では「センサチップ3の裏面」と「凹部4aの底面」との間の隙間寸法Xiを用いる。
そして、計測した「組付寸法」は、内部メモリ10に保存される。即ち、この実施例では、「センサチップ3の裏面と凹部4aの底面との間の隙間寸法Xi」を内部メモリ10に保存するものである。
具体的には、図3に示すように、「支持基板4に対するセンサチップ3の吸気流れ方向の横傾き角度θ1」、「支持基板4に対するセンサチップ3の長手方向の縦傾き角度θ2」、「センサチップ3と凹部4aの側面との間における第1横隙間L1と第2横隙間L2」、「センサチップ3の先端面と凹部4aとの間の先端隙間L3」など、他の「組付寸法」を用いてエアフロメータ1の出力調整を実施しても良い。
あるいは、上述した各組付寸法(Xi、θ1、θ2、L1〜L3)を複数用いてエアフロメータ1の出力を調整しても良い。
先ず、「隙間寸法Xi」から「各推定点Giにおける流量誤差E」を推定する。
具体的には、「隙間寸法Xi」から「流量G1における流量誤差E(G1)」と「流量G2における流量誤差E(G2)」を求める。
推定式は、各推定点Gi毎に独立して設定される。
各推定点Gi毎の推定式は、図5に示すように、「実誤差(図中、丸印)」から求めた「誤差推定線γ(相関近似線)」であり、「最小二乗法」や「単/重回帰分析」などによって求める。
具体的な一例として、図5に示すように、「隙間寸法Xi」が所定値Xisより低い場合は「多変数多項式による推定式(線形推定式)」を用い、「隙間寸法Xi」が所定値Xisより大きい場合は「単(多)変数累乗式による推定式(非線形推定式)」を用いるものである。
次に、上記「手順1」で求めた各推定点Gi毎の「流量誤差E」に基づいて、「目標特性α」に対する推定出力FG(Gi)2を求める。
具体的には、上記「手順1」で求めた「流量誤差E(G1)」から「流量G1における推定出力FG(G1)2」を求めるとともに、「流量誤差E(G2)」から「流量G2における推定出力FG(G2)2」を求める。
この「手順3」では、調整対象のエアフロメータ1によって2点以上(2種類以上)の「基準空気流量」を実計測し、計測した実出力値と目標出力からエアフロメータ1における計測していない流量点の調整前出力{各推定点Gi毎の調整前出力FG(Gi)1}を推定(逆変換調整)する。
具体的には、「低流量Gaにおける実出力値FG(Ga)1」と「高流量Gbにおける実出力値FG(Gb)1」を計測する。そして、計測した実出力値FG(Ga)1、FG(Gb)1を起点として、上記「手順2」で求めた「推定出力FG(G1)2」から「流量G1における調整前出力FG(G1)1」を求めるとともに、上記「手順2」で求めた「推定出力FG(G2)2」から「流量G2における調整前出力FG(G2)1」を求める。
このように、「手順3」によって4箇所の「流量Ga、G1、G2、Gb」に対応した「調整前出力FG(Ga)1、FG(G1)1、FG(G2)1、FG(Gb)1」が求められる。即ち、それぞれの推定点Giに対応した調整前出力FG(Gi)1が求められる。
上記「手順3」よって求めた「各調整点(4つ)毎の調整前出力FG(Gi)1」から「調整前特性β」を求め、求めた「調整前特性β」を「目標特性α(調整後理想特性)」に調整する調整データを作成する。
具体的には、「調整前出力FG(Ga)1、FG(G1)1、FG(G2)1、FG(Gb)1」を直線で結んで「直線近似による調整前特性β」を求め、例えば「調整前出力FG(Ga)1、FG(G1)1、FG(G2)1、FG(Gb)1」を「目標出力FG(Ga)2aim、FG(G1)2aim、FG(G2)2aim、FG(Gb)2aim」に調整する調整データを作成する。
そして、「調整前特性β」を「目標特性α」に調整する調整データを、エアフロメータ1が搭載する内部メモリ10に書き込む。
ステップS1:調整前測定を実施する。具体的には、「低流量Gaにおける実出力値FG(Ga)1」と「高流量Gbにおける実出力値FG(Gb)1」を計測する。
ステップS2:調整対象のエアフロメータ1の内部メモリ10から、内部メモリ10に書き込まれたデータを読み込む。
ステップS3:流量誤差Eを推定するためのパラメータ(隙間寸法Xi等)を取得する。
ステップS5:上記ステップS4の判断結果がYESの場合は、線形推定式を用いて「隙間寸法Xi」から「所定推定点Giにおける流量誤差E」を推定する。
ステップS7:上記ステップS6の判断結果がYESの場合は、非線形推定式を用いて「隙間寸法Xi」から「所定推定点Giにおける流量誤差E」を推定する。
ステップS8:上記ステップS6の判断結果がNOの場合は、隙間寸法Xiが規定より大きいため、調整対象のエアフロメータ1が不良品と判断し、エアフロメータ1を排除する。
ステップS10:前後2点(Ga、Gb)から推定点Giにおける調整前出力FG(Gi)1を推定(逆変換)するためのゲインとオフセット値を求める。
ステップS11:上記ステップS10で求めたゲインとオフセット値を用いて推定点Giにおける調整前出力FG(Gi)1を求める。
ステップS13:上記ステップS12の判断結果がYESの場合は、「各調整点毎の調整前出力FG(Gi)1」から「調整前特性β」を求め、求めた「調整前特性β」を「目標特性α(調整後理想特性)」に調整する調整データを作成する。そして、作成した調整データをエアフロメータ1が搭載する内部メモリ10に書き込む。
ステップS14:最後に調整を終えたエアフロメータ1の検査を行う。具体的には、調整後のエアフロメータ1に規定流量を流して出力値をチェックし、規定出力が得られていることを確認する。
この実施例の空気流量調整装置は、上述したように、支持基板4に対するセンサチップ3の組付寸法(上記実施例中の隙間寸法Xi)に基づいてエアフロメータ1の出力を調整する。
このため、多点調整する際に、「全ての推定点Gi」において「空気流量に応じた実出力値」を求める必要がない。具体的に、この実施例では、実出力値を2点で計測するのみであり、複数の推定点Giは組付寸法(隙間寸法Xi)を用いて算出する。その結果、エアフロメータ1の出力特性を多点調整する調整時間を短縮することができ、エアフロメータ1の生産性を向上することができる。また、測定流量の数(実出力値の計測数)を減らすことができるため、生産設備コストの低減にも寄与できる。
