JP2014239131A - 接合構造およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1接合部104の接合面は、第1基板101の主表面に平行な平面上で第1方向に延在し、かつ平面上で第1方向に垂直な方向に等しい間隔で配列された同一の溝幅の複数の溝部151による凹凸の第1嵌め合い構造105を備える。隣り合う溝部151の間は、第1方向(y方向)に延在する線条の山部152となる。山部152も、第1方向に垂直な方向(x方向)に等しい間隔で配列されている。第1嵌め合い構造105は、傾斜を持った周期的な凹凸形状が2次元平面波状に形成されている。
【選択図】 図1
Description
Claims (7)
- 第1基板の主表面の位置合わせ箇所に上面を接合面とする第1接合部を形成する第1工程と、
前記第1基板に実装する第2基板の主表面の位置合わせ箇所に上面を接合面とする第2接合部を形成する第2工程と、
前記第1接合部の接合面に、前記第1基板の主表面に平行な平面上で第1方向に延在し、かつ前記平面上で前記第1方向に垂直な方向に等しい間隔で配列された同一の溝幅の複数の溝部による凹凸の第1嵌め合い構造をインプリント法により形成する第3工程と、
前記第2接合部の接合面に、前記第2基板の主表面に平行な平面上で第2方向に延在し、かつ前記平面上で前記第2方向に垂直な方向に等しい間隔で配列された同一の溝幅の複数の溝部による凹凸の第2嵌め合い構造をインプリント法により形成する第4工程と
を備え、
前記第1接合部の接合面と前記第2接合部との接合面は、前記第1嵌め合い構造と前記第2嵌め合い構造とを嵌合して接合されることを特徴とする接合構造の製造方法。 - 請求項1記載の接合構造の製造方法において、
前記第1基板の主表面および前記第2基板の主表面の各々に嵌め合い構造形成時の位置合わせ用の位置合わせ凹部を形成する第5工程を備え、
前記第3工程では、インプリント法で用いる鋳型基板の位置合わせ部に設けられた弾性部材からなる球体を前記第1基板の位置合わせ凹部に配置させ、前記鋳型基板を前記第1基板に押し付けて前記球体を変形させて前記インプリント法を実施し、
前記第4工程では、インプリント法で用いる鋳型基板の位置合わせ部に設けられた前記球体を前記第2基板の位置合わせ凹部に配置させ、前記鋳型基板を前記第2基板に押し付けて前記球体を変形させて前記インプリント法を実施する
ことを特徴とする接合構造の製造方法。 - 請求項1または2記載の接合構造の製造方法において、
前記第1接合部の嵌め合い構造は、前記第1方向に垂直な断面の表面形状が二次元平面波状の凹凸とし、
前記第2接合部の嵌め合い構造は、前記第2方向に垂直な断面の表面形状が二次元平面波状の凹凸とすることを特徴とする接合構造の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の接合構造の製造方法において、
前記第1接合部の嵌め合い構造は、前記嵌め合い構造の表面の静止摩擦係数の逆正接以上の傾斜面を備える状態に形成し、
前記第2接合部の嵌め合い構造は、前記嵌め合い構造の表面の静止摩擦係数の逆正接以上の傾斜面を備える状態に形成することを特徴とする接合構造の製造方法。 - 第1基板および前記第1基板に実装する第2基板と、
前記第1基板の主表面の位置合わせ箇所に形成された上面を接合面とする第1接合部と、
前記第2基板の主表面の位置合わせ箇所に形成された上面を接合面とする第2接合部と
を備え、
前記第1接合部の接合面は、前記第1基板の主表面に平行な平面上で第1方向に延在し、かつ前記平面上で前記第1方向に垂直な方向に等しい間隔で配列された同一の溝幅の複数の溝部による凹凸の第1嵌め合い構造を備え、
前記第2接合部の接合面は、前記第2基板の主表面に平行な平面上で第2方向に延在し、かつ前記平面上で前記第2方向に垂直な方向に等しい間隔で配列された同一の溝幅の複数の溝部による凹凸の第2嵌め合い構造を備え、
前記第1接合部の接合面と前記第2接合部との接合面は、前記第1嵌め合い構造と前記第2嵌め合い構造とを嵌合して接合されることを特徴とする接合構造。 - 請求項5記載の接合構造において、
前記第1接合部の嵌め合い構造は、前記第1方向に垂直な断面の表面形状が二次元平面波状の凹凸とされ、
前記第2接合部の嵌め合い構造は、前記第2方向に垂直な断面の表面形状が二次元平面波状の凹凸とされていることを特徴とする接合構造。 - 請求項5または6記載の接合構造において、
前記第1接合部の嵌め合い構造は、前記嵌め合い構造の表面の静止摩擦係数の逆正接以上の傾斜面を備え、
前記第2接合部の嵌め合い構造は、前記嵌め合い構造の表面の静止摩擦係数の逆正接以上の傾斜面を備えることを特徴とする接合構造。
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