JP2014530499A - 堆積された汚染物質の成長速度を予測するための方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を以下に付記する。
[1]基板上に放射線を投影するための放射線投影システム(20)と、投影される放射線の経路に処理される基板を載置して配置するための基板搬送システム(30)と、前記基板を移動させるために前記基板搬送システムを制御するための制御システム(40)と、特定のタイプのレジストがリソグラフィシステム内で放射線によって露光されることが適切であるかどうかを判断するように構成されたレジスト評価システム(50)とを具備し、前記レジスト評価システム(50)は、1以上の放射線ビームを用いて前記基板の表面上のレジストを露光して、前記レジストから放出された分子片の質量分布を測定して、成長速度モデル及び測定された質量分布に基づいて、堆積された分子片の成長速度を予測して、予測された成長速度を所定の閾値成長速度と比較するように構成されているリソグラフィシステム(10)。
[2]前記成長速度を予測することは、測定された質量分布に基づいて分圧を得ることを含み、前記成長速度モデルは、さまざまな分圧に対する既知の分子の成分によって引き起こされた放射線誘起堆積の初期測定に基づいている[1]のシステム。
[3]前記放射線は、1以上の荷電粒子小ビームの形態を取り、前記放射線誘起堆積の初期測定は、前記1以上の荷電粒子小ビームのさまざまな電流密度に対して行われる[2]のシステム。
[4]前記放射線投影システム(20)は、複数の小ビームを発生させるための小ビーム発生器(21)と、変調された小ビームを形成するために前記小ビームをパターニングするための小ビーム変調器(22)と、前記基板の表面上に前記変調された小ビームを投影するための小ビーム投影器(23)とを有する[1]ないし[3]のいずれか1のシステム。
[5]前記レジスト評価システム(50)は、リソグラフィ露光のためのリソグラフィシステムに基板を搬送するための前記基板搬送システム(30)に結合されている[1]ないし[4]のいずれか1のシステム。
[6]前記レジスト評価システム(50)は、チャンバ(51)と、前記チャンバ中の圧力を低下させるために前記チャンバを吸引するように構成されたポンプシステム(52)と、1以上の放射線ビーム(54)を発生させるための放射源(53)と、表面上にレジスト層(57)が設けられた基板(56)と、測定装置(59)とを有する[1]ないし[5]のいずれか1のシステム。
[7]前記測定装置(59)は、レジストガス放出質量分布を与える[6]のシステム。
[8]前記測定装置(59)は、残留ガス分析器を有する[6]又は[7]のシステム。
[9]リソグラフィシステムで使用するためのレジストの適応性を決定するための方法であって、この方法は、表面上にレジストを有する基板を設けることと、1以上の放射線ビームを用いて前記レジストを露光することと、前記レジストから放出された分子片の質量分布を測定することと、成長速度モデル及び測定された質量分布に基づいて、堆積された分子片の成長速度を予測することと、予測された成長速度を所定の閾値成長速度と比較することとを具備する方法。
[10]前記成長速度を予測することは、測定された質量分布に基づいて分圧を得ることを含み、前記成長速度モデルは、さまざまな分圧に対する既知の分子の成分によって引き起こされた放射線誘起堆積の初期測定に基づいている[9]の方法。
[11]前記放射線は、1以上の荷電粒子小ビームの形態を取り、前記放射線誘起堆積の初期測定は、前記1以上の荷電粒子小ビームのさまざまな電流密度に対して行われる[10]の方法。
[12]前記閾値成長速度は、リソグラフィシステムにとって許容可能な最大の成長速度未満である成長速度に対応する[9]ないし[11]のいずれか1の方法。
[13]前記堆積された分子片の成長速度を予測することは、さらに、幾何学的因子に基づき、前記幾何学的因子は、リソグラフィシステムの1以上の特性の影響を表す[9]ないし[12]のいずれか1の方法。
[14]前記幾何学的因子は、前記堆積の成長速度に対するリソグラフィシステムの形状の影響を表す[13]の方法。