この実施例の空気流量調整装置は、上述したように、組付寸法の一例としてセンサチップ3の裏面と凹部4aの底面との間の隙間寸法Xiを用いる。
隙間寸法Xiは、特に高流量域で特性バラツキや特性うねりに大きな影響を与える。このため、隙間寸法Xiを用いることで、低流量域や中流量域はもちろん、高流量域に至る広い範囲においてエアフロメータ1を高いの精度で調整できる。
一方、複数の組付寸法を用いてエアフロメータ1の出力を調整する場合は、低流量から高流量の広い範囲の推定点Giの推定誤差Eのバラツキ量を小さくすることが可能になる。その結果、エアフロメータ1の測定精度を高めることができる。
この実施例の空気流量調整装置は、上述したように、組付寸法(上記実施例中の隙間寸法Xi)に応じて流量誤差Eを求める推定式の切り替えを行う。
このように、複数の推定式を用いることで、組付寸法(隙間寸法Xi)に対して流量誤差Eの算出誤差を小さくすることができ、エアフロメータ1の測定精度を高めることができる。
この実施例の空気流量調整装置は、上述したように、調整対象のエアフロメータ1を用いて2点以上の基準空気流量(この実施例では、低流量Gaと高流量Gb)を実計測し、計測した実出力値と目標出力から、計測していない流量点(各推定点Gi)における調整前出力を推定する。
計測によって得られた実出力値を用いて各推定点Giに対応した調整前出力FG(Gi)1を求めるため、「調整後の出力特性」を「目標特性α」に極めて近づけることができる。即ち、エアフロメータ1の測定精度を高めることができる。
この実施例の空気流量調整装置は、上述したように、調整に用いる組付寸法(上記実施例中の隙間寸法Xi)がエアフロメータ1の内部メモリ10に保存される。
これにより、「調整に用いる組付寸法(隙間寸法Xi)」と「調整されるエアフロメータ1」との関係を間違う不具合がない。
この実施例の空気流量調整装置は、上述したように、組付寸法が所定寸法より大きい、または小さい場合(上記実施例中の隙間寸法Xiが所定寸法Xis2より大きい、または小さい場合)、測定対象のエアフロメータ1が不良品であると判断する。
これにより、出力の特性偏差が大きく、調整不可となるエアフロメータ1を調整の早い段階で排除することができる。
この実施例2において、上記実施例1と同一符合は同一機能物を示すものである。
実施例2のエアフロメータ1は、実施例1と同様のものであり、サブバイパス通路2b(迂回流路の一例)に、センサチップ3が挿入配置される。
そして、この実施例2の空気流量調整装置は、サブパイパス通路2bの内壁面に対するセンサチップ3の組付寸法(例えば、対向隙間の距離や傾き等)を計測し、計測した隙間寸法に基づいてエアフロメータ1の出力調整を実施する。
このように設けることで、エアフロメータ1の測定精度を高めることができる。
3 センサチップ
3a センサ部
4 支持基板
4a 凹部
Xi 隙間寸法(組付寸法)
Claims (8)
- 空気流量の計測を行うエアフロメータ(1)の出力調整を実施する空気流量調整装置において、
前記エアフロメータ(1)は、流量計測を行うセンサ部(3a)が薄膜箇所に設けられるセンサチップ(3)と、このセンサチップ(3)を支持する支持基板(4)とを備え、前記支持基板(4)に前記センサチップ(3)が配置され、前記センサチップ(3)と前記支持基板(4)の間に空気が通過可能な隙間が形成されるものであり、
当該空気流量調整装置は、前記支持基板(4)に対する前記センサチップ(3)の組付寸法に基づいて前記エアフロメータ(1)の出力を調整することを特徴とする空気流量調整装置。 - 請求項1に記載の空気流量調整装置において、
前記組付寸法として、前記センサチップ(3)の裏面と前記支持基板(4)との間の隙間寸法(Xi)を用いることを特徴とする空気流量調整装置。 - 請求項1または請求項2に記載の空気流量調整装置において、
複数の前記組付寸法を用いて前記エアフロメータ(1)の出力を調整することを特徴とする空気流量調整装置。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の空気流量調整装置において、
前記組付寸法に応じて流量誤差を求める推定式の切り替えを行うことを特徴とする空気流量調整装置。 - 請求項1〜請求項4のいずれかに記載の空気流量調整装置において、
前記エアフロメータ(1)によって2点以上の基準空気流量で調整前出力を実計測し、計測した実出力値と目標出力から前記エアフロメータ(1)における計測していない流量点における調整前出力を推定することを特徴とする空気流量調整装置。 - 請求項1〜請求項5のいずれかに記載の空気流量調整装置において、
調整に用いる前記組付寸法は、前記エアフロメータ(1)が搭載する内部メモリ(10)に保存されることを特徴とする空気流量調整装置。 - 請求項1〜請求項6のいずれかに記載の空気流量調整装置において、
前記組付寸法に基づいて調整データを求める空気流量調整装置は、前記組付寸法が所定寸法(Xis2)より大きい、または小さい時に、不良品であることを判定することを特徴とする空気流量調整装置。 - 空気流量の計測を行うエアフロメータ(1)の出力調整を実施する空気流量調整装置において、
前記エアフロメータ(1)は、空気の一部が流れる迂回流路(2b)内に、流量計測を行うセンサ部(3a)が薄膜箇所に設けられるセンサチップ(3)が挿入配置されるものであり、
前記迂回流路(2b)の内壁面に対する前記センサチップ(3)の組付寸法に基づいて前記エアフロメータ(1)の出力を調整することを特徴とする空気流量調整装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013124214A JP5971199B2 (ja) | 2013-06-12 | 2013-06-12 | 空気流量調整装置 |
US14/303,249 US9695769B2 (en) | 2013-06-12 | 2014-06-12 | Air flow rate adjusting apparatus |
