JP2014241331A - 支持装置および支持方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持装置2は、被支持体WKの被支持面WK1と面接触して当該被支持体WKを支持する支持面31を有する支持手段3と、被支持体WKと支持面31とが面接触している接触領域APに気体を供給し、被支持体WKと支持面31との密着状態を解除する密着解除手段5と、接触領域APに供給された気体を当該接触領域APに滞留させる気体滞留手段6とを有する。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載の吸着保持装置(支持装置)は、ウエハ(被支持体)と吸着面(支持面)とが面接触している接触領域に減圧状態が残存していたり、被支持体と支持面とが濡れ性によって密着していたりすると、被支持体を支持面から離間させるときに、当該被支持体を破損させてしまう虞があるため、支持面から接触領域に空気(気体)を供給し、被支持体と支持面との密着状態を解除するようになっている。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。
減圧手段4は、チャンバ33に連通する配管41を介して接続された減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段から構成されている。
密着解除手段5は、チャンバ33に連通する配管51を介して接続された加圧ポンプやタービン等の加圧手段から構成されている。
先ず、オペレータが原反RSを図1に示すようにセットする。その後、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号が入力されると、貼付手段8が回動モータ85および図示しない駆動機器を駆動して原反RSを繰り出し、接着シートASの繰出方向先端部が剥離板83によって所定量剥離され、当該先端部が図示しない検知手段に検知されると、回動モータ85および図示しない駆動機器の駆動を停止してスタンバイ状態となる。
そして、図1中二点鎖線で示すように、図示しない搬送手段が支持手段3の支持面31上に被着体WPを載置すると、減圧手段4が駆動し、接触領域APを減圧し、当該被着体WPを吸着保持する。次いで、図示しない搬送手段が載置部材62上にリングフレームRFを載置すると、気体滞留手段6が図示しない減圧手段を駆動し、当該リングフレームRFを吸着保持した後、直動モータ61を駆動し、被着体WPの上面とリングフレームRFの上面とが同一平面内に位置するように載置部材62を昇降させる。そして、移動手段がリニアモータ9を駆動し、支持装置2を左方向に搬送し、支持装置2が所定の位置に到達したことが図示しないセンサによって検知されると、貼付手段8が回動モータ85および図示しない駆動機器を駆動し、支持装置2の搬送に同期させて接着シートASを繰り出すことで、押圧ローラ84がウエハWFの上面(被貼付面WF1)およびリングフレームRFの上面に接着シートASを押圧して貼付する。これにより、被支持面WK1が支持面31に面接触して支持される被着体WPの被支持面WK1の反対側の被貼付面WF1に、当該被着体WPの外縁からはみ出す大きさの接着シートASが貼付された被支持体WKが形成される。
次に、減圧手段4がその駆動を停止した後、密着解除手段5が駆動し、接触領域APに空気ARを所定量供給し、図2(B)に示すように、被着体WPと支持面31との密着状態を解除する。このとき、接着シートASが下方に引っ張られているので、接触領域APの外縁領域AP1が支持面31に押し付けられた状態で、被着体WPがドーム状に膨れ上がり、接触領域APに供給された空気ARを当該接触領域APに滞留させることができ、当該接触領域AP全体の密着状態を確実に解除することができる。
その後、気体滞留手段6が直動モータ61を駆動し、載置部材62を上昇させ、図示しない回動モータを駆動し、アーム64を90度回動させて図1中二点鎖線で示す状態とする。なお、被着体WPと支持面31との間に入り込んだ空気ARは、載置部材62の上昇と共に接触領域APの外縁領域AP1から外に抜ける。その後、被支持体WKは、図示しない搬送手段等によって次工程へ搬送され、支持装置2が図1中二点鎖線で示す位置に復帰し、以降上述と同様の動作が繰り返される。
支持装置2Aは、第1実施形態の支持装置2に対し、支持手段3および気体滞留手段6の代わりに、支持手段3Aおよび気体滞留手段6Aをそれぞれ設けた点が相違する。
支持手段3Aには、支持面31を囲むようにリングフレームRFが載置される載置部35Aが設けられている。気体滞留手段6Aは、支持面31の上方に配置可能な駆動機器としての直動モータ61と、直動モータ61の出力軸61Aに支持された円板状の支持フレーム62Aの下面に設けられた円筒状の押付部材63Aとを備えている。押付部材63Aの直径は、接着シートASの直径よりも小さく、かつ、ウエハWFおよび保護シートPSの直径よりも大きく設定されており、接着シートASにおけるリングフレームRFと被着体WPとの間の接着シートAS部分AS2を支持面31に押し付け可能に構成されている。
支持手段3Bは、直径がウエハWFの直径と略等しい円筒状の押付部材63Bを備え、ウエハWFの外縁領域WAを支持面31に押し付け可能に構成されている。
さらに、載置部材62として、円環板状でなくブロック状のものを用い、リングフレームRFの外周方向に沿った複数箇所が載置部材62に載置されるようにしてもよい。
また、密着解除手段5が供給する気体は、空気ARに限らず、大気、単体ガス、混合ガス等であってもよい。
さらに、剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
また、押圧手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エア噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
さらに、減圧手段4、貼付手段8および移動手段は、なくてもよい。
実施形態のウエハWFに保護シートPSが貼付されていなくてもよく、この場合、ウエハWFの下面が被支持面WK1となる。
また、支持装置2は、シート貼付装置1以外に塗布装置、検査装置等の他の装置に採用してもよい。塗布装置や検査装置の場合、被支持体と支持面との間の接触領域全体の密着状態を確実に解除できないと、塗布や検査後の被支持体を次工程へ迅速に搬送できないが、支持装置2を塗布装置や検査装置に採用することで、被支持体と支持面との間の接触領域全体の密着状態を確実に解除でき、塗布や検査後の被支持体を次工程へ迅速に搬送することができる。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
3、3A、3B…支持手段
5…密着解除手段
6、6A、6B…気体滞留手段
31…支持面
AP…接触領域
AS…接着シート
WF1…被貼付面
WK、WKB…被支持体
WK1…被支持面
WP…被着体
Claims (3)
- 被支持体の被支持面と面接触して当該被支持体を支持する支持面を有する支持手段と、
前記被支持体と支持面とが面接触している接触領域に気体を供給し、前記被支持体と支持面との密着状態を解除する密着解除手段と、
前記接触領域に供給された気体を当該接触領域に滞留させる気体滞留手段とを有することを特徴とする支持装置。 - 前記被支持体は、被支持面が前記支持面に面接触して支持される被着体と、前記被着体の前記被支持面の反対側の被貼付面に貼付され当該被着体の外縁からはみ出す大きさの接着シートとを有し、
前記気体滞留手段は、前記接着シートの外縁部を前記被着体から支持面に向かう方向に移動させることで、前記接触領域に供給された気体を当該接触領域に滞留させることを特徴とする請求項1に記載の支持装置。 - 被支持体の被支持面と面接触して当該被支持体を支持面で支持する工程と、
前記被支持体と支持面とが面接触している接触領域に気体を供給する工程と、
前記接触領域に供給された気体を当該接触領域に滞留させ、前記被支持体と支持面との密着状態を解除する工程とを備えていることを特徴とする支持方法。
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JPH0992711A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-04-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | チャックテーブル及びそれが配設されたダイサー |
JP2012191051A (ja) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体製造方法および半導体製造装置 |
JP2014116480A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
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