[15]前記モデルは、前記分子片の放射線誘起堆積に対する成長速度に関する[9]ないし[14]のいずれか1の方法。
[16]前記モデルは、複数の異なる分子片に対する成長速度を含む[9]ないし[15]のいずれか1の方法。
[17]前記モデルは、前記放射線ビームのさまざまな強度に対する成長速度を含む[9]ないし[16]のいずれか1の方法。
[18]前記分圧を得ることは、前記分子片の測定された質量分布の合計を使用することを含む[9]ないし[17]のいずれか1の方法。
[19]前記モデルは、分圧の関数としての成長速度を含む[18]の方法。
[20]プロセッサによって実行されたとき、リソグラフィシステムで使用するためのレジストの適応性の評価を与える[9]ないし[19]のいずれか1の方法を行うためのコンピュータ読取可能媒体。
[21]1以上の放射線ビームによって処理を受ける物質から放出されたガス状汚染物質の堆積による堆積された汚染物質の成長速度を予測する方法であって、この方法は、前記1以上の放射線ビームを用いて前記物質を露光することと、前記分子の質量分布、及び前記物質から放出される汚染物質の分子片を測定することと、成長速度モデル及び測定された質量分布に基づいて、汚染物質の堆積された分子及び分子片の成長速度を予測することと、前記予測された成長速度を所定の閾値成長速度と比較することとを具備する方法。
[22]1以上の放射線ビームによって処理を受ける物質から放出されたガス状汚染物質の堆積による堆積された汚染物質の成長速度を予測するための装置であって、この装置は、チャンバ(51)と、前記チャンバ中の圧力を低下させるために前記チャンバを吸引するように構成されたポンプシステム(52)と、前記1以上の放射線ビーム(54)を発生させるための放射源(53)と、表面上に物質(57)が設けられた基板(56)と、物質から放出されたガス状汚染物質の質量分布を測定するための測定装置(59)と、成長速度モデル及び測定された質量分布に基づいて、堆積された汚染物質の成長速度を予測するように構成されたプロセッサとを具備する装置。
Claims (22)
- 基板上に放射線を投影するための放射線投影システム(20)と、
投影される放射線の経路に処理される基板を載置して配置するための基板搬送システム(30)と、
前記基板を移動させるために前記基板搬送システムを制御するための制御システム(40)と、
特定のタイプのレジストがリソグラフィシステム内で放射線によって露光されることが適切であるかどうかを判断するように構成されたレジスト評価システム(50)とを具備し、前記レジスト評価システム(50)は、
1以上の放射線ビームを用いて前記基板の表面上のレジストを露光して、
前記レジストから放出された分子片の質量分布を測定して、
成長速度モデル及び測定された質量分布に基づいて、堆積された分子片の成長速度を予測して、
予測された成長速度を所定の閾値成長速度と比較するように構成されているリソグラフィシステム(10)。 - 前記成長速度を予測することは、測定された質量分布に基づいて分圧を得ることを含み、前記成長速度モデルは、さまざまな分圧に対する既知の分子の成分によって引き起こされた放射線誘起堆積の初期測定に基づいている請求項1のシステム。
- 前記放射線は、1以上の荷電粒子小ビームの形態を取り、前記放射線誘起堆積の初期測定は、前記1以上の荷電粒子小ビームのさまざまな電流密度に対して行われる請求項2のシステム。
- 前記放射線投影システム(20)は、
複数の小ビームを発生させるための小ビーム発生器(21)と、
変調された小ビームを形成するために前記小ビームをパターニングするための小ビーム変調器(22)と、
前記基板の表面上に前記変調された小ビームを投影するための小ビーム投影器(23)とを有する請求項1ないし3のいずれか1のシステム。 - 前記レジスト評価システム(50)は、リソグラフィ露光のためのリソグラフィシステムに基板を搬送するための前記基板搬送システム(30)に結合されている請求項1ないし4のいずれか1のシステム。
- 前記レジスト評価システム(50)は、
チャンバ(51)と、