US15/603,684 US10443528B2 (en) | 2013-06-12 | 2017-05-24 | Air flow rate adjusting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013124214A JP5971199B2 (ja) | 2013-06-12 | 2013-06-12 | 空気流量調整装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015001373A true JP2015001373A (ja) | 2015-01-05 |
JP5971199B2 JP5971199B2 (ja) | 2016-08-17 |
Family
ID=52018053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013124214A Active JP5971199B2 (ja) | 2013-06-12 | 2013-06-12 | 空気流量調整装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9695769B2 (ja) |
JP (1) | JP5971199B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6354538B2 (ja) * | 2014-11-21 | 2018-07-11 | 株式会社デンソー | 通信システム、流量測定装置および制御装置 |
US20170002778A1 (en) * | 2015-07-01 | 2017-01-05 | Yow Jung Enterprise Co., Ltd. | System and voltage type method for testing air flow meter |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000002574A (ja) * | 1998-06-15 | 2000-01-07 | Unisia Jecs Corp | 流量計測装置 |
JP2004340964A (ja) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Berkin Bv | 質量流量計 |
JP2005506120A (ja) * | 2001-10-10 | 2005-03-03 | チーム メディカル エル.エル.シー. | 流路の寸法に関する情報を取得するための方法及びシステム |
WO2011055532A1 (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-12 | パナソニック株式会社 | 超音波流量計 |
JP2012103078A (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-31 | Denso Corp | 流量センサ |
JP2013064624A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Mitsubishi Electric Corp | 車両用熱式流量センサ |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3638490A (en) * | 1969-01-17 | 1972-02-01 | Carl F Buettner | Fluid flow measuring device |
US4415896A (en) * | 1981-06-09 | 1983-11-15 | Adec, Inc. | Computer controlled energy monitoring system |
JP3486672B2 (ja) | 2000-02-25 | 2004-01-13 | 独立行政法人航空宇宙技術研究所 | 四角錐台型5孔ピトー管を用いた広速度域飛行速度ベクトル計測システムにおける演算処理方法及び方式 |
US7204158B2 (en) * | 2004-07-07 | 2007-04-17 | Parker-Hannifin Corporation | Flow control apparatus and method with internally isothermal control volume for flow verification |
JP3980586B2 (ja) | 2004-10-12 | 2007-09-26 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量計 |
US20090319189A1 (en) * | 2008-06-23 | 2009-12-24 | Honeywell International Inc. | Low cost, unattended weather sensor |
CN102341868B (zh) * | 2009-03-30 | 2013-01-23 | 株式会社藤仓 | 发泡电线的制造方法 |
JP5182314B2 (ja) | 2009-05-01 | 2013-04-17 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
JP5243348B2 (ja) | 2009-06-12 | 2013-07-24 | 三菱電機株式会社 | 流量検出装置 |
JP5321563B2 (ja) * | 2010-10-29 | 2013-10-23 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
-
2013
- 2013-06-12 JP JP2013124214A patent/JP5971199B2/ja active Active
-
2014
- 2014-06-12 US US14/303,249 patent/US9695769B2/en active Active
-
2017