前記チャンバ中の圧力を低下させるために前記チャンバを吸引するように構成されたポンプシステム(52)と、
1以上の放射線ビーム(54)を発生させるための放射源(53)と、
表面上にレジスト層(57)が設けられた基板(56)と、
測定装置(59)とを有する請求項1ないし5のいずれか1のシステム。 - 前記測定装置(59)は、レジストガス放出質量分布を与える請求項6のシステム。
- 前記測定装置(59)は、残留ガス分析器を有する請求項6又は7のシステム。
- リソグラフィシステムで使用するためのレジストの適応性を決定するための方法であって、この方法は、
表面上にレジストを有する基板を設けることと、
1以上の放射線ビームを用いて前記レジストを露光することと、
前記レジストから放出された分子片の質量分布を測定することと、
成長速度モデル及び測定された質量分布に基づいて、堆積された分子片の成長速度を予測することと、
予測された成長速度を所定の閾値成長速度と比較することとを具備する方法。 - 前記成長速度を予測することは、測定された質量分布に基づいて分圧を得ることを含み、前記成長速度モデルは、さまざまな分圧に対する既知の分子の成分によって引き起こされた放射線誘起堆積の初期測定に基づいている請求項9の方法。
- 前記放射線は、1以上の荷電粒子小ビームの形態を取り、前記放射線誘起堆積の初期測定は、前記1以上の荷電粒子小ビームのさまざまな電流密度に対して行われる請求項10の方法。
- 前記閾値成長速度は、リソグラフィシステムにとって許容可能な最大の成長速度未満である成長速度に対応する請求項9ないし11のいずれか1の方法。
- 前記堆積された分子片の成長速度を予測することは、さらに、幾何学的因子に基づき、前記幾何学的因子は、リソグラフィシステムの1以上の特性の影響を表す請求項9ないし12のいずれか1の方法。
- 前記幾何学的因子は、前記堆積の成長速度に対するリソグラフィシステムの形状の影響を表す請求項13の方法。
- 前記モデルは、前記分子片の放射線誘起堆積に対する成長速度に関する請求項9ないし14のいずれか1の方法。
- 前記モデルは、複数の異なる分子片に対する成長速度を含む請求項9ないし15のいずれか1の方法。
- 前記モデルは、前記放射線ビームのさまざまな強度に対する成長速度を含む請求項9ないし16のいずれか1の方法。
- 前記分圧を得ることは、前記分子片の測定された質量分布の合計を使用することを含む請求項9ないし17のいずれか1の方法。
- 前記モデルは、分圧の関数としての成長速度を含む請求項18の方法。
- プロセッサによって実行されたとき、リソグラフィシステムで使用するためのレジストの適応性の評価を与える請求項9ないし19のいずれか1の方法を行うためのコンピュータ読取可能媒体。
- 1以上の放射線ビームによって処理を受ける物質から放出されたガス状汚染物質の堆積による堆積された汚染物質の成長速度を予測する方法であって、この方法は、
前記1以上の放射線ビームを用いて前記物質を露光することと、
前記分子の質量分布、及び前記物質から放出される汚染物質の分子片を測定することと、
成長速度モデル及び測定された質量分布に基づいて、汚染物質の堆積された分子及び分子片の成長速度を予測することと、
前記予測された成長速度を所定の閾値成長速度と比較することとを具備する方法。 - 1以上の放射線ビームによって処理を受ける物質から放出されたガス状汚染物質の堆積による堆積された汚染物質の成長速度を予測するための装置であって、この装置は、
チャンバ(51)と、
前記チャンバ中の圧力を低下させるために前記チャンバを吸引するように構成されたポンプシステム(52)と、
前記1以上の放射線ビーム(54)を発生させるための放射源(53)と、
表面上に物質(57)が設けられた基板(56)と、
物質から放出されたガス状汚染物質の質量分布を測定するための測定装置(59)と、
成長速度モデル及び測定された質量分布に基づいて、堆積された汚染物質の成長速度を予測するように構成されたプロセッサとを具備する装置。
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