- 2017-05-24 US US15/603,684 patent/US10443528B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000002574A (ja) * | 1998-06-15 | 2000-01-07 | Unisia Jecs Corp | 流量計測装置 |
JP2005506120A (ja) * | 2001-10-10 | 2005-03-03 | チーム メディカル エル.エル.シー. | 流路の寸法に関する情報を取得するための方法及びシステム |
JP2004340964A (ja) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Berkin Bv | 質量流量計 |
WO2011055532A1 (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-12 | パナソニック株式会社 | 超音波流量計 |
JP2012103078A (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-31 | Denso Corp | 流量センサ |
JP2013064624A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Mitsubishi Electric Corp | 車両用熱式流量センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140366607A1 (en) | 2014-12-18 |
US20170254285A1 (en) | 2017-09-07 |
US10443528B2 (en) | 2019-10-15 |
US9695769B2 (en) | 2017-07-04 |
JP5971199B2 (ja) | 2016-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101647151B1 (ko) | 매스 플로우 미터, 매스 플로우 컨트롤러, 이들을 포함한 매스 플로우 미터 시스템 및 매스 플로우 컨트롤러 시스템 | |
KR100488213B1 (ko) | 열식공기유량계 | |
JP6464709B2 (ja) | エアフロメータ | |
US10754361B2 (en) | Flow rate control apparatus, flow rate control method, and program for a flow rate control apparatus | |
US9869573B2 (en) | Physical amount measurement apparatus mounted integrally with flow rate measurement apparatus, and physical amount measurement method | |
JP2008039513A (ja) | 質量流量制御装置の流量制御補正方法 | |
WO2013105124A1 (ja) | 流量計測装置 | |
JP6688062B2 (ja) | 流量センサの補正装置、流量測定システム、流量制御装置、補正装置用プログラム、及び、補正方法 | |
JP4558647B2 (ja) | 熱式流体流量計 | |
JP5387617B2 (ja) | 流量測定装置の調整方法 | |
US8844348B2 (en) | Gas flow rate measurement device | |
JP2016109623A (ja) | エアフロメータ | |
JP5971199B2 (ja) | 空気流量調整装置 | |
KR20110137744A (ko) | 듀얼 물리량 센서 | |
EP1431717A1 (en) | Flow rate measuring instrument | |
JP5936744B1 (ja) | 流量測定装置 | |
US11644354B2 (en) | Flow rate sensor correction device, flow rate sensor, flow rate control device, program recording medium on which is recorded a program for a correction device, and correction method | |
JP6201901B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP5120289B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP2012247266A (ja) | 熱式流量測定装置 | |
WO2019221183A1 (ja) | 気体流量測定装置および気体流量測定方法 | |
JP2005233796A (ja) | 分流式流量センサ装置 | |
CN107923780B (zh) | 空气流量计 | |
WO2022004001A1 (ja) | 熱式流量計、流量制御装置、熱式流量測定方法、及び、熱式流量計用プログラム | |
JP5966839B2 (ja) | 流量計測装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150408 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150519 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150608 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160614 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160627 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5971199 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |